JP6412229B2 - 光源装置 - Google Patents
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Claims (4)
- レーザ光を発生させるレーザ部と、
前記レーザ光の照射によってプラズマ発光を発生する発光ガスが封入された発光封体と、を備えた光源装置であって、
前記発光封体は、
前記発光ガスが封入された内部空間を有する筐体と、
前記レーザ光の照射によって電子を放射する易電子放射物質を含有する電子放射構造体と、
前記内部空間内での前記電子放射構造体の位置を位置決めする位置決め部と、を有し、
前記筐体外部から前記電子放射構造体に対して給電するための給電部材を備えずに、前記電子放射構造体及び位置決め部は、前記筐体に対して非貫通かつ埋没しないように配置され、
前記レーザ部は、前記筐体の外部に配置されたレンズを介して前記筐体内に前記レーザ光を集光させ、前記電子放射構造体の近傍において前記発光ガス中のレーザ光照射領域に前記プラズマ発光を発生させると共に、前記プラズマ発光に対して継続的に前記レーザ光を照射することで、前記レーザ光の集光位置を含む所定の発光領域を有するプラズマ発光であるレーザ支持光を点灯・維持し、
前記位置決め部は、前記筐体の一部として構成されて前記電子放射構造体を支持しており、
前記電子放射構造体は、前記位置決め部による被支持部分を除いて前記筐体の内壁面から離間している光源装置。 - レーザ光を発生させるレーザ部と、
前記レーザ光の照射によってプラズマ発光を発生する発光ガスが封入された発光封体と、を備えた光源装置であって、
前記発光封体は、
前記発光ガスが封入された内部空間を有する筐体と、
前記レーザ光の照射によって電子を放射する易電子放射物質を含有する電子放射構造体と、
前記内部空間内での前記電子放射構造体の位置を位置決めする位置決め部と、を有し、
前記筐体外部から前記電子放射構造体に対して給電するための給電部材を備えずに、前記電子放射構造体及び位置決め部は、前記筐体に対して非貫通かつ埋没しないように配置され、
前記レーザ部は、前記筐体の外部に配置されたレンズを介して前記筐体内に前記レーザ光を集光させ、前記電子放射構造体の近傍において前記発光ガス中のレーザ光照射領域に前記プラズマ発光を発生させると共に、前記プラズマ発光に対して継続的に前記レーザ光を照射することで、前記レーザ光の集光位置を含む所定の発光領域を有するプラズマ発光であるレーザ支持光を点灯・維持し、
前記電子放射構造体は、前記レーザ光の入射軸に対して傾斜する傾斜面を有している光源装置。 - レーザ光を発生させるレーザ部と、
前記レーザ光の照射によってプラズマ発光を発生する発光ガスが封入された発光封体と、を備えた光源装置であって、
前記発光封体は、
前記発光ガスが封入された内部空間を有する筐体と、
前記レーザ光の照射によって電子を放射する易電子放射物質を含有する電子放射構造体と、
前記内部空間内での前記電子放射構造体の位置を位置決めする位置決め部と、を有し、
前記筐体外部から前記電子放射構造体に対して給電するための給電部材を備えずに、前記電子放射構造体及び位置決め部は、前記筐体に対して非貫通かつ埋没しないように配置され、
前記レーザ部は、前記筐体の外部に配置されたレンズを介して前記筐体内に前記レーザ光を集光させ、前記電子放射構造体の近傍において前記発光ガス中のレーザ光照射領域に前記プラズマ発光を発生させると共に、前記プラズマ発光に対して継続的に前記レーザ光を照射することで、前記レーザ光の集光位置を含む所定の発光領域を有するプラズマ発光であるレーザ支持光を点灯・維持し、
前記筐体は、柱状部分と、前記柱状部分の軸方向の端部に設けられた平坦な端面とを有し、
前記レーザ光は、前記端面から前記内部空間に入射する光源装置。 - 前記柱状部分の内壁には、前記位置決め部として、前記電子放射構造体の周面側に突出する小径部が形成されている請求項3記載の光源装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013253260 | 2013-12-06 | ||
JP2013253260 | 2013-12-06 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017047302A Division JP6200612B2 (ja) | 2013-12-06 | 2017-03-13 | 光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017224629A JP2017224629A (ja) | 2017-12-21 |
JP6412229B2 true JP6412229B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=53273238
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015551426A Expired - Fee Related JP6023355B2 (ja) | 2013-12-06 | 2014-10-29 | 発光封体 |
JP2016198420A Expired - Fee Related JP6111371B2 (ja) | 2013-12-06 | 2016-10-06 | 発光封体 |
JP2017047302A Expired - Fee Related JP6200612B2 (ja) | 2013-12-06 | 2017-03-13 | 光源装置 |
JP2017162614A Expired - Fee Related JP6412229B2 (ja) | 2013-12-06 | 2017-08-25 | 光源装置 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015551426A Expired - Fee Related JP6023355B2 (ja) | 2013-12-06 | 2014-10-29 | 発光封体 |
JP2016198420A Expired - Fee Related JP6111371B2 (ja) | 2013-12-06 | 2016-10-06 | 発光封体 |
JP2017047302A Expired - Fee Related JP6200612B2 (ja) | 2013-12-06 | 2017-03-13 | 光源装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9984865B2 (ja) |
JP (4) | JP6023355B2 (ja) |
DE (1) | DE112014005524T5 (ja) |
IL (1) | IL244701A0 (ja) |
WO (1) | WO2015083463A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6023355B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2016-11-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光封体 |
US11367989B1 (en) | 2020-12-21 | 2022-06-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting unit and light source device |
US11972931B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-04-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting sealed body, light emitting unit, and light source device |
US11862922B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-01-02 | Energetiq Technology, Inc. | Light emitting sealed body and light source device |
JP2023054439A (ja) * | 2021-10-04 | 2023-04-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光封体及び光源装置 |
JP2023054442A (ja) * | 2021-10-04 | 2023-04-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光封体、光源装置、及び発光封体の駆動方法 |
JP2023054443A (ja) * | 2021-10-04 | 2023-04-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光封体及び光源装置 |
US11637008B1 (en) | 2022-05-20 | 2023-04-25 | Kla Corporation | Conical pocket laser-sustained plasma lamp |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4152625A (en) | 1978-05-08 | 1979-05-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Plasma generation and confinement with continuous wave lasers |
DD243629A3 (de) | 1983-11-01 | 1987-03-11 | Walter Gaertner | Strahlungsquelle fuer optische geraete, insbesondere fuer fotolithografische abbildungssysteme |
JPS61193358A (ja) | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Canon Inc | 光源装置 |
JPH061688B2 (ja) * | 1990-10-05 | 1994-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 白色パルス光発生装置 |
JPH06243845A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Matsushita Electric Works Ltd | 無電極ランプ |
JPH08299951A (ja) | 1995-04-28 | 1996-11-19 | Shinko Pantec Co Ltd | 紫外線照射装置 |
JP3580205B2 (ja) | 2000-01-18 | 2004-10-20 | ウシオ電機株式会社 | 電磁エネルギー励起点光源ランプ装置 |
JP2006010675A (ja) | 2004-05-27 | 2006-01-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 紫外光の発生方法および紫外光源装置 |
US8525138B2 (en) | 2006-03-31 | 2013-09-03 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
US7435982B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
TWI457715B (zh) * | 2008-12-27 | 2014-10-21 | Ushio Electric Inc | Light source device |
JP5252586B2 (ja) | 2009-04-15 | 2013-07-31 | ウシオ電機株式会社 | レーザー駆動光源 |
US9099292B1 (en) | 2009-05-28 | 2015-08-04 | Kla-Tencor Corporation | Laser-sustained plasma light source |
US9185788B2 (en) * | 2013-05-29 | 2015-11-10 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for controlling convection within a plasma cell |
US9646816B2 (en) * | 2013-12-06 | 2017-05-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light source device |
JP6023355B2 (ja) | 2013-12-06 | 2016-11-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光封体 |
US9576785B2 (en) * | 2015-05-14 | 2017-02-21 | Excelitas Technologies Corp. | Electrodeless single CW laser driven xenon lamp |
-
2014
- 2014-10-29 JP JP2015551426A patent/JP6023355B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-10-29 US US15/025,928 patent/US9984865B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-10-29 DE DE112014005524.7T patent/DE112014005524T5/de not_active Withdrawn
- 2014-10-29 WO PCT/JP2014/078761 patent/WO2015083463A1/ja active Application Filing
-
2016
- 2016-03-22 IL IL244701A patent/IL244701A0/en unknown
- 2016-10-06 JP JP2016198420A patent/JP6111371B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-03-13 JP JP2017047302A patent/JP6200612B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2017-08-25 JP JP2017162614A patent/JP6412229B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9984865B2 (en) | 2018-05-29 |
JPWO2015083463A1 (ja) | 2017-03-16 |
DE112014005524T5 (de) | 2016-08-18 |
IL244701A0 (en) | 2016-04-21 |
JP2017027955A (ja) | 2017-02-02 |
JP2017130461A (ja) | 2017-07-27 |
JP6200612B2 (ja) | 2017-09-20 |
WO2015083463A1 (ja) | 2015-06-11 |
JP6111371B2 (ja) | 2017-04-05 |
US20160240365A1 (en) | 2016-08-18 |
JP2017224629A (ja) | 2017-12-21 |
JP6023355B2 (ja) | 2016-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171027 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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