JP6224445B2 - 光源装置 - Google Patents
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[第1実施形態]
[第2実施形態]
Claims (5)
- レーザ光を出射するレーザ部と、
内部空間に発光ガスが封入された発光封体と、
互いに対向するように前記内部空間に配置された対向電極と、
前記レーザ光を前記対向電極間に導光する光学系と、を備え、
前記レーザ光は、前記対向電極間を結ぶライン上からずれた位置に集光すると共に、前記ラインを含むようにレーザ支持光を点灯可能なエネルギー密度を有する点灯可能領域を形成することを特徴とする光源装置。 - 前記レーザ光の一部分の集光位置を他部分の集光位置に対して前記レーザ光の光軸方向に変化させる集光制御部を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 前記集光制御部は、前記レーザ光に対して透過性を有する透明媒体を前記レーザ光に対して駆動させる透明媒体駆動部を有していることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記透明媒体駆動部は、前記透明媒体を前記レーザ光に対して進退させることを特徴とする請求項3記載の光源装置。
- 前記レーザ光の一部分の集光位置を他部分の集光位置に対して前記レーザ光の光軸方向に交差する方向に変化させる集光制御部を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013253266A JP6224445B2 (ja) | 2013-12-06 | 2013-12-06 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013253266A JP6224445B2 (ja) | 2013-12-06 | 2013-12-06 | 光源装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015111516A JP2015111516A (ja) | 2015-06-18 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6224445B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11367989B1 (en) | 2020-12-21 | 2022-06-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting unit and light source device |
US11862922B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-01-02 | Energetiq Technology, Inc. | Light emitting sealed body and light source device |
US11972931B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-04-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting sealed body, light emitting unit, and light source device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7435982B2 (en) * | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
JP2010205577A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Ushio Inc | 光源装置を点灯する方法 |
US8259771B1 (en) * | 2009-07-22 | 2012-09-04 | Kla-Tencor Corporation | Initiating laser-sustained plasma |
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2013
- 2013-12-06 JP JP2013253266A patent/JP6224445B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11367989B1 (en) | 2020-12-21 | 2022-06-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting unit and light source device |
US11862922B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-01-02 | Energetiq Technology, Inc. | Light emitting sealed body and light source device |
US11972931B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-04-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting sealed body, light emitting unit, and light source device |
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Publication number | Publication date |
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JP2015111516A (ja) | 2015-06-18 |
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