JP6211912B2 - 光源装置 - Google Patents
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[第2実施形態]
[光路長調整板の変形例]
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[第5実施形態]
[第6実施形態]
Claims (12)
- レーザ光を出射するレーザ部と、
内部空間に発光ガスが封入された発光封体を備えた光源と、
前記レーザ光を前記発光封体内に集光させる光学系と、
前記光学系による前記レーザ光の集光領域を前記レーザ光の光軸方向又は前記光軸方向に交差する面内方向に拡張する集光拡張部と、を備えたことを特徴とする光源装置。 - 前記集光拡張部は、前記レーザ光の集光領域に複数の集光位置を形成する集光位置形成部を有していることを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、前記レーザ光の一部分の光路長を他部分の集光位置に対して前記レーザ光の光軸方向に変化させる光路長調整板によって構成されていることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、前記光路長調整板を複数有し、
前記複数の光路長調整板は、前記レーザ光に対する進出位置が互いに異なるように前記レーザ光の光軸方向に配置されていることを特徴とする請求項3記載の光源装置。 - 前記光路長調整板を前記レーザ光に対して駆動させる駆動部を有していることを特徴とする請求項3又は4記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、前記レーザ光の光路長を前記光軸方向の軸回りに変化させる光路長調整板によって構成されていることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、前記レーザ光の光路長を前記光軸の径方向に変化させる光路長調整板によって構成されていることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、レンズアレイによって構成されていることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記集光位置形成部は、光変調素子によって構成されていることを特徴とする請求項2記載の光源装置。
- 前記集光拡張部は、前記レーザ光の集光領域における集光形状を前記光軸方向に交差する面内方向に延在させる集光形状調整部を有していることを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 前記集光形状調整部は、シリンドリカルレンズによって構成されていることを特徴とする請求項10記載の光源装置。
- 前記集光形状調整部は、光変調素子によって構成されていることを特徴とする請求項10記載の光源装置。
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2013
- 2013-12-06 JP JP2013253269A patent/JP6211912B2/ja active Active
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