TWI469196B - Exposure device - Google Patents

Description

曝光裝置

本發明係關於在半導體或液晶基板、進而包括彩色濾光片等的製造步驟所利用的曝光裝置。特別是關於具備作為放射的光例如在紫外線區域具有放射之光源，且作為對該光源的能量供給手段使雷射光射入至該光源之光源的曝光裝置。

近年來，在半導體或液晶基板、進而包括彩色濾光片等的製造步驟，藉由使用輸入電力很大的紫外線光源，可以達成處理時間的縮短化、對大面積的被處理物之統括曝光等。伴隨於此，在紫外線光源之高壓放電燈，被要求放射出更高亮度的光。但是僅僅把對高壓放電燈之輸入電力提高，對於配置在放電容器內部的電極之負荷增大，會產生起因於來自該電極的蒸發物之高壓放電燈的黑化、短壽命化的問題。

為了解決這樣的問題，有種種方案被提出。例如根據日本特開昭61-193385號公報(專利文獻1)，已經揭示了把無電極放電燈配置於橢圓反射鏡內，通過設於該橢圓反射鏡的側面之孔穴部，使雷射光射入該放電燈之放電容器內，激發被封入該放電容器內的放電氣體，使其發光。使用此技術的話，因為該放電燈中沒有電極，所以解消了在燈之點燈中，因電極蒸發產生該放電容器的黑化、或引起燈的壽命短化等問題，具有可以提供長壽命的放電燈之優點。

此處，作為先前技術之一，在圖6顯示被揭示於該專利文獻1之對無電極放電燈射入雷射光的場合之構成。圖6係使用了根據雷射激發之無電極放電燈的半導體曝光裝置之一例，該半導體曝光裝置101，被構成為具有：雷射震盪器102、使由該雷射震盪器102放射的雷射光調整為所要的光束直徑的光學零件103及光學零件104、聚光該雷射光之聚光透鏡105、使藉由該聚光透鏡105聚光之雷射光射入的無電極放電燈106、使由該無電極放電燈106放射的紫外線反射之橢圓反射鏡107、及使以該橢圓反射鏡107反射的紫外線往被照射物之半導體晶圓121照射之用的光學系108。此外，於該橢圓反射鏡107，設有供使該雷射光射入之用的光取入孔110a、及使在該無電極放電燈106內不被吸收地透過之雷射光往該橢圓反射鏡107外放射之用的光取出孔110b，由該光取出孔110b放射的雷射光，藉由吸光板109吸收，例如被變換為熱，使雷射光不回到該雷射震盪器102。

但試圖6所示之該專利文獻1所揭示的構成，會發生以下的問題。為了對該無電極放電燈106之能量供給，於該橢圓反射鏡107的側面設置光取入孔110a、及光取出孔110b，透過該孔穴部110使雷射光往該無電極放電燈106射入。如此般，藉由在橢圓反射鏡107的側面設置該孔穴部110，會使聚集由該無電極放電燈所產生的紫外線之該橢圓反射鏡107原本的功能因而降低，而有無法效率佳地利用所產生的紫外線的問題。

進而，縮小設於該橢圓反射鏡107的該孔穴部110的話，入射至該無電極放電燈106的雷射光的入射角變小，在射入大能量的場合，通過放電容器的雷射光的能量密度變得過高，會發生在該放電容器自身開孔等不良狀況。此外，為了降低雷射光的能量密度，而增大使雷射光射入之用而設的該孔穴部110的話，如前所述，會發生無法效率佳地利用由該無電極放電燈106放射的紫外線之問題。

[專利文獻1]日本專利特開昭61-193385號公報

本發明所欲解決之課題，係提供在半導體或液晶基板、進而包括彩色濾光片等的製造所用的曝光裝置，在對放射紫外線等光之放電燈使用雷射光供給高能量的場合，不會發生在放電容器開孔的不良情形，具備可以有效率地利用所產生的光之光學系的曝光裝置。

根據本發明之申請專利範圍第1項之曝光裝置，其係具有：放射紫外線之光源、供射入對該光源供給能量之雷射光的雷射裝置、反射由該光源放射的紫外線之橢圓反射鏡、及以該橢圓反射鏡反射由配置在該橢圓反射鏡的第1焦點之該光源所放射的光，透過包含準直儀透鏡、積分器透鏡之光學元件對被照射物照射之光學系的曝光裝置，其特徵為：為了使雷射光對該光源由該橢圓反射鏡的開口側射入，而在藉由該橢圓反射鏡反射的光的光徑中設置具有波長選擇功能的光束分離器。

此外根據本發明之申請專利範圍第2項之曝光裝置，特徵為前述雷射裝置，係以其射出的雷射光的擴開角，以該橢圓反射鏡之第2焦點為基準而朝向該橢圓反射鏡的開口周緣擴開的方式被配置。

此外，根據本發明之申請專利範圍第3項之曝光裝置，特徵為前述雷射裝置，在雷射光的射出口與前述光束分離器之間被配置使雷射光平行化，或者是聚焦之透鏡。

此外，根據本發明之申請專利範圍第4項之曝光裝置，特徵為前述光源，具備對向於放電容器內之一對電極，與該電極導電連接的供電部由其閥部之兩端突出，連結該電極、通過各個之該供電部之燈軸，與前述橢圓反射鏡之長軸約略一致。

進而，根據本發明之申請專利範圍第5項之曝光裝置，特徵為前述雷射裝置，在雷射光之射出口側，具有形成中空光之構件。

此外，根據本發明之申請專利範圍第6項之曝光裝置，特徵為前述光束分離器，比該光徑中之積分器透鏡更靠近光源側，被設在該光徑中之光係約略平行光之範圍。

此外，根據本發明之申請專利範圍第7項之曝光裝置，特徵為前述光束分離器，係比該橢圓反射鏡之第2焦點更靠近光源側，被設在連結該橢圓反射鏡的第1焦點與第2焦點的直線上。

此外，根據本發明之申請專利範圍第8項之曝光裝置，特徵為前述光束分離器，係被設在存在於從該橢圓反射鏡放射的光的光徑中之第2焦點，與該準直儀透鏡之間。

進而，根據本發明之申請專利範圍第9項之曝光裝置，特徵為前述光束分離器係平面形狀。

進而，根據本發明之申請專利範圍第10項之曝光裝置，特徵為前述光束分離器係曲面形狀。

根據本發明之申請專利範圍第1項之記載，因為由橢圓反射鏡之開口側使雷射光射入，所以沒有必要在該橢圓反射鏡設置該雷射光之光取入孔或光取出孔，可以使由該光源放射的紫外線不會由該橢圓反射鏡漏失而可以效率佳地利用。進而，使該雷射光之光束直徑擴大到該橢圓反射鏡開口部全體而進行射入成為可能，以該橢圓反射鏡聚光之該雷射光在通過該光源的放電容器時之雷射光的能量密度可以降低，不會在該放電容器發生開孔等不良情形。

此外，由該橢圓反射鏡之開口側射入雷射光時，必須要在由該橢圓反射鏡的開口側放射的該紫外線的光徑中配置雷射裝置，該雷射裝置遮蔽紫外線，使得由該光源放射的紫外線的利用效率下降。

根據本發明之請求項1之記載，在光徑中設置光束分離器，把該雷射裝置配置於光徑外，所以不會妨礙由該光源放射的該紫外線，能夠以該橢圓反射鏡效率佳地利用由該光源放射的光。

此外，根據本發明之請求項2之記載，由雷射裝置射出的雷射光的擴開角，以該橢圓反射鏡之第2焦點為基準而朝向該橢圓反射鏡的開口周緣擴開的方式配置，所以該雷射光的入射路徑與反射由該光源放射的光的該橢圓反射鏡之反射路徑變成重疊，該雷射光可以藉由該橢圓反射鏡而被確實聚光於被配置在該橢圓反射鏡的第1焦點之該光源。結果，可以效率佳地利用雷射光。

進而，根據本發明之請求項3之記載，在雷射裝置的雷射光射出口與光束分離器之間被配置著使雷射光平行化，或者是聚焦之透鏡，所以光束分離器即使被配置在該曝光裝置的光徑中之某個位置，也可以使雷射光確實聚光於該橢圓反射鏡的第1焦點亦即該光源。

此外，根據本發明之請求項4之記載，由因為該光源之燈軸與該橢圓反射鏡之長軸一致，所以由該橢圓反射鏡之開口側來看該光源的投影面積變小，直接入射至該光源部的供電部之(往該橢圓反射鏡入射的雷射光之中，被供電部妨礙到的)雷射光減少，具有可以使雷射光效率佳地聚光於該光源之優點。

進而，根據本發明之請求項5之記載，入射至該橢圓反射鏡的雷射光的光束直徑成為中空光，所以由該橢圓反射鏡的開口側入射的雷射光不會直接照射到該光源(入射的該雷射光之全部在該橢圓反射鏡被反射/聚光)，該光源不被無謂地加熱而可以有效率地利用雷射光。

此外，根據本發明之請求項6之記載，在光徑中之光線約略平行光之範圍設置該光束分離器，而使該雷射光入射，所以沒有必要考慮焦點位置等而配置雷射裝置，可以確實使雷射光中介著該橢圓反射鏡聚光入射至該光源。

進而，可以使從該光源傳搬而來之與該紫外線相同程度擴開之該雷射光入射至光束分離器，所以可以抑制光束分離器之溫度上升。

進而，根據本發明之請求項7之記載，在該橢圓反射鏡之連結第1焦點與第2焦點的線段上設置該光束分離器，而使該雷射光入射，所以曝光裝置之配置很簡便，可以確實使雷射光中介著該橢圓反射鏡聚光入射至該光源。

進而，在從前的曝光裝置之光學系，只要把連結該橢圓反射鏡的第1焦點與第2焦點的線段上所配置的光學零件(反射鏡)，變更為該光束分離器即可，所以具有可繼續沿用既存的光學系的配置相當便利之優點。

此外，該雷射光若是紅外線的波長，可以廉價地使用反射來自該光源的紫外線，而使紅外線透過之所謂的冷反射鏡(cold mirror)。

此外，根據本發明之請求項8，在從前的曝光裝置之光學系，具有容易確保住配置該光束分離器的空間之優點。

此外，藉由使該光束分離器的配置方向適切化，可以在從前的曝光裝置的光學系之空位置收容該雷射裝置，所以具有可避免曝光裝置大型化之優點。

進而，根據本發明之請求項9，該光束分離器之形狀為平面形狀，所以具有形成於該光束分離器上的介電值多層膜的設計很容易之優點。

進而，根據本發明之請求項10，該光束分離器之形狀為曲面形狀，所以具有不需在雷射裝置的雷射射出口側設置透鏡的必要，可以使裝置更緊密化之優點。

本發明之曝光裝置，在放電容器中具備一對對向的電極，於該放電容器的兩端突出對該電極供電之供電部，設置有放射紫外線的光源、反射由該光源放射的光之橢圓反射鏡、及使由該橢圓反射鏡放射的光，透過包含準直儀透鏡、積分器透鏡之光學系，照射被照射物之曝光裝置，為了使雷射光對該光源由該橢圓反射鏡的開口側射入，而在光徑中設置具有波長選擇功能的光束分離器。以下顯示具體的實施例。

[第1實施例]

圖1所示者，係本發明之曝光裝置1之第1實施例。在圖1光源20、橢圓反射鏡2被設置於燈屋3內。由該光源20放射的光，以該橢圓反射鏡2反射，以平板型之光束分離器4改變方向，在開口(aperture)5附近被聚光。其後，透過準直儀透鏡6、積分器透鏡7以平面反射鏡8再度改變進行方向而透過第2準直儀透鏡9、遮罩面10再度照設置半導體晶圓等被照射面11。

該光源20，於本實施例，採用封入水銀之高壓放電燈。該光源20具備在放電容器21內被對向配置的一對電極22之陽極22a、陰極22b，對該電極22供電的供電部23a、23b由該放電容器21之兩端突出。連結該陽極22a與該陰極22b，通過該供電部23a、23b之燈軸25，與該橢圓反射鏡2之長軸26(第1焦點A，及在該橢圓反射鏡2之開口側未被配置反射鏡等改變光的進行方向的構件的場合之第2焦點B)一致。在本實施例，該光源20之該放電容器21係石英玻璃製造之約略橄欖球狀的放電容器，於該放電容器20內，作為稀有氣體例如封入氙(Xe)，作為發光物質封入了水銀。在本實施例，係以該光源20之電極間中心，重疊於該橢圓反射鏡2的第1焦點A的方式被配置。

此外，為了對在該光源20之電極間產生的電漿利用雷射光供給能量，由雷射震盪器30射出的雷射光，透過光束擴開器等光學元件，調整該雷射光的光束直徑，朝向該橢圓反射鏡2的開口周緣擴展該雷射光的光束直徑。此時，使與藉由該橢圓反射鏡2反射的光的光徑重疊的方式調整該雷射光的擴展角，使雷射光聚光於配置在該橢圓反射鏡2的第1焦點A之該光源20的電極間。在本實施例，該雷射震盪器30，被配置於比平板型的該光束分離器4更靠近圖面下方。此外，該雷射震盪器30之雷射射出口31，係被配置在該橢圓反射鏡2的長軸上，且在未以平板型之該光束分離器4改變光的進行方向的場合之第2焦點位置(第2焦點B)。此外，在本實施例做為雷射震盪器30，由容易安裝，可以產生大輸出的雷射光之觀點來看，使用輸出波長約1μm的紅外線之纖維雷射。

此外，該光束分離器4，為平板型，成為透過雷射光而反射由該光源20放射的光之構造。具體而言，透過由該雷射震盪器30射出的波長1μm的紅外線，但是反射由該光源1放射而藉由該橢圓反射鏡2反射的光之半導體曝光上一般常被利用之來自水銀的i線(波長365nm之紫外線)。該光束分離器4，例如係由交互重疊TiO₂ 與SiO₂ 之介電質多層膜所構成，藉由適切的設定該介電質多層膜的膜厚與膜的總數，可以透過所要的波長之雷射光，而反射由光源放射的所要的波長之光。

根據相關的構成，使透過該光束分離器4之雷射光由該橢圓反射鏡2的開口側入射，而以該橢圓反射鏡2反射，聚光於該光源20。在此場合，因為沒有必要為了取入雷射光而在該橢圓反射鏡2之反光面開孔，可以利用該橢圓反射鏡2之全體反射面，所以具有可以效率佳地以該橢圓反射鏡2聚光由該光源20放射之紫外線之優點。此外，透過該橢圓反射鏡2使雷射光射入該光源20，所以可以使雷射光擴展於該橢圓反射鏡2的反射面全體而由該橢圓反射鏡2往該光源20射入。因此，該光源20之通過該放電容器21的雷射光的每單位面積的能量密度可以降低，所以具有不會引起在該放電容器21開孔等不良情形之效果。

[第2實施例]

圖2所示者，係本發明之第2實施例。圖2之曝光裝置50，基本構造與圖1所示之曝光裝置1幾乎相同，相同構件賦予與圖1所示之編號相同的編號。在圖2光源20、橢圓反射鏡2被設置於燈屋3內。由該光源20放射的光，以該橢圓反射鏡2反射，以蒸鍍鋁等金屬膜的平面反射鏡51改變由該光源20放射的光的方向，在開口(aperture)5附近被聚光。其後，透過準直儀透鏡6、積分器透鏡7以平面反射鏡8再度改變進行方向而透過第2準直儀透鏡9、遮罩面10再度照設置半導體晶圓等被照射面11。

在本實施例，在該開口5與該準直儀透鏡6之間，配置平板型之光束分離器52。該光束分離器52，在該開口5側被形成紅外線反射膜，由雷射震盪器30放射的雷射光(例如，波長1μm)透過聚焦透鏡53入射，以聚焦於該開口5附近的方式，以該光束分離器52反射。此處，該聚焦透鏡53，係使由雷射震盪器30放射的雷射光，藉由被配置在該雷射射出口31的光束擴展器等暫時擴展，其後，重疊在由該橢圓反射鏡反射的光的光徑上，以擴開於該橢圓反射鏡2的開口周緣的方式，調整該雷射光的光束直徑。

以該光束分離器52反射的雷射光由該橢圓反射鏡2的開口側入射，對該光源20供給能量。由藉由此雷射光供給能量的該光源20，例如放射波長365nm的紫外線，以該平面反射鏡51改變行進方向，通過該開口5，而透過被配置在光徑上的該光束分離器52。其後，進而透過該準直儀透鏡6、該積分器透鏡7、該第2準直儀透鏡、該遮罩面10而照射至被照射面11。

此第2實施例的構成，只要在既有的該曝光裝置50之光徑中，插入配置該光束分離器52即可達成。只要透過使用於該曝光之紫外線，而反射該雷射光的話，光束分離器的朝向可以任意選擇。在本實施例係把雷射震盪器30配置於下側，但配置於上側亦可。亦即，可以在既有的該曝光裝置之空的空間配置包含雷射震盪器30或其他光學系之雷射裝置，而光束分離器的朝向/配置可以自由設計。如此一來具有可以使該曝光裝置全體緊密化之優點。

[第3實施例]

圖3係本發明之第3實施例。圖3所示之曝光裝置60，基本構造與圖2所示之第2實施例之曝光裝置50同等。在本實施例，替代圖2所示之該光束分離器52，而配置曲面形狀之光束分離器61。該光束分離器61，形狀為曲面形狀，係以該開口5側之面反射雷射光，同時透過由該光源20放射的光的方式被構成。具體而言，設有反射紅外光，透過紫外線之介電質多層膜。在本實施例，由該雷射震盪器30以光束擴開器等擴開之雷射光，藉由該光束分離器61，在該開口5的位置聚光，其後以擴開於該橢圓反射鏡2的開口周緣的方式，設計該光束分離器61的曲面。

如此般，在第3實施例，因為該光束分離器61為曲面形狀，所以不經由聚焦透鏡即可聚光由該雷射震盪器30射出之雷射光，所以具有可使該曝光裝置30更為緊密的效果。

[第4實施例]

圖4係本發明之第4實施例。圖4所示之曝光裝置70之基本構造，與圖2所示之第2實施例之曝光裝置50同等。在本實施例，具備與圖2所示之光束分離器52同等的平板型光束分離器71。但是其被配置的位置，係在準直儀透鏡6與積分器透鏡7之間，被配置在由該橢圓反射鏡2反射的光成為約略平行光而行進的部分。此外，入射至該光束分離器71的雷射光，作為形成被配置於該雷射震盪器30的射出口側之中空光的構件，例如使用圓錐透鏡(cone lens)。

針對該圓錐透鏡72進行說明。圖5係沿著光射入方向切斷該圓錐透鏡之剖面圖。係該圓錐透鏡72使雷射光由約略圓錐形的凹部之入射面77射入，而具有由玻璃體構成的光折射部76、約略圓錐形的光射出部75所構成之彎月(meniscus)構造之光學元件。如圖5所示，從雷射震盪器30的雷射射出口31射出之雷射光(以箭頭顯示其光徑)，在該圓錐透鏡72的入射面77分歧成2個方向，通過光折射部76使該雷射光成為在光束直徑的中央部分沒有光的環狀，或者是變換為甜甜圈狀，而由光射出部射出。

在圖4之曝光裝置70藉由該圓錐透鏡72，由該雷射震盪器30射出的雷射光，在其光束直徑的中心部分沒有光，形成為環狀，或是甜甜圈狀的雷射光(中空光)。具體而言，藉由該圓錐透鏡72，該雷射光的光束直徑，被形成為如下所述。該雷射光的外側部721與內側部722之間是有光的部分。此外，在外側部724與內側部723之間是有光的部分。在內側部722與內側部723係沒有光的部分，此部分形成中空狀態。此外，此中空光，入射至該橢圓反射鏡2的場合，如以下所述。在該圓錐透鏡72射出的時間點之該雷射光的該外側部721係對應於在入射至該橢圓反射鏡2的時間點之朝向開口周緣入射的外側部725。此外，該外側部724對應於外側部728。進而，在由該圓錐透鏡72射出的時間點之該雷射光的該內側部722係對應於在入射至該橢圓反射鏡2的時間點之內側部726。此外，該內側部723對應於內側部727。

如此般，在第4實施例，係使由雷射震盪器30射出的雷射光藉由形成中空光的構件之圓錐透鏡72，而形成為在其光束直徑的中心部分沒有光的中空光，而該中空光入射至該橢圓反射鏡2。此時雷射光不會由該橢圓反射鏡2之開口側直接射入該光源20之供電部23a或放電容器21(相當於內側部726，727之間的部分)，所以具有可以使雷射光效率佳地由該橢圓反射鏡2入射至該光源20之優點。進而，因為雷射光不會直接射入該光源20之供電部23a或放電容器21，所以該光源20不會無謂地被雷射光加熱，具有可以有效率地利用雷射光之優點。

1．．．曝光裝置

2．．．橢圓反射鏡

3．．．燈屋(lamp house)

4．．．光束分離器(beam splitter)

5．．．開口(aperture)

6．．．準直儀透鏡

7．．．積分器透鏡

8．．．平面反射鏡

9．．．第2準直儀透鏡

10．．．遮罩面

11．．．被照射面

20．．．光源

21．．．放電容器

22．．．電極

22a．．．陽極

22b．．．陰極

23a．．．供電部

23b．．．供電部

A．．．第一焦點

B．．．第二焦點

25．．．燈軸

26．．．長軸

30．．．雷射震盪器

31．．．雷射射出口

50．．．曝光裝置

51．．．平面反射鏡

52．．．光束分離器(beam splitter)

53．．．聚焦透鏡

60．．．曝光裝置

61．．．光束分離器(beam splitter)

70．．．曝光裝置

71．．．光束分離器(beam splitter)

72．．．圓錐透鏡(cone lens)

721．．．外側部

722．．．內側部

723．．．內側部

724．．．外側部

725．．．外側部

726．．．內側部

727．．．內側部

728．．．外側部

75．．．光射出部

76．．．光折射部

77．．．入射面

101．．．半導體曝光裝置

102．．．雷射震盪器

103．．．光學零件

104．．．光學零件

105．．．聚焦透鏡

106．．．無電極放電燈

107．．．橢圓反射鏡

108．．．光學系

109．．．吸光板

110．．．孔穴部

110a．．．光取入孔

110b．．．光取出孔

121．．．半導體晶圓

圖1係顯示此發明之曝光裝置之第1實施例之概略圖。

圖2係顯示此發明之曝光裝置之第2實施例之概略圖。

圖3係顯示此發明之曝光裝置之第3實施例之概略圖。

圖4係顯示此發明之曝光裝置之第4實施例之概略圖。

圖5係顯示圓錐透鏡(cone lens)的概略之剖面圖。

圖6係顯示從前的曝光裝置之概略圖。

1．．．曝光裝置

2．．．橢圓反射鏡

3．．．燈屋(lamp house)

4．．．光束分離器(beam splitter)

5．．．開口(aperture)

6．．．準直儀透鏡

7．．．積分器透鏡

8．．．平面反射鏡

9．．．第2準直儀透鏡

10．．．遮罩面

11．．．被照射面

20．．．光源

21．．．放電容器

22a．．．陽極

22b．．．陰極

23a．．．供電部

23b．．．供電部

A．．．第一焦點

B．．．第二焦點

25．．．燈軸

26．．．長軸

30．．．雷射震盪器

Claims (10)

1. 一種曝光裝置，係具有：放射紫外線之光源、供射入對該光源供給能量之雷射光的雷射裝置、反射由該光源放射的紫外線之橢圓反射鏡、及以該橢圓反射鏡反射由配置在該橢圓反射鏡的第1焦點之該光源所放射的光，透過光學元件對被照射物照射之光學系的曝光裝置，其特徵為：為了使雷射光對該光源由該橢圓反射鏡的開口側射入，而在藉由該橢圓反射鏡反射的光的光徑中設置具有波長選擇功能的光束分離器；前述雷射裝置，係以雷射光藉由前述橢圓反射鏡聚光於配置在該橢圓反射鏡的第1焦點的前述光源的方式，使其射出的雷射光的擴開角，朝向該橢圓反射鏡的開口周緣擴開的方式被配置。
2. 如申請專利範圍第1項之曝光裝置，其中前述橢圓反射鏡的第1焦點與第2焦點之間被配置光束分離器。
3. 如申請專利範圍第1或2項之曝光裝置，其中前述雷射裝置，在雷射光的射出口與前述光束分離器之間被配置使雷射光平行化，或者是聚焦之透鏡。
4. 如申請專利範圍第1或2項之曝光裝置，其中前述光源，具備對向於放電容器內之一對電極，與該電極導電連接的供電部由其閥部之兩端突出，連結該電極、通過各個之該供電部之燈軸，與前述橢圓反射鏡之長軸約略一致。
5. 如申請專利範圍第4項之曝光裝置，其中前述雷射裝置，在雷射光之射出口側，具有形成中空光之構件。
6. 如申請專利範圍第1或2項之曝光裝置，其中前述光學元件，含積分器透鏡；前述光束分離器，比該光徑中之積分器透鏡更靠近光源側，被設在該光徑中之光係約略平行光之範圍。
7. 如申請專利範圍第1或2項之曝光裝置，其中前述光束分離器，係比該橢圓反射鏡之第2焦點更靠近光源側，被設在連結該橢圓反射鏡的第1焦點與第2焦點的直線上。
8. 如申請專利範圍第1或2項之曝光裝置，其中前述光學元件，含準直儀透鏡；前述光束分離器，係被設在存在於從該橢圓反射鏡放射的光的光徑中之第2焦點，與該準直儀透鏡之間。
9. 如申請專利範圍第8項之曝光裝置，其中前述光束分離器係平面形狀。
10. 如申請專利範圍第8項之曝光裝置，其中前述光束分離器係曲面形狀。