CN105045041B - Led光源曝光装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种LED光源曝光装置，包括：站台，用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，包括加装于底板并产生用于对感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，配置为使从光源部产生的光透过；平行光反射镜，使通过积分透镜的光转换成平行光，朝放置在站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，对加装于底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。因此，底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑，可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手，使光源部的光轴倾斜，使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜，从而使LED光源曝光装置的性能提高。

Description

LED光源曝光装置

技术领域

本发明涉及LED光源曝光装置，更详细而言，涉及一种包括能够调节光源部的光轴的光轴调整器的LED光源曝光装置。

另外，本发明涉及一种具备向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气的冷气供应单元。

背景技术

以往曝光工序中使用的普通曝光装置以利用在注入了诸如水银的放电气体的放电灯中生成的紫外线频带的光对感光物质进行曝光的方式构成。

这种放电灯一般寿命较短，在1,000小时左右，不仅因更换而造成的消耗性费用增加，而且每当更换时，存在需要长时间停顿的问题。特别是在停顿期间，需要对放电灯的冷却时间、更换作业时间及诸如更换的新放电灯的位置调整等设置时间等，因而每当更换放电灯时，对生产带来相当的麻烦。

另外，放电灯开启/关闭时，直至以正常状态运转需要相当长的时间，而且，频繁开启/关闭操作时，因热应力而会裂纹，所以，一般始终保持开启状态使用。因此，存在产生不必要的电力浪费等问题。而且，这种放电灯以其射出光向所有方向放射的形态构成，因而应通过椭圆镜对这种射出光进行集光，存在光源效率下降等问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：KR B 10-1104367(2012.01.03)

发明内容

本发明旨在解决如上所述的问题，其目的在于提供一种LED光源曝光装置，包括能够调节LED灯的光轴的光轴调整器，使得LED灯照射的光线准确地入射积分透镜。

本发明的另一目的在于提供一种LED光源曝光装置，具备向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气而使LED灯迅速高效散热并提高LED灯预期寿命及性能的冷气供应单元。

旨在达成所述目的的本发明技术思想借助于以下LED光源曝光装置达成，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。

根据本发明的另一方面，借助于以下LED光源曝光装置达成，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及冷气供应单元，其为了使因所述光源部的LED灯运转而产生热冷却，向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气。

根据本发明的LED光源曝光装置，底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑，可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手，使光源部的光轴倾斜，使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜，从而使LED光源曝光装置的性能提高。

另外，根据本发明的LED光源曝光装置，因LED灯运转而产生的热借助于热管和散热针及散热扇而冷却，此时，借助于涡流管喷射的冷气，散热针和散热扇更迅速地冷却，使LED灯的冷却效率提高，不仅使LED灯的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提高。

附图说明

图1是概略地显示本发明一实施例的LED光源曝光装置的构成的概念图；

图2是显示本发明一实施例的LED光源曝光装置中加装于底板的光源部的立体图；

图3是从前面观察本发明一实施例的LED光源曝光装置中底板的视图；

图4是图3的A-A线的剖面图；

图5是图4的B部放大图；

图6是显示本发明的LED光源曝光装置中光轴调整器的另一实施例的放大图；

图7是概略地显示本发明另一实施例的LED光源曝光装置构成的概念图；

图8是摘取本发明另一实施例的LED光源曝光装置中光源部和涡流管的立体图；

图9是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的立体图；

图10是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的侧剖面图；

图11是显示本发明另一实施例的LED光源曝光装置中涡流管安装的平剖面图；

图12是显示本发明又一实施例的LED光源曝光装置的概略图；

图13是本发明又一实施例的LED光源曝光装置的剖面图。

其中，附图标记说明如下：

100 站台

200 光源部

210 底板

211 光轴孔

220 LED灯

230 镜筒

231 凹陷部

231a 凹陷部

240 集光透镜

250 光轴调整器

251 贯通杆

251a 旋转把手

252 支撑架

252a 头部

253 弹性构件

253a 安置槽

255 热管

260 驱动马达

265 散热针

270 散热扇

280 冷却控制部

500 冷气供应单元

510 涡流管

具体实施方式

本说明书及权利要求书中使用的术语或词语并非限定于通常的或字典的意义进行解释，基于发明人为了以最佳方法解决自身的发明而可以适当地定义术语的概念的原则，应解释为符合本发明技术思想的意义和概念。

下面参照附图，详细说明本发明的优选实施例。

图1是概略地显示本发明一实施例的LED光源曝光装置的构成的概念图。

如果参照附图进行说明，本发明包括光轴调整器的LED光源曝光装置包括：站台100，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板P；底板210，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部200，其包括加装于底板210并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯220；积分透镜300，其配置为使从光源部200产生的光透过；平行光反射镜400，其使通过积分透镜300的光转换成平行光，朝放置在站台100的被处理基板P反射；以及光轴调整器250，其对加装于底板210另一侧面的各个光源部200进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部200的光轴倾斜。

如果进一步说明，站台100以平板形形成，以便放置用于曝光工序的被处理基板P，放置在站台100上的被处理基板P以上面涂布有感光物质P1的形态构成。

另外，底板210形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211。在这种底板210的另一侧面加装有光源部200，使得通过光轴孔211从LED灯220照射的光线入射到积分透镜300。

如果底板210的一侧面如此形成凹陷的曲面，那么当光源部200加装于底板210的另一侧面时，各个光源部200的光轴朝向既定地点，从而进一步提高对从LED灯220分别产生的光线的集中度。

另一方面，在底板210的另一侧面加装的光源部200包括产生用于使被处理基板P的感光物质P1曝光的曝光用光的多个LED灯220和镜筒230、集光透镜240的构成。根据图2至图4对此进行说明。

图2是显示本发明一实施例的LED光源曝光装置中加装于底板的光源部的立体图，图3是从前面观察本发明一实施例的LED光源曝光装置中底板的视图，图4是图3的A-A线的剖面图。

如果参照附图进行说明，LED灯220一般以在LED基板上贴装LED芯片的形态形成，也可以以在一个LED基板上贴装多个LED芯片222的形态构成，但在本发明中，是以在一个LED基板上贴装一个LED芯片的形态构成，以使LED灯220可以个别地运转。另外，LED灯220可以使用能够产生紫外线区域的光的UV LED灯220。这种LED灯220配置于加装有集光透镜240的镜筒230的另一侧，加装于底板210的另一侧面，使得镜筒230的一侧与在底板210上形成的光轴孔211具有相同的轴线。此时，在LED灯220的前方配置有集光透镜240，使得从LED灯220照射的光线可以集光到积分透镜300，集光透镜240加装于镜筒230。

即，LED灯220不同于以往技术的放电灯，在其特性上，产生的光具有相对朝向既定方向的直线性，因而在底板210上形成的每个光轴孔211，均配置有加装有集光透镜240的镜筒230，以便从多个LED灯220分别发出的光入射到积分透镜300。如果如此在底板210与LED灯220之间形成镜筒230，那么与从LED灯220产生的光线无关在镜筒230外部产生的光线被镜筒切断，LED灯220照射的光线通过加装于镜筒230的集光透镜240而高效地集中到积分透镜300。这种镜筒230具有中空管形状，在其内周面上可以配置有将LED灯220产生的光线反射到集光透镜240的反射板(图中未示出)。这种镜筒230不仅是圆筒形状，还可以以诸如中空的四棱或三棱柱的多棱柱形态构成。

另一方面，光源部200的LED灯220照射的光线如前面说明所示入射到积分透镜300，积分透镜300可以由透镜按多个行与列配置的多眼透镜(Fly eye lens)构成，这种透镜执行使光分布更良好的作用。

另外，平行光反射镜400构成为使通过积分透镜300的光转换为平行光并向站台100反射，既可以如图1所示由一个球面镜构成，也可以与其不同，由多个球面镜及平面镜等构成，其构成可以根据使用者的需要而多样地变更。

另一方面，光源部200如前面说明所示，加装于具有凹陷曲面的底板210的另一侧面，光源部200稳定地固定于底板210，光源部200和底板210被光轴调整器250支撑，以便根据需要，光源部200的光轴可以准确入射到积分透镜300。根据图5对此进行说明。

图5是图4的B部放大图。如果参照附图进行说明，光轴调整器250对在底板210的另一侧面加装的各个光源部200进行固定，根据旋转操作而进行调节，使得光源部200的光轴倾斜，光源部200的各个LED灯220照射的光线冷却地照射到积分透镜300。

这种光轴调整器250包括：贯通杆251，其贯通底板210和镜筒230，向底板210的一侧面形成有旋转把手251a；支撑架252，其与贯通杆251具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑镜筒230的另一侧面的头部252a；以及弹性构件253，其插入贯通杆251，向底板210与镜筒230之间提供弹性反弹力。因此，随着旋转把手251a被使用者旋转，贯通杆251与支撑架252借助于螺纹结合而进行直线移动，使底板210与镜筒230之间接近或远离。

这种光轴调整器250以在底板210上形成的光轴孔211为中心排列成圆形，从而当需要变更光轴时，在以光轴孔211为中心排列成圆形的光轴调整器250中，旋转操作位于要调节光轴的地点的光轴调整器250的旋转把手251a，于是，相应的贯通杆251与支撑架252的长度在变短或变长的同时，使光源部200的光轴倾斜，获得需要的角度。

如此以底板210的光轴孔211为中心排列成圆形的光轴调整器250如图2及图3所示，既可以以光轴孔211为中心具有均等间隔地排列4个，但根据情况，也可以是3个光轴调整器250具有均等间隔地以光轴孔211为中心排列成圆形。

另一方面，在底板210的另一侧面与镜筒的一侧面，形成有放置弹性构件253的安置槽253a。如果如此在底板210的另一侧面和镜筒230的一侧面形成安置槽253a，那么当弹性构件253压缩或膨胀时，受到安置槽253a引导而可以顺利地运转。另外，与镜筒230的另一侧面接触的支撑架252的头部252a形成为具有球形形态，在与这种头部252a接触的镜筒230的另一侧面，形成有与头部252a符合的凹陷部231a。

支撑架252的头部252a具有球形形态并位于在镜筒230的另一侧面形成的凹陷部231a后，即使镜筒230随着贯通杆251与支撑架252长度的接近与远离而倾斜，支撑架252的头部252a也能够保持与凹陷部231a表面稳定贴紧的状态，稳定地支撑光源部200。

就如上所述的本发明包括光轴调整器的LED光源曝光装置而言，底板210与光源部200的镜筒230被光轴调整器250支撑，可以根据需要而操作光轴调整器250的旋转把手251a，调节使得光源部200的光轴倾斜，使得LED灯220照射的光线能够准确地入射到积分透镜300，从而使LED光源曝光装置的性能提高。

另一方面，本发明并非限定于前面说明的实施例，可以在不超出本发明要旨的范围内进行修改及变形实施，即使施加这种修改及变形，也应视为属于本发明的技术思想。例如，还可以使光轴调整器的操作不依赖于作业者，而是借助于驱动马达而操作。根据图6对此进行说明。

图6是显示本发明的LED光源曝光装置中的光轴调整器另一实施例的放大图。如图所示，光轴调整器250与进行旋转控制的驱动马达260连接，构成为随着驱动马达260的运转而使得旋转把手251a或支撑架252旋转。如上所述，如果驱动马达260与旋转把手251a或支撑架252连接，随着驱动马达260的运转，旋转把手251a或支撑架252旋转，可以调节相应地点的底板210与镜筒230间的距离，可以调节光源部200的光轴。在图6中，虽然图示了驱动马达260与支撑架252的头部252a连接，但根据情况，使得贯通杆251的旋转把手251a与驱动马达260连接，从而随着驱动马达260的运转，贯通杆251旋转，支撑架252朝向贯通杆251直线移动，使光源部200的光轴不依赖于手动操作，可以控制驱动马达，便利地调节。

图7是概略地显示本发明另一实施例的LED光源曝光装置构成的概念图。

如果参照附图进行说明，本发明的具备冷气供应单元的LED光源曝光装置包括：站台100，其用于放置涂布有感光物质P1的被处理基板P；底板210，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211；光源部200，其包括加装于底板210并产生用于对感光物质P1进行曝光的光的多个LED灯220；积分透镜300，其配置为使从光源部200产生的光透过；平行光反射镜400，其使通过积分透镜300的光转换成平行光，朝放置在站台100的被处理基板P反射；冷气供应单元500，其为了使因光源部200的LED灯220运转而产生热冷却，向安装在LED灯220后方的散热针260和散热扇270吹入冷气。

如果进一步说明，站台100以平板形形成，以便放置用于曝光工序的被处理基板P，放置在站台100上的被处理基板P以上面涂布有感光物质P1的形态构成。另外，底板210形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211。在这种底板210的另一侧面加装有光源部200，使得通过光轴孔211从LED灯220照射的光线入射到积分透镜300。如果底板210的一侧面如此形成凹陷的曲面，那么当光源部200加装于底板210的另一侧面时，各个光源部200的光轴朝向既定地点，因而使得进一步提高对从LED灯220分别产生的光线的集中度。

另一方面，在底板210的另一侧面加装的光源部200包括产生用于使被处理基板P的感光物质P1曝光的曝光用光的多个LED灯220和镜筒230、集光透镜240的构成，为了使因LED灯运转而产生热冷却，向镜筒后方安装有散热针和散热扇及冷气供应单元。根据图8至图10对此进行说明。

图8是摘取本发明另一实施例的LED光源曝光装置中光源部和涡流管的立体图，图9是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的立体图，图10是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的侧剖面图。

如果参照附图进行说明，LED灯220一般以在LED基板P上贴装LED芯片的形态形成，也可以以在一个LED基板P上贴装多个LED芯片222的形态构成，但在本发明中，是以在一个LED基板P上贴装一个LED芯片的形态构成，以使LED灯220可以个别地运转。另外，LED灯220可以使用能够产生紫外线区域的光的UV LED灯220。这种LED灯220配置于加装了集光透镜240的镜筒230的另一侧，加装于底板210的另一侧面，使得镜筒230的一侧与在底板210上形成的光轴孔211具有相同的轴线。此时，在LED灯220的前方配置有集光透镜240，使得从LED灯220照射的光线可以集光到积分透镜300，集光透镜240加装于镜筒230。即，LED灯220不同于以往技术的放电灯，在其特性上，产生的光具有相对朝向既定方向的直线性，因而在底板210上形成的每个光轴孔211，均配置有加装了集光透镜240的镜筒230，以便从多个LED灯220分别发出的光入射到积分透镜300。如果如此在底板210与LED灯220之间形成镜筒230，那么与从LED灯220产生的光线无关的在镜筒230外部产生的光线被镜筒切断，LED灯220照射的光线通过加装于镜筒230的集光透镜240而高效地集中到积分透镜300。

这种镜筒230具有中空管形状，在其内周面上可以配置有将LED灯220产生的光线反射到集光透镜240的反射板(图中未示出)。这种镜筒230不仅是圆筒形状，还可以以诸如中空的四棱或三棱柱的多棱柱形态构成。

另一方面，光源部200的LED灯220照射的光线如前面说明所示入射到积分透镜300，积分透镜300可以由透镜按多个行与列配置的多眼透镜(Fly eye lens)构成，这种透镜执行使光分布更良好的作用。

另外，平行光反射镜400构成为使通过积分透镜300的光转换为平行光并向站台100反射，既可以如图7所示由一个球面镜构成，也可以与其不同，由多个球面镜及平面镜等构成，其构成可以根据使用者的需要而多样地变更。

另一方面，接受传递因LED灯220的运转而产生的热的热管255向镜筒230后方延长，以便使因在镜筒230的另一侧面安装的LED灯220的运转而产生的热能够迅速冷却。

另外，在热管255上形成有散热针260，使从LED灯220传递到热管255的热释放到空气中，在散热针260的一侧安装有散热扇270，使得散热针260与空气能够顺利接触。

因此，随着LED灯220的运转而产生的热通过LED基板P传递到热管255，移送到散热针265，释放到大气中，当如此通过散热针265释放热时，启动散热扇270，使得进行了热交换的空气远离散热针265而使冷空气送风到散热针265。

特别是本发明的LED光源曝光装置配备有冷气供应单元500，当借助于散热针265和散热扇270使LED灯220冷却时，向散热针265和散热扇270吹入比滞留于内设了站台100、光源部200、积分透镜300、平行光反射镜400的外壳10中的空气温度低的冷气，使LED灯220迅速冷却。

这种冷气供应单元500包括向散热针265和散热扇270喷射冷气的涡流管510与向涡流管510提供压缩空气的压缩空气供应源520。如果进一步说明，涡流管510以如下结构构成，形成有向散热针265和散热扇270喷射冷气的冷气排出口511，形成向冷气排出口511的对面排出热气的热气排出口512，在冷气排出口511与热气排出口512之间形成有涡流旋转室513。

另外，压缩空气供应源520用于把内设有光源部200的外壳10外部的空气压缩成既定压力并供应给涡流管510，这种压缩空气供应源520由包括对空气进行压缩的压缩机主体和存储压缩空气的罐的空气压缩机(aircompressors)构成，当需要冷却LED灯220时，把压缩空气供应给涡流管510。

因此，压缩空气供应到涡流管510后，压缩空气首先流入涡流旋转室513，进行超高速旋转。如此超高速旋转的压缩空气向涡流管510的热气排出口512端流动期间，一部分通过热气排出口512排出，其余者经过涡流旋转室513实现热交换，把温度比通过热气排出口512排出的空气低的冷气，通过冷气排出口511向散热针265和散热扇270喷射，使散热针265和散热扇270冷却。

此时，在排出冷气的冷气排出口511，可以配备有使冷气向散热针265和散热扇270均匀扩散、喷射的扩散器(图中未示出)，如此通过扩散器喷射的冷气，其一部分通过散热扇270向散热针265迅速移动，在与散热针265接触的同时实现热交换，其余向散热针265的外侧周围移动，形成气帘，切断外壳10内部滞留的热气与散热针265接触，使因LED灯220的运转而产生的热迅速冷却，不仅使LED灯220的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提高。

另一方面，如上所述使光源部200的散热针265和散热扇270冷却的涡流管510如图5所示，安装为使涡流管510的热气排出口512引出到外壳10外部，在涡流管510的涡流旋转室513中进行了热交换的热气排出到外壳10的外部，不产生诸如使外壳10内部温度上升的不良影响，使得能够更迅速地执行LED灯220的冷却。

具有如上所述构成的本发明的LED光源曝光装置借助于热管255和散热针265及散热扇270冷却因LED灯220的运转而产生的热，此时，借助于涡流管510喷射的冷气，散热针265和散热扇270被更迅速地冷却，使LED灯220的冷却效率提高，不仅使LED灯220的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提高。

另一方面，本发明并非限定于前面说明的实施例，可以在不超出本发明要旨的范围内进行修改及变形实施，即使施加这种修改及变形，也应视为属于本发明的技术思想。例如，在光源部200配置有温度感知传感器290及冷却控制部280，冷气供应单元500可以根据LED灯220的温度而运转。根据图12对此进行说明。

图12是本发明又一实施例具备冷气供应单元的LED光源曝光装置的概略图。如果参照附图进行说明，在光源部200配置有测量LED灯220温度的温度感知传感器290和根据温度感知传感器290测量的温度而控制冷气供应单元500运转的冷却控制部280，使得冷气供应单元500能够根据LED灯220的温度而运转。

温度感知传感器290与LED灯220接近安装，感知LED灯220运转导致的温度变化，向冷却控制部280发送电信号。温度感知传感器290如此感知的LED灯220的温度在冷却控制部280进行处理，当LED灯220的温度高于设置的温度时，使冷气供应单元500的压缩空气供应源520运转，通过涡流管510向散热针265和散热扇270喷射冷气而使之冷却。

与此相反，当LED灯220的温度低于设置的温度时，冷却控制部280使压缩空气供应源520的运转中止，防止因冷气供应单元500过度运转导致的电能损失，使冷气供应单元500的预期寿命增加。

另一方面，本发明的LED光源曝光装置可以形成为一个涡流管510向多个散热针265和散热扇270供应冷气。根据图13对此进行说明。

图13是显示本发明又一实施例的LED光源曝光装置的平剖面图。如果参照附图进行说明，从压缩空气供应源520接受提供压缩空气并喷射冷气的涡流管510如图8及图11所示，既可以每个散热针265和散热扇270个别地安装，以便使各个LED灯220冷却，但根据情况，多个散热针265和散热扇270也可以借助于一个涡流管510喷射的冷气而冷却。

为此，在涡流管510的冷气排出口511，安装有向多个散热针265和散热扇270分歧并喷射涡流管510的冷气的分歧管530，一个涡流管510提供的冷气被分歧管530引导而向多个散热针265和散热扇270喷射。如果如此在涡流管510安装分歧管530，使一个涡流管510向多个散热针265和散热扇270供应冷气，那么，能够减小压缩空气供应源520的负载，减小耗电量，使能源效率最大化。

Claims (13)

1.一种LED光源曝光装置，其特征在于，包括：

站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；

底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；

光源部，其包括：

镜筒，其加装于所述底板的另一侧面；以及

多个LED灯，其加装于所述镜筒的后方并产生用于对所述感光物质进行曝光的光；

积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；

平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的所述被处理基板反射；以及

光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得所述光源部的光轴倾斜，所述光轴调整器包括：

贯通杆，其贯通所述底板和所述镜筒，向所述底板的一侧面形成有旋转把手；

支撑架，其与所述贯通杆具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑所述镜筒另一侧面的头部；以及

弹性构件，其插入所述贯通杆，向所述底板与所述镜筒之间提供弹性反弹力。

2.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述光源部更包括：

集光透镜，其加装于所述镜筒的内部，使所述LED灯的光集光到所述积分透镜。

3.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

在所述底板的另一侧面和所述镜筒的一侧面形成有放置所述弹性构件的安置槽。

4.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

与所述镜筒另一侧面接触的所述支撑架的所述头部具有球形形态。

5.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述光轴调整器以在所述底板上形成的所述光轴孔为中心，呈圆形排列。

6.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述光轴调整器与旋转控制的驱动马达连接，随着所述驱动马达的运转，所述旋转把手或所述支撑架进行旋转。

7.一种LED光源曝光装置，其特征在于，

站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；

底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；

光源部，其包括：

镜筒，其加装于所述底板的另一侧面；以及

多个LED灯，其加装于所述镜筒的后方并产生用于对所述感光物质进行曝光的光；

积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；

平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的所述被处理基板反射；

光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得所述光源部的光轴倾斜，所述光轴调整器包括：

贯通杆，其贯通所述底板和所述镜筒，向所述底板的一侧面形成有旋转把手；

支撑架，其与所述贯通杆具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑所述镜筒另一侧面的头部；以及

弹性构件，其插入所述贯通杆，向所述底板与所述镜筒之间提供弹性反弹力；以及

冷气供应单元，其为了使因所述光源部的所述LED灯运转而产生的热冷却，向安装在所述LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气。

8.根据权利要求7所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述光源部更包括：

集光透镜，其加装于所述镜筒的内部，使所述LED灯的光集光到所述积分透镜；

热管，其以与所述LED灯的基板接触的状态向所述镜筒的后方延长，接受传递因所述LED灯的运转而产生的热；以及

所述散热针及所述散热扇，其与所述热管连接，对所述热管接受传递的热进行散热。

9.根据权利要求7所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述冷气供应单元包括：

涡流管，其形成有向所述散热针和所述散热扇喷射冷气的冷气排出口，形成有向所述冷气排出口的对面排出热气的热气排出口，在所述冷气排出口与所述热气排出口之间形成有涡流旋转室；以及

压缩空气供应源，其向所述涡流管的所述涡流旋转室供应压缩空气。

10.根据权利要求9所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述涡流管的所述热气排出口引出到内设有所述站台、光源部、积分透镜、以及平行光反射镜的外壳的外部。

11.根据权利要求9所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述涡流管的所述冷气排出口具备使冷气向所述散热针和所述散热扇扩散喷射的扩散器。

12.根据权利要求7所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述光源部更包括：

温度感知传感器，其测量所述LED灯的温度；以及

冷却控制部，其根据所述温度感知传感器测量的温度，控制所述冷气供应单元的运转。

13.根据权利要求9所述的LED光源曝光装置，其特征在于，

所述涡流管的所述冷气排出口具备向所述多个散热针和所述散热扇喷射冷气的分歧管。