JP6404064B2 - 透明導電性フィルム及びその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、透明フィルム基板10上に下地層20、さらにその上に透明電極層30を形成した透明電極付き基板を示している。透明電極層30は図2に示すように31と32のような複数層の構成で形成されていても良い。透明フィルム基板10と下地層20との間にコーティング層が設けられてもよい。透明フィルム基板10を構成する透明フィルムは、少なくとも可視光領域において無色透明であるものが好ましい。
以下、本発明の好ましい実施の形態について、透明電極付き基板の製造方法に沿って説明する。本発明の製造方法では、透明フィルム上にハードコートなど透明誘電体層を備える透明フィルム基板10が用いられる(基板準備工程)。透明電極層はスパッタリング法により形成され(製膜工程)、その後、透明電極層が結晶化される(結晶化工程)。一般に、酸化インジウムを主成分とする非晶質の透明電極層を結晶化するためには、150℃60分程度の加熱処理を実施する。
透明フィルム基板10を構成する透明フィルムは、少なくとも可視光領域で無色透明であり、透明電極層形成温度における耐熱性を有していれば、その材料は特に限定されない。透明フィルムの材料としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフテレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース系樹脂等が挙げられる。中でも、ポリエステル系樹脂が好ましく、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましく用いられる。
透明フィルム基板10の透明下地層20上に、スパッタリング法により透明電極層30が形成される。
非晶質の透明電極層が形成された基板は結晶化工程に供される。結晶化工程では、当該基板が120〜170℃に加熱される。
本発明の透明電極付き基板は、ディスプレイや発光素子、光電変換素子等の透明電極として用いることができ、タッチパネル用の透明電極として好適に用いられる。中でも、透明電極層が低抵抗であることから、静電容量方式タッチパネルに好ましく用いられる。
[実施例1]
(下地層20の製膜)
酸化亜鉛(酸化珪素含量2重量%)をターゲットとして用い、アルゴンガス250sccmに対し窒素ガスを2sccm導入し、製膜室内圧力0.3Pa、基板温度30℃、パワー密度3.0W/cm2の条件で行った。
インラインで酸化インジウム・スズ(酸化スズ含量10重量%)をターゲットとして用い、アルゴンガス250sccmに対し酸素ガス3sccm導入し、製膜室内圧力0.3Pa、基板温度30℃、パワー密度3.0W/cm2の条件で行った。
この透明電極付き基板を140℃で熱処理した。顕微鏡観察によってほぼ完全に結晶化していることが確認された。
製膜したフィルムを25℃・50%RHの環境に90日間静置し、その時のシート抵抗を測定することで評価した。シート抵抗が低下していることと結晶化が進んでいることを等価とした。
加熱前の透明電極付き基板の透明電極層30側の面の向かい合う2辺に平行電極を取り付けた。この際、電極間距離と電極を取り付けた辺の長さとを等しくすることにより、抵抗値からシート抵抗を読み取れるようにした。平行電極を取り付けた状態で、透明導電フィルムを140℃のオーブンに投入し、シート抵抗の経時変化を測定した。抵抗の時間変化が無くなった時の抵抗値(完全結晶化時の抵抗値)とのシート抵抗の差が2Ω/□以内になった時間を、結晶化完了時間とした。
下地層20の製膜において、アルゴンガス250sccmに対し窒素ガスを10sccm導入し製膜を行った以外は、実施例1と同じ条件で実施例2の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の製膜において、アルゴンガス250sccmに対し窒素ガスを100sccm導入し製膜を行った以外は、実施例1と同じ条件で実施例3の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の製膜において、酸化亜鉛(酸化珪素含量5重量%)をターゲットとして用い、アルゴンガス500sccmに対し酸素ガスを3sccm、窒素ガスを10sccm導入し、透明電極層30製膜時に酸化スズ含量7重量%の酸化インジウム・スズ(ITO)をターゲットとして用い製膜を行った以外は、実施例1と同じ条件で実施例4の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の製膜において、アルゴンガス500sccmに対し酸素ガスを3sccm、窒素ガスを100sccm導入し製膜を行った以外は、実施例4と同じ条件で実施例5の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の製膜において、窒素導入をせず製膜を行った以外は実施例1と同じ条件で比較例1の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20を製膜せずに、透明フィルム基板10上に直接透明電極層30を製膜した以外は実施例1と同じ条件で比較例2の透明導電性フィルムを製作した。
透明フィルム基板10上に透明電極層を3nm製膜し、その上に実施例1と同じ条件で透明電極層30を製膜して比較例3の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の代わりに、ターゲットとして珪素の単結晶を用い、アルゴンガス100sccmに対して酸素ガスを20sccm導入し、膜厚3nmで製膜を行った以外は実施例1と同じ条件で比較例4の透明導電性フィルムを製作した。
下地層20の製膜において、窒素導入をせず製膜を行った以外は実施例4と同じ条件で比較例5の透明導電性フィルムを製作した。
20:下地層
30:透明電極層
31、32:透明電極層を構成する層
Claims (6)
- 透明フィルム基板上に、主成分が酸化亜鉛である下地層と、インジウム−スズ複合酸化物からなる透明電極層とを順に有し、
前記下地層は、1〜20質量%の酸化珪素と、窒素とを含有することを特徴とする透明導電性フィルム。 - 前記下地層の膜厚が0より大きく15nm以下である請求項1に記載の透明導電性フィルム。
- 前記下地層の窒素含有量が0.1〜5質量%である請求項1又は2に記載の透明導電性フィルム。
- 前記下地層の550nmにおける屈折率が1.7〜1.9である請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
- 前記下地層の酸化珪素含有量が5〜20質量%である請求項1〜4のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
- 透明フィルム基板に透明電極層を製膜する透明導電性フィルムの製造方法において、
前記透明フィルム基板に前記透明電極層を積層する前に、
酸化亜鉛を主成分とし、酸化珪素を1〜20質量%含有する酸化物下地層を、反応性ガスとして窒素を用いてスパッタリング製膜する工程を有することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014201799A JP6404064B2 (ja) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 透明導電性フィルム及びその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016072136A JP2016072136A (ja) | 2016-05-09 |
JP6404064B2 true JP6404064B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=55867165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014201799A Active JP6404064B2 (ja) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 透明導電性フィルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6404064B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6852996B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2021-03-31 | 株式会社アルバック | 酸化亜鉛化合物膜の成膜方法、および、酸化亜鉛化合物膜 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2908617B2 (ja) * | 1991-09-24 | 1999-06-21 | キヤノン株式会社 | 太陽電池 |
JP2000108244A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Asahi Glass Co Ltd | 透明導電膜とその製造方法および透明導電膜付き基体 |
US7972684B2 (en) * | 2004-08-20 | 2011-07-05 | Teijin Limited | Transparent conductive laminated body and transparent touch-sensitive panel |
WO2012026599A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 国立大学法人九州大学 | ZnO膜の製造方法、透明導電膜の製造方法、ZnO膜、及び透明導電膜 |
JP5101719B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2012-12-19 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル |
JP5339100B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-11-13 | 住友金属鉱山株式会社 | Zn−Si−O系酸化物焼結体とその製造方法およびスパッタリングターゲットと蒸着用タブレット |
-
2014
- 2014-09-30 JP JP2014201799A patent/JP6404064B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016072136A (ja) | 2016-05-09 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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