JP6398264B2 - インターポーザ構造体及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、第1の実施形態について説明する。第1の実施形態は、インターポーザ及び支持基板を備えたインターポーザ構造体に関する。図1は、第1の実施形態に係るインターポーザ構造体を示す断面図である。
次に、第2の実施形態について説明する。図3A乃至図3Fは、第2の実施形態に係るインターポーザ構造体の製造方法を工程順に示す断面図である。
第1の実験では、金属層212と金属層214との間に印加する電圧を表2に示すように変化させて、樹脂層213の離脱しやすさを調査した。なお、樹脂層213の厚さを10.0μmとし、表1に示す化合物の含有量を1.0質量%とした。この結果を表2に示す。
第2の実験では、表1に示す化合物の含有量を表3に示すように変化させて、樹脂層213の離脱しやすさを調査した。なお、樹脂層213の厚さを10.0μmとし、金属層212と金属層214との間に印加する電圧を5.0V(電界強度:0.5MV/m)とした。この結果を表3に示す。
第3の実験では、樹脂層213の厚さを表4に示すように変化させて、樹脂層213の離脱しやすさを調査した。なお、表1に示す化合物の含有量を1.0質量%とし、金属層212と金属層214との間に印加する電圧を5.0V(電界強度:0.5MV/m)とした。この結果を表4に示す。
第4の実験では、試験環境を表5に示すように変化させて、樹脂層213の離脱しやすさを調査した。なお、樹脂層213の厚さを10.0μmとし、表1に示す化合物の含有量を1.0質量%とし、金属層212と金属層214との間に印加する電圧を5.0V(電界強度:0.5MV/m)とした。この結果を表5に示す。
インターポーザと、
前記インターポーザを支持する支持基板と、
を有し、
前記支持基板は、
基板と、
前記基板上の第1の導電層と、
ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を含有する、前記第1の導電層上の樹脂層と、
前記第1の導電層から前記樹脂層により電気的に絶縁された、前記樹脂層上の第2の導電層と、
を有することを特徴とするインターポーザ構造体。
前記樹脂層は、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を総量で1.0質量%以上含有することを特徴とする付記1に記載のインターポーザ構造体。
前記樹脂層は、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を総量で15質量%以下含有することを特徴とする付記2に記載のインターポーザ構造体。
前記インターポーザは第1の樹脂を含有し、
前記樹脂層は、前記第1の樹脂よりも加水分解しやすい第2の樹脂を含有することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体。
前記樹脂層の厚さは10.0μm以下であることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体。
前記第2の導電層と前記インターポーザとの間のエッチングストッパを有することを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体。
支持基板を形成する工程と、
前記支持基板上にインターポーザを形成する工程と、
を有し、
前記支持基板を形成する工程は、
基板上に第1の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層上に、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を含有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層上に、前記第1の導電層から前記樹脂層により電気的に絶縁される第2の導電層を形成する工程と、
を有することを特徴とするインターポーザ構造体の製造方法。
前記樹脂層は、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を総量で1.0質量%以上含有することを特徴とする付記7に記載のインターポーザ構造体の製造方法。
前記樹脂層は、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を総量で15質量%以下含有することを特徴とする付記8に記載のインターポーザ構造体の製造方法。
前記インターポーザは第1の樹脂を含有し、
前記樹脂層は、前記第1の樹脂よりも加水分解しやすい第2の樹脂を含有することを特徴とする付記7乃至9のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体の製造方法。
前記樹脂層の厚さは10.0μm以下であることを特徴とする付記7乃至10のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体の製造方法。
前記支持基板を形成する工程は、前記第2の導電層上にエッチングストッパを形成する工程を有することを特徴とする付記7乃至11のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体の製造方法。
付記1乃至5のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体をプリント基板に固定する工程と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に電界を発生させて、前記第2の導電層の前記樹脂層との界面を酸化させ、前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層を除去する工程と、
前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層の除去後に、前記第2の導電層を除去する工程と、
前記インターポーザ上に半導体チップを搭載する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記6に記載のインターポーザ構造体をプリント基板に固定する工程と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に電界を発生させて、前記第2の導電層の前記樹脂層との界面を酸化させ、前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層を除去する工程と、
前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層の除去後に、前記第2の導電層をエッチングにより除去する工程と、
前記第2の導電層の除去後に、前記エッチングストッパを除去する工程と、
前記インターポーザ上に半導体チップを搭載する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記電界を、水中で、又は温度が85℃以上かつ相対湿度が85%以上の環境下で発生させることを特徴とする付記13又は14に記載の半導体装置の製造方法。
前記電界の強さを0.5MV/m以上とすることを特徴とする付記13乃至15のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
111、211:基板
112:第1の導電層
113、213:樹脂層
114:第2の導電層
115、215:酸化部
120、220:インターポーザ
171、271:プリント基板
174、274:直流電源
181、281:半導体チップ
212、214:金属層
Claims (7)
- インターポーザと、
前記インターポーザを支持する支持基板と、
を有し、
前記支持基板は、
基板と、
前記基板上の第1の導電層と、
ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を含有する、前記第1の導電層上の樹脂層と、
前記第1の導電層から前記樹脂層により電気的に絶縁された、前記樹脂層上の第2の導電層と、
を有し、
前記第2の導電層は、前記樹脂層とは反対側の面にTi層を有することを特徴とするインターポーザ構造体。 - 前記樹脂層は、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を総量で1.0質量%以上含有することを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ構造体。
- 前記インターポーザは第1の樹脂を含有し、
前記樹脂層は、前記第1の樹脂よりも加水分解しやすい第2の樹脂を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のインターポーザ構造体。 - 支持基板を形成する工程と、
前記支持基板上にインターポーザを形成する工程と、
を有し、
前記支持基板を形成する工程は、
基板上に第1の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層上に、ハロゲン化合物又は硫黄化合物の少なくとも一方を含有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層上に、前記第1の導電層から前記樹脂層により電気的に絶縁される、前記樹脂層とは反対側の面にTi層を有する第2の導電層を形成する工程と、
を有することを特徴とするインターポーザ構造体の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインターポーザ構造体をプリント基板に固定する工程と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層の結線された前記Ti層との間に通電し、前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に電界を発生させて、前記第2の導電層の前記樹脂層との界面を酸化させ、前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層を除去する工程と、
前記基板、前記第1の導電層及び前記樹脂層の除去後に、前記第2の導電層を除去する工程と、
前記インターポーザ上に半導体チップを搭載する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記電界を、水中で、又は温度が85℃以上かつ相対湿度が85%以上の環境下で発生させることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電界の強さを0.5MV/m以上とすることを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体装置の製造方法。
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