JP6394301B2 - ガスセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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開示の技術の他の一観点によれば、基板と、前記基板の上方に配置されたグラフェン膜と、前記グラフェン膜に接触する第1の電極及び第2の電極とを有し、前記グラフェン膜が、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有し、前記グラフェンナノリボンのエッジが、OH、NH 2 、及びCH 3 のうちのいずれか一種により修飾され、前記第1の電極及び第2の電極が、Ag、Al、Pd、Ni、Cu、Au及びPtのうちのいずれか1種により形成され、H 2 O又はNO 2 の検出に用いられるガスセンサが提供される。
以下、実施形態について説明する。
まず、図1(a)のように、絶縁基板11の上に、原子レベルで平坦な金属膜12を形成する。
以下、上述の方法により形成されたGNRネットワーク膜を有するガスセンサ(NH3ガスセンサ)の製造方法について説明する。
前記基板の上方に配置されたグラフェン膜と、
前記グラフェン膜に接触する第1の電極及び第2の電極とを有し、
前記グラフェン膜が、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有することを特徴とするガスセンサ。
前記下部電極を覆う絶縁膜とを有し、
前記グラフェン膜は前記絶縁膜上に配置され、
前記第1の電極及び前記第2の電極は前記グラフェン膜上にスリットを挟んで配置されていることを特徴とする付記1又は2に記載のガスセンサ。
前記金属膜上に、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有するグラフェン膜を形成する工程と、
前記第1の基板から前記金属膜と前記グラフェン膜との積層体を剥離する工程と、
前記金属膜と前記グラフェン膜との積層体を第2の基板上に転写する工程と
を有することを特徴とするガスセンサの製造方法。
前記金属膜にスリットを形成して、前記金属膜を、前記スリットを挟んで配置された第1の電極と第2の電極とに分離する工程を有する
ことを特徴とする付記9に記載のガスセンサの製造方法。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の上方に配置されたグラフェン膜と、
前記グラフェン膜に接触する第1の電極及び第2の電極とを有し、
前記グラフェン膜が、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有し、
前記グラフェンナノリボンのエッジが、Cl及びFのうちのいずれか一種により修飾され、
前記第1の電極及び第2の電極が、Ag、Al、Pd、Ni及びCuのうちのいずれか1種により形成され、
NH 3 又はCOの検出に用いられることを特徴とするガスセンサ。 - 基板と、
前記基板の上方に配置されたグラフェン膜と、
前記グラフェン膜に接触する第1の電極及び第2の電極とを有し、
前記グラフェン膜が、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有し、
前記グラフェンナノリボンのエッジが、OH、NH 2 、及びCH 3 のうちのいずれか一種により修飾され、
前記第1の電極及び第2の電極が、Ag、Al、Pd、Ni、Cu、Au及びPtのうちのいずれか1種により形成され、
H 2 O又はNO 2 の検出に用いられることを特徴とするガスセンサ。 - 前記基板の上方に配置された下部電極と、
前記下部電極を覆う絶縁膜とを有し、
前記グラフェン膜は前記絶縁膜上に配置され、
前記第1の電極及び前記第2の電極は前記グラフェン膜上にスリットを挟んで配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ。 - 前記グラフェン膜を加熱するヒーターを有することを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ。
- 第1の基板上に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、複数のアームチェア型グラフェンナノリボンが互いに接したネットワーク構造を有するグラフェン膜を形成する工程と、
前記第1の基板から前記金属膜と前記グラフェン膜との積層体を剥離する工程と、
前記金属膜と前記グラフェン膜との積層体を第2の基板上に転写する工程と、
前記金属膜にスリットを形成して、前記金属膜を第1の電極と第2の電極とに分割する工程と、
を有することを特徴とするガスセンサの製造方法。
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US20080030352A1 (en) * | 2006-02-27 | 2008-02-07 | Thorn Security Limited | Methods and systems for gas detection |
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JP4875517B2 (ja) * | 2007-03-05 | 2012-02-15 | シャープ株式会社 | 化学物質センシング素子、化学物質センシング装置、及び化学物質センシング素子の製造方法 |
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JP2011169634A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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