JP6792141B2 - ガスセンサ及びその使用方法 - Google Patents
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先ず、第1の実施形態について説明する。図1は、第1の実施形態に係るガスセンサの構造を示す断面図である。
VFB0=φg−φs
ΔVFB=Δφg
次に、第2の実施形態について説明する。図8は、第2の実施形態に係るガスセンサの構造を示す断面図である。
ソース半導体領域及びドレイン半導体領域と、
前記ソース半導体領域と前記ドレイン半導体領域との間のチャネル半導体領域と、
前記チャネル半導体領域上方に設けられ、少なくとも一部が気体に接するグラフェン膜と、
前記チャネル半導体領域と前記グラフェン膜との間の誘電体膜と、
を有し、
前記ソース半導体領域から前記チャネル半導体領域へのキャリアの移動がバンド間トンネル効果により生じることを有することを特徴とするガスセンサ。
前記ソース半導体領域、前記チャネル半導体領域及び前記ドレイン半導体領域はバルク半導体を含むことを特徴とする付記1に記載のガスセンサ。
前記ソース半導体領域はバルク半導体を含み、
前記チャネル半導体領域及び前記ドレイン半導体領域は層状物質半導体又は線状物質半導体を含むことを特徴とする付記1に記載のガスセンサ。
前記チャネル半導体領域の材料は、IV族半導体、III−V族化合物半導体、II−VI族化合物半導体、酸化物半導体、窒化物半導体、有機物半導体、層状物質半導体、半導体カーボンナノチューブ又はグラフェンナノリボンであることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のガスセンサ。
前記誘電体膜の材料は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物、ゲルマニウム酸化物、高誘電率絶縁物又は層状絶縁物であることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載のガスセンサ。
前記グラフェン膜に含まれるグラフェンの単位層の数は1層〜100層であることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載のガスセンサ。
付記1乃至6のいずれか1項に記載のガスセンサの前記グラフェン膜の仕事関数の変化量に相当する物理量を検出する工程を有することを特徴とするガスセンサの使用方法。
101、201:チャネル半導体領域
102、202:ソース半導体領域
103、203:ドレイン半導体領域
104、204:誘電体膜
105、205:グラフェン膜
Claims (2)
- バルク半導体を含むソース半導体領域と、
前記ソース半導体領域上に設けられたソース電極と、
ドレイン電極と、
前記ソース半導体領域上に設けられ、層状物質半導体又は線状物質半導体を含む半導体層と、
前記半導体層の上方に設けられ、少なくとも一部が気体に接するグラフェン膜と、
前記半導体層と前記グラフェン膜との間の誘電体膜と、
を有し、
前記半導体層は、前記ソース半導体領域上の部分がチャネル半導体領域として機能し、前記ドレイン電極と接する部分がドレイン半導体領域として機能し、
前記ソース半導体領域から前記チャネル半導体領域へのキャリアの移動がバンド間トンネル効果により生じることを有することを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1に記載のガスセンサの前記グラフェン膜の仕事関数の変化量に相当する物理量を検出する工程を有することを特徴とするガスセンサの使用方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016124681A JP6792141B2 (ja) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | ガスセンサ及びその使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017227561A JP2017227561A (ja) | 2017-12-28 |
JP6792141B2 true JP6792141B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=60891365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6792141B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102177896B1 (ko) * | 2018-12-11 | 2020-11-12 | 고려대학교 산학협력단 | 투명하고 구부림이 가능한 인버터 타입의 볼티지 소형 센서 |
CN110514698B (zh) * | 2019-09-27 | 2022-09-30 | 福州京东方光电科技有限公司 | 一种气体感测装置和气体检测设备 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5480195A (en) * | 1977-12-08 | 1979-06-26 | Seiko Epson Corp | Semiconductor humidity sensor |
JP2005249722A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Denso Corp | 半導体式ガスセンサ |
DE102004013678A1 (de) * | 2004-03-18 | 2005-10-20 | Micronas Gmbh | Vorrichtung zur Detektion eines Gases oder Gasgemischs |
JP5544796B2 (ja) * | 2009-09-10 | 2014-07-09 | ソニー株式会社 | 3端子型電子デバイス及び2端子型電子デバイス |
JP2011085557A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Hiroshima Univ | 半導体センサ及び製造方法 |
KR20130134538A (ko) * | 2012-05-31 | 2013-12-10 | 연세대학교 산학협력단 | 성능조절이 가능한 초 고감도 그라핀 센서 및 그 제조방법 |
DE102012211460A1 (de) * | 2012-07-03 | 2014-01-09 | Robert Bosch Gmbh | Gassensor und Verfahren zum Herstellen eines solchen |
CN103558280A (zh) * | 2013-11-15 | 2014-02-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种基于隧穿场效应晶体管的生物传感器及其制备方法 |
EP2887398B1 (en) * | 2013-12-18 | 2017-09-13 | Imec | A bilayer graphene tunneling field effect transistor |
GB2523173A (en) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | Nokia Technologies Oy | An apparatus and associated methods |
KR20170033865A (ko) * | 2014-07-22 | 2017-03-27 | 브레우어 사이언스 인코포레이션 | 박막형 저항방식 센서 |
JP6394301B2 (ja) * | 2014-11-10 | 2018-09-26 | 富士通株式会社 | ガスセンサ及びその製造方法 |
KR101553796B1 (ko) * | 2015-03-18 | 2015-09-16 | 아주대학교산학협력단 | 트랜지스터형 수소 검출 센서 |
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2016
- 2016-06-23 JP JP2016124681A patent/JP6792141B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017227561A (ja) | 2017-12-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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