JP6392542B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本実施形態による固体撮像装置1000の構成例を示している。図1に示すように、固体撮像装置1000は第1の基板10と第2の基板20とを有する。第1の基板10と第2の基板20とはそれぞれの基板の主面に垂直な方向に重なっている。主面は、基板の表面を構成する複数の面のうち最も広い面である。図1では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
次に、本実施形態の変形例を説明する。図3は、第1の変形例による固体撮像装置1001の構成例を示している。図3では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
図4は、第2の変形例による固体撮像装置1002の構成例を示している。図4では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
図5は、第3の変形例による固体撮像装置1003の構成例を示している。図5では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
図6は、第4の変形例による固体撮像装置1004の構成例を示している。図6では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。図7は、本実施形態による固体撮像装置1010の構成例を示している。図7では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
次に、本実施形態の変形例を説明する。図8は、第1の変形例による固体撮像装置1011の構成例を示している。図8では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
図9は、第2の変形例による固体撮像装置1012の構成例を示している。図9では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
図10は、第3の変形例による固体撮像装置1013の構成例を示している。図10では、第1の基板10と第2の基板20とをそれぞれの基板の主面に垂直な方向に見た状態が示されている。
20 第2の基板
30R,30G カラーフィルタ
31 マイクロレンズ
100 第1の半導体層
101 第1の光電変換部
110 第1の配線層
111 第1の配線
112 第1のビア
113 第1の層間絶縁膜
200 第2の半導体層
201 第2の光電変換部
210 第2の配線層
211 第2の配線
212 第2のビア
213 第2の層間絶縁膜
220 MOSトランジスタ
1000,1001,1002,1003,1004,1010,1011,1012,1013 固体撮像装置
P1 第1の画素
P2 第2の画素
Claims (3)
- 第1の光電変換部を有する複数の第1の画素が2次元の行列状に配置されて構成された第1の基板と、
第2の光電変換部を有する複数の第2の画素が2次元の行列状に配置されて構成された第2の基板と、
各々の前記第1の画素に対応して配置された複数のカラーフィルタと、
を有し、
2色以上の前記カラーフィルタに対応する複数の前記第1の画素は画素群を構成し、
各々の前記画素群が前記第2の画素に対応するように複数の前記画素群が配置され、
前記カラーフィルタを透過した光が、前記カラーフィルタに対応する前記第1の画素の前記第1の光電変換部に入射し、
前記画素群を透過した光が、前記画素群に対応する前記第2の画素の前記第2の光電変換部に入射し、
前記画素群を構成する複数の前記第1の画素に対応する前記カラーフィルタの色の数と、各々の色に対応する前記第1の画素の数とが複数の前記画素群の間で等しく、
前記カラーフィルタは、
Rの帯域に透過率のピークを有するRフィルタと、
Gの帯域に透過率のピークを有するGフィルタと、
Bの帯域に透過率のピークを有するBフィルタと、
を有し、
前記画素群は、前記Rフィルタに対応する2個以上の前記第1の画素を含み、
互いに隣り合う前記画素群は、互いに隣り合う前記画素群の少なくとも一辺が前記第1の画素の画素ピッチ分離間するように配置されている
固体撮像装置。 - 前記Rフィルタと、前記Gフィルタと、前記Bフィルタとが、ベイヤ配列を構成するように配置され、
前記画素群は、前記Rフィルタに対応する2個の前記第1の画素と、前記Gフィルタに対応する1個の前記第1の画素とのみを含む
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 第1の光電変換部を有する複数の第1の画素が2次元の行列状に配置されて構成された第1の基板と、
第2の光電変換部を有する複数の第2の画素が2次元の行列状に配置されて構成された第2の基板と、
各々の前記第1の画素に対応して配置された複数のカラーフィルタと、
を有し、
2色以上の前記カラーフィルタに対応する複数の前記第1の画素は画素群を構成し、
各々の前記画素群が前記第2の画素に対応するように複数の前記画素群が配置され、
前記カラーフィルタを透過した光が、前記カラーフィルタに対応する前記第1の画素の前記第1の光電変換部に入射し、
前記画素群を透過した光が、前記画素群に対応する前記第2の画素の前記第2の光電変換部に入射し、
前記画素群を構成する複数の前記第1の画素に対応する前記カラーフィルタの色の数と、各々の色に対応する前記第1の画素の数とが複数の前記画素群の間で等しく、
前記カラーフィルタは、
Rの帯域に透過率のピークを有するRフィルタと、
Gの帯域に透過率のピークを有するGフィルタと、
Bの帯域に透過率のピークを有するBフィルタと、
を有し、
前記Rフィルタと、前記Gフィルタと、前記Bフィルタとが、ベイヤ配列を構成するように配置され、
前記画素群は、前記Rフィルタに対応する2個以上の前記第1の画素を含み、かつ前記Gフィルタに対応する前記第1の画素および前記Bフィルタに対応する前記第1の画素の少なくとも一方を含み、
前記Gフィルタに対応する前記第1の画素の数は、前記Rフィルタに対応する前記第1の画素の数以下であり、
前記Bフィルタに対応する前記第1の画素の数は、前記Rフィルタに対応する前記第1の画素の数以下である
固体撮像装置。
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