図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板処理装置1を示す断面図である。基板処理装置1は、略円板状の半導体基板9(以下、単に「基板9」という。)に処理液を供給して基板9を1枚ずつ処理する枚葉式の装置である。図1では、基板処理装置1の一部の構成の断面には、平行斜線の付与を省略している(他の断面図においても同様)。
基板処理装置1は、チャンバ12と、トッププレート123と、チャンバ開閉機構131と、基板保持部14と、基板回転機構15と、液受け部16と、カバー17とを備える。カバー17は、チャンバ12の上方および側方を覆う。
チャンバ12は、チャンバ12の下部を含むチャンバ本体121と、チャンバ12の上部を含むチャンバ蓋部122とを備える。チャンバ12は、上下方向を向く中心軸J1を中心とする有蓋かつ有底の略円筒状である。チャンバ本体121は、チャンバ底部210と、チャンバ側壁部214とを備える。チャンバ底部210は、略円板状の中央部211と、中央部211の外縁部から下方へと広がる略円筒状の内側壁部212と、内側壁部212の下端から径方向外方へと広がる略円環板状の環状底部213と、環状底部213の外縁部から上方へと広がる略円筒状の外側壁部215と、外側壁部215の上端部から径方向外方へと広がる略円環板状のベース部216とを備える。環状底部213には、後述の第2排出路192の排出口192aが形成される。
チャンバ側壁部214は、中心軸J1を中心とする環状である。チャンバ側壁部214は、ベース部216の内縁部から上方へと突出する。チャンバ側壁部214を形成する部材は、後述するように、液受け部16の一部を兼ねる。以下の説明では、チャンバ側壁部214と外側壁部215と環状底部213と内側壁部212と中央部211の外縁部とに囲まれた空間を下部環状空間217という。
基板保持部14の基板支持部141(後述)に基板9が支持された場合、基板9の下面92は、チャンバ底部210の中央部211の上面と対向する。以下の説明では、チャンバ底部210の中央部211を「下面対向部211」と呼ぶ。
チャンバ蓋部122は、中心軸J1に垂直な略円板状の円板部225と、円板部225の外縁部から下方に突出する環状の蓋側壁部226とを備える。チャンバ蓋部122は、チャンバ本体121の上部開口を閉塞する。図1では、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から離間した状態を示す。チャンバ蓋部122がチャンバ本体121の上部開口を閉塞する際には、蓋側壁部226の下端がチャンバ側壁部214の上部と接する。
チャンバ開閉機構131は、チャンバ可動部であるチャンバ蓋部122を、チャンバ12の他の部位であるチャンバ本体121に対して上下方向に相対的に移動する。チャンバ開閉機構131は、チャンバ蓋部122を昇降する蓋部昇降機構である。チャンバ開閉機構131によりチャンバ蓋部122が上下方向に移動する際には、トッププレート123もチャンバ蓋部122と共に上下方向に移動する。蓋側壁部226の下端が全周に亘ってチャンバ本体121と接することにより、チャンバ12内に密閉されたチャンバ空間120(図7参照)が形成される。換言すれば、チャンバ蓋部122によりチャンバ本体121の上部開口が閉塞されることより、チャンバ空間120が密閉される。
基板保持部14は、チャンバ空間120に配置され、基板9を水平状態で保持する。すなわち、基板9は、上面91を中心軸J1に垂直に上側を向く状態で基板保持部14により保持される。基板保持部14は、基板9の外縁部(すなわち、外周縁を含む外周縁近傍の部位)を下側から支持する上述の基板支持部141と、基板支持部141に支持された基板9の外縁部を上側から押さえる基板押さえ部142とを備える。基板支持部141は、中心軸J1を中心とする略円環板状の支持部ベース413と、支持部ベース413の上面に固定される複数の第1接触部411とを備える。基板押さえ部142は、トッププレート123の下面に固定される複数の第2接触部421を備える。複数の第2接触部421の周方向の位置は、実際には、複数の第1接触部411の周方向の位置と異なる。
トッププレート123は、中心軸J1に垂直な略円板状である。トッププレート123は、チャンバ蓋部122の下方、かつ、基板支持部141の上方に配置される。トッププレート123は中央に開口を有する。基板9が基板支持部141に支持されると、基板9の上面91は、中心軸J1に垂直なトッププレート123の下面と対向する。トッププレート123の直径は、基板9の直径よりも大きく、トッププレート123の外周縁は、全周に亘って基板9の外周縁よりも径方向(中心軸J1を中心とする径方向)の外側に位置する。
図1に示す状態において、トッププレート123は、チャンバ蓋部122により吊り下げられるように支持される。チャンバ蓋部122は、中央部に略環状のプレート保持部222を有する。プレート保持部222は、中心軸J1を中心とする略円筒状の筒部223と、中心軸J1を中心とする略円環状のフランジ部224とを備える。フランジ部224は、筒部223の下端から径方向内方へと広がる。
トッププレート123は、環状の被保持部237を備える。被保持部237は、中心軸J1を中心とする略円筒状の筒部238と、中心軸J1を中心とする略円環状のフランジ部239とを備える。筒部238は、トッププレート123の上面から上方に広がる。フランジ部239は、筒部238の上端から径方向外方へと広がる。筒部238は、プレート保持部222の筒部223の径方向内側に位置する。フランジ部239は、プレート保持部222のフランジ部224の上方に位置し、フランジ部224と上下方向に対向する。被保持部237のフランジ部239の下面が、プレート保持部222のフランジ部224の上面に接することにより、トッププレート123が、チャンバ蓋部122から吊り下がるようにチャンバ蓋部122に取り付けられる。
トッププレート123の外縁部の下面には、複数の第1係合部241が周方向に配列され、支持部ベース413の上面には、複数の第2係合部242が周方向に配列される。実際には、第1係合部241および第2係合部242は、基板支持部141の複数の第1接触部411、および、基板押さえ部142の複数の第2接触部421とは、周方向において異なる位置に配置される。これらの係合部は3組以上設けられることが好ましく、本実施の形態では4組設けられる。第1係合部241の下部には上方に向かって窪む凹部が設けられる。第2係合部242は支持部ベース413から上方に向かって突出する。
図1に示す基板回転機構15は、いわゆる中空モータである。基板回転機構15は、中心軸J1を中心とする環状のステータ部151と、環状のロータ部152とを備える。ロータ部152は、略円環状の永久磁石を含む。永久磁石の表面は、PTFE樹脂にてモールドされる。ロータ部152は、チャンバ12のチャンバ空間120において下部環状空間217内に配置される。ロータ部152の上部には、接続部材を介して基板支持部141の支持部ベース413が取り付けられる。支持部ベース413は、ロータ部152の上方に配置される。
ステータ部151は、チャンバ12外(すなわち、チャンバ空間120の外側)においてロータ部152の周囲、すなわち、径方向外側に配置される。本実施の形態では、ステータ部151は、チャンバ底部210の外側壁部215およびベース部216に固定され、液受け部16の下方に位置する。ステータ部151は、中心軸J1を中心とする周方向に配列された複数のコイルを含む。
ステータ部151に電流が供給されることにより、ステータ部151とロータ部152との間に、中心軸J1を中心とする回転力が発生する。これにより、ロータ部152が、中心軸J1を中心として水平状態で回転する。ステータ部151とロータ部152との間に働く磁力により、ロータ部152は、チャンバ12内において直接的にも間接的にもチャンバ12に接触することなく浮遊し、中心軸J1を中心として基板9を基板支持部141と共に浮遊状態にて回転する。
液受け部16は、カップ部161と、カップ部移動機構162と、カップ対向部163とを備える。カップ部161は中心軸J1を中心とする環状であり、チャンバ12の径方向外側に全周に亘って位置する。カップ部移動機構162はカップ部161を上下方向に移動する。カップ部移動機構162は、カップ部161の径方向外側に配置される。カップ部移動機構162は、上述のチャンバ開閉機構131と周方向に異なる位置に配置される。カップ対向部163は、カップ部161の下方に位置し、カップ部161と上下方向に対向する。カップ対向部163は、チャンバ側壁部214を形成する部材の一部である。カップ対向部163は、チャンバ側壁部214の径方向外側に位置する環状の液受け凹部165を有する。液受け凹部165には、後述の第1排出路191の排出口191aが形成される。
カップ部161は、側壁部611と、上面部612と、ベローズ617とを備える。側壁部611は、中心軸J1を中心とする略円筒状である。上面部612は、中心軸J1を中心とする略円環板状であり、側壁部611の上端部から径方向内方および径方向外方へと広がる。側壁部611の下部は、カップ対向部163の液受け凹部165内に配置可能である。側壁部611の断面形状は、後述するスキャンノズル188が収容される部位(図1中の右側の部位)と、その他の部位(図1中の左側の部位)とで異なる。側壁部611の図1中の右側の部位は、図1中の左側の部位よりも径方向の厚さが少し薄い。
ベローズ617は、中心軸J1を中心とする略円筒状であり、上下方向に伸縮可能である。ベローズ617は、側壁部611の径方向外側において、側壁部611の周囲に全周に亘って設けられる。ベローズ617は、気体や液体を通過させない材料にて形成される。ベローズ617の上端部は、上面部612の外縁部の下面に全周に亘って接続される。換言すれば、ベローズ617の上端部は、上面部612を介して側壁部611に間接的に接続される。ベローズ617と上面部612との接続部はシールされており、気体や液体の通過が防止される。ベローズ617の下端部は、カップ対向部163を介してチャンバ本体121に間接的に接続される。ベローズ617の下端部とカップ対向部163との接続部でも、気体や液体の通過が防止される。
チャンバ蓋部122の中央には上部ノズル181が固定される。上部ノズル181は、トッププレート123の中央の開口に挿入可能である。上部ノズル181は中央に液吐出口を有し、その周囲にガス噴出口を有する。チャンバ底部210の下面対向部211の中央には、下部ノズル182が取り付けられる。下面対向部211には、複数の加熱ガスノズル180がさらに取り付けられる。複数の加熱ガスノズル180は、例えば、中心軸J1を中心とする周方向に等角度間隔にて配置される。なお、上部ノズル181および下部ノズル182の設置位置は必ずしも中央部分に限らず、例えば基板9の外縁部に対向する位置であってもよい。
カップ部161の上面部612には、スキャンノズル188が取り付けられる。スキャンノズル188は、処理液を吐出する吐出ヘッド881と、ヘッド支持部882とを備える。ヘッド支持部882は、略水平方向に延びる棒状の部材である。ヘッド支持部882の一方の端部である固定端部は、カップ部161の上面部612の下面に取り付けられる。ヘッド支持部882の他方の端部である自由端部には、吐出ヘッド881が固定される。
カップ部161の上部には、ヘッド移動機構189が設けられる。ヘッド移動機構189は、ヘッド支持部882の固定端部の上方にて、カップ部161の上面部612の上面に固定される。ヘッド移動機構189は、ヘッド回転機構891と、ヘッド昇降機構892とを備える。ヘッド回転機構891は、カップ部161の上面部612を貫通してヘッド支持部882の固定端部に接続され、固定端部を中心としてヘッド支持部882を吐出ヘッド881と共に略水平方向に回転する。ヘッド回転機構891によるカップ部161の貫通部はシールされており、気体や液体の通過が防止される。ヘッド昇降機構892は、ヘッド支持部882の固定端部を上下方向に移動することにより、ヘッド支持部882および吐出ヘッド881を昇降する。ヘッド移動機構189は、カップ部移動機構162により、カップ部161と共に上下方向に移動する。
図2は、基板処理装置1が備える気液供給部18および気液排出部19を示すブロック図である。気液供給部18は、上述のスキャンノズル188、加熱ガスノズル180、上部ノズル181および下部ノズル182に加えて、薬液供給部183と、純水供給部184と、IPA供給部185と、不活性ガス供給部186と、加熱ガス供給部187とを備える。薬液供給部183は、弁を介してスキャンノズル188に接続される。純水供給部184およびIPA供給部185は、それぞれ弁を介して上部ノズル181に接続される。下部ノズル182は、弁を介して純水供給部184に接続される。上部ノズル181は、弁を介して不活性ガス供給部186にも接続される。上部ノズル181は、チャンバ12の内部にガスを供給するガス供給部の一部である。複数の加熱ガスノズル180は、弁を介して加熱ガス供給部187に接続される。
液受け部16の液受け凹部165に接続される第1排出路191は、気液分離部193に接続される。気液分離部193は、外側排気部194、薬液回収部195および排液部196にそれぞれ弁を介して接続される。チャンバ底部210に接続される第2排出路192は、気液分離部197に接続される。気液分離部197は、内側排気部198および排液部199にそれぞれ弁を介して接続される。気液供給部18および気液排出部19の各構成は、制御部10により制御される。チャンバ開閉機構131、基板回転機構15、カップ部移動機構162およびヘッド移動機構189(図1参照)も制御部10により制御される。
薬液供給部183からスキャンノズル188を介して基板9上に供給される薬液は、例えば、フッ酸や水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液等のエッチング液である。薬液供給部183では、薬液が所定の温度に加熱されている。純水供給部184は、上部ノズル181または下部ノズル182を介して基板9に純水(DIW:deionized water)を供給する。IPA供給部185は、上部ノズル181を介して基板9上にイソプロピルアルコール(IPA)を供給する。基板処理装置1では、上述の処理液(上記薬液、純水およびIPA)以外の処理液を供給する処理液供給部が設けられてもよい。
不活性ガス供給部186は、上部ノズル181を介してチャンバ12内に不活性ガスを供給する。加熱ガス供給部187は、複数の加熱ガスノズル180を介して基板9の下面92に加熱したガス(例えば、160〜200℃に加熱した高温の不活性ガスであり、以下、「加熱ガス」という。)を供給する。本実施の形態では、不活性ガス供給部186および加熱ガス供給部187にて利用されるガスは窒素(N2)ガスであるが、窒素ガス以外であってもよい。なお、加熱ガス供給部187において加熱した不活性ガスを利用する場合には、基板処理装置1における防爆対策は簡素化可能または不要である。
図3は、基板処理装置1における基板9の処理の流れを示す図である。基板処理装置1では、図4に示すように、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から離間して上方に位置し、カップ部161がチャンバ蓋部122から離間して下方に位置する状態にて、基板9が外部の搬送機構によりチャンバ12内に搬入され、基板支持部141により下側から支持される(ステップS11)。以下、図4に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「オープン状態」と呼ぶ。チャンバ蓋部122とチャンバ側壁部214との間に形成される開口は、中心軸J1を中心とする環状であり、以下、「環状開口81」という。基板処理装置1では、チャンバ蓋部122がチャンバ本体121から十分に離間することにより、基板9の周囲(すなわち、径方向外側)に環状開口81が形成される。上下方向における環状開口81の幅は、全周に亘って一定である。ステップS11では、基板9は環状開口81を介して搬入される。
基板9の搬入時には、スキャンノズル188は、カップ部161とカップ対向部163との間に形成される空間160に予め収容されている。空間160は、チャンバ12の外周を全周に亘って囲む略円環状の空間である。以下の説明では、空間160を「側方空間160」という。図5は、基板処理装置1の一部を示す平面図である。図5では、スキャンノズル188の収容状態の理解を容易にするために、チャンバ蓋部122やカップ部161等の図示を省略している。また、ベローズ617に平行斜線を付す。
図5に示すように、スキャンノズル188のヘッド支持部882は、平面視において、径方向外側に凸となるように湾曲している。換言すれば、スキャンノズル188は略円弧状である。側方空間160では、スキャンノズル188は、ヘッド支持部882がベローズ617およびカップ部161の側壁部611(図4参照)に沿うように配置される。
スキャンノズル188が収容される際には、カップ部161が図1に示す位置に位置する状態で、ヘッド回転機構891によりスキャンノズル188が回転し、環状開口81を介してチャンバ12の外側へと移動する。これにより、スキャンノズル188は、カップ部161とカップ対向部163との間の側方空間160に収容される。その後、カップ部移動機構162によりカップ部161が図4に示す位置まで下降する。カップ部161の下降に伴い、側方空間160は小さくなる。
基板9が搬入されると、カップ部161が、図4に示す位置から図6に示す位置まで上昇し、環状開口81の径方向外側に全周に亘って位置する。以下の説明では、図6に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「第1密閉状態」という(図1の状態も同様)。また、図6に示すカップ部161の位置を「液受け位置」といい、図4に示すカップ部161の位置を「退避位置」という。カップ部移動機構162は、カップ部161を、環状開口81の径方向外側の液受け位置と、液受け位置よりも下方の退避位置との間で上下方向に移動する。
液受け位置に位置するカップ部161では、側壁部611が、環状開口81と径方向に対向する。また、上面部612の内縁部の上面が、チャンバ蓋部122の外縁部下端のリップシール232に全周に亘って接する。チャンバ蓋部122とカップ部161の上面部612との間には、気体や液体の通過を防止するシール部が形成される。これにより、環状開口81が形成された状態のチャンバ12(チャンバ本体121およびチャンバ蓋部122)、カップ部161およびカップ対向部163により囲まれる密閉された空間(以下、「拡大密閉空間100」という。)が形成される。拡大密閉空間100は、チャンバ蓋部122とチャンバ本体121との間のチャンバ空間120と、カップ部161とカップ対向部163とに囲まれる側方空間160とが、環状開口81を介して連通することにより形成された1つの空間である。
続いて、基板回転機構15により一定の回転数(比較的低い回転数であり、以下、「定常回転数」という。)での基板9の回転が開始される。さらに、不活性ガス供給部186(図2参照)から拡大密閉空間100への不活性ガス(ここでは、窒素ガス)の供給が開始されるとともに、外側排気部194による拡大密閉空間100内のガスの排出が開始される。これにより、所定時間経過後に、拡大密閉空間100が、不活性ガスが充填された不活性ガス充填状態(すなわち、酸素濃度が低い低酸素雰囲気)となる。なお、拡大密閉空間100への不活性ガスの供給、および、拡大密閉空間100内のガスの排出は、図4に示すオープン状態から行われていてもよい。
次に、回転する基板9の下面92に向けて、複数の加熱ガスノズル180から、加熱ガスが噴出される。これにより、基板9が加熱される。また、制御部10(図2参照)の制御により、側方空間160においてカップ部161に取り付けられたスキャンノズル188へと、薬液供給部183から所定量の薬液が供給される。これにより、スキャンノズル188が側方空間160に収容された状態(すなわち、スキャンノズル188全体が側方空間160内に位置する状態)で、吐出ヘッド881からのプリディスペンスが行われる。吐出ヘッド881からプリディスペンスされた薬液は、液受け凹部165にて受けられる。
プリディスペンスが終了すると、拡大密閉空間100の外側に配置されたヘッド回転機構891によりヘッド支持部882が回転することにより、図1に示すように、吐出ヘッド881が環状開口81を介して基板9の上方へと移動する。さらに、ヘッド回転機構891が制御部10に制御され、基板9の上方における吐出ヘッド881の往復移動が開始される。吐出ヘッド881は、基板9の中心部と外縁部とを結ぶ所定の移動経路に沿って水平方向に継続的に往復移動する。
そして、薬液供給部183から吐出ヘッド881へと薬液が供給され、水平方向に揺動する吐出ヘッド881から基板9の上面91へと薬液が供給される(ステップS12)。吐出ヘッド881からの薬液は、回転する基板9の上面91に連続的に供給される。薬液は、基板9の回転により外周部へと拡がり、上面91全体が薬液により被覆される。水平方向に揺動する吐出ヘッド881から回転中の基板9へと薬液が供給されることにより、基板9の上面91に薬液をおよそ均一に供給することができる。また、基板9上の薬液の温度の均一性を向上することもできる。その結果、基板9に対する薬液処理の均一性を向上することができる。
スキャンノズル188からの処理液の供給中は、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの噴出も継続される。これにより、基板9をおよそ所望の温度に加熱しつつ、薬液による上面91に対するエッチングが行われる。その結果、基板9に対する薬液処理の均一性をさらに向上することができる。
拡大密閉空間100では、回転する基板9の上面91から飛散する薬液が、環状開口81を介してカップ部161にて受けられ、液受け凹部165へと導かれる。液受け凹部165へと導かれた薬液は、図2に示す第1排出路191を介して気液分離部193に流入する。薬液回収部195では、気液分離部193から薬液が回収され、フィルタ等を介して薬液から不純物等が除去された後、再利用される。
薬液の供給開始から所定時間(例えば、60〜120秒)経過すると、スキャンノズル188からの薬液の供給、および、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの供給が停止される。続いて、基板回転機構15により、所定時間(例えば、1〜3秒)だけ基板9の回転数が定常回転数よりも高くされ、基板9から薬液が除去される。また、ヘッド回転機構891により、スキャンノズル188が回転し、図6に示すように、チャンバ空間120から環状開口81を介して側方空間160へと移動する。
スキャンノズル188が側方空間160へと移動すると、チャンバ蓋部122およびカップ部161が同期して下方へと移動する。そして、図7に示すように、チャンバ蓋部122の外縁部下端のリップシール231が、チャンバ側壁部214の上部と接することにより、環状開口81が閉じられ、チャンバ空間120が、側方空間160と隔絶された状態で密閉される。カップ部161は、図4と同様に、退避位置に位置する。側方空間160は、チャンバ空間120と隔絶された状態で密閉される。以下、図7に示すチャンバ12およびカップ部161の状態を「第2密閉状態」という。第2密閉状態では、基板9は、チャンバ12の内壁と直接対向し、これらの間に他の液受け部は存在しない。また、スキャンノズル188は、チャンバ空間120から隔離されて側方空間160内に収容される。
第2密閉状態では、第1係合部241の下部の凹部に第2係合部242が嵌る。これにより、トッププレート123は、中心軸J1を中心とする周方向において基板支持部141の支持部ベース413と係合する。換言すれば、第1係合部241および第2係合部242は、トッププレート123の基板支持部141に対する回転方向における相対位置を規制する(すなわち、周方向における相対位置を固定する)位置規制部材である。チャンバ蓋部122が下降する際には、第1係合部241と第2係合部242とが嵌り合うように、基板回転機構15により支持部ベース413の回転位置が制御される。実際には、第1係合部241の凹部の底面、および、第2係合部242の先端には磁石が設けられ、互いに嵌まり合う第1係合部241および第2係合部242の両磁石(以下、これらの磁石を「磁石対」という。)の間に磁気的吸引力が作用する。
また、第2密閉状態では、基板押さえ部142の複数の第2接触部421が基板9の外縁部に接触する。基板押さえ部142が基板9に接触している状態では、磁石対の間に働く磁力(引力)により、トッププレート123に下向きの力が働く。基板処理装置1では、基板押さえ部142が、トッププレート123の自重、および、磁石対の磁力により基板9を基板支持部141へと押圧することにより、基板9を基板押さえ部142と基板支持部141とで上下から挟んで強固に保持することができる。
さらに、第2密閉状態では、被保持部237のフランジ部239が、プレート保持部222のフランジ部224の上方に離間しており、プレート保持部222と被保持部237とは接触しない。換言すれば、プレート保持部222によるトッププレート123の保持が解除されている。これにより、トッププレート123は、チャンバ蓋部122から独立して、基板保持部14および基板保持部14に保持された基板9と共に、基板回転機構15により回転する。
チャンバ空間120および側方空間160がそれぞれ独立して密閉されると、外側排気部194(図2参照)によるガスの排出が停止されるとともに、内側排気部198によるチャンバ空間120内のガスの排出が開始される。そして、リンス液または洗浄液である純水の基板9への供給が、純水供給部184により開始される(ステップS13)。
純水供給部184からの純水は、上部ノズル181および下部ノズル182から吐出されて基板9の上面91および下面92の中央部に連続的に供給される。純水は、基板9の回転により上面91および下面92の外周部へと拡がり、基板9の外周縁から外側へと飛散する。基板9から飛散する純水は、チャンバ12の内壁(すなわち、チャンバ蓋部122およびチャンバ側壁部214の内壁)にて受けられ、図2に示す第2排出路192、気液分離部197および排液部199を介して廃棄される。これにより、基板9の上面91のリンス処理および下面92の洗浄処理と共に、チャンバ12内の洗浄も実質的に行われる。純水の供給開始から所定時間経過すると、純水供給部184からの純水の供給が停止される。
続いて、基板9の下面92に向けて、複数の加熱ガスノズル180から、加熱ガスの噴出が開始される。また、IPAの基板9への供給が、IPA供給部185により開始される(ステップS14)。処理液ノズルである上部ノズル181から吐出されるIPAは、純水にて被覆された上面91の中央部に供給され、純水の液膜と基板9の上面91との間にて基板9の回転により外周部へと拡がり、基板9の上面91を被覆する。純水の液膜は、基板9の上面91から離間し、IPAの液膜上に位置する。換言すれば、基板9の上面91上においてIPA置換処理(IPAパドル処理)が行われる。また、基板9から飛散するIPAは、チャンバ12の内壁にて受けられ、第2排出路192、気液分離部197および排液部199を介して廃棄される。IPAの供給開始から所定時間経過すると、IPA供給部185からのIPAの供給が停止される。
IPAの供給の停止後、図8に示すように、チャンバ蓋部122が僅かに上昇する。これにより、チャンバ蓋部122の下端のリップシール231が、チャンバ側壁部214の上部から離間する。すなわち、チャンバ蓋部122の移動により、環状開口81が形成される。このとき、チャンバ蓋部122の移動に同期して、カップ部161も僅かに上昇することにより、上面部612の内縁部の上面が、チャンバ蓋部122のリップシール232に全周に亘って接した状態が維持される。したがって、図8に示す状態では、チャンバ本体121、チャンバ蓋部122およびカップ部161により、拡大密閉空間100が形成される。
また、図7に示す状態と同様に、被保持部237のフランジ部239が、プレート保持部222のフランジ部224の上方に離間しており、プレート保持部222によるトッププレート123の保持が解除されている。したがって、第1係合部241と第2係合部242とが嵌り合う状態が保たれ、トッププレート123と基板支持部141の支持部ベース413との係合(結合)、並びに、基板押さえ部142と基板支持部141とによる基板9の保持が維持される。
図8に示す環状開口81の上下方向における幅(以下、「第2開放幅」という。)W2は、図6に示す環状開口81の上下方向における幅(以下、「第1開放幅」という。)W1よりも小さい。環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定された状態では、チャンバ蓋部122の蓋側壁部226の下端が、基板保持部14に保持された基板9の上面91よりも下方に位置する。すなわち、基板9が、径方向において蓋側壁部226の内側面と対向する。なお、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定された状態では、吐出ヘッド881は当該環状開口81を通過不能である。
第2開放幅W2の環状開口81が形成されると、チャンバ空間120内において、基板9の回転数が定常回転数よりも十分に高くされる。基板9へのIPAの供給時と同様に、基板9から飛散するIPAは、チャンバ12の内壁、主としてチャンバ蓋部122の蓋側壁部226にて受けられ、第2排出路192、気液分離部197および排液部199を介して廃棄される。また、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの噴出により、基板9上のIPAの気化が促進される。このようにして、基板9の乾燥処理が行われる(ステップS15)。
このとき、基板処理装置1では、内側排気部198および外側排気部194の双方によるガスの排出が行われる。すなわち、加熱ガスノズル180からのガス、および、気化したIPA(IPAの蒸気)を含むチャンバ空間120内のガスの一部は、チャンバ空間120に対して開口する排出口192aを介して内側排気部198により排出される。また、チャンバ空間120内のガスの他の一部は、拡大密閉空間100において環状開口81よりも外側の側方空間160に環状開口81を介して移動する。側方空間160内のガスは、側方空間160に対して開口する排出口191aを介して外側排気部194により排出される。このように、内側排気部198および外側排気部194による排気動作により、チャンバ空間120の圧力が過度に高くなることが防止される。また、環状開口81の幅は、全周に亘って一定であるため、チャンバ空間120内の圧力分布が周方向におよそ均一となり、基板9の上面91に対して均一な乾燥処理が実現される。基板9の乾燥開始から所定時間経過すると、基板9の回転、および、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの噴出が停止される。
その後、チャンバ蓋部122とトッププレート123が上昇して、図4に示すように、チャンバ12がオープン状態となる。ステップS15では、トッププレート123が基板支持部141と共に回転するため、トッププレート123の下面に液体はほとんど残存せず、チャンバ蓋部122の上昇時にトッププレート123から液体が基板9上に落下することはない。基板9は外部の搬送機構によりチャンバ12から搬出される(ステップS16)。
以上に説明したように、基板処理装置1では、チャンバ12およびカップ部161により拡大密閉空間100が形成される際に、制御部10によりチャンバ開閉機構131が制御され、上下方向における環状開口81の幅が第1開放幅W1、または、第1開放幅W1よりも狭い第2開放幅W2に選択的に設定される。環状開口81の幅が第1開放幅W1に設定された状態では、基板9が径方向において環状開口81と対向し、基板9の上面91から飛散する処理液がカップ部161にて受けられる。環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定された状態では、基板9が径方向においてチャンバ12の側壁部と対向し、基板9の上面91から飛散する処理液がチャンバ12にて受けられる。このように、基板処理装置1では、拡大密閉空間100を形成しつつ、基板9から飛散する処理液をチャンバ12にて受ける状態と、カップ部161にて受ける状態とで切り替えることができる。
既述のように、基板処理装置1では、不活性ガス充填状態にて基板9上に薬液が供給される。したがって、チャンバ空間120を短時間にて不活性ガス充填状態にするという観点では、チャンバ12を小さくすることが好ましい。一方、基板9の乾燥処理において、IPAの表面張力の影響によるパターンの倒壊を抑制するには、加熱ガスノズル180から噴出される加熱ガスの流量を大きくして、基板9を短時間にて乾燥することが好ましい。側方空間160とチャンバ空間120とが隔絶された状態で密閉される第2密閉状態において、仮に基板9の乾燥処理を行うと、チャンバ空間120の圧力が過度に高くなってしまう。この場合、IPAの蒸気(ミストを含んでよい。)がチャンバ空間120に滞留して基板9に再付着し、基板9が汚染される可能性がある。
これに対し、基板処理装置1では、上面91に処理液が供給された基板9の下面92に向けて加熱ガスが噴出されている状態において、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定される。これにより、基板9から飛散する処理液をチャンバ12にて受ける状態において、加熱ガスノズル180から噴出されるガスの一部、および、処理液が気化したガスの一部を、チャンバ空間120から環状開口81を介して側方空間160へと導き、外側排気部194により排出することができる。その結果、チャンバ空間120の圧力が過度に高くなることを容易に防止することができ、チャンバ空間120に滞留する処理液の蒸気により基板9が汚染されることを防止することができる。また、全周に亘って開口する環状開口81により、チャンバ空間120内の圧力の偏りを抑制する(圧力分布を周方向におよそ均一にする)ことができ、基板9の上面91に対する処理の均一性を向上することができる。
さらに、環状開口81の幅が第1開放幅W1に設定された状態において、トッププレート123が基板9の上方にてチャンバ蓋部122から吊り下がるように保持される。これにより、側方空間160に配置されたスキャンノズル188の吐出ヘッド881が基板9の上方に移動して、基板9の上面91に処理液を吐出することが可能となる。また、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定された状態において、チャンバ蓋部122によるトッププレート123の保持が解除され、トッププレート123に設けられる基板押さえ部142が、基板支持部141に支持された基板9の外縁部を上側から押さえる。これにより、基板9から飛散する処理液をチャンバ12にて受ける状態において、基板9を強固に保持することができる。
図9は、本発明の第2の実施の形態に係る基板処理装置1aを示す断面図である。基板処理装置1aでは、チャンバ蓋部122の蓋側壁部226に複数の圧力調整バルブ220が設けられる。他の構成は、図1の基板処理装置1と同様であり、同じ構成に同じ符号を付す。
図10は、チャンバ蓋部122を示す平面図である。図10に示すように、複数の圧力調整バルブ220は、周方向におよそ等間隔にて設けられる。図10では、8個の圧力調整バルブ220が45度間隔にて設けられる。好ましくは、3個以上の圧力調整バルブ220が、周方向におよそ等間隔にて設けられる。ここで、複数の圧力調整バルブ220の周方向における間隔は、実質的に等しいと捉えられる範囲であればよく、例えば、一の圧力調整バルブ220について、他の構成要素との関係で厳密に等間隔となる位置に配置が困難な場合には、当該圧力調整バルブ220が、当該位置から僅かにずれた位置に配置されてよい。図9に示すように、環状開口81が閉じられ、チャンバ空間120が、側方空間160と隔絶された第2密閉状態において、複数の圧力調整バルブ220は、基板9よりも上方にてチャンバ空間120に接続する。
図9の基板処理装置1aでは、図3のステップS15における基板9の乾燥処理が、図1の基板処理装置1と相違する。具体的には、図9に示す第2密閉状態にて、処理液ノズルである上部ノズル181から基板9の上面91にIPAが供給されると(ステップS14)、第2密閉状態のままで、チャンバ空間120内において、基板9の回転数が定常回転数よりも十分に高くされる。基板9から飛散するIPAは、チャンバ12の内壁、主としてチャンバ蓋部122の蓋側壁部226にて受けられ、第2排出路192、気液分離部197および排液部199を介して廃棄される。また、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの噴出により、基板9上のIPAの気化が促進される。このようにして、基板9の乾燥処理が行われる(ステップS15)。
このとき、基板処理装置1aでは、内側排気部198のみによるガスの排出が行われる。チャンバ空間120の圧力が所定の圧力よりも高くなると、各圧力調整バルブ220が開放され、チャンバ空間120のガスが、カバー17内かつチャンバ12外の空間に放出される。例えば、圧力調整バルブ220は、ばね等の付勢機構により内部の流路を閉塞するものであり、チャンバ空間120の圧力が一定の圧力よりも高くなると、内部の流路が開放される。圧力調整バルブ220が電磁弁等である場合には、チャンバ12に圧力計が設けられ、当該圧力計の測定値に従って制御部10により圧力調整バルブ220のON/OFFが制御されてよい。
カバー17には、図示省略の排気部が設けられており、当該排気部により、カバー17内かつチャンバ12外の空間のガスが、外部に排出される。基板9の乾燥開始から所定時間経過すると、基板9の回転、および、加熱ガスノズル180からの加熱ガスの噴出が停止される。その後、チャンバ12がオープン状態となり、基板9がチャンバ12から搬出される(ステップS16)。
以上に説明したように、図9の基板処理装置1aでは、複数の圧力調整バルブ220がチャンバ12の外縁部に設けられ、複数の圧力調整バルブ220によりチャンバ空間120の圧力が調整される。これにより、基板9から飛散する処理液をチャンバ12にて受ける状態において、加熱ガスノズル180から噴出されるガス、および、処理液が気化したガスによりチャンバ空間120の圧力が過度に高くなることを容易に防止しつつ、チャンバ空間120内の圧力の偏りを抑制することができる。なお、複数の圧力調整バルブ220は、チャンバ蓋部122の円板部225の外縁部に設けられてもよい。
複数の圧力調整バルブ220がチャンバ12の外縁部において周方向におよそ等間隔にて設けられることにより、チャンバ空間120内の圧力の偏りをさらに抑制する(圧力分布を周方向におよそ均一にする)ことができる。また、複数の圧力調整バルブ220が、基板9よりも上方にてチャンバ空間120に接続することにより、基板9から飛散する処理液が圧力調整バルブ220内に浸入することを抑制することができる。
上記基板処理装置1,1aでは様々な変形が可能である。
図3のステップS14では、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定された状態、または、複数の圧力調整バルブ220が開放された状態において、基板9にIPAが供給されてよい。
また、チャンバ空間120に接続される第2排出路192を介して薬液を回収する場合等には、薬液供給部183に接続された上部ノズル181により基板9の上面91に薬液が供給され、かつ、下面92に向けて加熱ガスが噴出されている状態において、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定されてよい(基板処理装置1aでは、複数の圧力調整バルブ220が開放されてよい。)。この場合、基板9の上面91から飛散する薬液は、チャンバ12(の蓋側壁部226)にて受けられる。また、チャンバ空間120内のガスの一部が、環状開口81を介して側方空間160へと移動することにより、チャンバ空間120の圧力が過度に高くなることが防止される。さらに、チャンバ空間120内の圧力の偏りが抑制され、基板9の上面91に対して薬液による均一な処理が実現される。
基板処理装置1の設計によっては、スキャンノズルにより基板9の上面91に処理液を付与しつつ、環状開口81の幅が第2開放幅W2に設定されてよい。基板9の上面91に処理液を供給する処理液ノズルは、様々な態様にて実現されてよい(加熱ガスノズル180において同様)。
基板処理装置1,1aにおいてチャンバ12に圧力計が設けられ、当該圧力計の測定値に従って、第2開放幅W2や圧力調整バルブ220の開口度が変更されてもよい。
チャンバ開閉機構131は、必ずしもチャンバ蓋部122を上下方向に移動する必要はなく、チャンバ蓋部122が固定された状態で、チャンバ可動部であるチャンバ本体121を上下方向に移動してもよい。このように、チャンバ開閉機構は、チャンバ12を様々な態様にて開閉する機構であってよく、チャンバ12の上部または下部を含むチャンバ可動部を他の部位に対して相対的に昇降する機構であればよい。チャンバ可動部の移動により、基板9の周囲に環状開口81が形成される。
基板回転機構15のステータ部151およびロータ部152の形状および構造は、様々に変更されてよい。ロータ部152は、必ずしも浮遊状態にて回転する必要はなく、チャンバ12内にロータ部152を機械的に支持するガイド等の構造が設けられ、当該ガイドに沿ってロータ部152が回転してもよい。基板回転機構15は、必ずしも中空モータである必要はなく、軸回転型のモータが基板回転機構として利用されてもよい。
また、基板9の上面91および下面92に処理液および加熱ガスがそれぞれ供給可能であるならば、基板保持部は、様々な態様にて基板を保持するものであってよく、例えば、基板9の外縁部を真空吸着により保持する基板保持部が設けられてもよい。
基板処理装置1,1aでは、カップ部161の上面部612以外の部位(例えば、側壁部611)がチャンバ蓋部122に接することにより、拡大密閉空間100が形成されてもよい。カップ部161の形状は、適宜変更されてよい。
基板処理装置1,1aにて処理される基板は半導体基板には限定されず、ガラス基板や他の基板であってもよい。
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。