JP6384455B2 - シリコン原料洗浄装置 - Google Patents
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Description
[バスケット]
バスケット3は、シリコン原料2を水洗槽6及び薬液槽8に浸漬するための入れ物である。このバスケット3には、水洗槽6や薬液槽8に浸漬してバスケット3内でシリコン原料2が洗浄できるように複数の穴が設けられている。
アーム4は、バスケット3を揺動及び搬送するためのものである。なお、図1では、バスケット3に設けられた2つの取っ手12を2本のアーム4で掴む構造が例示されているが、本発明におけるバスケットの取っ手やアームの数はこれに限定されるものではない。
水洗槽6は、シリコン原料2の表面を水5で洗浄するためのものである。水洗槽6は樹脂製のものが好ましく、樹脂としては、PTFE、PVDF、PVC、PP、PEなどが好ましい。なお、水洗槽の数は1つ以上であればよく、特に限定されないが、後述のように前水洗工程とリンス工程を行う場合は、水洗槽を2つ以上とするのが好ましい。
薬液槽8は、シリコン原料2の表面を混酸7でエッチングするためのものである。薬液槽8は耐酸性樹脂製のものが好ましく、樹脂としては、PTFE、PVDF、PVC、PP、PEなどが好ましい。
図1に示される、薬液槽8の外周上部に設けられた排気口9と、排気口9の上部に設けられた庇10と、アーム4に設置された板11を備えた本発明のシリコン原料洗浄装置1を用いて、シリコン原料2の洗浄を行い、洗浄装置のバスケット搬入口(不図示)付近(洗浄装置外)におけるNOxガスの濃度を測定した。なお、洗浄装置の容量は20m3、排気量は20m3/min、薬液槽容量は150L、混酸はフッ硝酸(硝酸濃度64質量%、フッ酸濃度1質量%)、シリコン原料の総処理量は1,000kg、総反応時間は6時間とした。
図4に示される、排気口109が洗浄装置の背面に設けられた従来のシリコン原料洗浄装置101(即ち、上記の図1中の排気口9、庇10、及び板11を備えていないもの)を用いて、シリコン原料102の洗浄を行い、洗浄装置のバスケット搬入口(不図示)付近(洗浄装置外)におけるNOxガスの濃度を測定した。なお、実施例1と同様、洗浄装置の容量は20m3、排気量は20m3/min、薬液槽容量は150L、混酸はフッ硝酸(硝酸濃度64質量%、フッ酸濃度1質量%)、シリコン原料の総処理量は1,000kg、総反応時間は6時間とした。
5…水、 6…水洗槽、 7…混酸、 8…薬液槽、 9…排気口、 10…庇、
11…板、 12…取っ手、 13…外槽。
Claims (4)
- シリコン原料を充填するためのバスケット、該バスケットを揺動及び搬送するためのアーム、前記シリコン原料の表面を水洗するための水洗槽、及び前記シリコン原料の表面を混酸でエッチングするための薬液槽を具備するシリコン原料洗浄装置であって、
前記薬液槽は、薬液槽の外周上部に設けられ前記シリコン原料と前記混酸の反応によって発生した反応ガスを排気するための排気口と、該排気口の上部に前記薬液槽の外周に沿って外周から内側に向かうように設けられた庇を備えるものであり、前記アームは前記薬液槽の液面上に水平に位置するように設置された板を備えるものであり、
前記バスケットを前記薬液槽内の混酸に浸漬させた際に、前記庇と前記板によって前記薬液槽の上部が覆われるものであることを特徴とするシリコン原料洗浄装置。 - 前記混酸がフッ硝酸であり、前記反応ガスがNOxガスであることを特徴とする請求項1に記載のシリコン原料洗浄装置。
- 前記庇が、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、及びポリエチレンから選ばれる樹脂からなる厚さ5〜20mmのものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン原料洗浄装置。
- 前記板が、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、及びポリエチレンから選ばれる耐酸性樹脂からなる厚さ5〜20mmのものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコン原料洗浄装置。
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