JP6376731B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

液体吐出装置として代表的なインクジェット記録装置（以下、記録装置とも称する）に搭載されるインクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）には、インク（液体）が貯留されたインクタンクからインクが供給される。特許文献１には、インクタンクから供給されたインクが、流路部材内に設けられた流路を通り、インク吐出部に供給される構成が記載されている。

特開２００２−１４４６０５号公報

ところで、ユーザーがインクジェット記録ヘッドを記録装置に装着する手間を省くために、インクジェット記録ヘッドが装着された状態で記録装置を出荷する場合がある。このとき物流時のインク漏れを防ぐために、インクジェット記録ヘッド内の流路にはインクを充填せずに空の状態で出荷する。そして、記録装置の使用開始時にインクジェット記録ヘッドのインク吐出部からインクを吸引して、インクジェット記録ヘッド内部にインクを初期充填する。この際、空の状態の流路はその内部壁が乾いているために、内部壁にインクがなじみにくく、流路の屈曲部において以下の課題が生じる恐れがある。

すなわち、特許文献１の図８に示されるように屈曲部を備えた流路では、インクを初期充填する際に屈曲部において境界層の剥離が生じやすく、この部分に気泡が発生して残留する可能性がある。インクジェット記録ヘッドの流路内において、気泡が残留するとインク吐出部にインクを十分に供給できずに、印字不良が発生する恐れがある。

この境界層の剥離は、インクを吸引する際のインクの流速が速いほど起こり易くなるため、この速度を出来るだけ遅くする方法により、気泡の残留は多少改善される。しかし、吸引速度が遅いと使用開始時に印刷するまでの待ち時間が長くなってしまう。

そこで本発明は、流路の屈曲部において気泡が発生しにくい液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する液体吐出基板と、前記液体吐出基板に液体を供給する流路と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記液体吐出ヘッドの使用状態において、前記流路は、前記液体吐出基板に液体を供給し、水平方向に液体を供給する第１の流路部と、前記第１の流路部に連通し、鉛直方向に延びる第２の流路部と、前記第１の流路部を流れる液体の流れに関して前記第１の流路部と前記第２の流路部とが連通する位置よりも下流側に設けられ、前記第１の流路部と前記第２の流路部とに連通する第３の流路部と、を有し、前記第３の流路部は、前記水平方向に関する前記流路の端部を形成し、前記鉛直方向に直線状に延びる第１の壁と、前記第１の流路部と繋がる前記第２の流路部を形成する壁に向かって傾斜する傾斜面を構成する、前記第１の壁と前記第２の流路部とを繋ぐ第２の壁と、を備えており、前記傾斜面は、前記第１の流路部と前記第２の流路部とが連通する位置よりも前記第２の流路部を流れる液体の流れに関して下流側に設けられており、前記第１の壁は、前記第１の流路部の天井部を構成し水平方向に延びる壁と直接接続され、当該壁と前記第１の壁とは直交していることを特徴とする。

流路の屈曲部において気泡が発生しにくい液体吐出ヘッドを提供することができる。

インクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。 第１の実施形態に係る流路を示す図である。 第１の実施形態に対する比較例を示す図である。 第２の実施形態に係る流路を示す図である。 第２の実施形態の変形例を示す図である。 第３の実施形態に係る流路を示す図である。 第３の実施形態を説明するための図である。 第３の実施形態に係る流路内のインクの流れを説明するための図である。 第３の実施形態の変形例を示す図である。 第４の実施形態に係る流路を示す図である。 第４の実施形態に係る流路内のインクの流れを説明するための図である。 第２の流路部を説明するための図である。 インクジェット記録装置の斜視図である。

以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド１の分解斜視図である。第１の実施形態のインクジェット記録ヘッド１は、顔料ブラックインク用と４色の染料インク用の記録素子列を有し、それぞれの記録素子列に対してインクを収容するインクタンク（不図示）からインクを供給するための流路が設けられている。

その複数の流路のうちの顔料ブラックインク用の流路１０を図２に示す。図２（ａ）は流路１０の形状を説明するための概観斜視図であり、図２（ｂ）は流路１０の一部を示す上面図であり、図２（ｃ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）は、流路１０を形成する内壁を示しており、図２（ｃ）は、流路１０に加え、後述する第１の流路形成部材１００の一部と第２の流路形成部材２００の一部も示している。

図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１は、第１の流路形成部材１００、第２の流路形成部材２００、シール部材３００、支持部材４００、液体吐出部としての記録素子基板５００（５００ａ、５００ｂ）（液体吐出基板）を有している。第１の流路形成部材１００、第２の流路形成部材２００、シール部材３００、支持部材４００は、インクタンクから記録素子基板５００ａ、５００ｂに設けられた記録素子列にインクを供給するための流路１０を形成する流路部材である。

なお、第１の流路形成部材１００は、インクタンクを装着するためのタンクホルダーである。第２の流路形成部材２００は、後述するように、第１の流路形成部材１００に接合されて流路を形成する部材である。シール部材３００は、第２の流路形成部材２００と支持部材４００とで挟持され、両部材間からのインク漏れを防ぐための部材である。支持部材４００は、記録素子基板５００ａ、５００ｂが接着される部材である。

記録素子基板５００ａ、５００ｂは、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としての複数の記録素子（不図示）が配列されてなる記録素子列が設けられた基板である。記録素子基板５００ａ、５００ｂには、記録素子に対応してインクを吐出する吐出口（不図示）が設けられている。記録素子基板５００ａには顔料ブラックインクが供給され、記録素子基板５００ｂには染料インクが供給される。なお、記録素子基板５００ａの記録可能な幅である記録素子列の長さは、記録素子基板５００ｂと比べて長くなっている。

図１、図２（ａ）を用いて顔料ブラックインク用の流路１０を構成する各流路部について説明する。第１の流路形成部材１００には、インクタンクから供給されて第１の流路形成部材１００に設けられたフィルタ１０１を通過したインクが流入する流路部１１０が形成されている。第２の流路形成部材２００には、インクをシール部材３００内の流路３１０へと供給する第２の流路部２２０が形成されている。第２の流路形成部材２００には流路となる溝が設けられており、溝の周囲と第１の流路形成部材１００とを超音波溶着等によって接合することにより、流路部１１０と第２の流路部２２０とをつなぐ第１の流路部２１０が形成される。第２の流路部２２０は、シール部材３００に設けられた流路３１０を介して、支持部材４００に設けられた液室４１０に連通されている。液室４１０へ供給されたインクは、記録素子基板５００ａ、５００ｂ内に設けられた供給口や流路を通り、吐出口から吐出される。

ここで、本実施形態において、第１の流路部２１０は、インクジェット記録ヘッド１の使用状態において水平方向にインクが流れる流路である。また、第２の流路部２２０は、インクジェット記録ヘッド１の使用状態において重力方向にインクが流れる流路である。なお、インクの流れ方向とインクジェット記録ヘッド１の使用状態との関係は、本実施形態の構成に限定されるものではない。また、本実施形態では、図２（ｃ）に示すように、第１の流路部２１０と第２の流路部２２０とのなす屈曲角度Ｒ_２は９０°であるが、これに限定されない。すなわち、第１の流路部２１０の延びる所定の方向に対して、第２の流路部２２０が交差する方向に延びる構成であれば、屈曲角度Ｒ_２が鋭角や鈍角であってもよい。

続いて、本発明の特徴部分である、第１の流路部２１０の終端から突出するように設けられた第３の流路部２３０について図２を用いて説明する。第３の流路部２３０は、第１の流路部２１０と第２の流路部２２０とが接続される位置よりも、第１の流路部２１０のインクの流れ方向における下流側に第１の流路部２１０と接続されて設けられている。また、第３の流路部２３０は、第１の流路部２１０のインクの流れ方向における第３の流路部２３０の終端部を形成する壁２３０ａ（第１の壁）を備えている。

ここで、本実施形態において第３の流路部２３０は、図２（ｂ）に示すように上面から見て半円形状となっている。また、第１の流路部２１０の底面２１０ｂと第３の流路部２３０の底面２３０ｂとは同じ高さに設けられている。

図３は、第１の実施形態の比較例を示す図であり、図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図２（ａ）〜（ｃ）と対応する図である。比較例では、流路１０に第３の流路部２３０は設けられておらず、第１の流路部２１０の終端部を形成する壁と面一で第２の流路部２２０の壁が形成されている。

以下、第３の流路部２３０による作用について、図２、図３を用いて説明する。

第１の流路部２１０から第２の流路部２２０へインクが流入する際に、インクの流れる方向は水平方向から垂直方向へ変化する。このようにインクの流れ方向が変化する流路１０の屈曲部において、図３のように第１の流路部２１０の終端部を形成する壁と第２の流路部２２０を形成する壁とが面一で設けられていると、以下の現象が生じる可能性がある。すなわち、インクの流れる方向が変化するとき、第１の流路部２１０を流れるインクの運動エネルギーが大きいために、第２の流路部２２０の第１の流路部２１０を流れるインクの流れ方向における手前側の壁２２０ａにおいて境界層が剥離した状態となりやすい。結果として、この境界層の剥離した部分が図３（ｃ）に示すように気泡Ｂとなって流路内に残留して、インク吐出部にインクを十分に供給できずに、印字不良が発生する恐れがある。

図１３は、インクジェット記録ヘッド１が搭載される液体吐出装置としてのインクジェット記録装置２０００を示す斜視図である。インクジェット記録ヘッド１はキャリッジ２１００に搭載されて走査される。

また、クリーニング機構２２００はインクジェット記録ヘッド１のクリーニングを行うための機構であり、吸引手段としてのポンプ及びキャップなどを備えている。ポンプによってキャップを介してインクジェット記録ヘッド１からインクが吸引される。キャップは昇降可能に駆動され、上昇位置ではインクジェット記録ヘッド１の吐出口面を覆い、非記録動作時等においてその保護や行うこと、あるいは吸引回復を行うことが可能である。

特に、流路１０の内部壁が乾いた状態で、１００００Ｐａ以上といった高い負圧でインクを吸引手段によって吸引して流路に初期充填する場合に、第１の流路部２１０を流れるインクの運動エネルギーが大きくなり、上述の現象が起きる可能性が高まる。

そこで、図２に示すように、第１の流路部２１０の終端から突出するように第３の流路部２３０を設けることで、上述の現象の発生を抑制することができる。すなわち、第１の流路部２１０を流れるインクが第３の流路部２３０の壁２３０ａに衝突すると、その反動でインクが跳ね返り、インクの流れ方向（図２（ｃ）の矢印ａの方向、以下「順方向」とも称する）に逆らう方向（矢印ｂの方向）のインクの流れが生じる。この際、本実施形態では、第３の流路部２３０の底面２３０ｂにより、この逆向きのベクトルを持つインクの流れが比較例の構成と比べて生じやすくなる。この逆向きのベクトルを持つインクが順方向に流れるインクと衝突することで、順方向に流れるインクの運動エネルギーは減衰される。これにより、流路１０の屈曲部の近傍の第２の流路部２２０の壁２２０ａにおける気泡の発生を抑えることができる。

なお、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１（すなわち、本実施形態では第３の流路部２３０の半径）の値は、第１の流路部２１０の流路幅Ｍ_２に相関があり、Ｍ_２／２≦Ｌ_１≦３Ｍ_２／２とすることが好ましく、Ｍ_２の０．５倍程度がより好ましい。

また、第３の流路部２３０の幅Ｍ_１は、インクの運動エネルギーを十分に受け止めるために、第１の流路部２１０の幅Ｍ_２に対して、Ｍ_２≦Ｍ_１≦３Ｍ_２／２とすることが好ましく、Ｍ_２の１．０倍程度がより好ましい。

本実施形態では、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１を０．８５ｍｍ、第３の流路部２３０の流路幅Ｍ_１及び第１の流路部２１０の流路幅Ｍ_２を１．７ｍｍ、第１の流路部２１０の流路高さＮ_２を１．５３ｍｍとした。

また、第３の流路部２３０の断面形状は、本実施形態では半円形状であるが、この形状は特に限定されず、以降の実施形態で説明する形状であってもよい。

また、第２の流路部２２０の断面形状は図２（ｂ）に示すように長円であるが、この形状は特に限定されず、楕円形状や真円形状などであっても良い。また、第２の流路部２２０は、インクの進行方向に関して断面積が大きくなるテーパー状となっているが、特にこの形状に限定されず、ストレート状であってもよい。

また、顔料ブラックインク用の流路１０について説明したが、上述の構成は他のインク用の流路にも適用することができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。図４は、第２の実施形態における顔料ブラックインク用の流路１０を示している。図４（ａ）は流路１０の形状を説明するための概観斜視図であり、図４（ｂ）は流路１０の一部を示す上面図であり、図４（ｃ）は図４（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。

なお、本実施形態は、第３の流路部２３０の底面２３０ｂ（図４（ｃ））の位置が上述の実施形態と異なっているが、基本的な構成は上述の実施形態と同様である。

本実施形態では、初期充填時の気泡の発生を一層抑制するために、第１の流路部２１０との接続部分における第３の流路部２３０の高さＮ_３と第１の流路部２１０の高さＮ_２との寸法関係をＮ_２＜Ｎ_３としている。ここで、第１の流路部２１０と第３の流路部２３０との上面は同じ高さの位置に設けられており、第３の流路部２３０の底面２３０ｂは、第１の流路部２１０の底面２１０ｂよりも低い位置に設けられている。

上述の実施形態と同様に、第１の流路部２１０を流れるインクが第３の流路部２３０の壁２３０ａに衝突すると、その反動でインクが跳ね返り、インクの流れ方向（図４（ｃ）の矢印ａの方向）に逆らう方向（矢印ｂの方向）の流れが生じる。この逆向きのベクトルを持つインクが順方向に流れるインクと衝突することで、順方向に流れるインクの運動エネルギーが減衰される。

ここで本実施形態では、第３の流路部２３０の底面２３０ｂが第１の流路部２１０の底面２１０ｂよりも低い位置に設けられている。これにより、逆向きのベクトルを持つインクは、境界層が剥離しやすい領域、すなわち第１の流路部２１０との接続部分の近傍の第２の流路部２２０の壁２２０ａに近い位置で、順方向に流れるインクと衝突する。このため、気泡の発生を一層抑制することが可能となる。

なお、図５に示す変形例のように、上述の実施形態や本実施形態と異なり、第３の流路部２３０の底面２３０ｂが第１の流路部２１０の底面２１０ｂより高い位置にあってもよい。このときも、第３の流路部２３０の壁２３０ａに衝突して跳ね返ったインクによって、順方向に流れるインクの運動エネルギーを減衰することができる。ただし、逆向きのベクトルを持つインクは、上述の実施形態と比べ、境界層が剥離しやすい領域から離れた位置で順方向に流れるインクと衝突する。したがって、気泡の発生を抑制する観点からは、図４（ｃ）に示した構成の方がより好ましい。

また、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１や第３の流路部２３０の幅Ｍ_１の好ましい範囲は上述の実施形態と同様である。

（第３の実施形態）
次に、図６から図８を用いて第３の実施形態について説明する。

図６は、第３の実施形態における顔料ブラックインク用の流路１０の一部を示している。図６（ａ）、（ｂ）はその概観斜視図であり、（ｃ）はその側面図である。

なお、本実施形態は、図６（ｃ）に示すように第３の流路部２３０の底面２３０ｂ（第２の壁）が傾斜面となっている点で上述の実施形態と異なっているが、基本的な構成は上述の実施形態と同様である。

図８は、本実施形態において流路１０内をインクＩが流れる様子を示す図である。上述の実施形態と同様に、第１の流路部２１０を通って供給されたインクは、第３の流路部２３０に進入し、第３の流路部２３０の壁２３０ａに衝突して跳ね返ったインクと衝突する。これにより、インクの順方向の運動エネルギーが減衰される。

更に、本実施形態においては、図６（ｃ）に示すように、第２の流路部２２０につながる第３の流路部２３０の底面２３０ｂ（第２の壁）は、第２の流路部２２０の壁２２０ａに向かって傾斜する傾斜面となっている。すなわち、底面２３０ｂは、第１の流路部２１０の延びる方向及び第２の流路部２２０の延びる方向に対して傾斜している。そして、底面２３０ｂは、第２の流路部２２０を形成する壁のうちの、第１の流路部２１０を流れるインクの流れ方向に関して最も上流側の位置に設けられた壁２２０ａに向かって傾斜している。そのため、図８（ｃ）、（ｄ）に示すように、第３の流路部２３０の底面２３０ｂに沿う方向にインクの流れが偏向されるため、第２の流路部２２０の壁２２０ａの境界層の剥離が生じやすい領域に向かってインクが流れることになる。これにより、流路１０の屈曲部の近傍の第２の流路部２２０の壁２２０ａにおける気泡の発生を抑えることができる。

なお、第３の流路部２３０の底面２３０ｂの傾斜角Ｒ_１（図６（ｃ））は、第２の流路部２２０の境界層の剥離が生じやすい領域に向かってインクが流れるような角度であることが好ましい。すなわち、傾斜角Ｒ_１は、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１と第３の流路部２２０ａの壁の高さＮ_１とのバランスで決定される。本発明者の実施した理論演算の結果によると、０＜Ｒ_１≦Ｒ_２／２に設定され、より好ましくは３０°≦Ｒ_１≦６０°程度にすることが望ましい。なお、本実施形態では、Ｌ_１＝Ｍ_２／２、Ｎ_１＝Ｎ_２のとき、Ｒ_１＝４５°が最良の形態であった。

また、第３の流路部２３０の壁２３０ａの高さＮ_１は、インクの運動エネルギーを十分に減衰させ、且つ第２の流路部２２０の壁２２０ａに偏向させるために、第１の流路部２１０の流路高さＮ_２に対し、Ｎ_２／２≦Ｎ_１≦Ｎ_２とすることが好ましい。

本実施形態においても、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１や第３の流路部２３０の幅Ｍ_１の好ましい範囲は上述の実施形態と同様である。

なお、図７に示すように、第１の流路部２１０と第２の流路部２２０とのなす屈曲角度Ｒ_２が９０°でなく鋭角や鈍角であってもよい。このとき、第３の流路部２３０の壁２３０ａが第１の流路部２１０のインクの流れ方向に対して垂直であり、且つ傾斜角Ｒ_１が第１の流路部２１０と第２の流路部２２０とのなす屈曲角度Ｒ_２に対して、０＜Ｒ_１≦Ｒ_２／２であることが好ましい。

図９（ａ）、（ｂ）に、本実施形態の変形例を示す。本変形例は、第３の流路部２３０の断面が半円形状であり、すなわち、第１の流路部２１０のインクの流れ方向における終端部を形成する壁２３０ａが湾曲面で形成されている。このような構成とすることで、以下の観点で好ましい。

すなわち、第３の流路部２３０の断面積が壁２３０ａに向かって徐々に小さくなるため、図９（ｂ）の紙面奥行き方向における壁２３０ａの中央部分に向かってインクの運動エネルギーが集まりやすくなる。その後、底面２３０ｂによってインクの流れる向きが変わるため、第２の流路部２２０の壁２２０ａのうちの中央部分に向かってインクの運動エネルギーが集まりやすくなるため、気泡の発生を一層抑制することができる。

また、第１の流路部２１０は途中に湾曲部２１１を備える流路であるが、このように湾曲部２１１があるとインクの進行方向にヨーイングモーメントが発生して、第２の流路部２２０へインクが流れる際に、空気の巻き込みを発生してしまうことがある。そこで、本変形例のように、第３の流路部２３０の壁２３０ａを湾曲面とすることで、ヨーイングモーメントを減衰することができ、空気の巻き込みの発生を抑制することができる。

なお、上記の観点においては、第３の流路部２３０の断面は半円形状（図９（ａ））に限定されず、第３の流路部の断面積が壁２３０ａに向かって小さくなる形状であればよく、例えば、断面の形状が三角形等の多角形であってもよい。

本実施形態では、顔料ブラックインク用の流路に第３の流路部２３０を設けた構成であるが、カラーインク用の流路に第３の流路部２３０を設けた構成であってもよい。なお、特に顔料ブラックインク用の流路１０、すなわち、記録素子列の長さが長い記録素子基板５００ａにインクを供給する流路では気泡が発生し易いため、顔料ブラックインク用の流路１０のみに第３の流路部２３０を設けてもよい。ここで、図１２を用いて顔料ブラックインク用の流路１０で気泡が発生し易い理由を説明する。図１２（ａ）は顔料ブラックインク用の流路１０であり、図１２（ｂ）はカラーインク用の流路２０である。

図１２（ｂ）のカラーインク用の流路２０では、第１の流路部２１２のインクが通過する断面積と第２の流路部２２２のインクが通過する断面積が等しく、また第２の流路部２２２がインクの通過方向に対して断面積変化が無い。このような形状の流路では、気泡は発生しにくい。

一方、図１２（ａ）の顔料ブラックインク用の流路１０では、第２の流路部２２０のインクが通過する断面積が第１の流路部２１０のインクが通過する断面積より大きく、またインクの通過方向に対して末広がりに第２の流路部２２０の断面積が大きくなっている。このような形状の流路では境界層の剥離が誘発されて気泡が発生し易くなる。

したがって、特に気泡が発生し易い流路１０には第３の流路部２３０を設けて気泡の発生を抑えることが望ましく、気泡が発生し易い流路１０のみに第３の流路部２３０を設けることで、高密度に流路を配設することができる。

（第４の実施形態）
次に、図１０、図１１を用いて第４の実施形態について説明する。

図１０は、第４の実施形態における顔料ブラックインク用の流路１０の一部を示している。図１０（ａ）はその概観斜視図であり、（ｂ）はその側面図である。

なお、本実施形態は、図１０に示すように第３の流路部２３０の上面２３０ｃ（第３の壁）が傾斜面となっている点で上述の実施形態と異なっているが、基本的な構成は上述の実施形態と同様である。以降、図９に示した第３の実施形態の変形例において、第３の流路部２３０の上面２３０ｃを傾斜面とした場合の本実施形態について説明する。

本実施形態は、図１０に示すように、第１の流路部２１０につながる第３の流路部２３０の上面２３０ｃ（第３の壁）は、第１の流路部２１０の上面２１０ｃに向かって傾斜する傾斜面となっている。ここで、上面２３０ｃは、第１の流路部２１０の延びる方向及び第２の流路部２２０の延びる方向に対して傾斜している。

そのため、図１１に示すように、第１の流路部２１０を通って流れてきたインクは、第３の流路部２３０の上面２３０ｃに衝突し、この上面２３０ｃの傾斜に沿う方向にインクの流れの向きが偏向される。更に、第３の流路部２３０の底面２３０ｂの傾斜に沿ってインクが流れて、第２の流路部２２０の壁２２０ａ境界層の剥離が生じやすい領域に向かってインクが流れる。これにより、流路の屈曲部の近傍の第２の流路部２２０の壁２２０ａにおける気泡の発生を抑えることができる。

なお、第３の流路部２３０の上面２３０ｃは、底面２３０ｂに向けてインクの運動エネルギーを偏向することを目的とした構成である。本発明者の実施した理論演算の結果に基づいて、この上面２３０ｃの傾斜角Ｒ_３は、０＜Ｒ_３≦Ｒ_２／２に設定され、より好ましくは１５°≦Ｒ_３≦４５°程度にすることが望ましい。本実施形態では、Ｌ_１＝Ｍ_２／２、Ｎ_１＝Ｎ_２のとき、Ｒ_３＝３０°が最良の形態であった。

また、本実施形態においても、第３の流路部２３０の奥行きＬ_１や第３の流路部２３０の幅Ｍ_１、傾斜角Ｒ_１の好ましい範囲は上述の実施形態と同様である。

上述の実施形態では、順方向の運動エネルギーを減衰させることで気泡の発生を抑制するものであったが、本実施形態の構成は、インクの流れる向きを変えることで気泡の発生を抑制するものである。したがって、本実施形態は、特に高速でインクを流路内に充填するときに有効である。

なお、上述の実施形態ではインクジェット記録ヘッドの流路について説明したが、本発明は、気泡の発生を抑えるための構成として屈曲部を備える流路において有効であり、インクジェット記録ヘッドの流路に限定されない。

１ インクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
１０ 流路
２１０ 第１の流路部
２２０ 第２の流路部
２３０ 第３の流路部
２３０ａ 第１の壁
５００ 記録素子基板（液体吐出基板）

Claims (8)

1. 液体を吐出する液体吐出基板と、
   前記液体吐出基板に液体を供給する流路と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記液体吐出ヘッドの使用状態において、
   前記流路は、前記液体吐出基板に液体を供給し、水平方向に液体を供給する第１の流路部と、
   前記第１の流路部に連通し、鉛直方向に延びる第２の流路部と、
   前記第１の流路部を流れる液体の流れに関して前記第１の流路部と前記第２の流路部とが連通する位置よりも下流側に設けられ、前記第１の流路部と前記第２の流路部とに連通する第３の流路部と、を有し、
   前記第３の流路部は、前記水平方向に関する前記流路の端部を形成し、前記鉛直方向に直線状に延びる第１の壁と、前記第１の流路部と繋がる前記第２の流路部を形成する壁に向かって傾斜する傾斜面を構成する、前記第１の壁と前記第２の流路部とを繋ぐ第２の壁と、を備えており、
   前記傾斜面は、前記第１の流路部と前記第２の流路部とが連通する位置よりも前記第２の流路部を流れる液体の流れに関して下流側に設けられており、
   前記第１の壁は、前記第１の流路部の天井部を構成し水平方向に延びる壁と直接接続され、当該壁と前記第１の壁とは直交していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 液体を吐出する液体吐出基板と、
   前記液体吐出基板に液体を供給する流路と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記液体吐出ヘッドの使用状態において、
   前記流路は、前記水平方向に液体を供給する第１の流路部と、前記第１の流路部に連通し、鉛直方向に延びる第２の流路部と、前記第１の流路部と前記第２の流路部とに連通する第３の流路部と、を有し、
   前記第３の流路部は、前記第２の流路部を形成する壁のうちの、前記第１の流路部を流れる液体の流れに関して最も下流側の位置に設けられた壁よりも前記下流側の位置に設けられ、前記水平方向に関する前記流路の端部を形成し、前記鉛直方向に直線状に延びる第１の壁と、前記第２の流路部を形成する壁のうちの、前記第１の流路部の液体の流れに関して最も上流側の位置に設けられた壁に向かって傾斜する傾斜面を構成する、前記第１の壁と前記第２の流路部とを繋ぐ第２の壁と、を備えており、
   前記傾斜面は、前記第１の流路部と前記第２の流路部とが連通する位置よりも前記第２の流路部を流れる液体の流れに関して下流側に設けられており、
   前記第１の壁は、前記第１の流路部の天井部を構成し水平方向に延びる壁と直接接続され、当該壁と前記第１の壁とは直交していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記第３の流路部の断面積は、前記水平方向に関して前記第１の壁に近いほど小さい、請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１の壁は、前記鉛直方向から見て半円形状である、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路は、液体を収容するタンクと前記液体吐出基板との間に設けられている、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記液体吐出基板は液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が配列された第１の素子列及び第２の素子列を備えており、前記第２の素子列は前記第１の素子列よりも長さが短く、第１の素子列に液体を供給する前記流路には前記第３の流路部が設けられており、前記第２の素子列に液体を供給する流路には、前記第３の流路部は設けられていない、請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２の流路部は、前記第２の流路部の液体の流れ方向に関して断面積が大きくなる、請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記流路の内部が乾いた状態で前記液体吐出基板から液体を吸引し、前記流路に液体を充填する吸引手段と、
   を有する液体吐出装置。

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