JP6881461B2 - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Description

本発明はインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関し、詳しくは、圧力室内の残留気泡を良好に排除できるようになされたインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。

一般的なプリンタ（インクジェット記録装置）において用いられるインクジェットヘッドとして、シアーモード（エッジ（エンド）シュータ、サイドシュータ）型、ベンドモード型など各種のインクジェットヘッドが提案されている。

これら各種のインクジェットヘッドにおいては、圧力室（インクチャネル）に注入されたインクを共通インク室に戻すインク循環機構を備えたインクジェットヘッドが提案されている（特許文献１、２）。インク循環機構を設ける目的は、圧力室内の気泡の除去、インクの沈降防止、初期導入時のインク廃棄量の低減、デキャップの防止などである。

特開２０１６−１０７４１８号公報 国際公開第２００７／００６６１８号

ところで、上述したインクジェットヘッドにおいては、圧力室内に流速の小さい又は流速のないデッドスペースができることがあり、このようなデッドスペースに気泡が残留する虞がある。

そこで、本発明は、圧力室内の残留気泡を良好に排除できるようになされたインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを課題とする。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

１．
インクを貯留する共通インク室と、
前記共通インク室に注入孔を介して連通し、該注入孔を介して前記共通インク室からインクが注入され、圧力発生手段によって容積変動を生ずる少なくとも１つの圧力室と、
前記圧力室に連通し、該圧力室から外部に吐出されるインクの流路となるノズルと、
前記圧力室内の前記ノズルの近傍において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させるノズル部排出路と、
前記圧力室内の前記ノズルから離れた位置において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させる少なくとも１つの排出路とを備えたインクジェットヘッド。
２．
前記排出路は、１つの圧力室あたり複数設けられている前記１記載のインクジェットヘッド。
３．
前記排出路は、前記圧力室内の前記ノズルから離れた端部近傍において該圧力室に連通している前記１又は２記載のインクジェットヘッド。
４．
前記排出路の流路抵抗は、前記ノズル部排出路の流路抵抗以下である前記１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
５．
前記排出路の平均断面積は、前記ノズル部排出路の平均断面積以上である前記１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
６．
前記ノズル部排出路及び前記排出路は、前記ノズルが形成されたノズルプレートに形成されている前記１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
７．
前記ノズル部排出路及び前記排出路は、共通流路に連通している前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
８．
複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっている前記１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッド。
９．
複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっており、
前記圧力室とともに配列され、該圧力室を挟んで両隣に位置し、該圧力室の容積変動により容積変動を生ずる擬似圧力室を有し、
前記排出路及び前記ノズル部排出路は、前記擬似圧力室に連通している前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
１０．
複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっており、
前記圧力室とともに配列され、該圧力室の容積変動により容積変動を生ずる擬似圧力室及び空気室を有し、
前記ノズル部排出路及び前記排出路は、前記擬似圧力室に連通しており、
前記空気室は、密閉されている前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
１１．
前記各圧力室は、各圧力室の配列方向の内寸よりも、該配列方向及び前記インクの吐出方向に直交する方向の内寸が長くなっている前記８〜１０の何れかに記載のインクジェットヘッド。
１２．
前記擬似圧力室の前記ノズルに垂直な横断面積は、前記圧力室の横断面積よりも大きい前記９又は１０記載のインクジェットヘッド。
１３．
前記１〜１２の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに移送されるインクが貯蔵されるインクタンクと、
前記インクタンク内のインクを前記インクジェットヘッドに移送するインク移送部とを備えたインクジェット記録装置。
１４．
前記１〜１２の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに移送されるインクが貯蔵されるインクタンクと、
前記インクタンク内のインクを前記インクジェットヘッドに移送するとともに、前記インクジェットヘッドに移送されたインクを回収するインク移送部とを備え、
前記ノズル部排出路又は前記排出路を経て前記圧力室から排出されたインクは、前記インクジェットヘッドから回収されたインクに合流されるインクジェット記録装置。

本発明によれば、圧力室内の残留気泡を良好に排除できるようになされたインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。

本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す要部概略構成図 本発明に係るインクジェットヘッドにおけるインクの流路を示す流路図 図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの斜視図 図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの分解斜視図 図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの構造を概念的に示す拡大平面図 インクジェットヘッドのヘッドチップの構造の他の例を概念的に示す拡大平面図 図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの拡大断面図 図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路の他の例を示す拡大断面図 図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路のさらに他の例を示す拡大断面図 図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路のさらに他の例を示す拡大断面図 図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの他の例を示す拡大断面図 インク回収管を一部切欠した状態を示す流量調整部材の一例を示す斜視図 本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す縦断面図 本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す横断面図

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。

〔インクジェット記録装置〕
図１は、本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す要部概略構成図であり、インクジェットヘッドを一部断面で示している。

インクジェット記録装置１００は、図示しない搬送手段によって一定方向（副走査方向）に搬送される記録媒体上に、インクジェットヘッド１からインクを吐出して画像を記録する。いわゆるワンパス方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１は固定して配置され、記録媒体が搬送される過程で、ノズル２２から記録媒体に向けてインクを吐出する。また、いわゆるスキャン方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１は、図示しないキャリッジに搭載され、該キャリッジが副走査方向に直交する主走査方向に沿って移動する過程で、ノズル２２から記録媒体に向けてインクを吐出する。

図１では、１つのインクジェットヘッド１のみを示しているが、一般にインクジェット記録装置１００には、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、Ｋ（ブラック）等の各色インク用の複数のインクジェットヘッド１が搭載される。本実施形態に示すインクジェット記録装置１００においては、インクを貯蔵するインクタンク１０１とインクジェットヘッド１の共通インク室４１とが、インク移送管１０２及びインク返送管１０３によって連通されている。

インク移送管１０２の途中には、インクジェット記録装置１００の制御部１０４によって駆動制御される移送ポンプ１０５が設けられている。この移送ポンプ１０５が駆動することにより、インクタンク１０１内のインクが、インク移送管１０２を介してインクジェットヘッド１に移送される。また、移送ポンプ１０５が駆動することにより、インクジェットヘッド１内のインクが、インク返送管１０３を介してインクタンク１０１に戻される。このインクジェット記録装置１００において、インク移送管１０２、制御部１０４及び移送ポンプ１０５は、インクタンク１０１内のインクをインクジェットヘッド１に移送するインク移送部を構成している。

インクタンク１０１は、格別限定されないが、タンクの底面に到達しない仕切り板１０１ａによって、インク移送室１０１ｂとインク返送室１０１ｃとに仕切ることが好ましい。この場合、インク移送室１０１ｂ内にインク移送管１０２の一端部を配置し、また、インク返送室１０１ｃ内にインク返送管１０３の一端部を配置する。仕切り板１０１ａは、インク返送室１０１ｃに返送されてきたインクに含まれる気泡が再度インク移送管１０２に流入しないように、インクを十分に脱気するために設けられる。気泡自体は浮力が高いので、気泡が仕切り板１０１ａの下側を通過してインク移送室１０１ｂに流入することが制限される。このような態様は、インクを循環使用する場合に好ましい態様である。

〔インクジェットヘッド〕
次に、図１に示した本発明に係るインクジェットヘッド１の具体的構成について説明する。

本発明は、例えばシアーモード（エッジ（エンド）シュータ、サイドシュータ）型、ベンドモード型、いわゆるＭＥＭＳ型など各種のインクジェットヘッドに適用することができ、すなわち、本発明に係るインクジェットヘッドは、これら各種のインクジェットヘッドとして構成することができる。

本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、シアーモードヘッドとして構成したものである。このインクジェットヘッド１は、インク吐出面１Ｓが鉛直方向下側に向くように設置されて使用される。なお、本明細書において、「上」及び「下」は、「鉛直方向上側」及び「鉛直方向下側」を意味し、図１に示す使用状態の側面図における上側及び下側に対応する。ただし、本発明のインクジェットヘッドの使用状態は、インク吐出面１Ｓを鉛直方向下側に向ける状態に限定されず、傾けて使用してもよい。

インクジェットヘッド１は、図１に示すように、共通インク室４１を構成するインクマニホールド４と、このインクマニホールド４に接着された配線基板３と、配線基板３を挟んでインクマニホールド４の反対側の面（下面）に接着されたヘッドチップ２とを有して構成されている。

配線基板３は、例えばガラス基板である。この配線基板３には、図示しない電源回路にＦＰＣ基板を介して接続される図示しない配線パターンが形成されている。インクマニホールド４は、合成樹脂等によって、下面に開口部４ａを有する横長の箱型に形成されている。このインクマニホールド４は、下面に接着された配線基板３によって、開口部４ａを塞がれている。インクマニホールド４の内部空間は、インクタンク１０１から供給されるインクが貯留される共通インク室４１となる。

ヘッドチップ２には、複数の圧力室（インクチャネル）２３及び複数の擬似圧力室（ダミーチャネル）２５が形成されている。圧力室２３は、注入孔３１ａを介して共通インク室４１に連通しており、図示しない電源回路からＦＰＣ基板及び配線基板３の配線パターンを介して電圧を印加すると容積変動を生ずる。擬似圧力室２５は、少なくとも圧力室２３を挟んで両隣に位置し、隣接する圧力室２３の容積変動に伴って容積変動を生ずる。この実施形態においては、圧力室２３と擬似圧力室２５とが１つずつ交互に配列されることにより、擬似圧力室２５が圧力室２３を挟んで両隣に位置する状態になっている。すなわち、圧力室２３及び擬似圧力室２５は、「擬似圧力室２５−圧力室２３」を一単位としてこれが繰り返される配列となっている。

図２は、このインクジェットヘッドにおけるインクの流路を示す流路図である。

共通インク室４１には、図１及び図２に示すように、この共通インク室４１内にインクを供給する流路をなすインク供給管５ａが連設されている。このインク供給管５ａは、圧力室（インクチャネル）２３から遠い側（上側）において、共通インク室４１に連通されている。このインク供給管５ａの上端側には、接続部７ａが設けられている。この接続部７ａは、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａは、インク移送管１０２に連通している。これにより、インクジェットヘッド１は、インクジェット記録装置１００からのインクの移送が可能となる。

また、共通インク室４１には、この共通インク室４１内からインクを回収する流路をなすインク回収管５ｂが連設されている。このインク回収管５ｂは、圧力室２３から遠い側（上側）において、共通インク室４１に連通されている。このインク回収管５ｂの上端側には、接続部７ｂが設けられている。この接続部７ｂは、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ｂに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ｂは、インク返送管１０３に連通している。これにより、インクジェットヘッド１は、インクジェット記録装置１００へのインクの返送が可能となる。

このインクジェットヘッド１において、インク供給管５ａから、インク回収管５ｂの途中の後述するバッファ空間部６に至る流路が、主流路Ｆ１となる。

インク供給管５ａとインク回収管５ｂとは、共通インク室４１の長手方向の両端部に離して配置することが好ましい。本実施形態におけるインク供給管５ａは、インクマニホールド４の上面における図１中の左側の端部に配置され、また、インク回収管５ｂは、インクマニホールド４の上面における図１中の右側の端部に配置されている。これにより、インク供給管５ａから共通インク室４１に供給されたインクを、インク回収管５ｂに向けて、共通インク室４１内の全体に亘って流すことができる。従って、共通インク室４１内にインクが滞留する部位が形成されにくく、インク中の気泡をより効率良く排除することができる。

インクマニホールド４内には、共通インク室４１に隣接して、インク排出室４１２が設けられている。このインク排出室４１２は、共通インク室４１に対しては、隔壁４５によって分離されている。この隔壁４５は、インクマニホールド４に一体的に形成することができる。

図３は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの斜視図である。

図４は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの分解斜視図である。

前述したように、ヘッドチップ２には、図３及び図４に示すように、複数の圧力室２３及び複数の擬似圧力室２５が形成されている。圧力室２３は、一対の圧力発生手段である圧電素子（駆動壁）２４，２４により構成されている。圧電素子２４，２４は、一つの圧力室２３あたり２枚（一対）が設けられており、各圧力室２３それぞれの両壁部をなしている。一の圧力室２３を構成する圧電素子２４と、隣接する圧力室２３を構成する圧電素子２４との間には空隙があり、この空隙が擬似圧力室２５である。したがって、各圧力室２３は独立して駆動（膨張又は収縮）することができる。

なお、このインクジェットヘッド１においては、擬似圧力室２５を設けず、隣接する圧力室２３，２３が１枚の駆動壁２４を共用するように構成してもよい。この場合には、各圧力室２３が独立して駆動（膨張又は収縮）することはできないので、いわゆる３サイクル駆動を行う。

各圧力室２３は、配線基板３に形成された注入孔３１ａを介して共通インク室４１に連通している。共通インク室４１内のインクは、注入孔３１ａを介して、各圧力室２３に注入される。各圧力室２３は、圧電素子２４への電圧の印加によって容積変動を生ずる。また、ヘッドチップ２において、配線基板３の反対側の面（下面）には、各圧力室２３に対応された複数のノズル２２が設けられたノズルプレート２１が接着されている。ノズル２２は、圧力室２３を外部（下方）に連通させている。ノズルプレート２１の下面部がインク吐出面１Ｓとなる。各圧力室２３内のインクは、圧電素子２４の作用によって吐出圧力を付与され、ノズル２２を通って外部（下方）の記録媒体に向けて吐出される。すなわち、ノズル２２は、各圧力室２３内から外部（下方）に吐出されるインクの流路となる。

圧力室２３内のインクに吐出圧力を付与するための具体的な手段は問わず、公知の種々の手段を採用することができる。本実施形態では、図３及び図４に示すように、隣り合う圧力室２３，２３は、圧電素子２４、２４及び疑似圧力室２５によって隔てられている。圧電素子２４は、圧力室２３内に臨む面に形成された図示しない駆動電極に、例えば制御部１０４から配線基板３に形成された図示しない配線を経て所定電圧の駆動電圧が印加されることによって、せん断変形する。圧力室２３の両側の圧電素子２４、２４がせん断変形することにより、圧力室２３内は膨張又は収縮する。これにより、圧力室２３内のインクに圧力が付与され、ノズル２２を通ってインクが吐出される。

ヘッドチップ２に形成される圧力室２３は、その数は特に問わない。本実施形態に示すヘッドチップ２は、複数の圧力室２３が、ヘッドチップ２の長手方向である図３及び図４中Ｘ方向に沿う複数列に配列されている。

図５は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの構造を概念的に示す拡大平面図である。

そして、圧力室２３と、一方側に隣接する擬似圧力室２５とは、図３〜図５に示すように、ノズル部排出路２６ａ及び２本の排出路２６ｂ、２６ｃによって連通されている。ノズル部排出路２６ａは、圧力室２３内のノズル２２の近傍において圧力室２３に連通し、圧力室２３内のインクを擬似圧力室２５に排出させ、残留気泡の排出を行う。排出路２６ｂ、２６ｃは、圧力室２３内のノズル２２から離れた位置において圧力室２３に連通し、圧力室２３内のインクを擬似圧力室２５に排出させ、残留気泡の排出を行う。

本実施形態において、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、ノズルプレート２１の上面に各圧力室２３に対応して形成され一方側に隣接する擬似圧力室２５に達する溝であり、このノズルプレート２１がヘッドチップ２に取付けられることにより、流路を構成している。

本実施形態において、１つの圧力室２３に連通されたノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、同一の擬似圧力室２５に連通されるので、流路抵抗の変動が等しくなり、安定して残留気泡の排出を行うことができる。

なお、排出路２６ｂ、２６ｃは、前述のように、ノズルプレート２１に形成した溝により構成し、圧力室２３のノズルプレート２１側（下側）に設けることにより、圧力室２３の深さ方向の全体に渡る流路を形成することができ、圧力室２３の端部近傍に残留する気泡を良好に除去することができる。この場合、ノズルプレート２１のみの加工によってノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃを形成できるので、作製が容易である。ただし、排出路２６ｂ、２６ｃの位置はこれに限定されず、ヘッドチップ２の上面及び／又は配線基板３の下面に形成した溝により構成し、圧力室２３の配線基板３側（上側）に設けてもよい。

排出路２６ｂ、２６ｃは、圧力室２３の長手方向の両端部近傍において圧力室２３に連通することが好ましい。圧力室２３の両端部近傍は、気泡が残留することが多い箇所であるからである。したがって、排出路２６ｂ、２６ｃは、圧力室２３の長手方向の両端部において圧力室２３に連通することがより好ましい。

そして、各圧力室２３は、各圧力室２３の配列方向（図中Ｘ方向）の内寸よりも、配列方向及びインクの吐出方向（ノズル２２の軸方向）に直交する方向の内寸が長くなっており、開口断面形状が長方形となっている。したがって、圧力室２３から各排出路２６ｂ、２６ｃへの連通箇所は圧力室２３の開口断面形状の長辺に設けることができ、複数の連通箇所を設けることが容易である。

また、各擬似圧力室２５のノズル２２に垂直な横断面積は、圧力室２２の横断面積よりも大きくなっている。そのため、圧力室２３よりも擬似圧力室２５のほうが各排出路２６ｂ、２６ｃへの連通箇所を設けることができる範囲が広く、圧力室２３から擬似圧力室２５に向かう各排出路２６ｂ、２６ｃの位置及び方向に一定の誤差があっても、擬似圧力室２５に到達することができる。

なお、各ノズル部排出路２６ａ及び各排出路２６ｂ、２６ｃの流路抵抗の合計は、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、移送ポンプ１０５が与える圧力等の条件を勘案して規定される。各ノズル部排出路２６ａ及び各排出路２６ｂ、２６ｃは、その流路抵抗の合計が既定値から外れない限りにおいて、それぞれ適宜に開口面積及び長さを設定することができる。

各排出路２６ｂ、２６ｃの流路抵抗の合計は、各ノズル部排出路２６ａの流路抵抗の合計以下であることが好ましい。そのためには、各排出路２６ｂ、２６ｃの平均断面積は、各ノズル部排出路２６ａの平均断面積以上であることが好ましい。各排出路２６ｂ、２６ｃの流路抵抗が低いことにより、各ノズル部排出路２６ａよりも多くのインクが各排出路２６ｂ、２６ｃから排出され、圧力室２３の両端部近傍の残留気泡を良好に排出することができる。

図６（ａ）、（ｂ）は、インクジェットヘッドのヘッドチップの構造の他の例を概念的に示す拡大平面図である。

ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、図６（ａ）に示すように、これらが互いに合流した状態で、擬似圧力室２５に達するように形成してもよい。

また、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃの何れか又は全部は、図６（ｂ）に示すように、各圧力室２３から両隣の２つの擬似圧力室２５、２５に達するように形成してもよい。

以上に述べた実施形態においては、１つの圧力室あたりに２本の排出路を設けているが、排出路は、１つの圧力室２３あたりに１本のみを設けてもよい。ただし、排出路は、ノズル部排出路との流路抵抗の合計が既定値から外れない限りにおいて、１つの圧力室あたりに複数設けることが好ましい。１つの圧力室あたりに設ける排出路の本数及び方向を増やすことにより、いずれかの排出路が目詰まりを起こしたときに、インクを排出できる排出路が残る確率が高くなり、残留気泡排出の信頼性を高めることができる。

図７は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの拡大断面図である。

そして、図７に示すように、各擬似圧力室２５の側方に連通して、個別連通路４２２が形成されている。これら個別連通路４２２は、ヘッドチップ２に形成されている。これら個別連通路４２２は、共通流路４２１に連通して合流している。この共通流路４２１は、ヘッドチップ２の側面に、圧力室２３の配列方向（Ｘ方向）に刻設された溝であり、ヘッドチップ２の側面に閉蓋部材２７が取付けられることにより、流路を構成している。なお、前述したように、各擬似圧力室２５のノズル２２に垂直な横断面積は、圧力室２２の横断面積よりも大きくなっているので、各擬似圧力室２５の側方に連通するように共通流路４２１を形成しても、この共通流路４２１が各圧力室２２の側方に連通することはない。

共通流路４２１の端部は、ヘッドチップ２に形成された排出チャネル４２４に連通されている。この排出チャネル４２４は、ヘッドチップ２の長手方向一端側に形成され、インク排出室４１２の下方に位置している。このようにして、注入孔３１ａからノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃを経て擬似圧力室２５までの空間は、排出チャネル４２４に連通されている。

注入孔３１ａから圧力室２３に注入されたインクの一部は、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃを経て擬似圧力室２５に至り、さらに、個別連通路４２２を経て、共通流路４２１に至る。そして、共通流路４２１に至ったインクは、排出チャネル４２４を経て、配線基板３に形成された排出孔３１ｂを通って、インク排出室４１２に至る。

なお、擬似圧力室２５を設けない場合においては、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、共通流路４２１に連通される。ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃから共通流路４２１に至ったインクは、排出チャネル４２４を経て、配線基板３に形成された排出孔３１ｂを通って、インク排出室４１２に至る。この場合も、１つの圧力室２３に連通されたノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、同一の共通流路４２１に連通されるので、流路抵抗の変動が等しくなり、安定して残留気泡の排出を行うことができる。

このインクジェットヘッド１においては、ヘッドチップ２に設けられた個別連通路４２２及び共通流路４２１がヘッド内のインク流路となり、このインク流路により、各圧力室２３内の残留気泡を良好に排出することができる。そのため、正常な吐出動作を確保することができる。

なお、このインクジェットヘッド１においては、各圧力室２３内から各擬似圧力室２５、各個別連通路４２２及び共通流路４２１を経てインク排出室４１２に至る流路が形成されているので、これらの流路抵抗の総和を考慮して、この条件においてノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、移送ポンプ１０５が与える圧力等の条件が決定される。

そして、図１及び図２に示すように、インク排出室４１２には、このインク排出室４１２内からインクを排出する流路をなすインク排出管５ｃが連設されている。このインク排出管５ｃの上端側は、インク回収管５ｂに合流している。インク回収管５ｂとインク排出管５ｃとは、合流箱６１に接続されることによって合流している。

合流箱６１は、合成樹脂材料や金属材料から一体的に構成されており、内部にバッファ空間部６が形成されている。合流箱６１の外面には、バッファ空間部６に至る第１乃至第３の開口部４８ａ，４８ｂ，４８ｃが形成されている。第１の開口部４８ａからバッファ空間部６を経て第３の開口部４８ｃに至る流路は、インク回収管５ｂの中途部に介在されている。実装状態としては、インク回収管５ｂを中途部において上流側及び下流側に分け、上流側を第１の開口部４８ａに接続させ、下流側を第３の開口部４８ｃに接続させることになる。そして、第２の開口部４８ｂには、インク排出管５ｃを接続させる。

このように、本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、インク回収管５１ｂ及びインク排出管５１ｃが合流箱６１によって合流されているため、インクジェット記録装置１００側の配管等との接続部位は、インク供給管５１ａ（接続部７ａ）及びインク回収管５１ｂ（接続部７ｂ）の２箇所のみで済む。従って、インクジェット記録装置１００側の配管等との接続部位の数は、一般的なインクジェットヘッドに対して増加せず、接続作業が煩雑化することはない。

また、本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、インク供給管５１ａ（接続部７ａ）及びインク回収管５１ｂ（接続部７ｂ）の２箇所のみで、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａ、１０６ｂと接続される構造であるため、循環機構を備えた既設のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドとの互換性を備えている。すなわち、一般に、インクマニホールド４内のインクを循環させる循環機構を有するインクジェット記録装置は、各インクジェットヘッドに対して、インクの供給部及び回収部の２箇所で配管接続する構造となっている。そのため、本実施形態のインクジェットヘッド１によれば、既設装置を設計変更する必要なく、接続部７ａ、７ｂの２箇所のみの接続によって交換及び設置が可能である。

このインクジェットヘッド１において、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃから、個別連通路４２２、共通流路４２１、排出チャネル４２４、排出孔３１ｂ、インク排出室４１２及びインク排出管５ｃを経て、バッファ空間部６に至る流路が、排出流路４２３となる。この排出流路４２３は、圧力室２３に連通し、この圧力室２３内のインクを排出させ、バッファ空間部６においてインク回収管５ｂに合流させる流路である。そして、各注入孔３１ａを経て、排出流路４２３（ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃからバッファ空間部６への入口）までが、副流路Ｆ２となる（図２参照）。

ところで、排出流路４２３は各圧力室２３に対応したノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃ及び各擬似圧力室２５に対応した個別連通路４２２の全てを通過する流路として構成されているため、圧力室２３の高密度化に伴い、排出流路４２３全体の流路抵抗は大きくなっている。従って、インク排出管５ｃをインク回収管５ｂに合流させても、インク供給管５ａからインク回収管５ｂを経る主流路Ｆ１の流量が多く、各注入孔３１ａから排出流路４２３に至る副流路Ｆ２の流量が少ないために、これらが円滑に合流しないことが考えられる。このインクジェットヘッド１においては、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との合流（インク排出管５ｃとインク回収管５ｂとの合流）を、バッファ空間部６において行い、また、後述する流量調整部材９や吸引ポンプを使用することにより、これら主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の流量が異なっても、円滑に合流させることができる。

上述のようなインクジェットヘッド１及びこれを備えたインクジェット記録装置１００によれば、インク供給管５ａからインクを供給するだけで、共通インク室４１内の残留気泡を主流路Ｆ１を経てインク回収管５ｂから排出させるのみならず、ノズル２２から引き込まれた圧力室２３近傍の気泡をも、副流路Ｆ２を経てインク排出管５ｃから迅速に排出させることができる。よって、インクマニホールド４内の全体（共通インク室４１内及び圧力室２３の近傍）の残留気泡除去を効率的に行うことができる。また、沈降し易い粒子や顔料等が含まれているインクを使用する場合でも、画像記録中の各個別連通路４２２及び共通流路４２１における粒子や顔料等の沈降を効果的に抑制して、インクの濃度偏差を抑制することができる。

なお、この実施形態のように、ヘッドチップ２の側面に刻設された溝により共通流路４２１を構成することにより、共通流路４２１の幅を大きくすることが可能である。ヘッドチップ２の側面は、共通流路４２１となる溝の幅を阻害なく拡げられる面積を有するからである。ヘッドチップ２の側面に閉蓋部材２７を取付けなければならないという構造上の制限はあるものの、共通流路４２１の幅を大きくすることにより共通流路４２１の流路抵抗を下げられるという効果が得られる。

次に、閉蓋部材２７を用いずに構成できる共通流路４２１及び個別連通路４２２の構成例を、図８〜図１０を用いて説明する。

〔個別連通路及び共通流路の他の実施形態〕
図８は、図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路の他の例を示す拡大断面図である。図１と同一符号の部位は同一機能の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。

このインクジェットヘッド１において、個別連通路４２２及び共通流路４２１は、図８に示すように、ノズルプレート２１の上面に形成した溝によって構成してもよい。この場合には、ヘッドチップ２の下面にノズルプレート２１が接着されることにより、個別連通路４２２及び共通流路４２１が構成される。

この場合にも、各擬似圧力室２５内のインクは、個別連通路４２２を経て、共通流路４２１に至って合流し、排出チャネル４２４及び排出孔３１ｂを経て、インク排出室４１２に至る。

図９は、図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路のさらに他の例を示す拡大断面図である。図１と同一符号の部位は同一機能の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。

このインクジェットヘッド１において、個別連通路４２２及び共通流路４２１は、図９に示すように、ヘッドチップ２とノズルプレート２１との間に板状のスペーサ部材として流路プレート３３を介在させ、この流路プレート３３の上面に形成した溝によって構成してもよい。この場合には、ヘッドチップ２の下面に流路プレート３３が接着されることにより、個別連通路４２２及び共通流路４２１が構成される。ノズルプレート２１は、この流路プレート３３の下面に接着される。流路プレート３３には、各ノズル２２に対応した透孔が穿設されている。

流路プレート３３の材料としては、ガラス、シリコン、ステンレス、ポリイミド樹脂等を好ましく挙げることができる。価格の点（安価であること）では、ガラス、ステンレス、ポリイミドが優れており、加工の容易性では、ステンレス、ポリイミドが優れており、加工精度では、シリコンが優れており、化学的安定性では、ガラス、ポリイミドが優れている。

この場合において、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃは、流路プレート３３の上面に形成した溝によって構成することができる。この場合には、ヘッドチップ２の下面に流路プレート３３が接着されることにより、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃが構成される。

図１０は、図１に示すインクジェットヘッドの共通流路及び個別連通路のさらに他の例を示す拡大断面図である。図１と同一符号の部位は同一機能の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。

このインクジェットヘッド１において、個別連通路４２２及び共通流路４２１は、図１０に示すように、配線基板３の下面（及び／又はヘッドチップ２の上面）に形成した溝によって構成してもよい。この場合には、ヘッドチップ２上に配線基板３が重ねられることにより、個別連通路４２２及び共通流路４２１が構成される。

この場合にも、各擬似圧力室２５内のインクは、個別連通路４２２を経て、共通流路４２１に至って合流し、排出チャネル４２４及び排出孔３１ｂを経て、インク排出室４１２に至る。

なお、前述したノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃの各実施形態と、個別連通路４２２及び共通流路４２１の各実施形態とは、流路が構成可能な範囲において、任意に組合せてインクジェットヘッド１を構成することが可能である。

〔ヘッドチップの他の実施形態〕
図１１は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの他の例を示す拡大断面図である。図１と同一符号の部位は同一機能の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。

この実施形態のインクジェットヘッド１においては、図１１に示すように、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃが連通しない空気室３４が、圧力室２３及び擬似圧力室２５とともに配列されている。この空気室３４は、インクが流入しない密閉された空間をなしている。この実施形態において、空気室３４は、各圧力室２３及び各擬似圧力室２５の間に、圧力室２３の数と同数が設けられている。すなわち、「擬似圧力室２５−空気室３４−圧力室２３」を一単位としてこれが繰り返される配列となっている。

空気室３４と圧力室２３との間は、圧電素子２４によって隔てられている。空気室３４と擬似圧力室２５との間を隔てる壁面３５は、変形させる必要がないので圧電素子２４である必要はない。ただし、この壁面３５は、圧電素子２４と同一の材料により圧電素子２４と一体的に形成しておき、電圧を印加しないようにすればよい。

空気室３４は、上方を配線基板３により閉蓋され、下方をノズルプレート２１により閉蓋されている。この空気室３４は、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃにも共通流路４２１にも連通されていないので、閉鎖された空間である。この空気室３４があることにより、各圧力室２３間のクロストークが低減される。

なお、空気室３４は、圧力室２３の数の２倍の数を、各圧力室２３及び各擬似圧力室２５の間に設けてもよい。すなわち、「擬似圧力室２５−空気室３４−圧力室２３−空気室３４」を一単位としてこれを繰り返す配列としてもよい。

このように空気室３４を設けることにより、前述した各実施形態に比較して、解像度は劣るが各圧力室２３の駆動によるクロストークをさらに減少させることができ、圧力室２３の駆動効率を高くすることができる。

このように空気室３４を設けた場合についても、ノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃ、個別連通路４２２及び共通流路４２１については、前述したノズル部排出路２６ａ及び排出路２６ｂ、２６ｃの各実施形態と、個別連通路４２２及び共通流路４２１の各実施形態とを任意に組合せて適用し、インクジェットヘッド１を構成することが可能である。

〔圧力損失調整手段〕
このインクジェットヘッド１には、主流路Ｆ１の流路抵抗と副流路Ｆ２の流路抵抗との相対関係を調整する圧力損失調整手段を設けることが好ましい。

この圧力損失調整手段は、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との流路抵抗の差に相当する圧力損失ΔＰを、主流路Ｆ１に付与する。または、圧力損失調整手段は、副流路Ｆ２の流路抵抗を減らして、主流路Ｆ１の流路抵抗に相当するものにする。

副流路Ｆ２の流路抵抗は、全ての注入孔３１ａ、全ての個別連通路４２２及び共通流路４２１を含む排出流路４２３全体における流路径、流路長、屈曲部の数、流速などによって決まる流路抵抗である。これら個別連通路４２２及び共通流路４２１は、流路径が極めて細いうえに流路長が長いので、大きな流路抵抗を生じさせている。

このインクジェットヘッド１においては、圧力損失調整手段により、主流路Ｆ１の流路抵抗と、副流路Ｆ２の流路抵抗とを均衡させることにより、インク供給管５ａ内のインク圧力Ｐ０によって、容易に主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の両方に均等にインクを流すことができる。

圧力損失調整手段の一例を図１２に示す。図１２は、圧力損失調整手段の一例が設けられたインク回収管５ｂを一部破断した状態を示す斜視図である。

圧力損失調整手段としては、例えば、図１２に示すように、インク回収管５ｂの流路断面積を部分的に狭める流量調整部材９を用いることができる。この流量調整部材９は、インク回収管５ｂ内に保持され、インク回収管５ｂの内径を部分的に狭くする部材である。本実施形態の流量調整部材９は、インク回収管５ｂの内壁に沿う円筒部９５と、この円筒部９５の一端部を閉蓋する円盤部９６とを有して一体的に構成されている。円盤部９６の中央部には、流路孔９４が形成されている。この流量調整部材９が配置された部位におけるインク回収管５ｂの流路は、この流路孔９４のみとなる。従って、流量調整部材９は、この流路孔９４によってインク回収管５ｂの流路断面積を部分的に狭め、インク回収管５ｂ内を流れるインクの圧力を損失させる。

流量調整部材９の材質は特に限定されないが、インクの非浸透性、インク回収管５ｂへの挿入し易さ及びインクに対する耐腐食性に優れるステンレス等の金属、セラミックス、合成樹脂が挙げられる。

なお、流量調整部材９の流路孔９４内の流路長を短くすることにより、流路孔９４内に気泡が入ったときの流路抵抗の変動を抑え、流速のばらつきを抑えることができる。図１１に示した流量調整部材９の流路孔９４内の流路長は、例えば０．５ｍｍ程度である。流路孔９４内の流路長を０．５ｍｍ程度にすることにより、気泡による流路抵抗の変動を抑えることができる。

この流量調整部材９によって付与される圧力損失ΔＰは、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との流路抵抗の差に相当する圧力損失ΔＰであり、流路孔９４の内径によって調整される。この圧力損失ΔＰにより、主流路Ｆ１の流路抵抗と、副流路Ｆ２の流路抵抗とが均衡される。すなわち、インク供給管５ａ内のインク圧力Ｐ０は、主流路Ｆ１のバッファ空間部６の直前において圧力Ｐ１に減圧され、副流路Ｆ２のバッファ空間部６の直前における圧力Ｐ２にほぼ等しいものとなる。また、インク供給管５ａ内のインク圧力Ｐ０は、移送ポンプ１０５が与える圧力にほぼ等しい。副流路Ｆ２の圧力Ｐ２は、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、メニスカスブレイクが生じる圧力Ｐｘより小さく設定される。

なお、インク圧力Ｐ０は、インク供給管５ａにＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。圧力Ｐ１は、インク回収管５ｂ（流量調整部材９より下流、バッファ空間部６より上流）にＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。圧力Ｐ２は、インク排出管５ｃ（バッファ空間部６より上流）にＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。

流量調整部材９の流路孔９４の具体的な内径は、個別連通路４２２及び共通流路４２１などの圧力損失要素による圧力損失を考慮して、インク回収管５ｂの圧力損失が所望の圧力損失となるように適宜調整される。流量調整部材９の流路孔９４の内径を調整すれば、主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の両方に均等にインクを流すことができる。これにより、共通インク室４１内（主流路Ｆ１）と、各圧力室２３内、個別連通路４２２及び共通流路４２１内（副流路Ｆ２）とに、迅速にインクを貯留させることができるため、特にインクの初期導入の際に好ましい。

インク排出管５ｃには、図１及び図２に示すように、逆止弁８を設けてもよい。この逆止弁８は、インク排出室４１２からバッファ空間部６に向けたインクの流出を許容し、その逆方向のインクの流れを阻止するように機能する。例えば、インク中に含まれる夾雑物によって各個別連通路４２２及び共通流路４２１が目詰まりし、副流路Ｆ２の圧力Ｐ２が下がると、共通インク室４１内の主流路Ｆ１の圧力Ｐ１との間に圧力差が生じる。この場合に、インク回収管５ｂから回収されたインクが、バッファ空間部６を経てインク排出管５ｃに逆流する虞がある。インク排出管５ｃに逆止弁８を設けることにより、インクの逆流によって各個別連通路４２２及び共通流路４２１に気泡や夾雑物が戻ることを防止することができる。

なお、この逆止弁８も圧力損失要素の一つであるため、逆止弁のクラッキング圧力（開弁圧）は低いほうがよく、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じる圧力Ｐｘ（例えば５ｋＰａ程度）よりも低いことが必要である。また、ノズル２２からのメニスカスブレイクを確実に防止するには、移送ポンプ１０５による加圧をせずに、インク返送管１０３に（インク回収管５ｂと排出流路４２３とのバッファ空間部６よりも下流側に）吸引ポンプを設け、この吸引ポンプが生じさせる負圧のみによりインクを循環させるようにしてもよい。

なお、以上説明した実施形態のインクジェット記録装置１００においては、インクジェットヘッド１とインクタンク１０１との間でインクを循環させているが、本発明はこれに限定されない。図示しないが、インク回収管５ｂ及びインク排出管５ｃから流出したインクを、インクタンク１０１に戻さずに、廃インクタンクに排出させるように構成してもよい。

〔インクジェットヘッドの他の実施形態〕
この実施形態は、本発明のインクジェットヘッドを、シアーモード型ではないインクジェットヘッドとして構成した例である。図１３は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す縦断面図であり、図１４は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す横断面図である。図１と同一符号の部位は同一構成の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。

本発明のインクジェットヘッド１は、図１３及び図１４に示すように、基板３上に圧電素子２４を配置した構成とすることもできる。このインクジェットヘッド１においては、基板３上に圧電素子２４が配置されており、この基板３の下面側にインクチャネルとなる圧力室２３が構成されている。圧電素子２４は、圧力室２３の上面（天井面）の一部をなしており、駆動することにより、圧力室２３の容積を変動させる。圧力室２３の下面（底面）は、ノズルプレート２１によって閉蓋されている。ノズルプレート２１には、各圧力室２３に対応された複数の吐出ノズル２２が形成されている。吐出ノズル２２は、圧力室２３に対して連通し、圧力室２３を外部（下方）に連通させている。ノズルプレート２１の下面部がインク吐出面１Ｓとなる。各圧力室２３内のインクは、圧電素子２４の作用によって吐出圧力を付与され、吐出ノズル２２を通って外部の記録媒体に向けて（下方）に吐出される。

各圧力室２３は、注入孔３１ａを介して共通インク室４１に連通している。共通インク室４１内のインクは、注入孔３１ａを介して、各圧力室２３に注入される。

圧力室２３内のノズル２２から離れた側の端部近傍（注入孔３１ａからノズル２２までの間の空間）は、注入孔３１ａから圧力室２３への流入路に隣接した排出路２６ｂを介して、個別連通路４２２に連通されている。これら個別連通路４２２は、共通流路４２１に連通し合流している。また、圧力室２３内のノズル２２の近傍は、ノズル部排出路２６ａを介して、共通流路４２１に連通している。この共通流路４２１に至ったインクは、前述したように、インク排出室４１２に至り、インク排出管５ｃを経て、インク回収管５ｂに合流する。

以上のように、上述したインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置によれば、圧力室２３内の残留気泡を良好に排除できる。

１：インクジェットヘッド
２：ヘッドチップ
２１：ノズルプレート
２２：ノズル
２３：圧力室
２４：圧電素子
２５：擬似圧力室
２６ａ：ノズル部排出路
２６ｂ：排出路
２６ｃ：排出路
２７：閉蓋部材
３：配線基板
３１ａ：注入孔
３１ｂ：排出孔
３３：流路プレート
３４：空気室
３５：壁面
４：インクマニホールド
４１：共通インク室
４１２：インク排出室
４２１：共通流路
４２２：個別連通路
４２３：排出流路
４２４：排出チャネル
４５：隔壁
５ａ：インク供給管
５ｂ：インク回収管
５ｃ：インク排出管
６：バッファ空間部
６１：合流箱
８：逆止弁
９：流量調整部材
Ｆ１：主流路
Ｆ２：副流路
１００：インクジェット記録装置
１０１：インクタンク
１０２：インク移送管
１０３：インク返送管
１０４：制御部
１０５：移送ポンプ

Claims (16)

1. インクを貯留する共通インク室と、
   前記共通インク室に注入孔を介して連通し、該注入孔を介して前記共通インク室からインクが注入され、圧力発生手段によって容積変動を生ずる少なくとも１つの圧力室と、
   前記圧力室に連通し、該圧力室から外部に吐出されるインクの流路となるノズルと、
   前記圧力室内の前記ノズルの近傍において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させるノズル部排出路と、
   前記圧力室内の前記ノズルから離れた位置において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させる少なくとも１つの排出路とを備え、
   前記排出路の流路抵抗は、前記ノズル部排出路の流路抵抗以下であるインクジェットヘッド。
2. 前記排出路の平均断面積は、前記ノズル部排出路の平均断面積以上である請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. インクを貯留する共通インク室と、
   前記共通インク室に注入孔を介して連通し、該注入孔を介して前記共通インク室からインクが注入され、圧力発生手段によって容積変動を生ずる少なくとも１つの圧力室と、
   前記圧力室に連通し、該圧力室から外部に吐出されるインクの流路となるノズルと、
   前記圧力室内の前記ノズルの近傍において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させるノズル部排出路と、
   前記圧力室内の前記ノズルから離れた位置において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させる少なくとも１つの排出路とを備え、
   前記排出路の平均断面積は、前記ノズル部排出路の平均断面積以上であるインクジェットヘッド。
4. 前記ノズル部排出路及び前記排出路は、共通流路に連通している請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
5. 複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっている請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
6. インクを貯留する共通インク室と、
   前記共通インク室に注入孔を介して連通し、該注入孔を介して前記共通インク室からインクが注入され、圧力発生手段によって容積変動を生ずる少なくとも１つの圧力室と、
   前記圧力室に連通し、該圧力室から外部に吐出されるインクの流路となるノズルと、
   前記圧力室内の前記ノズルの近傍において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させるノズル部排出路と、
   前記圧力室内の前記ノズルから離れた位置において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させる少なくとも１つの排出路とを備え、
   複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっており、
   前記圧力室とともに配列され、該圧力室を挟んで両隣に位置し、該圧力室の容積変動により容積変動を生ずる擬似圧力室を有し、
   前記排出路及び前記ノズル部排出路は、前記擬似圧力室に連通しているインクジェットヘッド。
7. インクを貯留する共通インク室と、
   前記共通インク室に注入孔を介して連通し、該注入孔を介して前記共通インク室からインクが注入され、圧力発生手段によって容積変動を生ずる少なくとも１つの圧力室と、
   前記圧力室に連通し、該圧力室から外部に吐出されるインクの流路となるノズルと、
   前記圧力室内の前記ノズルの近傍において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させるノズル部排出路と、
   前記圧力室内の前記ノズルから離れた位置において該圧力室に連通し、該圧力室内のインクを排出させる少なくとも１つの排出路とを備え、
   複数の前記圧力室が直列状に配列されており、各圧力室の配列方向の両隔壁が前記圧力発生手段である圧電素子となっており、
   前記圧力室とともに配列され、該圧力室の容積変動により容積変動を生ずる擬似圧力室及び空気室を有し、
   前記ノズル部排出路及び前記排出路は、前記擬似圧力室に連通しており、
   前記空気室は、密閉されているインクジェットヘッド。
8. 前記排出路の流路抵抗は、前記ノズル部排出路の流路抵抗以下である請求項６又は７記載のインクジェットヘッド。
9. 前記排出路の平均断面積は、前記ノズル部排出路の平均断面積以上である請求項６、７又は８記載のインクジェットヘッド。
10. 前記排出路は、１つの圧力室あたり複数設けられている請求項１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッド。
11. 前記排出路は、前記圧力室内の前記ノズルから離れた端部近傍において該圧力室に連通している請求項１〜１０の何れかに記載のインクジェットヘッド。
12. 前記ノズル部排出路及び前記排出路は、前記ノズルが形成されたノズルプレートに形成されている請求項１〜１１の何れかに記載のインクジェットヘッド。
13. 前記各圧力室は、各圧力室の配列方向の内寸よりも、該配列方向及び前記インクの吐出方向に直交する方向の内寸が長くなっている請求項５〜１２の何れかに記載のインクジェットヘッド。
14. 前記擬似圧力室の前記ノズルに垂直な横断面積は、前記圧力室の横断面積よりも大きい請求項６〜９の何れかに記載のインクジェットヘッド。
15. 請求項１〜１４の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
    前記インクジェットヘッドに移送されるインクが貯蔵されるインクタンクと、
    前記インクタンク内のインクを前記インクジェットヘッドに移送するインク移送部とを備えたインクジェット記録装置。
16. 請求項１〜１５の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
    前記インクジェットヘッドに移送されるインクが貯蔵されるインクタンクと、
    前記インクタンク内のインクを前記インクジェットヘッドに移送するとともに、前記インクジェットヘッドに移送されたインクを回収するインク移送部とを備え、
    前記ノズル部排出路又は前記排出路を経て前記圧力室から排出されたインクは、前記インクジェットヘッドから回収されたインクに合流されるインクジェット記録装置。

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