JP6373074B2 - マスク検査装置及びマスク検査方法 - Google Patents
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Description
以下に、本願出願時の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
パターンが形成されたマスクを保持するステージを駆動する駆動手段と、
前記マスクに光を照射する光照射手段と、
前記光を前記マスクに透過させる透過光学系と、
前記光を前記マスクで反射させる反射光学系と、
前記透過した透過光の光量信号を検出する透過光画像センサと、
前記反射した反射光の光量信号を検出する反射光画像センサと、
前記透過光画像センサの各画素の出力を画素毎に増幅し、透過画像を生成する透過光センサアンプと、
前記反射光画像センサの各画素の出力を画素毎に増幅し、反射画像を生成する反射光センサアンプと、
前記マスクの繰り返し領域の第1の領域から生成された前記透過画像と、前記第1の領域とは異なる第2の領域から生成された前記透過画像とを比較し、且つ、前記第1の領域から生成された前記反射画像と、前記第2の領域から生成された前記反射画像とを比較することにより、前記マスクのパターンの欠陥を判定するダイ−ダイ比較手段と、
前記反射画像をトーン反転して振幅調整した反転反射画像を生成し、前記透過画像と前記反転反射画像との差分に基づいた透過反射差分画像を生成し、前記透過反射差分画像に設定された光量監視ポイントの光量と、予め定められたしきい値とを比較することにより、異常を判定する監視手段とを備え、
前記光量監視ポイントは、前記繰り返し領域に設定された光量監視領域に基づいて設定されることを特徴とするマスク検査装置。
[C2]
前記光量監視領域は、パターンエッジと前記パターンエッジと隣接するパターンエッジとの間のベタパターンに設定されることを特徴とする[C1]に記載のマスク検査装置。
[C3]
前記光量監視領域は、透過部分に設定された第1の光量監視領域と、遮光膜で形成された部分に設定された第2の光量監視領域を有し、
前記光量監視ポイントは、第1の光量監視ポイントと第2の光量監視ポイントを有し、前記第1の光量監視ポイントは、前記第1の光量監視領域に基づいて設定され、前記第2の光量監視ポイントは、前記第2の光量監視領域に基づいて設定され、
前記第1の光量監視ポイントの光量は、基準値より低く設定された第1のしきい値と比較され、前記第2の光量監視ポイントの光量は、基準値より低く設定された第2のしきい値と比較され、且つ、基準値より高く設定された第3のしきい値と比較されることを特徴とする[C1]又は[C2]に記載のマスク検査装置。
[C4]
前記基準値は、前記第1の光量監視ポイントの光量及び前記第2の光量監視ポイントの光量が、正常時の光量の値であることを特徴とする[C3]に記載のマスク検査装置。
[C5]
前記監視手段は、前記透過画像と前記反射画像の位置のアライメントをするアライメント手段を有することを特徴とする[C1]乃至[C4]のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
[C6]
光源の光をマスクに照射し、前記マスクを透過した透過光を透過画像センサに結像し、前記マスクで反射した反射光を反射画像センサに結像し、前記透過画像センサ及び前記反射画像センサを前記マスクに対して相対的に移動させ、
前記画像センサの各画素の出力を画素毎に透過センサアンプで増幅し透過画像を生成し、前記反射画像センサの各画素の出力を画素毎に反射センサアンプで増幅し反射画像を生成し、前記マスクに形成されたパターンの欠陥検査を行うマスク検査方法であって、
前記マスクの繰り返し領域の第1の領域から生成された前記透過画像と、前記第1の領域とは異なる第2の領域から生成された前記透過画像とを比較し、前記第1の領域から生成された前記反射画像と、前記第2の領域から生成された前記反射画像とを比較することにより、前記マスクのパターンの欠陥を判定するステップと、
前記反射画像をトーン反転して振幅調整した反転反射画像を生成し、前記透過画像と前記反転反射画像との差分に基づいた透過反射差分画像を生成し、前記透過反射差分画像に設定された光量監視ポイントの光量と、予め定められたしきい値を比較することにより、異常を判定するステップと、
を含むことを特徴とするマスク検査方法。
1 マスク
2 ステージ
3 オートローダ制御回路
3A オートローダ
4 ステージ制御回路
4A,4B,4C モータ
5 レーザ測長手段
5A 位置回路
6 光源
7 ビームスプリッタ
8 透過光学系
9 反射光学系
11A 透過光TDIセンサ
11B 反射光TDIセンサ
12A 透過光センサアンプ
12B 反射光センサアンプ
13 ダイ−ダイ比較回路
14 監視回路
20 制御計算機
21 記憶装置
22 表示装置
Claims (9)
- 少なくとも光透過性の部分と遮光性の膜の部分とを含む繰り返しパターンが形成されたマスクを保持するステージを駆動する駆動手段と、
前記マスクに光を照射する光照射手段と、
前記光を前記マスクに透過させる透過光学系と、
前記光を前記マスクで反射させる反射光学系と、
前記透過した透過光の光量信号を検出する透過光画像センサと、
前記反射した反射光の光量信号を検出する反射光画像センサと、
前記透過光画像センサの各画素の出力を画素毎に増幅し、透過画像を生成する透過光センサアンプと、
前記反射光画像センサの各画素の出力を画素毎に増幅し、反射画像を生成する反射光センサアンプと、
前記マスクのパターンの複数の繰り返し領域の第1の領域から生成された前記透過画像と、第2の領域から生成された前記透過画像とを比較し、且つ、前記第1の領域から生成された前記反射画像と、前記第2の領域から生成された前記反射画像とを比較することにより、前記マスクのパターンの欠陥を判定するダイ−ダイ比較手段と、
前記反射画像をトーン反転して振幅調整した反転反射画像を生成し、前記透過画像と前記反転反射画像との差分に基づいた透過反射差分画像を生成し、前記透過反射差分画像に設定された光量監視ポイントの光量と、予め定められたしきい値とを比較することにより、異常を判定する監視手段とを備え、
前記光量監視ポイントは、前記複数の繰り返し領域の各々において、前記光透過性の部分に設定された第1の光量監視ポイントと、前記遮光性の膜の部分に設定された第2の光量監視ポイントとを有し、
前記予め定められたしきい値は、前記光透過性の部分に設定された前記第1の光量監視ポイントと、前記遮光性の膜の部分とに設定された前記第2の光量監視ポイントとで、前記第1と第2の光量監視ポイントについてそれぞれの正常時の光量に基づく基準値に基づいて別々に設定される、
ことを特徴とするマスク検査装置。 - 前記光量監視ポイントは、遮光性の膜の部分のパターンエッジの間と、前記パターンエッジと隣接する遮光性の膜の部分のパターンエッジとの間のベタパターンに設定されることを特徴とする請求項1に記載のマスク検査装置。
- 前記複数の繰り返し領域の各々には、前記光透過性の部分において第1の光量監視領域が、前記遮光性の膜の部分において第2の光量監視領域が設定され、
前記第1の光量監視ポイントは、前記第1の光量監視領域に設定され、前記第2の光量監視ポイントは、前記第2の光量監視領域に設定され、
前記第1の光量監視ポイントの光量は、前記基準値より低く設定された第1のしきい値と比較され、前記第2の光量監視ポイントの光量は、前記基準値より低く設定された第2のしきい値と比較され、且つ、前記基準値より高く設定された第3のしきい値と比較されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のマスク検査装置。 - 前記基準値は、前記第1の光量監視ポイントの光量及び前記第2の光量監視ポイントの光量が、正常時の光量の値であることを特徴とする請求項3に記載のマスク検査装置。
- 前記監視手段は、前記透過画像と前記反射画像の位置のアライメントをするアライメント手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
- 光源の光を、少なくとも光透過性の部分と遮光性の膜の部分を含む繰り返しパターンが形成されたマスクに照射し、前記マスクを透過した透過光を透過画像センサに結像し、前記マスクで反射した反射光を反射画像センサに結像し、前記透過画像センサ及び前記反射画像センサを前記マスクに対して相対的に移動させ、
前記透過画像センサの各画素の出力を画素毎に透過センサアンプで増幅し透過画像を生成し、前記反射画像センサの各画素の出力を画素毎に反射センサアンプで増幅し反射画像を生成し、前記マスクに形成されたパターンの欠陥検査を行うマスク検査方法であって、
前記マスクのパターンの複数の繰り返し領域の第1の領域から生成された前記透過画像と、第2の領域から生成された前記透過画像とを比較し、前記第1の領域から生成された前記反射画像と、前記第2の領域から生成された前記反射画像とを比較することにより、前記マスクのパターンの欠陥を判定するステップと、
前記反射画像をトーン反転して振幅調整した反転反射画像を生成し、前記透過画像と前記反転反射画像との差分に基づいた透過反射差分画像を生成し、前記透過反射差分画像に設定された光量監視ポイントの光量と、予め定められたしきい値を比較することにより、異常を判定するステップと、
を含み、
前記光量監視ポイントは、前記複数の繰り返し領域の各々において、前記光透過性の部分に設定された第1の光量監視ポイントと、前記遮光性の膜の部分に設定された第2の光量監視ポイントとを有し、
前記予め定められたしきい値は、前記光透過性の部分に設定された前記第1の光量監視ポイントと、前記遮光性の膜の部分とに設定された前記第2の光量監視ポイントとで、前記第1と第2の光量監視ポイントについてそれぞれの正常時の光量に基づく基準値に基づいて別々に設定される、
むことを特徴とするマスク検査方法。 - 前記光量監視ポイントは、遮光性の膜の部分のパターンエッジの間と、前記パターンエッジと隣接する遮光性の膜の部分のパターンエッジとの間のベタパターンに設定されることを特徴とする請求項6に記載のマスク検査方法。
- 前記複数の繰り返し領域の各々には、前記光透過性の部分において第1の光量監視領域が、前記遮光性の膜の部分において第2の光量監視領域が設定され、
前記第1の光量監視ポイントは、前記第1の光量監視領域に設定され、前記第2の光量監視ポイントは、前記第2の光量監視領域に設定され、
前記第1の光量監視ポイントの光量は、前記基準値より低く設定された第1のしきい値と比較され、前記第2の光量監視ポイントの光量は、前記基準値より低く設定された第2のしきい値と比較され、且つ、前記基準値より高く設定された第3のしきい値と比較されることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のマスク検査方法。 - 前記基準値は、前記第1の光量監視ポイントの光量及び前記第2の光量監視ポイントの光量が、正常時の光量の値であることを特徴とする請求項8に記載のマスク検査方法。
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