JP4715955B2 - マスク検査方法、マスク検査装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1に係るマスク検査装置について、図1を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係るマスク検査装置100の構成を示す図である。ここでは、検査対象が、ペリクル24付きのマスク20の例について説明する。
本発明の実施の形態2に係るマスク検査装置の構成について、図9を参照して説明する。図9は、本実施の形態に係るマスク検査装置200の構成を示す図である。図9において、図1と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を適宜省略する。
11a ミラー
11b ミラー
12 コンデンサレンズ
13 対物レンズ
14 投影レンズ
15 分割ミラー
16a TDIセンサー
16b TDIセンサー
17 判定部
18 波長板
19 偏光ビームスプリッタ
20 マスク
21 基板
22 パターン
23 ペリクルフレーム
24 ペリクル
25 ヘイズ
30 EUVマスク
100 マスク検査装置
200 マスク検査装置
P1 第1パターン
P2 第2パターン
Claims (4)
- レンズを有する照明光学系を用いて略同一の第1パターン、第2パターンが形成された基板上に照明光を集光して照射する際に、第1照明光を対物レンズの第1の視野領域に入射させ、前記第1照明光と略同一の照明光である第2照明光を前記対物レンズの第2の視野領域に入射させ、
前記基板と前記第1照明光及び第2照明光とを相対的に移動して、前記レンズにより前記第1照明光及び第2照明光を前記第1パターン及び前記第2パターンが形成されたマスクに集光し、
1回のスキャンで前記対物レンズの第1の視野領域における前記第1パターン、前記第2パターンからのそれぞれの出射光を前記第1の検出器で検出するとともに前記対物レンズの第2の視野領域における前記第1パターン、前記第2パターンからのそれぞれの出射光を前記第2の検出器で検出し、
前記第1の検出器において検出した前記第1パターンからの出射光と、前記第1の検出器又は前記第2の検出器において検出した前記第2パターンからの出射光と、を比較して第1欠陥判定信号を算出し、
前記第2の検出器において検出した前記第1パターンからの出射光と、前記第1の検出器又は前記第2の検出器において検出した前記第2パターンからの出射光と、を比較して第2欠陥判定信号を算出し、
前記第1欠陥判定信号と前記第2欠陥判定信号とを用いて欠陥判定を行うマスク検査方法。 - 前記照明光は、いずれも反射照明光であり、
前記照明光学系の前記レンズは、前記対物レンズであり、
前記マスクはEUVマスクであることを特徴とする請求項1に記載のマスク検査方法。 - 略同一の第1パターン、第2パターンが形成された基板上に、レンズを用いて照明光を集光して照射する際に、第1照明光を対物レンズの第1の視野領域に入射させ、前記第1照明光と略同一の照明光である第2照明光を前記対物レンズの第2の視野領域に入射させる照明光学系と、
前記基板と前記第1照明光及び第2照明光とを相対的に移動して、前記レンズにより前記第1照明光及び第2照明光を前記第1パターン及び前記第2パターンが形成されたマスクに集光した場合に、1回のスキャンで前記対物レンズの第1の視野領域における前記第1パターン、前記第2パターンからのそれぞれの出射光を検出する前記第1の検出器と、前記対物レンズの第2の視野領域における前記第1パターン、前記第2パターンからのそれぞれの出射光を検出する前記第2の検出器と、
前記第1の検出器において検出された前記第1パターンからの出射光と、前記第1の検出器又は前記第2の検出器において検出された前記第2パターンからの出射光と、を比較して算出した第1欠陥判定信号と、前記第2の検出器において検出された前記第1パターンからの出射光と、前記第1の検出器又は前記第2の検出器において検出された前記第2パターンからの出射光と、を比較して算出した第2欠陥判定信号とを用いて欠陥判定を行う判定部と、を備えるマスク検査装置。 - 前記第1照明光及び前記第2照明光は、いずれも反射照明光であり、
前記照明光学系の前記レンズは、前記対物レンズであり、
前記マスクはEUVマスクであることを特徴とする請求項3に記載のマスク検査装置。
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JP2009244040A JP4715955B2 (ja) | 2009-10-23 | 2009-10-23 | マスク検査方法、マスク検査装置 |
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JP4715955B2 true JP4715955B2 (ja) | 2011-07-06 |
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Family Applications (1)
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JP2009244040A Active JP4715955B2 (ja) | 2009-10-23 | 2009-10-23 | マスク検査方法、マスク検査装置 |
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