JP6366447B2 - 拡張装置、及び接着シートの破断方法 - Google Patents
拡張装置、及び接着シートの破断方法 Download PDFInfo
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Description
4 基台
4a 上面
6 昇降機構
8 テーブル
10 第一の移動基台
12 第一の移動機構(移動手段)
14 第一の挟持ユニット(第一の挟持手段)
16 第一の上側ユニット
16a 第一の上側アーム部
16b 第一の上側当接部
16c 第一の上側昇降機構
18 第一の下側ユニット
18a 第一の下側アーム部
18b 第一の下側当接部
18c 第一の下側昇降機構
20 第二の移動基台
22 第二の移動機構(移動手段)
24 第二の挟持ユニット(第二の挟持手段)
26 第二の上側ユニット
26a 第二の上側アーム部
26b 第二の上側当接部
26c 第二の上側昇降機構
28 第二の下側ユニット
28a 第二の下側アーム部
28b 第二の下側当接部
28c 第二の下側昇降機構
30 第三の移動基台
32 第三の移動機構(移動手段)
34 第三挟持ユニット(第三の挟持手段)
36 第三の上側ユニット
36a 第三の上側アーム部
36b 第三の上側当接部
36c 第三の上側昇降機構
38 第三の下側ユニット
38a 第三の下側アーム部
38b 第三の下側当接部
38c 第三の下側昇降機構
40 第四の移動基台
42 第四の移動機構(移動手段)
44 第四挟持ユニット(第四の挟持手段)
46 第四の上側ユニット
46a 第四の上側アーム部
46b 第四の上側当接部
46c 第四の上側昇降機構
48 第四の下側ユニット
48a 第四の下側アーム部
48b 第四の下側当接部
50 拡張キャンセル部材着脱機構(拡張キャンセル部材着脱手段)
52 アクチュエータ
54 筐体
56 支持ロッド
58 支持プレート
60 拡張キャンセル部材
62,62a,62b 係止部材
64 フック
66 フック係合部材
66a 開口
68 カッター
11 被加工物
11a 上面(第一面)
11b 下面(第二面)
13 エキスパンドシート
15 接着シート
17 チップ
19 小シート
21 フレーム
D1 第一方向
D2 第二方向
Claims (2)
- 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、
該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第一の挟持手段及び第二の挟持手段と、
該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第三の挟持手段及び第四の挟持手段と、
該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させる移動手段と、
該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着し、又は該領域から剥離する拡張キャンセル部材着脱手段と、を備え、
該拡張キャンセル部材着脱手段は、互いに隣接して配置された複数の該拡張キャンセル部材を、該被加工物を囲繞するように該エキスパンドシートに貼着することを特徴とする拡張装置。 - 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に接着シートを介して貼着したエキスパンドシートを拡張し、該接着シートを破断する接着シートの破断方法であって、
該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第一の挟持手段及び第二の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持し、該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第三の挟持手段及び第四の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する挟持ステップと、
該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着する拡張キャンセル部材貼着ステップと、
該拡張キャンセル部材貼着ステップを実施した後に、該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させることで、該被加工物に貼着した該エキスパンドシートを拡張して該接着シートを破断する破断ステップと、
該破断ステップを実施した後に、該拡張キャンセル部材を該エキスパンドシートの該領域から剥離する拡張キャンセル部材剥離ステップと、を備えることを特徴とする接着シートの破断方法。
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- 2014-09-30 JP JP2014200577A patent/JP6366447B2/ja active Active
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