JP6345235B2

JP6345235B2 - 磁気式位置検出装置、磁気式位置検出方法

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Publication number: JP6345235B2
Application number: JP2016507226A
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Inventors: 京史原; 房子富住
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Filing date: 2014-03-14
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Description

この発明は、感磁素子と磁気エンコーダを用いた磁気式位置検出装置等に係り、特に、位置検出精度の向上に関するものである。

磁気式位置検出装置では、感磁素子としてホール素子、磁気抵抗素子などが用いられる。Ｎ磁極とＳ磁極とが一定ピッチλ／２(λ：１つの磁極対(ＮＳ極)のピッチ)で交互に配置された磁気エンコーダに対して、感磁素子が対向配置されている例が多い。この場合、磁気エンコーダと感磁素子が相対的に移動すると感磁素子に加わる磁界が変化し、感磁素子の出力が変化する。このときの感磁素子の出力変化を読み取ることで磁気エンコーダと感磁素子の相対位置を検出できる。

この検出方式の適用例として、ブラシレスモータの回転制御に必要な電気角の検出が挙げられる。電気角とは、モータのＮＳ極一対に相当する回転角度を３６０°としたときの角度位置である。この用途では、モータの電気角３６０°を１周期として、電気角に対して正弦波状に出力が変化し、且つ、互いに位相が９０°異なる２系統の感磁素子を配置し、この２系統の出力の逆正接を演算することで、電気角を検出している。

ところで、下記特許文献１で示されているような磁界方向によって抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子は、飽和磁界で動作させることより、磁界強度の変動ノイズに対して鈍感で、磁気ＧＡＰ(空隙)のばらつき、磁石の温度特性などに起因する磁界強度の変動によって抵抗値が増減することなく、磁界方向のみに反応するので非常に安定した検出性能を示すことが知られている。従って、方向検知型磁気抵抗素子をモータ制御用途に適用すれば、安定度の高い電気角検出を実現できる。

特許第５１４４３７３号明細書

しかしながら、実際の磁気エンコーダでは、高調波成分の重畳などにより、必ずしも磁界角と電気角が一致せず、その結果、電気角の検出精度を悪化させるという課題があった。

この発明は上記の課題を解決するためになされたもので、位置検出精度の向上を図った、方向検知型磁気抵抗素子を使用した磁気式位置検出装置等を提供することを目的とする。

この発明は、回転方向にＮ磁極、Ｓ磁極が交互に配列された円柱形状を有する磁気エンコーダと、前記磁気エンコーダの移動位置を検出するために前記磁気エンコーダの移動に伴う磁界変化を検知する感磁部と、を備え、前記感磁部が、印加された磁界方向により抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子からなり、前記磁気エンコーダが、前記Ｎ磁極およびＳ磁極は径方向に着磁され、前記感磁部の位置で形成する前記磁気エンコーダの移動方向磁界成分をＢｓ、前記感磁部と前記エンコーダの対向方向磁界成分をＢｒとしたときに、前記磁気エンコーダの移動による前記磁界成分Ｂｓ、Ｂｒの変遷がそれぞれ略正弦波状になるように前記Ｎ磁極と前記Ｓ磁極との境界に磁化されていない磁気エンコーダ部材からなる無着磁部をそれぞれに設け、前記Ｎ磁極とＳ磁極の対および前記Ｎ磁極とＳ磁極の間の前記無着磁部並びに前記Ｎ磁極またはＳ磁極の前記無着磁部と反対側の前記無着磁部からなる磁極対のピッチをλとしたときに、前記無着磁部の移動方向の長さがそれぞれλ／６である、磁気式位置検出装置等にある。

この発明では、位置検出精度の向上を図った、方向検知型磁気抵抗素子を使用した磁気式位置検出装置等を提供できる。

この発明の実施の形態１による磁気式位置検出装置の主要部の構成図である。この発明の実施の形態１による磁気式位置検出装置の信号処理部の構成である。この発明の実施の形態２による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。この発明の実施の形態３による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。この発明の実施の形態４による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。この発明の実施の形態５による磁気式位置検出装置の主要部の構成図である。従来の磁気式位置検出装置の磁気エンコーダと感磁部の配置を示す図である。従来の磁気式位置検出装置における回転角φ、電気角θ、磁界角αの関係を示す図である。従来の磁気式位置検出装置における磁界角αの挙動を例示する図である。この発明に係る無着磁部による磁界角αの挙動改善効果を例示する図ある。この発明に係る最適化された無着磁部寸法での磁界角αの挙動を例示する図である。

最初に磁気式位置検出装置についてもう少し詳しく説明する。一般に磁気式位置検出装置では図７に示すように、ホール素子、磁気抵抗素子等からなる感磁部２０が、Ｎ磁極とＳ磁極とが一定ピッチλ／２(λ：１つの磁極対(ＮＳ極)のピッチ)で交互に配置された磁気エンコーダ１０に対して、対向配置されている例が多い。磁気エンコーダ１０と感磁部２０が相対的に移動すると感磁部２０に加わる磁界が変化し、感磁部２０の出力が変化する。このときの感磁部２０の出力変化を読み取ることで磁気エンコーダ１０と感磁部２０の相対位置を検出できる。

磁界方向によって抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子は上述のように、飽和磁界で動作させることより、磁界方向のみに反応するので非常に安定した検出性能を示す。方向検知型磁気抵抗素子をモータ制御用途に適用すれば、安定度の高い電気角検出を実現できる。

この場合、図８の(ａ)(ｂ)に示すように、Ｎ極、Ｓ極配列対の１ピッチと電気角３６０°に相当する回転角φとを適合させて、磁気エンコーダ１０が形成する磁界角αと電気角θが略一致するように磁気エンコーダ１０の磁極対数ｎを設定すればよい。図８は磁気エンコーダ１０の回転角(φ)９０°とモータ電気角(θ)３６０°および磁気エンコーダ１０のＮＳ対の１ピッチを適合させた、即ち、ｎ＝４の例を示す。図８の(ａ)は、回転により磁気エンコーダ１０と感磁部２０(図８の(ｂ)参照)が相対移動した場合の磁気エンコーダ１０に対する感磁部２０の軌跡位置と、各軌跡位置での感磁部２０に加わる磁界方向(磁界角)αを示す。また、図８の(ｂ)では、回転角φ、電気角θ、磁界角αの関係を図示している。図８の通り、電気角３６０°の中で感磁部２０に印加される磁界が１回転しており、電気角θと磁界角αは概ね一致する。

ところが、実際の磁気エンコーダでは、高調波成分の重畳などにより、必ずしも磁界角αと電気角θが一致せず、その結果、電気角θの検出精度を悪化させている。

図９は従来の磁気エンコーダ(例えば、極数：４極対、着磁方向：径方向、ＧＡＰ(空隙)：４ｍｍ、磁石外径：φ２１、磁石厚み：２ｍｍ、磁石幅：４ｍｍの場合)の磁界方向(磁界角)αの値を有限要素法により計算した結果を示している。図９の(ａ)は任意の電気角θの位置での磁界角αを示している。実線が従来の磁気エンコーダの磁界角α、破線が磁界角α＝電気角θの場合の磁界角αを示している。そして(ｂ)は磁界角αと電気角θの差分値を磁界角αのずれとして示している。

このように従来例では磁界の磁界角αと電気角θが一致せず、その結果、角度検出精度の悪化を引き起こしていた。特に、磁極ピッチ長が大きい場合、すなわち、大径で極数が少ないモータの場合、より磁界角αのずれが大きくなるので、角度検出精度の悪化を回避するために、磁気ＧＡＰ(空隙)を大きくする、装置を大型化する、更に、大きな磁気ＧＡＰでも感磁部が反応できるように磁石を大型化する、などの処置が必要であり、実用的ではなかった。

この発明では、装置や磁石を大型化することなく、安価にモータ電気角の検出精度を向上させる。

次にこの発明による磁気式位置検出装置の概要、理論について説明する。
この発明による例えば回転角(回転位置)を検出する磁気式位置検出装置では、回転方向にＮ磁極、Ｓ磁極が交互に配列された磁気エンコーダと、磁気エンコーダに対して所定の空隙を介して対向配置された感磁部とを備える。磁気エンコーダの回転に伴う磁界変化を感磁部で検知する。感磁部を、磁界方向によって抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子で構成する。更には、磁気エンコーダによって形成された感磁部の位置での半径(対向)方向磁界成分をＢｒ、回転(移動)方向磁界成分をＢｓとしたときに、Ｂｒ、Ｂｓが略正弦波状または正弦波状となるように、Ｎ磁極とＳ磁極との境界に実質的に磁化されていない無着磁部をそれぞれに設けた。

図９の(ｂ)に示した磁界角αのずれの原因は、磁界成分Ｂｒ、Ｂｓが理想波形Ｂｒ＝Ａ・ＣＯＳ(ｎ＊φ)、Ｂｓ＝Ｂ・ＳＩＮ(ｎ＊φ)からずれることである。ここで、
ｎ：磁気エンコーダの磁極対の数、
φ：磁気エンコーダの回転角、
Ａ、Ｂ：は定数(磁界振幅)
である。この磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形乱れは磁気ＧＡＰを大きくすることで低減できるが、Ｎ極とＳ極の境界部に着磁されていない無着磁部を設けることで、磁気ＧＡＰを大きくすることなく、磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形乱れを低減でき、更には無着磁部寸法を最適な値に設定すれば磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形乱れおよび磁界角αを最良にできる。

図１０の(ａ)は、無着磁部の寸法(回転方向に沿った角度)を変えた場合の磁界角αのずれ量の計算結果であり、(ｂ)は無着磁部の寸法(回転方向に沿った角度)を変えた場合の磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形みだれの計算結果であり、(ｃ)は磁界角αのずれ量と磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形みだれとの相関を示している。その他の条件は、極数：４極対(λ＝９０°)、着磁方向：径方向、ＧＡＰ(空隙)：４ｍｍ、磁石外径：φ２１、磁石厚み：２ｍｍ、磁石幅：４ｍｍ、である。

図１０より、磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの波形みだれを抑制すれば磁界角αのずれを低減できることがわかる(特に図１０の(ｃ)参照)。また、磁極対ピッチλ＝９０°に対し、無着磁部寸法を１５°、即ち、無着磁部寸法を磁極対ピッチの１／６(＝λ／６)に設定したときに最も磁界角αずれが低減されている(特に図１０の(ａ)参照)。なお、磁極数、磁石外径を変えた場合でも同様に、無着磁部寸法を磁極対ピッチの１／６に設定すれば最良の結果が得られた。

図１１の(ａ)は、後述するようにこの発明のように、磁極対ピッチλの１／６(＝１５°)だけ無着磁部を設けた場合の電気角θに対する磁界方向(磁界角)αの計算結果を示す。この発明の磁気エンコーダの磁界角αを示す実線が、磁界角α＝電気角θの場合の磁界角αを示す破線に重なって、破線が見えない状態になっている。(ｂ)はその際の電気角θに対する磁界方向(磁界角)αのずれの計算結果を示す。その他の条件は、図９の場合と同じ、極数：４極対(λ＝９０°)、着磁方向：径方向、ＧＡＰ(空隙)：４ｍｍ、磁石外径：φ２１、磁石厚み：２ｍｍ、磁石幅：４ｍｍである。移動方向の長さがλ／６の無着磁部の形成により、図９に示した無着磁部のない従来例に対して、磁界角αのずれが大幅に低減され、電気角θと磁界角αがほぼ一致している。

このように、Ｎ極とＳ極の境界に無着磁部を設けることで、磁界成分Ｂｒ、Ｂｓが略正弦波状または正弦波状となって、磁界角α＝Ｔａｎ^-1(Ｂｓ／Ｂｒ)が検出すべき電気角θ(＝φ・ｎ)と安定的に一致するので、精度よく電気角θ(＝φ・ｎ)を検出できる。特に、無着磁部の寸法を磁極対ピッチλの１／６に近づけることにより、より大きな効果が得られる。

ところで、ブラシレスモータの制御用途では回転角検出精度として電気角で１°程度を求められるのが一般的である。これを実現するためには磁界角αのずれを１°以下に抑えることが必要であるが、図１０の(ｃ)から、磁界成分Ｂｒ、Ｂｓと、各々の理想波形Ｂｒ＝Ａ・ＣＯＳ(ｎ＊φ)、Ｂｓ＝Ｂ・ＳＩＮ(ｎ＊φ)とのずれ量(波形みだれ)を１％(−４０ｄＢ)以下に抑えれば良いことがわかる。

このように、この発明を適用することで、装置や磁石を大型化することなく、モータ電気角の検出精度を向上させることができ、安価に実用的なモータの磁気式回転位置検出装置を実現することができる。

以下、上記の理論に基づいた、この発明による磁気式位置検出装置等を各実施の形態に従って図面を用いて説明する。なお、各実施の形態において、同一もしくは相当部分は同一符号で示し、また重複する説明は省略する。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による磁気式位置検出装置の主要部の構成図であり、磁気エンコーダと感磁部の配置の一例を示している。回転角を検出するための磁気エンコーダ１は、順番に配列された、Ｎ極に着磁されたＮ磁極１ａ、着磁されていない無着磁部１ｃ、Ｓ極に着磁されたＳ磁極１ｂ、着磁されていない無着磁部１ｃを１組として、回転方向にピッチλでｎ組(ここではｎ＝４)繰返し配列して形成された、全体として中空円柱形状のものである。なお、Ｎ磁極１ａ、Ｓ磁極１ｂ、無着磁部１ｃを同一の磁性材料で形成してもよいし、無着磁部１ｃを別の非磁性材料で形成してもよい。この実施の形態では磁気エンコーダ１の内部の磁力線が外周部から内周部または内周部から外周部に向かうように着磁されている。

更に、最も精度よく回転角を検出できる構成として、回転方向(移動方向)に沿った幅(長さ)が、Ｎ磁極１ａとＳ磁極１ｂがλ／３、無着磁部１ｃがλ／６に設定されている。無着磁部１ｃの幅は必ずしもλ／６である必要はないがλ／６に近づける(略λ／６)のが望ましい。なおこの発明におけるλは上述のように、Ｎ磁極１ａとＳ磁極１ｂの対およびＮ磁極１ａとＳ磁極１ｂの間の無着磁部１ｃ並びにＮ磁極１ａまたはＳ磁極１ｂの無着磁部１ｃと反対側の無着磁部１ｃからなる１磁極対のピッチである。

一方、感磁部２は、空隙を介して、磁気エンコーダ１に対して対向して配置され、磁気エンコーダ１と感磁部２とは相対移動(回転)が可能で、相対移動があっても空隙が略一定となるように構成されている。

感磁部２には磁気エンコーダ１によって磁界が印加されており、磁気エンコーダ１と感磁部２の間に相対移動(回転)が生じると感磁部２に加わる磁界方向が変化する。感磁部２は印加された磁界の方向に応じて抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子２ａ、２ｂで構成されており、上記磁界方向の変化によって抵抗値が変化する。方向検知型磁気抵抗素子としては、トンネル磁気抵抗素子、スピンバルブ型ＧＭＲ素子などが好適である。磁気エンコーダ１の回転により、磁気抵抗素子２ａ、２ｂには略正弦波状の抵抗値変化を生じる。なお、磁気抵抗素子２ａ、２ｂは、略正弦波状の抵抗値変化の位相が互いに９０°ずれるように配置されている。図１では、磁気抵抗素子２ａ、２ｂを互いに９０°傾けて配置することにより、位相が９０°ずれた抵抗変化を実現しているが、回転方向にλ／４だけ離して同じ方向に向けて配置してもよい。また、磁気抵抗素子２ａ、２ｂを各々複数個の磁気抵抗素子で構成してもよい。
ここで、方向検知型の磁気抵抗素子(２ａ、２ｂ)は、配置場所での磁界成分Ｂｒ、Ｂｓの比率で決まる磁界の方向に応じた抵抗値を示す。素子には方向があり、素子の向きと磁界の向きの組合せに対する抵抗変化は、例えば以下となる。
・矢印と同じ向きの磁界：ボトム抵抗値
・矢印と反対向きの磁界：ピーク抵抗値
・矢印に対して９０°を向いた磁界：中央抵抗値
従って、同じ位置に２つの素子を互いに９０°傾けて配置すれば９０°位相がずれた抵抗変化が得られる。

図２はこの発明の実施の形態１による磁気式位置検出装置の信号処理部の構成を示す。磁気抵抗素子２ａ、２ｂの抵抗値変化は電圧変換部３ａ、３ｂにより電圧変化Ｖｃｏｓ、Ｖｓｉｎに変換されて出力される。その後、電圧変化Ｖｃｏｓ、Ｖｓｉｎは装置内部あるいは外部の角度演算部４へ入力され、電圧変化ＶｃｏｓとＶｓｉｎの逆正接により電気角または回転角に変換され、例えばモータ制御部(図示省略)等に供給され、モータの回転制御などに利用される。
なお、モータ制御では回転子と共に回転する磁気エンコーダのピッチ内での電気角または回転角が必要であり、どのピッチにあるかは必ずしも検出する必要はない。

実施の形態２．
図３はこの発明の実施の形態２による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。回転角を検出するための磁気エンコーダ１は、順番に配列された、Ｎ極に着磁されたＮ磁極１ａ、着磁されていない無着磁部１ｃ、Ｓ極に着磁されたＳ磁極１ｂ、着磁されていない無着磁部１ｃを１組として、回転方向にピッチλでｎ組(ここではｎ＝４)繰返し配列して形成された、全体として中空円柱形状のものである。

この実施の形態では無着磁部１ｃが外周表面近傍にのみ形成されており、磁気エンコーダ１の内部の磁力線が隣の磁極の外周表面に向かうように着磁されている。実施の形態１と同様、Ｎ磁極１ａ、Ｓ磁極１ｂ、無着磁部１ｃを同一の磁性材料で形成してもよいし、無着磁部１ｃを別の非磁性材料で形成してもよい。Ｎ磁極１ａ、Ｓ磁極１ｂ、無着磁部１ｃの回転方向(移動方向)に沿った幅は実施の形態１と同じで、それぞれλ／３、λ／３、λ／６としている。なお、図示していないが、感磁部、信号処理部の構成は実施の形態１と同じである。

実施の形態３．
図４はこの発明の実施の形態３による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。回転角を検出するための磁気エンコーダ１は、順番に配列された、Ｎ極に着磁されたＮ磁極１ａ、無着磁部１ｃ、Ｓ極に着磁されたＳ磁極１ｂ、無着磁部１ｃを１組として、回転方向にピッチλでｎ組(ここではｎ＝４)繰返し配列して形成された、全体として中空円柱形状のものである。

この実施の形態では、無着磁部１ｃを切欠き形状で構成にすることにより、無着磁部１ｃの外周部での磁界強度を低下させ、実質的な無着磁部を形成している。また、磁気エンコーダ１の内部の磁力線が外周部から内周部または内周部から外周部に向かうように着磁されている。

Ｎ磁極１ａ、Ｓ磁極１ｂ、無着磁部１ｃの回転方向(移動方向)に沿った幅は実施の形態１と同じで、それぞれλ／３、λ／３、λ／６としている。なお、図示していないが、感磁部、信号処理部の構成は実施の形態１と同じである。

実施の形態４．
図５はこの発明の実施の形態４による磁気式位置検出装置の磁気エンコーダの構成図である。回転角を検出するための磁気エンコーダ１は、順番に配列された、Ｎ極に着磁されたＮ磁極１ａ、無着磁部１ｃ、Ｓ極に着磁されたＳ磁極１ｂ、無着磁部１ｃを１組として、回転方向にピッチλでｎ組(ここではｎ＝４)繰返し配列して形成された、全体として中空円柱形状のものである。

この実施の形態では、無着磁部１ｃを切欠き形状で構成にすることにより、無着磁部１ｃの外周部での磁界強度を低下させ、実質的な無着磁部を形成している。また、磁気エンコーダ１の内部の磁力線が隣の磁極の外周表面に向かうように着磁されている。

Ｎ磁極１ａ、Ｓ磁極１ｂ、無着磁部１ｃの回転方向(移動方向)に沿った幅は実施の形態１と同じで、それぞれλ／３、λ／３、λ／６としている。なお、図示していないが、感磁部、信号処理部の構造は実施の形態１と同じである。

なお、この発明の用途はモータの電気角検出用途に限定されるものではなく、他の機器の回転位置検出、または直線位置検出に適用してもよい。
また上記各実施の形態では、磁気エンコーダとして中空円柱形状のものを示したが、必ずしも中空である必要はなく、円柱形状のものであってもよい。

実施の形態５．
図６はこの発明の実施の形態５による磁気式位置検出装置の部分構成図であり、磁気エンコーダと感磁部の配置の一例を示している。直線運動の位置を検出するための磁気エンコーダ１は、順番に配列された、Ｎ極に着磁されたＮ磁極１ａ、無着磁部１ｃ、Ｓ極に着磁されたＳ磁極１ｂ、無着磁部１ｃを１組として、繰返し配列して形成された、全体として直線形状のものである。

更に、最も精度よく回転角を検出できる構成として、移動方向に沿った幅(長さ)が、Ｎ磁極１ａとＳ磁極１ｂがλ／３、無着磁部１ｃがλ／６に設定されている。無着磁部１ｃの幅は必ずしもλ／６である必要はないがλ／６に近づける(略λ／６)のが望ましい。

一方、感磁部２は、空隙を介して、磁気エンコーダ１に対して対向して配置され、磁気エンコーダ１と感磁部２とは相対移動が可能で、相対移動があっても空隙が略一定となるように構成されている。

感磁部２には磁気エンコーダ１によって磁界が印加されており、磁気エンコーダ１と感磁部２の間に相対移動が生じると感磁部２に加わる磁界方向が変化する。感磁部２は印加された磁界の方向に応じて抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子２ａ、２ｂで構成されており、上記磁界方向の変化によって抵抗値が変化する。方向検知型磁気抵抗素子としては、トンネル磁気抵抗素子、スピンバルブ型ＧＭＲ素子などが好適である。磁気エンコーダ１または感磁部２の直線移動により、磁気抵抗素子２ａ、２ｂには略正弦波状の抵抗値変化を生じる。なお、磁気抵抗素子２ａ、２ｂは、略正弦波状の抵抗値変化の位相が互いに９０°ずれるように配置されている。図６では、磁気抵抗素子２ａ、２ｂを互いに９０°傾けて配置することにより、位相が９０°ずれた抵抗変化を実現しているが、移動方向にλ／４だけ離して同じ方向に向けて配置してもよい。また、磁気抵抗素子２ａ、２ｂを各々複数個の磁気抵抗素子で構成してもよい。

なお、回転運動の位置検出に係る上記各実施の形態では、磁気エンコーダ１の無着磁部１ｃが、磁気エンコーダの極数をｎ極対、φを回転角、Ａ、Ｂを定数(磁界振幅)としたときに、Ｂｒ＝Ａ・ＣＯＳ(ｎ＊φ)、Ｂｓ＝Ｂ・ＳＩＮ(ｎ＊φ)で表される理想的な磁界変化に対して、双方のずれ量が磁界振幅Ａ又はＢの−４０ｄＢ(１％)以下となる、寸法を有するようにしている。

また、磁気エンコーダ１の形成に関しては、上記各実施の形態に示したものが適用可能である。
また、信号処理部の構成は、図２の構成において角度演算部４が磁気エンコーダ１と感磁部２の相対位置を演算する位置演算部となる。

さらに各実施の形態では感磁部２に対して磁気エンコーダ１が移動する場合について説明したが、磁気エンコーダ１に対して感磁部２が移動する場合についてもこの発明は適用可能である。

この発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、これらの可能な組み合わせを全て含む。

産業上の利用の可能性

この発明による磁気式位置検出装置は、多くの分野の位置検出に適用可能である。

１磁気エンコーダ、１ａＮ磁極、１ｂＳ磁極、１ｃ無着磁部、２感磁部、２ａ，２ｂ方向検知型磁気抵抗素子、３ａ，３ｂ電圧変換部、４角度(位置)演算部。

Claims

回転方向にＮ磁極、Ｓ磁極が交互に配列された円柱形状を有する磁気エンコーダと、
前記磁気エンコーダの移動位置を検出するために前記磁気エンコーダの移動に伴う磁界変化を検知する感磁部と、
を備え、
前記感磁部が、印加された磁界方向により抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子からなり、
前記磁気エンコーダが、前記Ｎ磁極およびＳ磁極は径方向に着磁され、前記感磁部の位置で形成する前記磁気エンコーダの移動方向磁界成分をＢｓ、前記感磁部と前記エンコーダの対向方向磁界成分をＢｒとしたときに、前記磁気エンコーダの移動による前記磁界成分Ｂｓ、Ｂｒの変遷がそれぞれ略正弦波状になるように前記Ｎ磁極と前記Ｓ磁極との境界に磁化されていない磁気エンコーダ部材からなる無着磁部をそれぞれに設け、
前記Ｎ磁極とＳ磁極の対および前記Ｎ磁極とＳ磁極の間の前記無着磁部並びに前記Ｎ磁極またはＳ磁極の前記無着磁部と反対側の前記無着磁部からなる磁極対のピッチをλとしたときに、前記無着磁部の移動方向の長さがそれぞれλ／６である、
磁気式位置検出装置。
前記磁気式位置検出装置が回転角を検出する装置であって、
前記感磁部が、前記磁気エンコーダにより形成された前記感磁部の位置での磁界方向を検出する前記方向検知型磁気抵抗素子を含み、
前記磁気エンコーダの前記無着磁部が、前記磁気エンコーダの極数をｎ極対、φを回転角、Ａ、Ｂを磁界振幅としたときに、Ｂｒ＝Ａ・ＣＯＳ(ｎ＊φ)、Ｂｓ＝Ｂ・ＳＩＮ(ｎ＊φ)で表される磁界変化に対して、双方のずれ量が前記磁界振幅Ａ又はＢの−４０ｄＢ以下となる寸法を有する、請求項１に記載の磁気式位置検出装置。
前記Ｎ磁極、Ｓ磁極および無着磁部が同一の磁性材料で形成され、前記Ｎ磁極がＮ極に着磁され、前記Ｓ磁極がＳ極に着磁され、前記無着磁部は着磁していない請求項１または２に記載の磁気式位置検出装置。
前記Ｎ磁極、Ｓ磁極が磁性材料で形成され、前記無着磁部が非磁性材料で形成されている請求項１または２に記載の磁気式位置検出装置。
前記Ｎ磁極、Ｓ磁極および無着磁部が同一の磁性材料で形成され、前記無着磁部が切欠き部となっている請求項１または２に記載の磁気式位置検出装置。
前記方向検知型磁気抵抗素子が、トンネル磁気抵抗素子である請求項１から５までのいずれか１項に記載の磁気式位置検出装置。
前記方向検知型磁気抵抗素子が、スピンバルブ型ＧＭＲ素子である請求項１から５までのいずれか１項に記載の磁気式位置検出装置。
前記磁気エンコーダの代わりに前記感磁部が移動する請求項１から７までのいずれか１項に記載の磁気式位置検出装置。
回転方向にＮ磁極，Ｓ磁極が交互に配列された円柱形状を有する磁気エンコーダとの相互移動位置を感磁部で前記磁気エンコーダからの磁界変化として検出する磁気式位置検出方法であって、
前記感磁部として、印加された磁界方向により抵抗値が変化する方向検知型磁気抵抗素子を配置し、
前記磁気エンコーダは、前記Ｎ磁極およびＳ磁極が径方向に着磁され、前記感磁部の位置で形成する前記磁気エンコーダの移動方向磁界成分をＢｓ、前記感磁部と前記エンコーダの対向方向磁界成分をＢｒとしたときに、前記磁気エンコーダの移動による前記磁界成分Ｂｓ、Ｂｒの変遷がそれぞれ略正弦波状になるように前記Ｎ磁極と前記Ｓ磁極との境界に磁化されていない磁気エンコーダ部材からなる無着磁部をそれぞれに設け、
前記Ｎ磁極とＳ磁極の対および前記Ｎ磁極とＳ磁極の間の前記無着磁部並びに前記Ｎ磁極またはＳ磁極の前記無着磁部と反対側の前記無着磁部からなる磁極対のピッチをλとしたときに、前記無着磁部の移動方向の長さをそれぞれλ／６とする、
磁気式位置検出方法。