JP2019211327A - 磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019211327A JP2019211327A JP2018107423A JP2018107423A JP2019211327A JP 2019211327 A JP2019211327 A JP 2019211327A JP 2018107423 A JP2018107423 A JP 2018107423A JP 2018107423 A JP2018107423 A JP 2018107423A JP 2019211327 A JP2019211327 A JP 2019211327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- pattern
- pole
- origin
- magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/125—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means characterised by a first part whose movement represents the measuring value, and by a second part which is moved by an external force in order to follow the movement of the first part
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
ルと前記磁気センサとの相対移動方向において予め定めた原点を境にN極とS極とが並ぶ第1着磁パターンと、前記相対移動方向と直交する直交方向で前記第1着磁パターンの隣に接して設けられ、前記相対移動方向で前記原点を境にS極とN極とが並び、前記直交方向において前記第1着磁パターンのN極の隣にS極が位置し、前記第1着磁パターンのS極の隣にN極が位置する第2着磁パターンと、を備え、前記磁気センサは、前記磁気スケールの原点を検出するための原点検出用の磁気抵抗素子を備え、前記原点検出用の磁気抵抗素子は、前記相対移動方向に感磁方向を向け、前記第1着磁パターンと前記第2着磁パターンとの境界を跨いで前記磁気スケールに対向することを特徴とする。
図1は、本発明を適用した磁気式エンコーダの説明図である。図2(a)は磁気スケールの説明図であり、図2(b)は磁気センサのセンサ基板の説明図である。図2(b)ではセンサ基板を磁気スケールの側から見た場合を示す。
図2(a)に示すように、磁気スケール2は、Y方向に延びるインクリメンタル信号用の磁気トラック5と、X方向でインクリメンタル信号用の磁気トラック5の隣に設けられた原点信号用の着磁パターン6を備える。インクリメンタル信号用の磁気トラック5と原点信号用の着磁パターン6との間には隙間14が設けられている。従って、インクリメンタル信号用の磁気トラック5は、原点信号用の着磁パターン6とX方向で離間する。
インクリメンタル信号用の磁気トラック5は、並列に配置された第1磁気トラック15、第2磁気トラック16、および、第3磁気トラック17を備える。より具体的には、インクリメンタル信号用の磁気トラック5は、Y方向に延びる第1磁気トラック15と、第1磁気トラック15の+X方向に第1磁気トラック15と接して設けられて第1磁気トラック15と平行に延びる第2磁気トラック16と、第2磁気トラック16の+X方向に第2磁気トラック16と接して設けられて第2トラックと平行に延びる第3磁気トラック17、を備える。
原点信号用の着磁パターン6は、Y方向において予め定めた原点Oを境にN極とS極とが並ぶ第1着磁パターン21を備える。本例では、原点Oは、Y方向におけるインクリメンタル信号用の磁気トラック5の中央に設定されている。第1着磁パターン21におけるN極とS極との間の着磁分極線は原点Oに位置する。また、原点信号用の着磁パターン6は、−X方向で第1着磁パターン21の隣に接して設けられた第2着磁パターン22を備える。第2着磁パターン22では、Y方向において予め定めた原点Oを境にS極とN極とが並ぶ。第2着磁パターン22では、X方向において第1着磁パターン21のN極の隣にS極が位置し、第1着磁パターン21のS極の隣にN極が位置する。第2着磁パターン22におけるN極とS極との間の着磁分極線は、原点Oに位置する。
センサ基板8は、ガラス或いはシリコンからなる。図2(b)に示すように、センサ基板8は、磁気スケール2と対向する基板面8aにインクリメンタル信号取得用の磁気抵抗素子11と、原点検出用の磁気抵抗素子12とを備える。インクリメンタル信号取得用の磁気抵抗素子11と、原点検出用の磁気抵抗素子12とは、X方向に配列されている。イ
ンクリメンタル信号取得用の磁気抵抗素子11は原点検出用の磁気抵抗素子12の+X方向に位置する。
インクリメンタル信号取得用の磁気抵抗素子11は、90°の位相差をもって磁気スケール2の移動を検出するA相の磁気抵抗パターン31およびB相の磁気抵抗パターン32を備える。A相の磁気抵抗パターン31は、180°の位相差を持って磁気スケール2の移動を検出する+a相の磁気抵抗パターン31(+a)および−a相の磁気抵抗パターン31(−a)を備える。B相の磁気抵抗パターン32は、180°の位相差を持って磁気スケール2の移動を検出する+b相の磁気抵抗パターン32(+b)および−b相の磁気抵抗パターン32(−b)を備える。+a相の磁気抵抗パターン31(+a)、+b相の磁気抵抗パターン32(+b)、−a相の磁気抵抗パターン31(−a)、および、−b相の磁気抵抗パターン32(−b)は、いずれも感磁方向をY方向に向けて設けられている。本例では、+a相の磁気抵抗パターン31(+a)と+b相の磁気抵抗パターン32(+b)とがX方向に配列されている。また、−a相の磁気抵抗パターン31(−a)と−b相の磁気抵抗パターン32(−b)とがX方向に配列されている。+a相の磁気抵抗パターン31(+a)と−b相の磁気抵抗パターン32(−b)とはY方向で隣り合う。−a相の磁気抵抗パターン31(−a)と+b相の磁気抵抗パターン32(+b)とはY方向で隣り合う。+a相の磁気抵抗パターン31(+a)、+b相の磁気抵抗パターン32(+b)、−b相の磁気抵抗パターン32(−b)、および、−a相の磁気抵抗パターン31(−a)は、基板面8aの互いに重ならない領域に単層で形成されている。
の少ない正弦波の差動出力を得ることができる。
原点検出用の磁気抵抗素子12は、180°の位相差を持って磁気スケール2の移動を検出する+z相の磁気抵抗パターン35(+z)および−z相の磁気抵抗パターン35(−z)を備える。+z相の磁気抵抗パターン35(+z)および−z相の磁気抵抗パターン35(−z)は、いずれも感磁方向をY方向に向けて設けられている。
本例の磁気式エンコーダ1によれば、磁気スケール2に設定した原点Oを境に設けられた第1着磁パターン21および第2着磁パターン22により、磁気スケール2の表面には面内方向の向きが変化する回転磁界が発生する。また、磁気センサ3が備える原点検出用の磁気抵抗素子は、第1着磁パターン21と第2着磁パターン22との境界を跨いで磁気スケール2に対向するので、この回転磁界を検出する。ここで、回転磁界を検出すれば、強弱磁界を検出する場合と比較して、外部磁界による影響を抑制できる。
ン21および第2着磁パターン22に起因する強弱磁界が発生することを防止できる。よって、磁気抵抗パターンからの信号に強弱磁界に起因する信号が含まれて、原点Oの検出精度が低下することを防止できる。
界が+X方向に印加されている場合の原点信号S(2mTX)と、を重ねて示している。原点信号Sはシミュレーションにより取得したものである。図5に示す例において、原点信号用の着磁パターン6(第1着磁パターン21および第2着磁パターン22)の残留磁束密度は4mTである。
ここで、比較例として、強弱磁界を利用して原点Oを検出する磁気式エンコーダを説明する。図6は比較例の磁気式エンコーダの磁気スケールの説明図である。なお、比較例の磁気式エンコーダ50は磁気式エンコーダ1と対応する構成を備えるので、対応する構成には同一の符号を付して説明する。
+b)とは、インクリメンタル信号用の磁気トラック5の第1磁気トラック15と第2磁気トラック16との境界を跨いで磁気スケール2と対向する。−a相の磁気抵抗パターン31(−a)と+b相の磁気抵抗パターン32(+b)は、磁気スケール2において、X方向で隣り合う第1磁気トラック15と第2磁気トラック16の境界部分で発生する回転磁界を検出する。また、磁気センサ3を磁気スケール2に対向させたときに、+a相の磁気抵抗パターン31(+a)と−b相の磁気抵抗パターン32(−b)とは、インクリメンタル信号用の磁気トラック5の第2磁気トラック16と第3磁気トラック17との境界を跨いで磁気スケール2と対向する。+a相の磁気抵抗パターン31(+a)と−b相の磁気抵抗パターン32(−b)は、X方向で隣り合う第2磁気トラック16と第3磁気トラック17の境界部分で発生する回転磁界を検出する。
に、原点Oを精度良く検出できることが明らかである。
図9は変形例1の磁気式エンコーダ1Aの磁気スケール2の説明図である。図9では、第1着磁パターン21および第2着磁パターン22における残留磁束密度の強弱を、濃淡で示す。なお、変形例1の磁気式エンコーダ1Aは、磁気スケール2における第1着磁パターン21のN極の着磁領域の着磁方法およびS極の着磁領域の着磁方法、並びに、第2着磁パターン22のN極の着磁領域の着磁方法およびS極の着磁領域の着磁方法が上記の磁気式エンコーダ1Aと相違する。しかし、他の構成は、磁気式エンコーダ1Aと同一である。従って、第1着磁パターン21のN極の着磁領域およびS極の着磁領域、並びに、第2着磁パターン22のN極の着磁領域およびS極の着磁領域について説明して、他の説明は省略する。
ら−Y方向に離れるのに伴って残留磁束密度が低下している。
図11は実施例2の磁気式エンコーダの説明図である。図11では、磁気スケール2における第1着磁パターン21および第2着磁パターン22における残留磁束密度の強弱を、濃淡で示す。実施例2の磁気式エンコーダ1Bは、ロータリコンコーダである。本例の磁気式エンコーダ1Bは、実施例1の磁気式エンコーダ1と対応する構成を備えるので、対応する構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図12は実施例3の磁気式エンコーダの説明図である。図12では、第1着磁パターン21および第2着磁パターン22における残留磁束密度の強弱を、濃淡で示す。実施例3の磁気式エンコーダ1Cは、ロータリコンコーダである。本例の磁気式エンコーダ1Cは、実施例2の磁気式エンコーダ1と対応する構成を備えるので、対応する構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
用効果を得ることができる。
上記の例では、磁気スケール2と磁気センサ3との相対移動方向において、原点信号用の着磁パターン6をインクリメンタル信号用の磁気トラック5の全域に設けているが、原点信号用の着磁パターン6をインクリメンタル信号用の磁気トラック5の全長より短くしてもよい。この場合でも、磁気センサ3によって原点信号用の着磁パターン6の回転磁界を検出して原点を取得すれば、比較例の磁気式エンコーダ50のように強弱磁界を検出して原点を取得する場合と比較して、外部磁界の影響が少ない。
抗パターン、35(−z)…−z相の磁気抵抗パターン、50…比較例の磁気式エンコーダ、51…比較例における原点信号用の着磁パターン、S・S1…原点信号
Claims (9)
- 磁気スケールと、
前記磁気スケールの移動を検出する磁気センサと、を有し、
前記磁気スケールは、前記磁気スケールと前記磁気センサとの相対移動方向において予め定めた原点を境にN極とS極とが並ぶ第1着磁パターンと、前記相対移動方向と直交する直交方向で前記第1着磁パターンの隣に接して設けられ、前記相対移動方向で前記原点を境にS極とN極とが並び、前記直交方向において前記第1着磁パターンのN極の隣にS極が位置し、前記第1着磁パターンのS極の隣にN極が位置する第2着磁パターンと、を備え、
前記磁気センサは、前記磁気スケールの原点を検出するための原点検出用の磁気抵抗素子を備え、
前記原点検出用の磁気抵抗素子は、前記相対移動方向に感磁方向を向け、前記第1着磁パターンと前記第2着磁パターンとの境界を跨いで前記磁気スケールに対向することを特徴とする磁気式エンコーダ。 - 前記磁気スケールは、前記相対移動方向に沿ってN極とS極とが交互に複数配列された第1磁気トラックを有し、
前記第1磁気トラックは、前記直交方向で前記第1着磁パターンの前記第2着磁パターンとは反対側に、前記第1着磁パターンと隙間を開けて設けられており、
前記第1着磁パターンのN極の着磁領域は、前記相対移動方向で前記原点の一方側に位置し、前記相対移動方向を前記原点から前記第1磁気トラックの前記一方側の端まで延びており、
前記第1着磁パターンのS極の着磁領域は、前記相対移動方向で前記原点の他方側に位置し、前記相対移動方向を前記原点から前記第1磁気トラックの前記他方側の端まで延びており、
前記第2着磁パターンのS極の着磁領域は、前記相対移動方向で前記原点の一方側に位置し、前記相対移動方向を前記原点から前記第1磁気トラックの前記一方側の端まで延びており、
前記第2着磁パターンのN極の着磁領域は、前記相対移動方向で前記原点の他方側に位置し、前記相対移動方向を前記原点から前記第1磁気トラックの前記他方側の端まで延びていることを特徴とする請求項1に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1磁気トラックは、直線状に延びており、
前記第1着磁パターンのN極の着磁領域では、残留磁束密度は一定であり、
前記第1着磁パターンのS極の着磁領域では、残留磁束密度は一定であり、
前記第2着磁パターンのS極の着磁領域では、残留磁束密度は一定であり、
前記第2着磁パターンのN極の着磁領域では、残留磁束密度は一定であることを特徴とする請求項2に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1着磁パターンのN極の着磁領域では、前記原点から前記相対移動方向に離れるのに伴って残留磁束密度が低下し、
前記第1着磁パターンのS極の着磁領域では、前記原点から前記相対移動方向に離れるのに伴って残留磁束密度が低下し、
前記第2着磁パターンのS極の着磁領域では、前記原点から前記相対移動方向に離れるのに伴って残留磁束密度が低下し、
前記第2着磁パターンのN極の着磁領域では、前記原点から前記相対移動方向に離れるのに伴って残留磁束密度が低下することを特徴とする請求項2に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1着磁パターンのN極の着磁領域では、前記相対移動方向の一方側の端で残留磁束密度がゼロであり、
前記第1着磁パターンのS極の着磁領域では、前記相対移動方向の他方側の端で残留磁束密度がゼロであり、
前記第2着磁パターンのS極の着磁領域では、前記相対移動方向の一方側の端で残留磁束密度がゼロであり、
前記第2着磁パターンのN極の着磁領域では、前記相対移動方向の他方側の端で残留磁束密度がゼロであることを特徴とする請求項4に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1磁気トラックは、円環状であり、
前記第1着磁パターンのN極の着磁領域の前記相対移動方向の一方側の端と、前記第1着磁パターンのS極の着磁領域の前記相対移動方向の他方側の端とが連続しており、
前記第2着磁パターンのS極の着磁領域の前記相対移動方向の一方側の端と、前記第2着磁パターンのN極の着磁領域の前記相対移動方向の他方側の端とが連続していることを特徴とする請求項5に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1着磁パターンの前記直交方向の幅と、前記第2着磁パターンの前記直交方向の幅とは同一であることを特徴とする請求項2から6のうちのいずれか一項に記載の磁気式エンコーダ。
- 前記磁気スケールは、前記第1磁気トラックの前記第1着磁パターンとは反対側に当該第1磁気トラックと接して設けられ当該第1磁気トラックと平行に延びる第2磁気トラック、および、前記第2磁気トラックの前記第1磁気トラックとは反対側に当該第2磁気トラックと接して設けられ当該第2トラックと平行に延びる第3磁気トラック、を備え、
前記第2磁気トラックでは、前記相対移動方向に沿ってS極とN極とが交互に複数配列され、前記直交方向において前記第1磁気トラックのN極の隣にS極が位置し、前記第1磁気トラックのS極の隣にN極が位置し、
前記第3磁気トラックでは、前記相対移動方向に沿ってS極とN極とが交互に複数配列され、前記直交方向において前記第2磁気トラックのN極の隣にS極が位置し、前記第2磁気トラックのS極の隣にN極が位置することを特徴とする請求項2から7のうちのいずれか一項に記載の磁気式エンコーダ。 - 前記磁気センサは、90°の位相差をもって前記磁気スケールの移動を検出するA相の磁気抵抗パターンおよびB相の磁気抵抗パターンを備え、
前記A相の磁気抵抗パターンは、180°の位相差を持って前記磁気スケールの移動を検出する+a相の磁気抵抗パターンおよび−a相の磁気抵抗パターンを備え、
前記B相の磁気抵抗パターンは、180°の位相差を持って前記磁気スケールの移動を検出する+b相の磁気抵抗パターンおよび−b相の磁気抵抗パターンを備え、
前記+a相の磁気抵抗パターンと、前記+b相の磁気抵抗パターンおよび前記−b相の磁気抵抗パターンの一方とは、前記相対移動方向に感磁方向を向け、前記第1磁気トラックと前記第2磁気トラックとの境界を跨いで前記磁気スケールと対向し、
前記−a相の磁気抵抗パターンと、前記+b相の磁気抵抗パターンおよび前記−b相の磁気抵抗パターンの他方とは、前記相対移動方向に感磁方向を向け、前記第2磁気トラックと前記第3磁気トラックとの境界を跨いで前記磁気スケールと対向することを特徴とする請求項8に記載の磁気式エンコーダ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107423A JP7064966B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 磁気式エンコーダ |
CN201910460946.9A CN110567353B (zh) | 2018-06-05 | 2019-05-30 | 磁性编码器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107423A JP7064966B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 磁気式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019211327A true JP2019211327A (ja) | 2019-12-12 |
JP7064966B2 JP7064966B2 (ja) | 2022-05-11 |
Family
ID=68773618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018107423A Active JP7064966B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 磁気式エンコーダ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7064966B2 (ja) |
CN (1) | CN110567353B (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01244314A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Fujitsu Ltd | 回転ポジショナ |
JPH074986A (ja) * | 1993-01-21 | 1995-01-10 | Nippondenso Co Ltd | 基準位置検出装置 |
JP2001165700A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気式位置又は移動速度検出装置 |
JP2007198847A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Ntn Corp | 回転センサ付き転がり軸受 |
JP2007271608A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-10-18 | Nidec Sankyo Corp | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
US20150091554A1 (en) * | 2012-04-20 | 2015-04-02 | The Timken Company | Magnetic encoder for producing an index signal |
JP2016194486A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 株式会社デンソー | 磁気リング、および、この磁気リングを有する回転センサ |
JP2017143206A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Ntn株式会社 | 磁気リニアエンコーダの着磁装置および製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004257850A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Fanuc Ltd | ロータリエンコーダ |
JP5073183B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2012-11-14 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気エンコーダ |
WO2007102465A1 (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Nidec Sankyo Corporation | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置および磁気スケールの製造方法 |
CN204241672U (zh) * | 2013-12-10 | 2015-04-01 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置及磁性编码器装置 |
JP2015114138A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
JP2016038294A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気式リニアエンコーダ |
JP6634276B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2020-01-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | 位置検出装置 |
-
2018
- 2018-06-05 JP JP2018107423A patent/JP7064966B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-30 CN CN201910460946.9A patent/CN110567353B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01244314A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Fujitsu Ltd | 回転ポジショナ |
JPH074986A (ja) * | 1993-01-21 | 1995-01-10 | Nippondenso Co Ltd | 基準位置検出装置 |
JP2001165700A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気式位置又は移動速度検出装置 |
JP2007198847A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Ntn Corp | 回転センサ付き転がり軸受 |
JP2007271608A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-10-18 | Nidec Sankyo Corp | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
US20150091554A1 (en) * | 2012-04-20 | 2015-04-02 | The Timken Company | Magnetic encoder for producing an index signal |
JP2016194486A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 株式会社デンソー | 磁気リング、および、この磁気リングを有する回転センサ |
JP2017143206A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Ntn株式会社 | 磁気リニアエンコーダの着磁装置および製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7064966B2 (ja) | 2022-05-11 |
CN110567353A (zh) | 2019-12-13 |
CN110567353B (zh) | 2021-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101078078B1 (ko) | 자기식 회전각 검출기 | |
KR101597639B1 (ko) | 앱솔루트 인코더 장치 및 모터 | |
JP5079816B2 (ja) | 好ましくは擬似正弦的に変化する磁石外形を有する磁気式位置センサ | |
US6118271A (en) | Position encoder using saturable reactor interacting with magnetic fields varying with time and with position | |
JP5245114B2 (ja) | 位置検出装置 | |
WO2011152266A1 (ja) | 磁気エンコーダ | |
JP6345235B2 (ja) | 磁気式位置検出装置、磁気式位置検出方法 | |
US9719805B2 (en) | Position detecting device | |
US9182249B2 (en) | Rotation angle detection device | |
JP2007017353A (ja) | 磁気エンコーダ | |
KR20140138253A (ko) | 자기식 회전각 검출기 | |
JP2018151181A (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
WO2016021401A1 (ja) | 磁気式リニアエンコーダ | |
WO2017094828A1 (ja) | 位置検出装置 | |
JP7463593B2 (ja) | 磁気センサシステムおよびレンズ位置検出装置 | |
US11512982B2 (en) | Electromagnetic measuring system for detecting length and angle on the basis of the magnetoimpedance effect | |
JP6387788B2 (ja) | 磁気エンコーダ用磁気媒体、磁気エンコーダ、並びに磁気媒体の製造方法 | |
JP7064966B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
CN111492206B (zh) | 基于磁阻效应的用于距离或角度测量的电磁测量系统 | |
JP2007093532A (ja) | 磁気センサー装置 | |
JP4506960B2 (ja) | 移動体位置検出装置 | |
CN108291821B (zh) | 位置检测装置 | |
JP4775705B2 (ja) | 磁気式アブソリュートエンコーダー | |
JP2021076503A (ja) | 磁気式回転位置検出装置 | |
JP6041959B1 (ja) | 磁気検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7064966 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |