JP6327079B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態の半導体装置は、図1に示されるように、基板10として、支持基板11、絶縁膜12、半導体層13が順に積層されたSOI(Silicon on Insulator)基板が用いられている。そして、半導体層13は、トレンチ14に絶縁膜15が埋め込まれることによって複数の形成領域に区画され、各形成領域にゲート電極16やLOCOS酸化膜17を有するMOSやIGBT等の半導体素子20が形成されている。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
31〜33 配線部
41〜43 層間絶縁膜
50 配線層
100 パッド層
101 下層パッド層
102 硬質層
103 上層パッド層
Claims (2)
- 一面(10a)を有し、半導体素子(20)が形成された基板(10)と、
前記半導体素子と電気的に接続される配線部(31〜33)および層間絶縁膜(41〜43)が順に積層された配線層(50)と、
前記配線層に形成されたビアホール(80)に配置されて前記配線部と電気的に接続されるパッド層(100)と、を備え、
前記パッド層は、前記基板側から下層パッド層(101)、硬質層(102)、上層パッド層(103)が順に積層され、前記下層パッド層および前記上層パッド層は、Cuを含むAl系合金で構成され、前記硬質層は、前記下層パッド層および前記上層パッド層よりも硬度が高く、かつ遷移金属で構成されている半導体装置の製造方法において、
前記基板を用意する工程と、
前記基板の一面上に前記配線層を形成する工程と、
前記配線層に前記配線部を露出させる前記ビアホールを形成する工程と、
前記配線層上に、前記ビアホールに埋め込まれるように、前記下層パッド層を構成する第1金属膜(101a)、前記硬質層を構成する第2金属膜(102a)、前記上層パッド層を構成する第3金属膜(103a)を順に成膜する工程と、
熱処理して前記第1〜第3金属膜を流動させる熱処理工程と、
前記第3金属膜上に、前記第1〜第3金属膜の合計の厚さよりも薄いレジスト(105)を配置する工程と、
前記第1〜第3金属膜のうちの前記パッド層を構成する部分上に前記レジストが残るように当該レジストをパターニングする工程と、
前記レジストをマスクとして前記第1〜第3金属膜をパターニングすることで前記パッド層を形成する工程と、を行い、
前記パッド層を形成する工程では、前記第2、第3金属膜が除去されると共に、前記熱処理工程の際に前記第1金属膜と前記第2金属膜との界面に析出するCu(104)が除去され、かつ前記レジストおよび前記第1金属膜のうちの前記基板側の部分が残るように異方性エッチングを行う工程と、前記レジストを残しつつ、前記レジストから露出している前記第1金属膜を除去する等方性エッチングを行う工程と、を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記硬質層は、Ti、Ti系合金、WまたはW系合金にて構成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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