JP6312229B1 - 研磨方法及び研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下のようにシリコンウェーハの研磨を行った。ここでは、GBIRが最小となるような条件で研磨を行った。
まず、使用する保持板の保持面の形状測定を行った。保持板としては、保持面が凸形状の円盤状のものを複数用意した。形状測定には、京セラ社製 形状測定器「ナノウェイ」を用いて、保持板の基準点を目印にX、Y直径方向に形状変位を測定した。測定数値は、始点−終点を0−0に補正して形状変位量を算出した。すべての保持板の凸量を測定したところ、図5のように、凸量の分布はほぼ正規分布となった。なお、図5では凸量(プレート形状)は相対値で示しており、ここでは、凸量の平均値を0.0とし、該平均値からの差をとっている。また、保持板の凸量の平均値を算出し、実施例1では凸量が平均値の保持板を用いた。
1枚の保持板に、接着法で直径200mmの研磨用ウェーハを複数枚貼り付けた。
装置:片面研磨装置
研磨ヘッド:エアーバッグ加圧式
保持板の凸量:平均値
1次研磨布:不織布
研磨スラリー:アルカリ性コロイダルシリカ
研磨代:およそ5〜10μm
研磨方法:1次+2次+3次(このうち、1次研磨のみ本発明の研磨方法を適用した)
平坦度測定装置:KLAテンコール社製 ADE9800
研磨ヘッドのエアーバッグ圧を調整し、保持板に対する押圧分布がどのように変化するかを調べた。なお、この時、保持板は、凸量が平均値より2.4μm小さいものを用いた。その結果を図6に示す。図6のグラフから分かるように、ここで用いた研磨ヘッドでは、エアーバッグ圧を大きくすると、保持板の中心部の押圧が外周部に対して相対的に大きくなることがわかった。
実施例1で用いた保持板の保持面の形状に対し、最も平坦度の高いウェーハが得られるのはエアーバッグ圧を10kPaとした場合であるため、エアーバッグ圧を10kPaとしてシリコンウェーハの研磨を行った。このように、測定済の保持面の形状に応じて、研磨ヘッドによる保持板に対する押圧分布を調整してから、シリコンウェーハを研磨した。研磨後のシリコンウェーハのGBIRを測定したところ、GBIRは相対値で1.0であった。
実施例2では、保持板を、凸量が平均値より0.7μm大きい保持板に変えた。
上記の通り、実施例2で用いた保持板の保持面の形状に対し、実施例1と同等で、最も平坦度の高いウェーハが得られるのはエアーバッグ圧を7kPaとした場合であるため、エアーバッグ圧を7kPaとしてシリコンウェーハの研磨を行った。このように、測定済の保持面の形状に応じて、研磨ヘッドによる保持板に対する押圧分布を調整してから、シリコンウェーハを研磨した。研磨後のシリコンウェーハのGBIRを測定したところ、GBIRは相対値で1.0であった。
比較例1では、実施例2と同様の凸量の保持板を用いたが、この凸量に応じた保持板に対する押圧分布の調整は行わなかった。この時は、従来と同様に、保持板の保持面の形状に関係なく、平均的な形状の保持板に対する最適な押圧分布で、すなわち、この場合、エアーバッグ圧10kPaでシリコンウェーハを研磨した。その結果、GBIRの相対値は1.5となった。
実施例3では、保持板を、凸量が平均値より0.6μm小さい(平均より凹(−0.6μm))保持板に変えた。
上記の通り、実施例3で用いた保持板の保持面の形状に対し、最も平坦度の高いウェーハが得られるのはエアーバッグ圧を12kPaとした場合であるため、エアーバッグ圧を12kPaとしてシリコンウェーハの研磨を行った。このように、測定済の保持面の形状に応じて、研磨ヘッドによる保持板に対する押圧分布を調整してから、シリコンウェーハを研磨した。研磨後のシリコンウェーハの平坦度を測定したところ、GBIRは相対値で1.1であった。
比較例2では、実施例3と同様の凸量の保持板を用いたが、この凸量に応じた保持板に対する押圧分布の調整は行わなかった。この時は、従来と同様に、保持板の保持面の形状に関係なく、平均的な形状の保持板に対して最適な押圧分布で、すなわち、この場合、エアーバッグ圧10kPaでシリコンウェーハを研磨した。その結果、GBIRの相対値は1.4となった。
本発明の研磨方法に従ってシリコンウェーハの研磨を繰り返し行い、研磨後の各ウェーハのGBIRを測定し、GBIRの度数及び累積度数を算出した。結果を図11、下記表2に示す。図11及び表2には比較例3のGBIRの値を基準とした相対値を示す。
従来の研磨方法に従って、保持板の保持面の形状に関わらずエアーバッグ圧を一定にしてシリコンウェーハの研磨を繰り返し行い、研磨後の各ウェーハのGBIRを測定し、GBIRの度数及び累積度数を算出した。結果を図11、下記表2に示す。
4…研磨軸、 5…研磨テーブル、 6…研磨布、
7…可撓性薄膜、 8…保持板、 9…押圧分布制御部、
W…ウェーハ。
Claims (3)
- 被研磨物を保持板で保持し、前記被研磨物を保持した前記保持板を研磨装置に配設された研磨ヘッドに装着し、該研磨ヘッドによって、前記保持板に保持された前記被研磨物を、研磨テーブルに貼り付けられた研磨布に所定の圧力で押し付けて相対運動させることにより、被研磨物の表面を研磨する方法であって、
前記保持板で前記被研磨物を保持する前に、前記保持板の前記被研磨物を保持する保持面の形状を測定しておき、
前記測定済の前記保持面の形状に応じて、前記研磨ヘッドによる前記保持板に対する押圧分布を調整してから、前記被研磨物を研磨する方法であり、
前記研磨ヘッドによる前記保持板に対する押圧分布の調整は、前記保持面の形状を測定した結果に基づいて、予め、複数の保持板を凸形状のものと凹形状のものとに選別しておき、
前記保持板として保持面の形状が凸に膨らんだ形状のものを用いる際には、前記保持板として用いられる複数の前記保持板の凸量を測定して凸量の平均値を算出し、該凸量の平均値よりも凸量が大きい前記保持板を前記研磨ヘッドに装着した場合は、前記保持面の外周部への押圧を前記保持面の中心部の押圧に対して相対的に大きくし、前記凸量の平均値よりも凸量が小さい前記保持板を前記研磨ヘッドに装着した場合は、前記保持面の外周部への押圧を前記保持面の中心部の押圧に対して相対的に小さくし、
前記保持板として保持面の形状が凹にへこんだ形状のものを用いる際には、前記保持板として用いられる複数の前記保持板の凹量を測定して凹量の平均値を算出し、該凹量の平均値よりも凹量が大きい前記保持板を前記研磨ヘッドに装着した場合は、前記保持面の外周部への押圧を前記保持面の中心部の押圧に対して相対的に小さくし、前記凹量の平均値よりも凹量が小さい前記保持板を前記研磨ヘッドに装着した場合は、前記保持面の外周部への押圧を前記保持面の中心部の押圧に対して相対的に大きくすることを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨ヘッドとして、前記保持板を押圧する面に張設された可撓性薄膜を有するものを用い、前記可撓性薄膜への流体内圧を制御することによって前記保持板への押圧分布を調整することを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記研磨装置の前記研磨テーブルが複数の研磨ヘッドを持つ場合は、複数の前記保持板を前記測定された保持面の形状に応じて分類し、該分類に応じて各研磨ヘッドの前記押圧分布を設定し、前記分類に応じて前記保持板を所定の押圧分布に設定された所定の研磨ヘッドに装着することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研磨方法。
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