JP6311311B2 - 電子装置およびその製造方法 - Google Patents
電子装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6311311B2 JP6311311B2 JP2013554242A JP2013554242A JP6311311B2 JP 6311311 B2 JP6311311 B2 JP 6311311B2 JP 2013554242 A JP2013554242 A JP 2013554242A JP 2013554242 A JP2013554242 A JP 2013554242A JP 6311311 B2 JP6311311 B2 JP 6311311B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductive layer
- organic insulating
- insulating layer
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 49
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 46
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 22
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 20
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 562
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 46
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 37
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 32
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 17
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 11
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
本発明の一態様に係る電子装置は、 基板と、前記基板上に形成された第1導電層と、前記第1導電層上に形成され、且つ、前記第1導電層の一部を露出する開口があけられた有機絶縁層と、前記有機絶縁層の上面、前記有機絶縁層の開口を臨む内周面、および前記開口から露出した第1導電層を覆うように形成された金属製の第2導電層と、前記有機絶縁層の開口を臨む内周面と前記第2導電層との間のみに形成された、酸化物あるいは窒化物を含む中間層とを備え、前記有機絶縁層の開口の底面において、前記第1導電層と前記第2導電層とが接触していることを特徴とする。
1.有機EL表示パネル1の全体構成
図1は、本実施の形態1に係る、有機EL表示パネルの1画素分の構成を示す断面図である。
以下、有機EL表示パネル1の製造方法、特に、中間層35を形成する工程について、図面を用いて説明する。なお、有機EL表示パネルを形成する工程のうち、下記以外の工程については、公知の技術を適用できるので、説明を省略する。
以下、中間層35の構造および組成の確認結果を示すとともに、中間層35の形成のメカニズムについて考察する。
(3−1)中間層35の構造
上記製造方法で形成した有機絶縁層21の構成を、TEM(走査透過型電子顕微)で観察した。図5(a)は有機EL素子の本実施の形態によるコンタクト部分のTEMによる撮影図であり、図5(b)は図5(a)の撮影図のトレース図である。なお、酸化タングステン層13aは、第1導電層13と有機絶縁層21との間に存在すると考えられるが図面には現れていない。これは、酸化タングステン層13aと第1導電層13とがTEMでは同じ濃さのものとして撮影されるためである。
(3−2)中間層35の組成
さらに、上記製造方法で形成した有機絶縁層21の開口を臨む内周面21aを、XPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy)で観察した。図6は、図1に示した有機EL素子の有機絶縁層21の開口を臨む内周面21aのXPSによるタングステン4f軌道の測定図である。タングステン4f軌道を測定すると、金属単体であるタングステンが存在する場合には、2つのピークが観測され、金属酸化物である酸化タングステンが存在する場合には、4つのピークが観測される。図6では、図3(d)の酸化工程を行わなかった場合(比較例)と、図3(d)の酸化工程を行った場合(本実施の形態)との測定結果を示している。一点鎖線が比較例に対応し、二点鎖線が本実施の形態に対応する。図6に示すように、比較例では表面にタングステンが存在し、本実施の形態では酸化タングステンが存在する。このように、上記製造方法により形成した有機EL表示パネル1における中間層35は、酸化タングステンからなることが確認できた。
(3−3)中間層35の形成メカニズム
さらに、上記製造方法における、逆スパッタリング法による中間層の形成について図面を用いて詳しく考察する。図7(a)は特許文献1に係る中間層形成工程の模式図であり、図7(b)は本実施の形態に係る中間層形成工程の模式図である。
本実施の形態では、有機絶縁層21の開口を臨む内周面21aと第2導電層23との間に、酸化タングステンで構成される中間層35が形成されている。ここで、酸化タングステンは、有機材料に対しても金属材料に対しても密着性が高いことが知られている。そのため、有機絶縁層21と中間層35との密着性は高く、且つ、中間層35と第2導電層23との密着性も高い。従って、中間層35が形成されることにより、有機絶縁層21と第2導電層23とは剥がれにくくなる。
1.構成
図10は、実施の形態2に係る有機EL表示パネル201の断面図である。実施の形態2では、金属酸化物からなる中間層上に金属層が形成されている。下記以外の構成は、有機EL表示パネル1と同じなので、説明を省略する。
2.製造方法
以下、有機EL表示パネル201の製造方法、特に、中間層35および第1導電層213の張り出し部213dを形成する工程について、図面を用いて説明する。
3.効果
中間層35と第2導電層23との間に、タングステンで構成された張り出し部213dがさらに形成されている。そして、有機絶縁層21の開口において、タングステン層とアルミニウム合金層との界面は、張り出し部213dと第2導電層23との接触面となる。当該接触面の面積は、有機絶縁層21の開口の底部の面積よりも大きい。一方、第1電極層213と張り出し部213dとの間にはコンタクト抵抗は存在しない。従って、この構成では、実施の形態1よりもコンタクト抵抗を抑制できる。なお、当該効果が生じるためには、張り出し部213dが第1導電層213を構成する金属と同じ材料で構成されなければならない。張り出し部213dが第2導電層32を構成する金属と同じ材料で構成される場合は、実施の形態1とコンタクト抵抗が変わらず効果が発生しない。また、張り出し部213dが第1導電層213および第2導電層23の材料と異なる材料で構成される場合、第1導電層213と張り出し部213dとの間にコンタクト抵抗が存在するので、効果が発生しない。
以上の通り、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記実施の形態に限らない。以下に、上記実施の形態の変形例について説明する。
実施の形態等では、アニールまたは焼成により第1導電層を酸化したが、第1導電層の酸化方法はこれに限らない。例えば、図12、図13に示すように、O2アッシングにより第1導電層13の表面の一部を酸化してもよい。
実施の形態等では、中間層を酸化タングステンあるいは酸化タングステンとタングステンとで構成されるとして説明した。しかしながら、これに限らず、中間層の材料は酸化物あるいは窒化物を含むものであればよい。ここでいう「酸化物あるいは窒化物」は酸窒化物を含む。以下、具体的に説明する。
中間層をITOのような導電性酸化物で形成してもよい。中間層335を、酸化タングステンよりも導電性の高い導電性酸化物で形成することにより、有機絶縁層21の開口の底部における中間層335と第1導電層13との間の界面でも電流が流れることとなる。その結果、有機絶縁層21の開口の底部における第1導電層13と第2導電層23とのコンタクト抵抗をさらに抑制できる。以下、導電性酸化物からなる中間層の例として、ITOで構成される中間層を含む有機EL素子の製造方法を、図14に示す。
中間層を、パッシベーション層を構成する材料で形成してもよい。パッシベーション層と中間層とを同一材料で形成することで、中間層を形成するために新たな材料を用いる必要がなくなる。パッシベーション層と中間層とを同一材料で形成する場合も、中間層の形成工程は、上述したような不活性ガスによる逆スパッタリングにより行うことができる。ここで、パッシベーション層と同一材料からなる中間層の例として、SiNで構成される中間層を含む有機EL素子の製造方法を、図15に示す。
さらに、図16(c)に示すように、図4(c)と同様に、第2導電層23を形成し、さらに、有機絶縁層21の開口に、隔壁40を形成する。
上記実施の形態等では、中間層は、有機絶縁層の開口の内周面の第1導電層側の半分のみに拡がっていた。しかしながら、中間層は、有機絶縁層の開口の内周面の全部に拡がっていてもよい。
上記実施の形態等では、中間層を逆スパッタリングで形成したが、アルゴンガスを用いたドライエッチングを用いても中間層を形成することができる。
上記実施の形態等では、発光層は有機発光材料から構成したが、これに限らず、少なくとも有機EL層を含み、必要に応じて正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層などの各種の機能層を含む材料で構成すればよい。また、第1電極層は、導電性の高い材料で構成すればよく、特に、タングステン、Mo、Ti、Cr、Cuのいずれかを含有することが望ましい。第2導電層は、アルミニウムあるいはアルミニウム合金に限らず、例えば、Ag合金のような導電性および光反射性を有する材料から構成すればよい。
本発明は、上記実施の形態等で示した、SD電極である第1導電層と陽極である第2導電層との間のコンタクト以外にも、導電層、開口があけられた有機絶縁層、金属膜の積層構造を採り、有機絶縁層の開口において、導電層と金属膜とが接するような構造の電子装置に用いることができる。
ガラス基板 11
第1導電層 13
有機絶縁層 21
有機絶縁層の開口の内周面 21a
有機絶縁層の開口の底面 21b
第2導電層 23
中間層 35
Claims (14)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1導電層と、
前記第1導電層上に形成され、且つ、前記第1導電層の一部を露出する開口があけられた有機絶縁層と、
前記有機絶縁層の上面、前記有機絶縁層の開口を臨む内周面、および前記開口から露出した前記第1導電層を覆うように形成された金属製の第2導電層と、
前記有機絶縁層の前記開口を臨む内周面と前記第2導電層との間における前記第1導電層側の半分のみに形成された酸化物あるいは窒化物を含む中間層と、を備え、
前記中間層が形成された箇所において、前記有機絶縁層の前記開口を臨む内周面と、前記第2導電層が前記中間層を介して接すると共に、
前記有機絶縁層の開口の底面において、前記第1導電層と前記第2導電層とが接触している
電子装置。 - 前記第1導電層は、金属で構成され、
前記中間層は、前記第1導電層を構成する前記金属の酸化物で構成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 前記中間層は、導電性酸化物で構成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 酸化物あるいは窒化物で構成され、前記第1導電層と前記有機絶縁層との間に形成され、且つ、前記有機絶縁層の開口に対応して前記第1導電層の一部を露出する開口があけられた絶縁層をさらに備え、
前記中間層は、前記絶縁層と同じ材料で構成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 前記第1導電層は、金属で構成され、
前記中間層と前記第2導電層との間に、前記第1導電層を構成する前記金属で構成された金属層がさらに形成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 前記第1導電層は、金属で構成され、
前記第1導電層と前記有機絶縁層との間には、前記第1導電層を構成する前記金属の酸化物で構成された金属酸化物層が形成され、
前記有機絶縁層で直接覆われた前記第1導電層の領域の表面の粗さが、
前記有機絶縁層から露出した前記第1導電層の領域の表面の粗さよりも大きい、
請求項1に記載の電子装置。 - 前記第1導電層は、金属で構成され、
前記有機絶縁層で覆われた前記第1導電層の領域では、前記第1導電層と前記有機絶縁層との間に、前記第1導電層を構成する前記金属の酸化物で構成される酸化物層が形成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 前記第1導電層は、W、Mo、Ti、Cr、Cuの少なくともいずれかを含有する金属で構成されている
請求項1に記載の電子装置。 - 前記第2導電層は、Al合金あるいはAg合金で構成されている、
請求項1に記載の電子装置。 - 基板を準備する第1工程と、
前記基板上に金属で構成された第1導電層を形成する第2工程と、
前記第1導電層上に、前記第1導電層の一部を露出する開口があけられ、有機材料で構成された有機絶縁層を形成する第3工程と、
少なくとも前記有機絶縁層から露出した前記第1導電層の表面をスパッタリングすることで、前記有機絶縁層の前記開口を臨む内周面における前記第1導電層側の半分のみに酸化物あるいは窒化物を含有する中間層を形成する第4工程と、
前記有機絶縁層の上面、前記有機絶縁層の前記開口の内周面、および前記有機絶縁層から露出した前記第1導電層を覆うように、金属製の第2導電層を形成する第5工程とを含む、
電子装置の製造方法。 - 前記中間層が含有する酸化物あるいは窒化物は、前記第1導電層を構成する前記金属の酸化物あるいは窒化物である、
請求項10に記載の電子装置の製造方法。 - 前記第2工程から前記第4工程までの間に、
前記第1導電層の少なくとも表面を酸化する工程を有する、
請求項11に記載の電子装置の製造方法。 - 前記第4工程と前記第5工程との間に、
前記第1導電層の表面をスパッタリングして、前記中間層上に前記第1導電層に含まれる金属からなる金属層を形成する工程を有する、
請求項11あるいは12に記載の電子装置の製造方法。 - 基板を準備する第6工程と、
前記基板上に金属で構成された第1導電層を形成する第7工程と、
前記基板および前記第1導電層上に酸化物あるいは窒化物で構成される絶縁層を形成する第8工程と、
前記第1導電層上に、前記第1導電層の一部を露出する開口があけられ、有機材料で構成された有機絶縁層を形成する第9工程と、
前記第1導電層の表面が露出するように前記絶縁層の表面の一部をスパッタリングにより除去することにより、少なくとも前記有機絶縁層から露出した前記絶縁層の表面をスパッタリングすることで、前記有機絶縁層の前記開口を臨む内周面における前記第1導電層側の半分のみに前記絶縁層と同じ材料で構成される中間層を形成する第10工程と、
前記有機絶縁層の上面、前記有機絶縁層の前記開口の内周面、および前記有機絶縁層から露出した前記第1導電層を覆うように、金属製の第2導電層を形成する第11工程とを含む
電子装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012007797 | 2012-01-18 | ||
JP2012007797 | 2012-01-18 | ||
PCT/JP2013/000060 WO2013108598A1 (ja) | 2012-01-18 | 2013-01-10 | 電子装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013108598A1 JPWO2013108598A1 (ja) | 2015-05-11 |
JP6311311B2 true JP6311311B2 (ja) | 2018-04-18 |
Family
ID=48799032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013554242A Active JP6311311B2 (ja) | 2012-01-18 | 2013-01-10 | 電子装置およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9356252B2 (ja) |
JP (1) | JP6311311B2 (ja) |
CN (1) | CN104081879B (ja) |
WO (1) | WO2013108598A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9799687B2 (en) | 2014-06-19 | 2017-10-24 | Joled Inc. | Method for manufacturing active-matrix display panel, and active-matrix display panel |
US10574109B2 (en) * | 2016-04-28 | 2020-02-25 | The Boeing Company | Permanent magnet biased virtual elliptical motor |
US10267383B2 (en) * | 2017-05-03 | 2019-04-23 | The Boeing Company | Self-aligning virtual elliptical drive |
US11410880B2 (en) * | 2019-04-23 | 2022-08-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Phase control in contact formation |
CN113013362B (zh) * | 2021-02-26 | 2023-04-18 | 云谷(固安)科技有限公司 | 显示面板、显示面板的制备方法及显示装置 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05315458A (ja) | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH05315459A (ja) | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US6287977B1 (en) * | 1998-07-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for forming improved metal interconnects |
JP4493933B2 (ja) | 2002-05-17 | 2010-06-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US7256421B2 (en) | 2002-05-17 | 2007-08-14 | Semiconductor Energy Laboratory, Co., Ltd. | Display device having a structure for preventing the deterioration of a light emitting device |
JP2004127933A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
WO2004026002A1 (en) * | 2002-09-11 | 2004-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting apparatus and fabrication method of the same |
JP4362696B2 (ja) | 2003-03-26 | 2009-11-11 | ソニー株式会社 | 発光素子およびその製造方法、ならびに表示装置 |
JP4062171B2 (ja) | 2003-05-28 | 2008-03-19 | ソニー株式会社 | 積層構造の製造方法 |
JP4483245B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2010-06-16 | ソニー株式会社 | 有機発光素子およびその製造方法ならびに表示装置 |
JP4016144B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2007-12-05 | ソニー株式会社 | 有機発光素子およびその製造方法ならびに表示装置 |
JP4501666B2 (ja) | 2004-12-14 | 2010-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | コンタクトの形成方法 |
US8633919B2 (en) * | 2005-04-14 | 2014-01-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device, driving method of the display device, and electronic device |
JP2007026754A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子、露光装置および画像形成装置 |
JP2007103098A (ja) | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法、有機el装置及び電子機器 |
JP2007227288A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Seiko Epson Corp | 有機el装置および電子機器 |
KR100782485B1 (ko) | 2006-08-18 | 2007-12-05 | 삼성전자주식회사 | 알루미늄 및 구리 배선들을 전기적으로 접속시키는구조체들 및 그의 형성방법들 |
KR101326129B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2013-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP5256863B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2013-08-07 | ソニー株式会社 | 有機発光素子およびその製造方法ならびに表示装置 |
JP5002553B2 (ja) * | 2008-07-30 | 2012-08-15 | 株式会社東芝 | 自発光型素子及びその製造方法 |
US8829526B2 (en) * | 2009-01-23 | 2014-09-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device, method for manufacturing same, and display device |
JP5553518B2 (ja) | 2009-03-19 | 2014-07-16 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 画像表示装置 |
JP2010257694A (ja) | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Kyocera Corp | 画像表示装置 |
CN102511199B (zh) * | 2009-11-26 | 2016-06-15 | 夏普株式会社 | 有机el器件 |
KR101783352B1 (ko) * | 2010-06-17 | 2017-10-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JPWO2013183289A1 (ja) | 2012-06-08 | 2016-01-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜トランジスタ、表示パネルおよび薄膜トランジスタの製造方法 |
-
2013
- 2013-01-10 JP JP2013554242A patent/JP6311311B2/ja active Active
- 2013-01-10 US US14/371,073 patent/US9356252B2/en active Active
- 2013-01-10 WO PCT/JP2013/000060 patent/WO2013108598A1/ja active Application Filing
- 2013-01-10 CN CN201380005257.XA patent/CN104081879B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150001517A1 (en) | 2015-01-01 |
CN104081879B (zh) | 2017-03-01 |
JPWO2013108598A1 (ja) | 2015-05-11 |
US9356252B2 (en) | 2016-05-31 |
CN104081879A (zh) | 2014-10-01 |
WO2013108598A1 (ja) | 2013-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11462717B2 (en) | Display device | |
US10069109B2 (en) | Organic light emitting device and method of fabricating the same | |
KR102458907B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP6311311B2 (ja) | 電子装置およびその製造方法 | |
KR102531868B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 | |
US20210399258A1 (en) | Light emitting apparatus | |
CN116437747A (zh) | 有机发光显示装置 | |
TWI508186B (zh) | 薄膜電晶體之製造方法、薄膜電晶體及影像顯示裝置 | |
US8633479B2 (en) | Display device with metal oxidel layer and method for manufacturing the same | |
WO2019097823A1 (ja) | 表示装置 | |
CN112447930A (zh) | 显示设备及制造该显示设备的方法 | |
JP6099940B2 (ja) | 表示装置 | |
JP2008124316A (ja) | 有機el表示装置 | |
CN102130147A (zh) | 显示器及其制造方法、以及电子设备 | |
JP2007165318A (ja) | 有機電界発光素子、および有機電界発光素子の製造方法 | |
JP6500196B2 (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP2006228570A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子及びエレクトロルミネッセンスパネル | |
KR102503816B1 (ko) | 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2008015293A (ja) | 有機el表示装置 | |
US8723190B2 (en) | Light emitting device having a patterned conductive layer with at least a passivated side surface | |
TW201133707A (en) | Active device array substrate and fabricating method thereof | |
US9716135B2 (en) | Organic thin film transistor array substrate and fabrication method thereof | |
JP2007220393A (ja) | 有機el装置、その製造方法およびこれを備える電子機器 | |
CN108886042B (zh) | 阵列基板及其制造方法、显示面板和显示设备 | |
JP2015185479A (ja) | 発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20150210 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6311311 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |