JP6310358B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
2 コントローラ(レーザ光発生部及びレーザ光制御部)
3 加工データ生成装置(加工データ生成部)
4 外部機器
10 レーザ加工装置
31 CPU
32 メモリ
33 記憶装置
90 可搬型記録媒体
100 コンピュータプログラム
228 モータ制御回路
Claims (9)
- レーザ光を発するレーザ光発生部と、
走査ミラーを駆動して、載置されたワーク表面をレーザ光にて二次元状に走査するレーザ光走査部と、
前記走査ミラーを駆動する駆動モータと、
互いに並列に接続された比例器及び積分器を含み、前記駆動モータに対して制御信号を送信するモータ制御回路と、
前記走査ミラーの角度を検出して、前記モータ制御回路に角度検出信号をフィードバックする角度検出器と、
所定の加工パターンに対応した走査ミラーの目標位置信号を前記モータ制御回路に供給して、レーザ光の走査領域内で位置決めされた前記ワークに対して加工パターンのレーザ加工を行うレーザ光制御部と、
前記加工パターンを含む加工データを生成する加工データ生成部と
を有するレーザ加工装置であって、
前記モータ制御回路は、
前記目標位置信号と前記角度検出信号との偏差に基づく原偏差信号を生成する原偏差信号生成部と、
該原偏差信号生成部に接続され、前記比例器と前記積分器とで不均衡な信号が入力されるように前記原偏差信号に基づいて不均衡偏差信号を生成する不均衡偏差信号生成部と、
生成された前記不均衡偏差信号が入力された比例器の出力と、前記原偏差信号が入力された積分器の出力とを加算して、前記駆動モータに対して制御信号を出力する加算出力部と
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記不均衡偏差信号生成部は、前記目標位置信号及び前記原偏差信号に基づいて不均衡偏差信号を生成することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記不均衡偏差信号生成部は、前記角度検出信号及び前記原偏差信号に基づいて不均衡偏差信号を生成することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記角度検出信号に基づいて微分制御する微分器を備え、
前記加算出力部は、前記微分器の出力を加算して前記駆動モータに対して制御信号を出力することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。 - 前記不均衡偏差信号生成部は、前記目標位置信号及び前記原偏差信号が入力される演算増幅器を備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- レーザ光を発するレーザ光発生部と、
フォーカスレンズを駆動して、載置されたワーク表面にレーザ光の焦点距離を合わせる焦点調整部と、
前記フォーカスレンズを駆動するリニアモータと、
互いに並列に接続された比例器及び積分器を含み、前記リニアモータに対して制御信号を送信するモータ制御回路と、
前記フォーカスレンズの位置を検出して、前記モータ制御回路に位置検出信号をフィードバックする位置検出器と、
所定の加工パターンに対応したフォーカスレンズの目標位置信号を前記モータ制御回路に供給して、レーザ光の走査領域内で位置決めされた前記ワークに対して加工パターンのレーザ加工を行うレーザ光制御部と、
前記加工パターンを含む加工データを生成する加工データ生成部と
を有するレーザ加工装置であって、
前記モータ制御回路は、
前記目標位置信号と前記位置検出信号との偏差に基づく原偏差信号を生成する原偏差信号生成部と、
該原偏差信号生成部に接続され、前記比例器と前記積分器とで不均衡な信号が入力されるように前記原偏差信号に基づいて不均衡偏差信号を生成する不均衡偏差信号生成部と、
生成された前記不均衡偏差信号が入力された比例器の出力と、前記原偏差信号が入力された積分器の出力とを加算して、前記リニアモータに対して制御信号を出力する加算出力部と
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記不均衡偏差信号生成部は、前記目標位置信号及び前記原偏差信号に基づいて不均衡偏差信号を生成することを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工装置。
- 前記位置検出信号に基づいて微分制御する微分器を備え、
前記加算出力部は、前記微分器の出力を加算して前記リニアモータに対して制御信号を出力することを特徴とする請求項6又は7に記載のレーザ加工装置。 - 前記不均衡偏差信号生成部は、前記目標位置信号及び前記原偏差信号が入力される演算増幅器を備えることを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工装置。
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