JP6304235B2 - センサ装置、入力装置および電子機器 - Google Patents

Description

本技術は、入力操作を静電的に検出することが可能なセンサ装置、入力装置および電子機器に関する。

電子機器用のセンサ装置として、例えば容量素子を備え、入力操作面に対する操作子の操作位置と押圧力とを検出することが可能な構成を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１７０６５９号公報

近年、指の動きを利用したジェスチャー操作によって自由度の高い入力方法が用いられているが、さらに、操作面上の押圧力を高い精度で安定的に検出することができれば、より多彩な入力操作の実現を期待できる。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、操作位置および押圧力を高い精度で検出することが可能なセンサ装置、入力装置および電子機器を提供することにある。

上述の課題を解決するために、第１の技術は、
可撓性を有する第１の導体層と、
第２の導体層と、
第１の導体層および第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
第１の導体層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
電極基板および第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
電極基板は、第１の導体層および第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能であり、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置である。

第１の技術では、第１の導体層上から入力操作を行うと、第１の導体層が撓むと共に、第１の構造体を介して電極基板が第２の導体層に向けて撓む。これにより、第１および第２の導体層各々と電極基板との間の相対距離がそれぞれ変化し、その距離の変化に基づいて押圧などの入力操作を静電的に検出することが可能となる。したがって、入力操作に対する静電容量の変化量を大きくすることができ、検出感度を高めることが可能となる。また、これにより、意識的な押圧操作のみならず接触操作時の微小な押圧力も検出可能となり、タッチセンサとしても使用することが可能となる。

単位領域の中央部に対応する位置に第１の導体層上から入力操作がなされた場合には、第１の導体層が撓むと共に、単位領域内に含まれる２個以上の第１の構造体を介して電極基板が第２の導体層に向けて撓む。したがって、単位領域内に１個の第１の構造体を含んでいる場合（例えば単位領域の中心位置に第１の構造体を１個配置した場合）に比して、上記入力操作に際して電極基板を第２の導体層に向けて大きく撓ませる範囲をより広くすることができる。これにより、単位領域内に１個の第１の構造体を含んでいる場合に比して、上記入力操作に際しての容量変化率および操作感度を向上させることができる。

単位領域間またはその近傍に対応する位置に第１の導体層上から入力操作がなされた場合には、単位領域内に含まれる２個以上の第１の構造体によって、単位領域間またはその近傍において第１の導体層が局所的に第２の導体層に向けて大きく撓むことを抑制できる。したがって、好ましい形状の容量変化率分布を得ることができる。

第１の技術のセンサ装置は、操作子と電極基板の各電極線とが直接容量結合する構成ではなく、第１の導体層を介して入力操作を行うため、手袋を装着した指や先の細いスタイラスなどの操作子を用いた場合であっても、精度よく入力操作を検出することが可能となる。

第２の技術は、
可撓性を有する操作部材と、
導体層と、
操作部材および導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
操作部材および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
導体層および電極基板を離間する第２の構造体と
を備え、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている入力装置である。

第２の技術では、操作部材上から入力操作を行うと、操作部材が撓むと共に、第１の構造体を介して電極基板が第２の導体層に向けて撓む。これにより、操作部材および導体層各々と電極基板との間の相対距離がそれぞれ変化し、その距離の変化に基づいて押圧などの入力操作を静電的に検出することが可能となる。したがって、入力操作に対する静電容量の変化量を大きくすることができ、検出感度を高めることが可能となる。また、これにより、意識的な押圧操作のみならず接触操作時の微小な押圧力も検出可能となり、タッチセンサとしても使用することが可能となる。

単位領域の中央部に対応する位置に操作部材上から入力操作がなされた場合には、操作部材が撓むと共に、単位領域内に含まれる２個以上の第１の構造体を介して電極基板が導体層に向けて撓む。したがって、単位領域内に１個の第１の構造体を含んでいる場合（例えば単位領域の中心位置に第１の構造体を１個配置した場合）に比して、上記入力操作に際して電極基板を導体層に向けて大きく撓ませる範囲をより広くすることができる。これにより、単位領域内に１個の第１の構造体を含んでいる場合に比して、上記入力操作に際しての容量変化率および操作感度を向上させることができる。

単位領域間またはその近傍に対応する位置に操作部材上から入力操作がなされた場合には、単位領域内に含まれる２個以上の第１の構造体によって、単位領域間またはその近傍において操作部材が局所的に導体層に向けて大きく撓むことを抑制できる。したがって、好ましい容量変化率分布を得ることができる。

第３の技術は、
可撓性を有する操作部材と、
導体層と、
操作部材および導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
操作部材および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
導体層および電極基板を離間する第２の構造体と
電極基板の静電容量の変化に基づいて、操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている電子機器である。

第４の技術は、
可撓性を有する第１の導体層と、
第１の導体層に対向して設けられた第２の導体層と、
第１の導体層および第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
第１の導体層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
電極基板および第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体が２個以上含まれているセンサ装置である。

第５の技術は、
可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
第１の層および第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
第１の層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
電極基板および第２の層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
第１の層および第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置である。

第６の技術は、
操作部材を含む、可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
第１の層および第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
第１の層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
電極基板および第２の層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
第１の層および第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている入力装置である。

第７の技術は、
操作部材を含む、可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
第１の層および第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
第１の層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
第２の層および電極基板を離間する複数の第２の構造体と
電極基板の静電容量の変化に基づいて、操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
第１の層および第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極と第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている電子機器である。

第８の技術は、
可撓性を有する第１の導体層と、
第２の導体層と、
第１の導体層および第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
第１の導体層および電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
電極基板および第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
電極基板は、複数の第１の単位電極体を有する複数の第１の電極と、複数の第２の単位電極体を有する複数の第２の電極とを含み、
第１の電極体および第２の電極体の組により検出部が構成され、
電極基板は、第１の導体層および第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能であり、
検出部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
単位領域内には、第１の構造体および第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置である。

以上のように、本技術によれば、操作位置および押圧力を高い精度で検出することが可能となる。

図１は、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の一構成例を示す概略断面図である。 図２は、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の一構成例を示す分解斜視図である。 図３は、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の要部の一構成例を示す概略断面図である。 図４は、本技術の第１の実施形態に係る入力装置を用いた電子機器の一構成例を示すブロック図である。 図５Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置に係る導体層の構成例を示す概略断面図である。図５Ｂは、導体層の変形例を示す概略断面図である。図５Ｃは、導体層の変形例を示す概略断面図である。図５Ｄは、導体層の変形例を示す概略断面図である。図５Ｅは、導体層の変形例を示す概略断面図である。 図６Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置に係る検出部の構成を説明するための模式的な断面図である。図６Ｂは、検出部の変形例の構成を説明するための模式的な断面図である。 図７Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置に係る第１の支持体の形成方法の一例を示す概略断面図である。図７Ｂは、第１の支持体の形成方法の一例を示す概略断面図である。図７Ｃは、第１の支持体の形成方法の一例を示す概略断面図である。 図８は、本技術の第１の実施形態に係る入力装置に係る第２の支持体の形成方法の一例を示す概略断面図である。 図９Ａは、第１または第２の支持体の形成方法の変形例を示す概略断面図である。図９Ｂは、第１または第２の支持体の形成方法の変形例を示す概略断面図である。 図１０Ａは、第１および第２の電極線の配置例を示す概略図である。図１０Ｂは、第１および第２の電極線の一構成例を示す概略図である。図１０Ｃは、単位検出領域を説明するための概略図である。 図１１は、操作子により入力装置の第１の面の点をＺ軸方向下方へ押圧した際に、第１および第２の構造体へ付加される力の様子を示す概略断面図である。 図１２は、第１の面の第１の構造体上の点が操作子による操作を受けたときの入力装置の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部の容量変化量の一例を示す図である。 図１３は、第１の面の第１の空間部上の点が操作子による操作を受けたときの入力装置の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部の容量変化量の一例を示す図である。 図１４は、第１の面がスタイラスによる操作を受けたときの入力装置の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部の容量変化量の一例を示す図である。 図１５は、第１の面が指による操作を受けたときの入力装置の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部の容量変化量の一例を示す図である。 図１６は、単位検出領域内に第１の構造体を１個含む入力装置における荷重位置と容量変化量との関係について説明するための図である。 図１７は、単位検出領域内に第１の構造体を１個含む入力装置における荷重位置と容量変化量との関係について説明するための図である。 図１８は、単位検出領域内に第１の構造体を１個含む入力装置における荷重位置と容量変化量との関係について説明するための図である。 図１９Ａは、理想的な容量変化率分布を示す図である。図１９Ｂは、実際の容量変化率分布を示す図である。 図２０Ａ、図２０Ｂは、分裂した２つのピークが容量変化率分布に発生する原因について説明するための概略断面図である。 図２１Ａ、図２１Ｂは、単位検出領域内に第１の構造体を２個以上含むことで、座標計算の精度を改善できる理由について説明するための概略断面図である。 図２２Ａは、第１および第２の構造体と、第１の電極線（Ｙ電極）および第２の電極線（Ｘ電極）との第１の配置例を示す模式的な平面図である。図２２Ｂは、第１および第２の構造体と、第１の電極線（Ｙ電極）および第２の電極線（Ｘ電極）との第２の配置例を示す模式的な平面図である。 図２３Ａは、対称配置の第１の例を示す平面図である。図２３Ｂは、対称配置の第２の例を示す平面図である。 図２４Ａは、対称配置の第３の例を示す平面図である。図２４Ｂは、対称配置の第４の例を示す平面図である。 図２５Ａは、対称配置の第５の例を示す平面図である。図２５Ｂは、対称配置の第６の例を示す平面図である。 図２６は、対称配置の第９の例を示す平面図である。 図２７Ａは、Ｚ軸方向から見た場合に、第１および第２の構造体が重なって配置されている入力装置の構成例を示す概略断面図である。図２７Ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に、第１および第２の構造体が重なって配置されている配置例を示す平面図である。 図２８は、第２の構造体の第１の配置例を示す平面図である。 図２９Ａは、図２８に示した領域Ｒ_Aの近傍を拡大して表す斜視図である。図２９Ｂは、図２８に示した領域Ｒ_Bの近傍を拡大して表す斜視図である。図２９Ｃは、図２８に示した領域Ｒ_Cの近傍を拡大して表す斜視図である。 図３０Ａは、第２の構造体の第２の配置例を示す平面図である。図３０Ｂは、第２の構造体の第３の配置例を示す平面図である。 図３１Ａ、図３１Ｂは、単位検出領域内に第１の構造体を２個以上含むことで、荷重感度を向上できる理由について説明するための概略断面図である。 図３２Ａは、第１の配置例を示す概略断面図である。図３２Ｂは、第２の配置例を示す概略断面図である。図３２Ｃは、第３の配置例を示す概略断面図である。 図３３Ａ〜図３３Ｃは、第１の構造体間の距離Ｄｘ、Ｄｙを説明するための概略断面図である。 図３４は、第１の構造体間の距離Ｄｘ、Ｄｙを説明するための平面図である。 図３５Ａは、単位検出領域内に第１の構造体を１個含む入力装置の描画特性について説明するための概略断面図である。図３５Ｂは、単位検出領域内に第１の構造体を１個含む入力装置の描画特性について説明するための平面図である。 図３６Ａは、図２３Ｂに示した配置例でわずかに沈みが発生する領域Ｒを示す平面図である。図３６Ｂは、図２５Ａに示した配置例でわずかに沈みが発生する領域Ｒを示す平面図である。 図３７Ａは、第１の電極線の変形例を示す平面図である。図３７Ｂは、第２の電極線の変形例を示す平面図である。 図３８（Ａ）〜図３８（Ｐ）は、単位電極体の形状例を示す模式図である。 図３９Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の電子機器への実装例を示す概略断面図である。図３９Ｂは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の電子機器への実装例の変形例を示す概略断面図である。 図４０は、本技術の第４の実施形態に係る入力装置の一構成例を示す概略断面図である。 図４１Ａは、本技術の第４の実施形態に係る入力装置に係る操作部材の一構成例を示す概略断面図である。図４１Ｂは、操作部材の変形例を示す概略断面図である。 図４２は、本技術の第５の実施形態に係る入力装置が組み込まれた電子機器の一構成例を示す概略断面図である。 図４３は、試験例１におけるシミュレーションの条件を示す概略図である。 図４４Ａ〜図４４Ｃは、試験例１−１のシミュレーションの結果を示す図である。 図４５Ａ〜図４５Ｃは、試験例１−２のシミュレーションの結果を示す図である。 図４６Ａ〜図４６Ｃは、試験例２−１〜２−２のシミュレーションの結果を示す図である。 図４７Ａ〜図４７Ｃは、試験例２−３〜２−４のシミュレーションの結果を示す図である。 図４８Ａ〜図４８Ｃは、試験例２−５〜２−６のシミュレーションの結果を示す図である。 図４９Ａ〜図４９Ｃは、試験例２−７〜２−８のシミュレーションの結果を示す図である。 図５０Ａ〜図５０Ｃは、試験例２−９〜２−１０のシミュレーションの結果を示す図である。 図５１Ａ〜図５１Ｃは、試験例２−１１〜２−１２のシミュレーションの結果を示す図である。 図５２は、試験例３−１〜３−４のシミュレーションの結果を示す図である。 図５３は、試験例４−１〜４−３のシミュレーションの結果を示す図である。 図５４Ａは、試験例５−１、５−２のシミュレーションの結果を示す図である。図５４Ｂは、試験例５−１のシミュレーションの結果を示す図である。図５４Ｃは、試験例５−２のシミュレーションの結果を示す図である。 図５５Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置の変形例を示す概略断面図である。図５５Ｂは、第１の面が指による操作を受けたときの入力装置の態様を示す模式的な要部断面図である。 図５６Ａは、入力装置の面内方向における複数の開口の配置位置の第１の例を示す平面図である。図５６Ｂは、入力装置の面内方向における複数の開口の配置位置の第２の例を示す平面図である。 図５７Ａは、入力装置のグランド接続の第１の例を示す概略図である。図５７Ｂは、入力装置のグランド接続の第２の例を示す概略図である。 図５８Ａは、対称配置の第７の例を示す平面図である。図５８Ｂは、対称配置の第８の例を示す平面図である。 図５９Ａは、対称配置の第１０の例を示す平面図である。図５９Ｂは、対称配置の第１１の例を示す平面図である。 図６０Ａは、円筒状を有する入力装置の形状例を示す斜視図である。図６０Ｂは、図６０ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図６１Ａは、曲面状を有する入力装置の形状例を示す斜視図である。図６１Ｂは、図６１ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図６２Ａは、本技術の第２の実施形態に係る入力装置の構成の一例を示す断面図である。図６２Ｂは、図６２Ａの一部を拡大して表す断面図である。 図６３Ａは、Ｙ電極の構成の一例を示す平面図である。図６３Ｂは、Ｘ電極の構成の一例を示す平面図である。 図６４Ａは、Ｘ電極およびＹ電極の配列の一例を示す平面図である。図６４Ｂは、図６４ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図６５Ａは、Ｘ電極の構成の第１の例を示す平面図である。図６５Ｂは、Ｙ電極の構成の第１の例を示す平面図である。 図６６Ａは、Ｘ電極の構成の第２の一例を示す平面図である。図６６Ｂは、Ｙ電極の構成の第２の例を示す平面図である。 図６７Ａは、本技術の第３の実施形態に係る入力装置の構成の第１の例を示す断面図である。図６７Ｂは、本技術の第３の実施形態に係る入力装置の構成の第２の例を示す断面図である。 図６８Ａは、本技術の第３の実施形態の変形例に係る入力装置におけるＸ、Ｙ電極の構成の第１の例を示す平面図である。図６８Ｂは、本技術の第３の実施形態の変形例に係る入力装置におけるＸ、Ｙ電極の構成の第２の例を示す平面図である。 図６９Ａは、第１の電極線（Ｙ電極）の配置例を示す平面図である。図６９Ｂは、第２の電極線（Ｘ電極）の配置例を示す平面図である。 図７０Ａは、第１の構造体の配置例を示す平面図である。図７０Ｂは、第２の構造体の配置例を示す平面図である。 図７１は、第１および第２の電極線と第１および第２の構造体との配置関係を示す平面図である。 図７２は、第１および第２の構造体の配置例を示す平面図である。

本技術において、センサ装置および入力装置は、例えば、ノート型パーソナルコンピュータ、タッチパネルディスプレイ、タブレット型コンピュータ、携帯電話（例えばスマートフォン）、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、オーディオ機器（例えばポータブルオーディオプレイヤー）、ゲーム機器などの電子機器に適用して好適なものである。

本技術において、導体層は、電気的導電性を有する導電層であればよく、例えば、無機系導電材料を含む無機導電層、有機系導電材料を含む有機導電層、無機系導電材料および有機系導電材料の両方を含む有機−無機導電層などを用いることが好ましい。

無機系導電材料としては、例えば、金属、金属酸化物などが挙げられる。ここで、金属には、半金属が含まれるものと定義する。金属としては、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンテル、チタン、ビスマス、アンチモン、鉛などの金属、またはこれらの合金などが挙げられるが、これに限定されるものではない。金属酸化物としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、ガリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などが挙げられるが、これに限定されるものではない。

有機系導電材料としては、例えば、炭素材料、導電性ポリマーなどが挙げられる。炭素材料としては、例えば、カーボンブラック、炭素繊維、フラーレン、グラフェン、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、ナノホーンなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。導電性ポリマーとしては、例えば、置換または無置換のポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、およびこれらから選ばれる１種または２種からなる（共）重合体などを用いることができるが、これに限定されるものではない。

本技術の実施形態について以下の順序で説明する。
１．第１の実施形態（入力装置の例）
２．第２の実施形態（入力装置の例）
３．第３の実施形態（入力装置の例）
４．第４の実施形態（入力装置の例）
５．第５の実施形態（電子機器の例）

＜１ 第１の実施形態＞
図１は本技術の第１の実施形態に係る入力装置１００の一構成例を示す概略断面図、図２は入力装置１００の一構成例を示す分解斜視図、図３は入力装置１００の要部の一構成例を示す概略断面図、図４は入力装置１００を用いた電子機器７０の一構成例を示すブロック図である。以下、本実施形態の入力装置１００の構成について説明する。なお、図中のＸ軸（第１の方向）およびＹ軸（第２の方向）は相互に直交する方向（入力装置１００の面内方向）を示し、Ｚ軸はＸ軸およびＹ軸に直交する方向（入力装置１００の厚み方向または上下方向）を示している。

［入力装置］
入力装置１００は、ユーザによる操作を受け付けるフレキシブルディスプレイ（表示部）１１と、ユーザの操作を検出するセンサ装置１とを有する。入力装置１００は、例えばフレキシブルなタッチパネルディスプレイとして構成され、後述する電子機器７０に組み込まれる。センサ装置１およびフレキシブルディスプレイ１１は、Ｚ軸に垂直な方向に延びる平板状である。

フレキシブルディスプレイ１１は、第１の面１１０と、第１の面１１０の反対側の第２の面１２０とを有する。フレキシブルディスプレイ１１は、入力装置１００における入力操作部としての機能と、表示部としての機能とを兼ね備える。すなわち、フレキシブルディスプレイ１１は、第１の面１１０を入力操作面および表示面として機能させ、第１の面１１０からユーザによる操作に応じた画像をＺ軸方向上方に向けて表示する。第１の面１１０には、例えばキーボードに対応する画像や、ＧＵＩ（Graphical User Interface）などが表示される。フレキシブルディスプレイ１１に対する操作を行う操作子としては、例えば、図１５に示す指ｆや、図１４に示すスタイラスｓが挙げられる。

フレキシブルディスプレイ１１の具体的な構成は特に限定されない。例えば、フレキシブルディスプレイ１１として、いわゆる電子ペーパー、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）パネル、無機ＥＬパネル、液晶パネルなどを採用することができる。また、フレキシブルディスプレイ１１の厚みも特に限定されず、例えば０．１ｍｍ〜１ｍｍである。

センサ装置１は、金属膜（第１の導体層（導電層））１２と、導体層（第２の導体層（導電層））５０と、電極基板２０と、第１の支持体３０と、第２の支持体４０を有する。センサ装置１は、フレキシブルディスプレイ１１の第２の面１２０側に配置されている。

金属膜１２は、可撓性を有し、例えば、変形可能なシート状に構成される。導体層５０は、金属膜１２に対向して配置される。電極基板２０は、可撓性を有し、複数の第１の電極線２１０と、複数の第１の電極線２１０に対向して配置されるとともに、複数の第１の電極線２１０と交差する複数の第２の電極線２２０とを有している。電極基板２０は、金属膜１２と導体層５０との間に変形可能に配置され、金属膜１２および導体層５０各々との距離の変化を静電的に検出することが可能である。第１の支持体３０は、例えば、金属膜１２と電極基板２０との間を接続する複数の第１の構造体３１０と、複数の第１の構造体３１０の間に形成された第１の空間部３３０とを有する。複数の第１の構造体３１０により金属膜１２と電極基板２０との間が離間される。第２の支持体４０は、例えば、隣り合う複数の第１の構造体３１０間にそれぞれ配置され導体層５０と電極基板２０との間を接続する複数の第２の構造体４１０と、複数の第２の構造体４１０の間に形成された第２の空間部４３０とを有する。複数の第２の構造体４１０により導体層５０と電極基板２０との間が離間される。第１の空間部３３０および第２の空間部４３０に液体やゲルなどの媒質が充填されていてもよい。また、空気以外の気体が充填されていてもよい。

本実施形態に係るセンサ装置１（入力装置１００）は、フレキシブルディスプレイ１１の第１の面１１０上での入力操作による金属膜１２および電極基板２０と、導体層５０および電極基板２０との間の距離の変化を静電的に検出することで、当該入力操作を検出する。当該入力操作は、第１の面１１０上を意識的な押圧（プッシュ）操作に限られず、接触（タッチ）操作であってもよい。すなわち、入力装置１００は、後述するように、一般的なタッチ操作により付加される微小な押圧力（例えば約数十ｇ程度）であっても検出可能であるため、通常のタッチセンサと同様のタッチ操作が可能に構成される。

入力装置１００は、制御部６０を有し、当該制御部６０は、演算部６１および信号生成部６２を含む。演算部６１は、検出部２０ｓの静電容量の変化に基づいて、ユーザによる操作を検出する。信号生成部６２は、演算部６１による検出結果に基づいて操作信号を生成する。

図４に示す電子機器７０は、入力装置１００の信号生成部６２の生成する操作信号に基づいた処理を行うコントローラ７１０を有する。コントローラ７１０によって処理された操作信号は、例えば画像信号として、フレキシブルディスプレイ１１に出力される。フレキシブルディスプレイ１１は、フレキシブル配線基板１１３（図２参照）を介してコントローラ７１０に搭載された駆動回路に接続される。上記駆動回路は、配線基板１１３に搭載されていてもよい。

フレキシブルディスプレイ１１は、本実施形態において、入力装置１００の操作部材１０の一部として構成される。すなわち、入力装置１００は、操作部材１０と、電極基板２０と、第１の支持体３０と、第２の支持体４０と、導体層５０とを有する。以下、これらの各要素について説明する。

（操作部材）
操作部材１０は、第１の面１１０と第２の面１２０とを含むフレキシブルディスプレイ１１と、金属膜１２との積層構造を有する。すなわち、操作部材１０は、ユーザによる操作を受け付ける第１の面１１０と、金属膜１２が形成され第１の面１１０の反対側の第２の面１２０とを有し、変形可能なシート状に構成される。金属膜１２は、導体層５０に対向する第２の面１２０の側に設けられている。

金属膜１２は、フレキシブルディスプレイ１１の変形に倣って変形可能なシート状に構成され、例えばＣｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属箔、あるいはメッシュ材で構成される。また、シート状の基材上に形成された導電体の蒸着膜やスパッタ膜等で構成されてもよく、導電ペースト等の塗膜であってもよい。なお、金属膜１２は、導電層として機能すればよく、ＩＴＯ（酸化インジウム錫）等の酸化物導電体やカーボンナノチューブ等の有機導電体でも良い。金属膜１２の厚みは特に限定されず、例えば数１０ｎｍ〜数１０μｍである。金属膜１２は、例えばグランド電位に接続される。これにより、金属膜１２は、電子機器７０に実装された際に電磁シールド層としての機能を発揮する。すなわち、例えばフレキシブルディスプレイ１１からの電磁波の侵入や電子機器７０に実装される他の電子部品などからの電磁波の侵入、および入力装置１００からの電磁波の漏洩を抑制し、電子機器７０としての動作の安定性に寄与することができる。また、このような電磁シールド層としての機能を強化するために、金属膜１２は複数層となっていてもよい。

金属膜１２は、例えば図３に示すように、金属箔が形成された粘着性の樹脂膜などの接着層１３をフレキシブルディスプレイ１１に貼り付けることで形成される。あるいは、フレキシブルディスプレイ１１に直接形成された蒸着膜やスパッタ膜などで構成されてもよく、フレキシブルディスプレイ１１の表面に印刷された導電ペーストなどの塗膜であってもよい。また、金属膜１２のフレキシブルディスプレイ１１と反対側の面に非導電性の膜が形成されていても良い。非導電性の膜としては、例えば、耐傷性ハードコート層や耐腐食性の酸化防止膜等を形成することができる。

（導体層）
導体層５０は、入力装置１００の最下部を構成し、金属膜１２とＺ軸方向に対向して配置される。導体層５０は、例えば入力装置１００の支持プレートとしても機能し、例えば操作部材１０および電極基板２０よりも高い曲げ剛性を有するように構成される。導体層５０は、例えばＡｌ合金、Ｍｇ（マグネシウム）合金その他の金属材料を含む金属板またはカーボン繊維強化型プラスチックなどの導体板で構成されてもよい。あるいは導体層５０は、プラスチック材料などの絶縁体層上にメッキ膜や蒸着膜、スパッタリング膜、金属箔などの導体膜が形成された積層構造を有してもよい。また、導体層５０の厚みは特に限定されず、例えば約０．３ｍｍ程度である。

図５Ａ〜図５Ｅは、導体層５０の構成例を示す概略断面図である。導体層５０は、図５Ａに示すような平坦な板状に構成される例に限られず、図５Ｂ、図５Ｃ、図５Ｅに示す段差部５１を有していてもよい。あるいは導体層５０は、図５Ｄに示すように、メッシュ状に構成されていてもよい。

例えば図５Ｂに示す導体層５０Ｂは、周縁部がＺ軸方向上方に向かって折り曲げられることで形成された段差部５１Ｂを有し、図５Ｃ、図５Ｅに示す導体層５０Ｃ、５０Ｅは、いずれも中央部に形成され下方に陥没した段差部５１Ｃ、５１Ｅを有する。このような段差部５１によって、導体層５０のＺ軸方向に関する曲げ剛性を高めることができる。

また、図５Ｄに示す導体層５０Ｄは、メッシュ状に形成されている。このように、導体層５０がメッシュ状に形成されることにより、剛性を維持しつつ放熱性を高めることができ、入力装置１００の不具合を抑制し、信頼性を高めることが可能となる。

また、図５Ｄ、図５Ｅに示す導体層５０Ｄ、５０Ｅには、１または複数の開口５０ｈが設けられている。このように導体層５０に開口５０ｈを設けることにより、剛性を維持しつつ放熱性を高めることができ、入力装置１００の不具合を抑制し、信頼性を高めることが可能となる。また、上述のように導体層５０に開口５０ｈを設けることにより、導体層５０の体積が減り、入力装置１００の重さを軽くすることができる。さらに、上述のように導体層５０に開口５０ｈを設けることにより、第２の空間部４３０の体積が変形によって変化する際に空気が流れ易くなり、電極基板２０の応答時間が短縮する。ここで、応答時間とは、操作部材１０への加重が変化してから実際にセンサ装置１の容量が変化するまでの時間のことを指す。

開口５０ｈの形状としては、三角形や四角形などの多角形状、円形状、楕円形状、長円形状、不定形状およびスリット状などが挙げられ、これらの形状を単独または２以上組み合わせて用いてもよい。導体層５０に複数の開口５０ｈを設ける場合には、複数の開口５０ｈは規則的または不規則的パターンで配列され、センサ感度の均一性の観点からすると、規則的パターンが好ましい。その配列は、１次元的配列および２次元的配列のいずれであってもよい。また、導体層５０に複数の開口５０ｈを設ける場合には、複数の開口５０ｈを設けた導体層５０が全体としてメッシュ状やストライプ状を有していてもよいし、複数の開口５０ｈが全体として幾何学模様を構成していてもよい。

導体層５０に開口５０ｈを設ける場合、開口５０ｈは、第２の構造体４１０またはグループを構成する第２の構造体４１０のいずれのものとも対向しない位置または領域に設けられていることが好ましい。すなわち、開口５０ｈと第２の構造体４１０とが、Ｚ軸方向（すなわち、入力装置１００の厚さ方向）に重ならないように、面内（ＸＹ面内）方向にずらして設けられていることが好ましい。第２の構造体４１０で電極基板２０と導体層５０を安定して接続するためである。

また、導体層５０における開口５０ｈの位置は、後述する複数の電極群２１ｗと複数の電極群２２ｗの交差領域（検出部２０ｓ）と対向しない位置であることが好ましい。すなわち、開口５０ｈと検出部２０ｓとが、Ｚ軸方向（すなわち、入力装置１００の厚さ方向）に重ならないように、面内（ＸＹ面内）方向にずらして設けられていることが好ましい。検出部２０ｓに対向する位置に導体層５０の開口５０ｈが配置されている場合には、検出部２０ｓに対向する位置に導体層５０の開口５０ｈが配置されていない場合に比して、検出部２０ｓの初期容量や容量変化率が変化してしまい、入力装置１００内でのセンサ感度が不均一になるためである。

開口５０ｈの配置位置は、各々の単位検出領域２０ｒにおいて全て同一位置であることが好ましい。ただし、入力装置１００の最外周及び最外周近傍の単位検出領域２０ｒは除くものとする。前述のように入力装置１００内においてセンサ感度が不均一になるのを防止するためである。なお、単位検出領域２０ｒの詳細については後述する。センサ感度が不均一になることを防止する観点からすると、開口５０ｈは、検出部（交差領域）２０ｓの中心に対して対称に配置されていることが好ましい。より具体的には、開口５０ｈは、第１および第２の電極線２１０、２２０それぞれの中心線に対して線対称に配置されていることが好ましい。

図５６Ａ、図５６Ｂは、入力装置１００の面内（ＸＹ面内）方向における複数の開口５０ｈの配置位置の例を示す平面図である。図５６Ａでは、開口５０ｈを長円形状とした例が示され、図５６Ｂでは、開口５０ｈを円形状とした例が示されている。複数の開口５０ｈは、Ｚ軸方向（すなわち、入力装置１００の厚さ方向）から見て、単位検出領域２０ｒの外周（周）上に配置されると共に、第２の構造体４１０および検出部２０ｓのいずれともＺ軸方向に重ならないように、開口５０ｈと第２の構造体４１０および検出部２０ｓとを面内（ＸＹ面内）方向にずらして設けた例が示されている。

導体層５０は、例えばグランド電位に接続される。これにより、導体層５０は、電子機器７０に実装された際の電磁シールド層としての機能を発揮する。すなわち、例えば電子機器７０に実装される他の電子部品などからの電磁波の侵入および入力装置１００からの電磁波の漏洩を抑制し、電子機器７０としての動作の安定性に寄与することができる。

電磁シールド層としての機能を強化するために、特にフレキシブルディスプレイ１１からの電磁波の侵入を防止するために、金属膜１２および導体層５０のグランド電位接続方法は以下のようになっていることが好ましい。

図５７Ａに示すように、金属膜１２と導体層５０とを制御部６０のグランドのみに接続するのではなく、コントローラ７１０のグランドにも接続することが好ましい。フレキシブルディスプレイ１１はコントローラ７１０に接続されており、ノイズ元に直接接続することで金属膜１２のシールド効果を高めることができる。さらに、金属膜１２と導体層５０を多くの接点で結合させると効果が高い。

また、図５７Ｂに示すように、導体層５０のグランド接続は制御部６０とし、複数の金属膜１２を配置し、それらの金属膜１２のうちフレキシブルディスプレイ１１の最も近くに設けられた金属膜１２をコントローラ７１０に接続してもよい。さらに、それらの金属膜１２のうち電極基板２０の最も近くに設けられた金属膜１２のグランド接続を制御部６０とコントローラ７１０の両方に接続してもよい。なお、図５７Ｂでは、２つの金属膜１２が設けられた例が示されている。

（接着層）
フレキシブルディスプレイ１１と金属膜１２との間に、接着層１３が設けられていてもよい。接着層１３は、例えば、絶縁性を有する接着剤または粘着テープにより構成される。接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤およびウレタン系接着剤などからなる群より選ばれる１種以上を用いることができる。本技術において、粘着（pressure sensitive adhesion）は接着（adhesion）の一種と定義する。この定義に従えば、粘着層は接着層の一種と見なされる。

接着層１３によりフレキシブルディスプレイ１１と金属膜１２との全面が接着されていてもよい。この場合、フレキシブルディスプレイ１１と金属膜１２と面内全面で強固な接着と均一な感度が得られる。

また、接着層１３によりフレキシブルディスプレイ１１と金属膜１２との外周部だけが接着されていてもよく、両者が第１の枠体３２０の上方の部分でのみ接着されていることが特に好ましい。第１の枠体３２０の部分は第１の構造体３１０の部分より接着力が強く、フレキシブルディスプレイ１１に上方に引きはがすような力が加わった場合に、第１の構造体３１０の部分の破壊や金属膜１２と第１の構造体３１０との剥がれ、電極基板２０と第１の構造体３１０の剥がれを抑制することができる。

また、接着層１３によりフレキシブルディスプレイ１１の表示エリア（有効エリア）のみが接着されていてもよい。フレキシブルディスプレイ１１の外周部に配線やＦＰＣやドライバなどが付属している場合に、フレキシブルディスプレイ１１にダメージを与えることを防ぐことができ、かつ、フレキシブルディスプレイ１１の外周部の段差を接着することで周辺のセンサの感度に異常が発生することを防ぐことができる。フレキシブルディスプレイ１１の外周部の段差が大きい場合や、反りが大きい場合は、表示エリア（有効エリア）よりも内側のみで接合するようにしてもよい。

また、接着層１３としては、例えば、フレキシブルディスプレイ１１と金属膜１２との間にほぼ均一な厚さで連続的に設けられた接着層、またはフレキシブルディスプレイ１１および金属膜１２の面内方向に所定のパターンを有する接着層を用いることができる。その接着層１３のパターンは、所定の接着パターンが１方向に繰り返される一次元パターン、および所定の接着パターンが２方向に繰り返される二次元パターンのいずれであってもよい。具体的なパターン形状としては、例えば、柱状、ストライプ状、格子状などが挙げられるが、これに限定されるものではない。接着層１３が上述のようにパターンを有することで、フレキシブルディスプレイ１１の貼り合せ時において、接着層１３に気泡が混入することを抑制し、歩留まりを向上させることができる。接着層１３が上述のようにパターンを有する場合、接着層１３の厚さは、金属膜１２の厚さよりも薄いことが好ましい。さらに、接着層１３は、第１の構造体３１０よりも高精細であることが好ましい。すなわち、接着層１３のパターンの大きさは、第１の構造体３１０の大きさに対して小さいことが好ましい。この場合、接着層１３のパターンの大きさは、第１の構造体３１０の大きさの１０分の１以下であることが好ましい。接着層１３を第１の構造体３１０よりも高精細にすることで、接着層１３のパターンと第１の構造体３１０のパターンとが干渉し、感度に不均一さが発生したり、感度に周期性が発生したりすることを抑制することができる。なお、接着層１３が存在せず、金属膜１２の上にフレキシブルディスプレイ１１が乗せられているだけでも良い。

（電極基板）
電極基板２０は、第１の電極線２１０を有する第１の配線基板２１と、第２の電極線２２０を有する第２の配線基板２２との積層体で構成される。

第１の配線基板２１は、第１の基材２１１（図２参照）と、複数の第１の電極線（Ｙ電極）２１０とを有する。第１の基材２１１は、例えばフレキシブル性を有するシート材で構成され、具体的にはＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＣ、ＰＭＭＡ、ポリイミドなどの電気絶縁性のプラスチックシート（フィルム）などで構成される。第１の基材２１１の厚みは特に限定されず、例えば数１０μｍ〜数１００μｍである。

複数の第１の電極線２１０は、第１の基材２１１の一方の面に一体的に設けられている。複数の第１の電極線２１０は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配列され、かつＹ軸方向に沿ってほぼ直線的に形成されている。第１の電極線２１０各々は、第１の基材２１１の縁部などに引き出され、それぞれ異なる端子に接続される。また、第１の電極線２１０各々は、これらの端子を介して制御部６０に電気的に接続される。

なお、複数の第１の電極線２１０各々は、単一の電極線で構成されていてもよいし、Ｘ軸方向に沿って配列された複数の電極群２１ｗ（図１０参照）で構成されていてもよい。また、各々の電極群２１ｗを構成する複数の電極線は、共通の端子に接続されてもよいし、異なる２以上の端子に分けて接続されてもよい。

一方、第２の配線基板２２は、第２の基材２２１（図２参照）と、複数の第２の電極線（Ｘ電極）２２０とを有する。第２の基材２２１は、第１の基材２１１と同様に例えばフレキシブル性を有するシート材で構成され、具体的にはＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＣ、ＰＭＭＡ、ポリイミドなどの電気絶縁性のプラスチックシート（フィルム）などで構成される。第２の基材２２１の厚みは特に限定されず、例えば数１０μｍ〜数１００μｍである。第２の配線基板２２は、第１の配線基板２１に対向して配置される。

複数の第２の電極線２２０は、複数の第１の電極線２１０と同様に構成される。すなわち、複数の第２の電極線２２０は、第２の基材２２１の一方の面に一体的に設けられており、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配列され、かつＸ軸方向に沿ってほぼ直線的に形成されている。また、複数の第２の電極線２２０各々は、単一の電極線で構成されていてもよいし、Ｙ軸方向に沿って配列された複数の電極群２２ｗ（図１０参照）で構成されていてもよい。

第２の電極線２２０各々は、第２の基材２２１の縁部などに引き出され、それぞれ異なる端子に接続される。各々の電極群２２ｗを構成する複数の電極線は、共通の端子に接続されてもよいし、異なる２以上の端子に分けて接続されてもよい。また、第２の電極線２１０各々は、これらの端子を介して制御部６０に電気的に接続される。

第１および第２の電極線２１０、２２０は、導電ペーストなどをスクリーン印刷やグラビアオフセット印刷、インクジェット印刷などの印刷法で形成されてもよいし、金属箔あるいは金属層のフォトリソグラフィ技術を用いたパターニング法で形成されてもよい。また、第１および第２の基材２１１、２２１がいずれもフレキシブル性を有するシートで構成されることで、電極基板２０全体としてフレキシブル性を有する構成とすることができる。

図３に示すように電極基板２０は、第１の配線基板２１と第２の配線基板２２とを相互に接合する接着層２３を有する。接着層２３は、電気絶縁性を有し、例えば、接着剤の硬化物、粘着テープなどの粘着材料などで構成される。

電極基板２０は、第１の電極線２１０と第２の電極線２２０との交差領域に各々形成され、金属膜（第１の導体層）１２と、導体層（第２の導体層）５０各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部２０ｓを有する。複数の第１の構造体３１０が各検出部２０ｓに対応付けられたグループを構成していてもよい。また、複数の第２の構造体４１０が各検出部２０ｓに対応付けられたグループを構成していてもよい。これらの各グループを構成する複数の第１および第２の構造体３１０、４１０は、検出部（交差領域）２０ｓの中心に対して対称に配置されていてもよい。より具体的には、第１および第２の電極線２１０、２２０それぞれの中心線に対して線対称に配置されていてもよい。

図６Ａは、検出部２０ｓの構成を説明するための模式的な断面図である。検出部２０ｓは、第１の電極線２１０と、第１の電極線２１０と対向する第２の電極線２２０と、第１および第２の電極線２１０、２２０の間に設けられた誘電層とを有する相互キャパシタンス方式の容量素子で構成される。なお、図６Ａ、図６Ｂでは、各第１および第２の電極線２１０、２２０がそれぞれ単一の電極線で構成されているとして説明する。

図６Ａは、第１の電極線２１０（２１０ｘ_i、２１０ｘ_i+1、２１０ｘ_i+2）と第２の電極線２２０（２２０ｙ）とがＺ軸方向に相互に対向して配置される例を示す。図６Ａに示す例では、第１の配線基板２１および第２の配線基板２２が接着層２３により相互に接合されており、第１の配線基板２１の第１の基材２１１と接着層２３とが上記誘電層を構成する。この場合は、第１の電極線２１０ｘ_i、２１０ｘ_i+1、２１０ｘ_i+2各々と第２の電極線２２０ｙとが容量結合する交差領域にそれぞれ検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2が形成され、これらの静電容量Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2が、金属膜１２および導体層５０各々と第１の電極線２１０ｘ_i、２１０ｘ_i+1、２１０ｘ_i+2、第２の電極線２２０ｙとの容量結合に応じて変化するように構成される。なお、検出部２０ｓの初期容量は、例えば、第１および第２の電極線２１０、２２０間の対向面積、第１および第２の電極線２１０、２２０間の対向距離、接着層２３の誘電率によって設定される。

また、図６Ｂは、検出部２０ｓの構成の変形例を示し、第１の電極線２１０Ｄ（２１０Ｄｘ_i、２１０Ｄｘ_i+1、２１０Ｄｘ_i+2）と第２の電極線２２０Ｄ（２２０Ｄｙ_i、２２０Ｄｙ_i+1、２２０Ｄｙ_i+2）とが第１の基材２１１Ｄ上の同一面内に配置され、ＸＹ平面内で容量結合している例を示す。この場合には、例えば第１の基材２１１Ｄが検出部２０Ｄｓ（２０Ｄｓ_i、２０Ｄｓ_i+1、２０Ｄｓ_i+2）の誘電層を構成する。このような配置であっても、検出部２０Ｄｓ_i、２０Ｄｓ_i+1、２０Ｄｓ_i+2の静電容量Ｃａ_i、Ｃａ_i+1、Ｃａ_i+2が金属膜１２および導体層５０各々と第１および第２の電極線２１０Ｄｘ、２２０Ｄｙとの容量結合に応じて可変に構成される。また、上記構成では第２の基材２２１および接着層２３が不要となり、入力装置１００の薄型化に貢献できる。

本実施形態において、複数の検出部２０ｓ各々は、第１の構造体３１０、または第１の構造体３１０が構成するグループとＺ軸方向に対向して配置されていてもよい。あるいは、第２の構造体４１０、または第２の構造体４１０が構成するグループとＺ軸方向に対向して配置されていてもよい。また、本実施形態では、第１の配線基板２１が第２の配線基板２２よりも上層となるように積層されるが、これに限られず第２の配線基板２２を第１の配線基板２１よりも上層となるように積層されてもよい。

（制御部）
制御部６０は、電極基板２０に電気的に接続される。より詳細には、制御部６０は、複数の第１および第２の電極線２１０、２２０各々に端子を介してそれぞれ接続される。制御部６０は、複数の検出部２０ｓの出力に基づいて第１の面１１０に対する入力操作に関する情報（信号）を生成することが可能な信号処理回路を構成する。制御部６０は、所定の周期で複数の検出部２０ｓ各々をスキャンしながら各検出部２０ｓの容量変化量を取得し、その容量変化量に基づいて入力操作に関する情報（信号）を生成する。

制御部６０は、典型的には、ＣＰＵ／ＭＰＵ、メモリなどを有するコンピュータで構成される。制御部６０は、単一のチップ部品で構成されてもよいし、複数の回路部品で構成されてもよい。制御部６０は、入力装置１００に搭載されてもよいし、入力装置１００が組み込まれる電子機器７０に搭載されてもよい。前者の場合には、例えば、電極基板２０に接続されるフレキシブル配線基板上に実装される。後者の場合には、電子機器７０を制御するコントローラ７１０と一体的に構成されてもよい。

制御部６０は、上述のように演算部６１と、信号生成部６２とを有し、不図示の記憶部に格納されたプログラムに従って各種機能を実行する。演算部６１は、電極基板２０の第１および第２の電極線２１０、２２０各々から出力される電気的な信号（入力信号）に基づいて第１の面１１０上のＸＹ座標系における操作位置を算出し、信号生成部６２は、その結果に基づいて操作信号を生成する。これにより、フレキシブルディスプレイ１１に対し、第１の面１１０上での入力操作に基づく画像を表示させることができる。

図３、図４に示す演算部６１は、第１の面１１０上における操作子による操作位置のＸＹ座標を、固有のＸＹ座標が割り当てられた各検出部２０ｓからの出力に基づいて算出する。具体的には、演算部６１は、各Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０から得られる静電容量の変化量に基づいて、各Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０の交差領域に形成される各検出部２０ｓにおける静電容量の変化量を算出する。この各検出部２０ｓの静電容量の変化量の比率などにより、操作子による操作位置のＸＹ座標を算出することが可能となる。

また、演算部６１は、第１の面１１０が操作を受けているか否かを判定することができる。具体的には、例えば、検出部２０ｓ全体の静電容量の変化量や検出部２０ｓ各々の静電容量の変化量などが所定の閾値以上である場合に、第１の面１１０が操作を受けていると判定することができる。また、当該閾値を２以上設けることにより、例えばタッチ操作と（意識的な）プッシュ操作とを区別して判定することが可能となる。さらに、検出部２０ｓの静電容量の変化量に基づいて押圧力を算出することも可能である。

演算部６１は、これらの算出結果を信号生成部６２に出力することができる。

信号生成部６２は、演算部６１の算出結果に基づいて、所定の操作信号を生成する。当該操作信号は、例えばフレキシブルディスプレイ１１に出力する表示画像を生成するための画像制御信号や、フレキシブルディスプレイ１１上の操作位置に表示されたキーボード画像のキーに対応する操作信号、あるいはＧＵＩ（Graphical User Interface）に対応する操作に関する操作信号などであってもよい。

ここで、入力装置１００は、第１の面１１０上での操作により金属膜１２および導体層５０各々と電極基板２０（検出部２０ｓ）との距離の変化を生じさせる構成として、第１および第２の支持体３０、４０を有する。以下、第１および第２の支持体３０、４０について説明する。

（第１および第２の支持体の基本構成）
第１の支持体３０は、操作部材１０と電極基板２０との間に配置される。第１の支持体３０は、複数の第１の構造体３１０と、第１の枠体３２０と、第１の空間部３３０とを有する。本実施形態において第１の支持体３０は、接着層３５を介して電極基板２０の上に接合されている（図３参照）。接着層３５は、接着剤であっても良いし、粘着テープなどの粘着材料で構成されてもよい。

図３に示すように本実施形態に係る第１の支持体３０は、基材３１と、基材３１の表面（上面）に設けられた構造層３２と、構造層３２上の所定位置に形成された複数の接合部３４１の積層構造を有する。基材３１は、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＣなどの電気絶縁性のプラスチックシートで構成される。基材３１の厚みは特に限定されず、例えば数μｍ〜数１００μｍである。

構造層３２は、ＵＶ樹脂などの電気絶縁性の樹脂材料で構成され、基材３１の上に複数の第１の凸部３２１と、第２の凸部３２２と、凹部３２３とを形成する。第１の凸部３２１各々は、例えばＺ軸方向に突出する円柱状、角柱状、錐台形状などの形状を有し、基材３１の上に所定間隔で配列される。第２の凸部３２２は、基材３１の周囲を取り囲むように所定の幅で形成される。

また、構造層３２は、第１の面１１０上での入力操作により電極基板２０を変形させることが可能な程度の、比較的高い剛性を有する材料で構成されるが、入力操作時に操作部材１０とともに変形可能な弾性材料で構成されてもよい。すなわち、構造層３２の弾性率は特に限定されず、目的とする操作感や検出感度が得られる範囲で適宜選択可能である。

凹部３２３は、第１および第２の凸部３２１、３２２の間に形成された平坦面で構成される。すなわち、凹部３２３上の空間領域は、第１の空間部３３０を構成する。また、凹部３２３上には、粘着性の低いＵＶ樹脂などで形成された接着防止層が形成されていてもよい（図３において図示せず）。接着防止層の形状は特に限られず、島状に形成されてもよいし、凹部３２３上に平坦膜で形成されてもよい。

さらに第１および第２の凸部３２１、３２２各々の上には、粘着性の樹脂材料などで構成された接合部３４１が形成される。すなわち、第１の構造体３１０各々は、第１の凸部３２１とその上に形成された接合部３４１との積層体で構成され、第１の枠体３２０各々は、第２の凸部３２２とその上に形成された接合部３４１との積層体で構成される。これにより、第１の構造体３１０および第１の枠体３２０の厚み（高さ）は、略同一に構成され、本実施形態において例えば数μｍ〜数１００μｍである。なお、接着防止層の高さは、第１の構造体３１０および第１の枠体３２０の高さよりも低ければ特に限定されず、例えば第１および第２の凸部３２１、３２２よりも低くなるように形成される。

複数の第１の構造体３１０は、例えば、検出部２０ｓまたは後述する単位検出領域各々の配置に対応して配置される。本実施形態において、複数の第１の構造体３１０は、例えば複数の検出部２０ｓまたは後述する単位検出領域とＺ軸方向に対向して配置される。

一方、第１の枠体３２０は、電極基板２０の周縁に沿って第１の支持体３０の周囲を取り囲むように形成される。第１の枠体３２０の短手方向の長さ、すなわち幅は、第１の支持体３０および入力装置１００全体の強度を十分に確保できれば特に限られない。

一方、第２の支持体４０は、電極基板２０と導体層５０との間に配置される。第２の支持体４０は、複数の第２の構造体４１０と、第２の枠体４２０と、第２の空間部４３０とを有する。

図３に示すように本実施形態に係る第２の支持体４０は、導体層５０上に直接形成された第２の構造体４１０および第２の枠体４２０を有する。第２の構造体４１０および第２の枠体４２０は、例えば粘着性を有する絶縁性の樹脂材料で構成され、導体層５０と電極基板２０との間を接合する接合部の機能も兼ねる。第２の構造体４１０および第２の枠体４２０の厚みは特に限定されないが、例えば数μｍ〜数１００μｍである。なお、第２の構造体４１０の厚みは第１の構造体３１０の厚みよりも小さいことがこのましい。後述の図１２のように、電極基板２０を導体層５０に底付きさせるまで変形させ、大きな容量変化量を得るためである。

第２の構造体４１０は、検出部２０ｓ各々の配置に対応して配置されており、例えば、隣り合う検出部２０ｓ間にそれぞれ配置されている。第２の構造体４１０が、隣り合う第１の構造体３１０間にそれぞれ配置されるようにしてもよい。一方、第２の枠体４２０は、導体層５０の周縁に沿って第２の支持体４０の周囲を取り囲むように形成される。第２の枠体４２０の幅は、第２の支持体４０および入力装置１００全体の強度を十分に確保できれば特に限られず、例えば第１の枠体３２０と略同一の幅で構成される。

また、第２の構造体４１０は、第１の構造体３１０を構成する構造層３２と同様に弾性率は特に限定されない。すなわち、目的とする操作感や検出感度が得られる範囲で適宜選択可能であり、入力操作時に電極基板２０とともに変形可能な弾性材料で構成されてもよい。

また、第２の空間部４３０は、第２の構造体４１０の間に形成され、第２の構造体４１０および第２の枠体４２０の周囲の空間領域を構成する。第２の空間部４３０は、例えば、Ｚ軸方向から見たときに、各検出部２０ｓと、第１の構造体３１０の少なくとも一部とを収容する。

以上のような構成の第１および第２の支持体３０、４０は、以下のように形成される。

（第１および第２の支持体の形成方法）
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃは、第１の支持体３０の形成方法の一例を示す概略断面図である。まず、基材３１ａの上にＵＶ樹脂を配置し、当該樹脂に所定のパターンを形成する。これにより、図７Ａに示すように、複数の第１および第２の凸部３２１ａ、３２２ａおよび凹部３２３ａを有する構造層３２ａを形成する。上記ＵＶ樹脂としては、固形のシート材料を用いても、液状のＵＶ硬化性材料を用いてもよい。また、パターン形成方法は特に限定されず、例えば所定の凹凸形状のパターンが形成されたロール状の金型によりＵＶ樹脂に金型の凹凸形状のパターンを転写するとともに、基材３１ａ側からＵＶ照射を行ってＵＶ樹脂を硬化させる方法を適用することができる。また、ＵＶ樹脂を用いた成型以外でも、例えば、一般的な熱成形（例えばプレス成形や射出成形）によって形成しても、ディスペンサなどによる樹脂材料の吐出によって形成してもよい。

次に、図７Ｂに示すように、凹部３２３ａに、例えばスクリーン印刷法により接着性の低いＵＶ樹脂などを所定パターンで塗布し、接着防止層３４２ａを形成する。これにより、例えば構造層３２ａを形成する樹脂材料が接着性の高いものであった場合に、第１の支持体３０上に配置される金属膜１２と凹部３２３との接着を防止することができる。なお、接着防止層３４２ａは、構造層３２ａを形成する樹脂材料の接着性が低いものである場合には、形成しなくてもよい。

次に、図７Ｃに示すように、凸部３２１ａ上に、例えばスクリーン印刷法により接着性の高いＵＶ樹脂などで構成された接合部３４１ａを形成する。接合部３４１ａにより、第１の支持体３０と金属膜１２との間が接合される。上記形成方法により、所望の形状を有する第１の構造体３１０および第１の枠体３２０を形成することが可能となる。

一方、図８は、第２の支持体４０の形成方法の一例を示す概略断面図である。図８では、導体層５０ｂ上に直接、例えばスクリーン印刷法により接着性の高いＵＶ樹脂などを所定パターンで塗布し、第２の構造体４１０ｂおよび第２の枠体４２０ｂを形成する。これにより、工程数を大幅に削減し、生産性を高めることが可能となる。

以上の形成方法は一例であり、例えば第１の支持体３０を図８に示す方法で形成してもよいし、第２の支持体４０を図７で示す方法で形成してもよい。また、第１および第２の支持体３０、４０は、以下の図９に示す方法で形成することもできる。

図９Ａ、図９Ｂは、第１および第２の支持体３０、４０の形成方法の変形例を示す概略断面図である。なお、図９においては、第１の支持体３０に対応した符号を付して説明する。図９Ａでは、基材３１Ｃなどの上に、例えばスクリーン印刷法によりＵＶ樹脂などを所定パターンで塗布し、第１の凸部３１１ｃおよび第２の凸部３１２ｃを形成する。さらに第１の凸部３１１ｃおよび第２の凸部３１２ｃ上に、例えばスクリーン印刷法により接着性の高いＵＶ樹脂などで構成された接合部３４１ｃを形成する。これにより、第１の凸部３１１ｃおよび接合部３４１ｃで構成された第１の構造体３１０（第２の構造体４１０）と、第２の凸部３１２ｃおよび接合部３４１ｃで構成された第１の枠体３２０（または第２の枠体４２０）とを形成することができる。

（第１および第２の電極線）
図１０Ａは、第１および第２の電極線２１０、２２０の配置例を示す概略図である。第１の電極線２１０は、Ｙ軸方向に延在され、ストライプ状に設けられたＹ電極である。第２の電極線２２０は、Ｘ軸方向に延在され、ストライプ状に設けられたＸ電極である。第１の電極線２１０と第２の電極線２２０とは、互いに直交するように配置されている。

図１０Ｂは、第１および第２の電極線２１０、２２０の一構成例を示す概略図である。第１の電極線２１０は、複数の第１の電極要素２１ｚの群からなる電極群２１ｗにより構成されていてもよい。第１の電極要素２１ｚは、例えばＹ軸方向に延在された線状の導電部材（サブ電極）である。第２の電極線２２０は、複数の第２の電極要素２２ｚの群からなる電極群２２ｗにより構成されていてもよい。第２の電極要素２２ｚは、例えばＸ軸方向に延在された線状の導電部材（サブ電極）である。

図１０Ｃは、単位検出領域２０ｒを説明するための概略図である。第１および第２の電極線２１０、２２０の各交差部に対応して、複数の単位検出領域２０ｒが設けられている。複数の単位検出領域２０ｒは、例えば、Ｘ軸方向（第１の方向）およびＹ軸方向（第２の方向）に２次元的に充填配列されている。単位検出領域２０ｒは、例えば、Ｘ軸方向に延在された一組の辺と、Ｙ軸方向に延在された一組の辺とにより構成される正方形状または長方形状を有している。単位検出領域２０ｒが正方形状または長方形状を有する場合、複数の単位検出領域２０ｒの充填配列は、格子状（マトリックス状）の充填配列である。

複数の第２の構造体４１０は、例えば、隣接する単位検出領域２０ｒ間に配置されている。すなわち、複数の第２の構造体４１０は、例えば、単位検出領域２０ｒの外周（周）上に配置されている。また、複数の第２の構造体４１０は、例えば、単位検出領域２０ｒの中心に対して対称に配置されている。単位検出領域２０ｒが正方形状または長方形状を有する場合、第２の構造体４１０の配置位置としては、好ましくは単位検出領域２０ｒを形成する各辺の中点および単位検出領域２０ｒの各頂部（角部）の両方の位置、より好ましくは単位検出領域２０ｒを形成する各辺の中点の位置、さらに好ましくは単位検出領域２０ｒの各頂部（角部）の位置が挙げられる。この配置位置により、入力操作の検出感度を向上することができるからである。図１０Ｃでは、単位検出領域２０ｒの各頂部（角部）に第２の構造体４１０が配置された例が示されている。

単位検出領域２０ｒには、第１の構造体３１０が２個以上含まれている。本開示において、「第１の構造体３１０が含まれる」とは、第１の構造体３１０の全体が含まれる場合ばかりではなく、第１の構造体３１０の一部が含まれる場合をも意味する。例えば、単位検出領域２０ｒの外周（周）上に第１の構造体３１０が配置されている場合には、この外周上に配置されている第１の構造体３１０のうち、その外周を境にして着目する単位検出領域２０ｒの内側に存在する１個の第１の構造体３１０の一部分を、第１の構造体３１０の個数（例えば１／２個、１／４個など）としてカウントするものと定義する。なお、「第１の構造体３１０を含む」も、上記と同様の意味で用いられる。

（第１および第２の支持体の動作）
図１１は、操作子ｈにより第１の面１１０上の点ＰをＺ軸方向下方へ押圧した際の、第１および第２の構造体３１０、４１０へ付加される力の様子を示す概略断面図である。図中の白抜き矢印は、Ｚ軸方向下方（以下、単に「下方」とする）への力の大きさを模式的に示している。図１１においては、金属膜１２および電極基板２０などの撓み、第１および第２の構造体３１０、４１０の弾性変形などの態様は示していない。なお、以下の説明において、ユーザが押圧を意識しないタッチ操作を行った場合でも、実際には微小な押圧力が付加されることから、これらの入力操作を一括して「押圧」として説明する。

例えば、第１の面１１０のうち単位検出領域２０ｒの中心に対応する位置Ｐ１を、操作子ｈにより力Ｆで下方へ押圧された場合、点Ｐの直下の金属膜１２が下方へ撓む。それに伴い、単位検出領域２０ｒ内に配置された第１の構造体３１０_i+1が力Ｆ１を受け、Ｚ軸方向に弾性変形して厚みがわずかに減少する。また、金属膜１２の撓みにより、第１の構造体３１０_i+1に隣接する第１の構造体３１０_i、３１０_i+2も、Ｆ１より小さい力Ｆ２を受ける。さらに力Ｆ１、Ｆ２により、電極基板２０にも力が加えられ、第１の構造体３１０_i+1直下の検出部２０ｓ_i+1が下方へ変位する。これにより、検出部２０ｓ_i+1と導体層５０とが近接または接触する。また、第１の構造体３１０_i、３１０_i+1の間に配置された第２の構造体４１０_i、および第１の構造体３１０_i+1、３１０_i+2の間に配置された第２の構造体４１０_i+1もそれぞれＦ１より小さい力Ｆ３を受け、Ｚ軸方向に弾性変形して厚みがわずかに減少する。また、第２の空間部４３０_iを介して第２の構造体４１０_iと隣接する第２の構造体４１０_i-1、および第２の空間部４３０_i+2を介して第２の構造体４１０_i+1と隣接する第２の構造体４１０_i+2がそれぞれ、Ｆ３より小さいＦ４を受ける。

このように、第１および第２の構造体３１０、４１０により厚み方向に力を伝達することができ、電極基板２０を容易に変形させることができる。また、金属膜１２および電極基板２０が撓み、面内方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向に平行な方向）に押圧力の影響が及ぶことにより、操作子ｈの直下の領域のみならず、その近傍の第１および第２の構造体３１０、４１０にも力を及ぼすことができる。

また、第１および第２の空間部３３０、４３０により金属膜１２および電極基板２０を容易に変形させることができる。さらに柱体などで構成された第１および第２の構造体３１０、４１０により、操作子ｈの押圧力に対して電極基板２０へ高い圧力を及ぼすことができ、電極基板２０を効率的に撓ませることができる。

さらに、第１および第２の構造体３１０、４１０がＺ軸方向から見て重複して配置されていない場合には、第１の構造体３１０がその下の第２の空間部４３０を介して電極基板２０を導体層５０に向けて容易に撓ませることができる。

以下、具体的な操作時における検出部２０ｓの静電容量の変化量の一例を示す。

（検出部の出力例）
図１２、図１３は、第１の面１１０が操作子ｈによる操作を受けたときの入力装置１００の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部２０ｓの容量変化量の一例を示す図である。図１２、図１３におけるＸ軸に沿って示す棒グラフは、各検出部２０ｓにおける静電容量の基準値からの変化量を模式的に示している。また、図１２は、操作子ｈが単位検出領域２０ｒの中心に対応する位置を押圧した際の態様を示し、図１３は、単位検出領域２０ｒと隣り合う単位検出領域２０ｒとの中間に対応する位置を押圧した際の態様を示す。

図１２では、操作位置の直下の単位検出領域２０ｒ内に配置された第１の構造体３１０_i+1が最も力を受け、第１の構造体３１０_i+1自身が弾性変形するとともに、下方へ変位する。その変位により第１の構造体３１０_i+1直下の検出部２０ｓ_i+1が下方へと変位する。これにより、第２の空間部４３０_i+1を介して検出部２０ｓ_i+1と導体層５０とが近接または接触する。すなわち、検出部２０ｓ_i+1は、金属膜１２との距離が若干変化し、かつ導体層５０との距離が大きく変化することで、静電容量の変化量Ｃ_i+1を得る。一方で、金属膜１２の撓みの影響により、第１の構造体３１０_i、３１０_i+2もわずかに下方へと変位し、検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+2における静電容量の変化量は、それぞれＣ_i、Ｃ_i+2となる。

図１２に示す例において、Ｃ_i+1が最も大きく、Ｃ_iとＣ_i+2とは略同一で、かつＣ_i+1よりも小さい。すなわち、図１２に示すように、静電容量の変化量Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2は、Ｃ_i+1を頂点とする山形の分布を示す。この場合に演算部６１は、Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2の比率に基づいて重心などを算出し、操作位置として検出部２０ｓ_i+1上のＸＹ座標を算出することができる。

一方、図１３では、金属膜１２の撓みにより操作位置近傍の第１の構造体３１０_i+1、３１０_i+2がわずかに弾性変形するとともに、下方へと変位する。その変位により、電極基板２０が撓み、第１の構造体３１０_i+1、３１０_i+2直下の検出部２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2が下方へと変位する。これにより第２の空間部４３０_i+1、４３０_i+2を介して検出部２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2と導体層５０とが近接または接触する。すなわち、検出部２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2は、金属膜１２との距離がわずかに変化し、かつ導体層５０との距離が比較的大きく変化することで、それぞれ静電容量の変化量Ｃ_i+1、Ｃ_i+2を得る。

図１３に示す例において、Ｃ_i+1とＣ_i+2とは略同一である。これにより、演算部６１は、操作位置として検出部２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2の間のＸＹ座標を算出することができる。

このように、本実施形態によれば、検出部２０ｓおよび金属膜１２と、検出部２０ｓおよび導体層５０との厚みの双方が押圧力によって可変であることから、検出部２０ｓにおける静電容量の変化量をより大きくすることができる。これにより、入力操作の検出感度を高めることが可能となる。

また、フレキシブルディスプレイ１１上の操作位置が第１の構造体３１０上、第１の空間部３３０上のいずれの点であっても、操作位置のＸＹ座標を算出することが可能となる。すなわち、金属膜１２が面内方向に押圧力の影響を波及させることにより、操作位置直下の検出部２０ｓのみならず、Ｚ軸方向から見て操作位置の近傍の検出部２０ｓにおいても静電容量変化を生じさせることができる。これにより、第１の面１１０内における検出精度のバラつきを抑制し、第１の面１１０全面において高い検出精度を維持することができる。

ここで、操作子としてよく用いられるものとして、指やスタイラスが挙げられる。両者の特徴としては、指の方がスタイラスよりも大きな接触面積を有するため、同じ荷重（押圧力）を負荷した場合、指の方が押圧力に対する圧力（以下、操作圧力とする）が小さくなる。一方で、スタイラスはその接触面積が小さく、例えば一般的な相互容量方式の静電容量センサでは、センサ素子との容量結合量が小さく、検出感度が低いという問題がある。本実施形態によれば、これらのいずれの操作子を用いた場合でも、高い精度で入力操作を検出することができる。以下、図１４、図１５を用いて説明する。

図１４、図１５は、第１の面１１０がスタイラスまたは指により操作を受けたときの入力装置１００の態様を示す模式的な要部断面図と、そのときの各検出部２０ｓの容量変化量の一例を示す図である。図１４は操作子がスタイラスｓの場合、図１５は操作子が指ｆの場合を示す。また、図１４、図１５におけるＸ軸に沿って示す棒グラフは、図１２、図１３と同様に、各検出部２０ｓにおける静電容量の基準値からの変化量を模式的に示している。

図１４に示すように、スタイラスｓは、金属膜１２を変形させるとともに、操作位置直下の第１の構造体３１０_i+1に対し押圧力を及ぼす。ここでスタイラスｓは、接触面積が小さいため、金属膜１２および第１の構造体３１０_i+1に対し大きな操作圧力を及ぼすことができる。このため、金属膜１２を大きく変形させることができ、結果として、検出部２０ｓ_i+1の静電容量の変化量Ｃ_i+1に示されるように、大きな静電容量変化を生じさせることが可能となる。これにより、検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2各々の静電容量の変化量Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2は、Ｃ_i+1を頂点とする山形の分布となる。

このように本実施形態に係る入力装置１００は、操作圧力の面内分布に基づいて静電容量の変化量を検出することができる。これは、入力装置１００が、操作子との直接の容量結合による静電容量の変化量を検出するものではなく、変形可能な金属膜１２および電極基板２０を介して静電容量の変化量を検出することによる。したがって、接触面積の小さいスタイラスｓのような操作子であっても、精度よく操作位置および押圧力を検出することができる。

一方、図１５に示すように、指ｆは接触面積が大きいため、操作圧力が小さくなるが、スタイラスｓよりも広範囲の金属膜１２を直接変形させることができる。これにより、第１の構造体３１０_i、３１０_i+1、３１０_i+2をそれぞれ下方へ変位させ、検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2各々の静電容量の変化量Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2を生じさせることができる。Ｃ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2は、図１４に係るＣ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2と比較してゆるやかな山形の分布となる。

（単位検出領域内に第１の構造体を２個以上含ませている理由）
本実施形態に係る入力装置１００は、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を２個以上含んでいる。以下、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を２個以上含ませている理由について説明する。

ここでは、単位検出領域２０ｒの外周（周）上に第１の構造体３１０が配置されている場合には、その外周を境にして着目する単位検出領域２０ｒの内側に存在する１個の第１の構造体３１０の一部分を、第１の構造体３１０の個数としてカウントするものと定義する。具体的には例えば、単位検出領域２０ｒを構成する辺上に２分割されるようにして、第１の構造体３１０が配置されている場合には、この第１の構造体３１０の個数は「１／２」と定義する。また、正方形状または長方形状の単位検出領域２０ｒの頂部（角部）に第１の構造体３１０が配置されている場合には、この第１の構造体３１０の個数は「１／４」と定義する。

（荷重位置と容量変化量との関係）
以下、図１６〜図１８を参照して、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を１個含む入力装置１００における荷重位置と容量変化量との関係について説明する。
まず、図１６に示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ１を操作子ｈにより押圧すると、容量変化量Ｃ_i+1が最も増加し、容量変化量Ｃ_i、Ｃ_i+2が略同程度増加する。

次に、図１７に示すように、位置Ｐ１から単位検出領域２０ｒ_i+1、２０ｒ_i+2の間の近傍の位置Ｐ２まで操作子ｈ（すなわち荷重）を移動すると、容量変化量Ｃ_i、Ｃ_i+1は減少し、容量変化量Ｃ_i+2は増加する。これにより、容量変化量Ｃ_i+1、Ｃ_i+2は同程度となる。

次に、図１８に示すように、位置Ｐ２から単位検出領域２０ｒ_i+2の中心に対応する位置Ｐ３まで操作子ｈ（すなわち荷重）を移動すると、容量変化量Ｃ_i、Ｃ_i+1はさらに減少するのに対して、容量変化量Ｃ_i+2はさらに増加する。これにより、容量変化量Ｃ_i+2が最大となり、容量変化量Ｃ_iがＣ_i、Ｃ_i+1、Ｃ_i+2の中では最小となり、容量変化量Ｃ_i+1がそれらの容量変化量Ｃ_i、Ｃ_i+2の中間の値となる。

（座標計算のずれの発生およびその原因）
図１９Ａは、理想的な容量変化率分布を示す図である。図１９Ａにおいて、Ｃ_i、Ｃ_i+1はそれぞれ、単位検出領域２０ｒ_i、２０ｒ_i+1（検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1）の中心位置を示している。また、Ｌ_i、Ｌ_i+1はそれぞれ、Ｘ軸方向に対する単位検出領域２０ｒ_i、２０ｒ_i+1（検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1）の容量変化率分布を示している。

図１９Ａの矢印ｂに示すように、入力装置１００の第１の面１１０に加わる荷重を中心位置Ｃ_iから中心位置Ｃ_i+1まで移動させた場合には（図１６〜図１８参照）、以下のような傾向を示すのが理想的である。すなわち、検出部２０ｓ_iの容量変化率は、矢印ａ_iに示すように単調に減少するのに対して、検出部２０ｓ_i+1の容量変化率は、矢印ａ_i+1に示すように単調に増加する傾向を示すのが理想的である。

しかし、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を１個含む入力装置１００では、容量変化率分布は、図１９Ａに示した理想的な分布とはならず、図１９Ｂに示した分布のようになる。すなわち、単位検出領域２０ｒ_i、２０ｒ_i+1の中心位置Ｃ_i、Ｃ_i+1に容量変化率分布のピークが１つ現れるのではなく、その中心位置Ｃ_i、Ｃ_i+1を中心としてピークが２つに分裂して現れる。このように分裂した２つのピーク間の領域Ｒ_i、Ｒ_i+1は座標計算のずれを招く原因となる。

ここで、図２０Ａ、２０Ｂを参照して、上述の分裂した２つのピークの発生の原因について以下に説明する。図２０Ａに示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ１を操作子ｈにより押圧すると、金属膜１２と電極基板２０とは略同様な形状に変形する。これにより、押圧後も、金属膜１２と電極基板２０との距離は略一定に保持される。一方、図２０Ｂに示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1、２０ｒ_i+2の間の近傍の位置Ｐ２を操作子ｈにより押圧すると、この押圧位置Ｐ２の近傍の金属膜１２のみが大きく変形する。これにより、押圧後には、押圧位置Ｐ２の近傍における金属膜１２と電極基板２０との距離のみが大きく変化する。その結果、容量変化率分布には、上述のように、検出部２０ｓ_iの中心位置Ｃ_iの両側にピークが１つずつ発生する。

（座標計算の精度改善）
本実施形態に係る入力装置１００では、上述した２つに分裂したピークの発生を回避するために、単位検出領域２０ｒ内に複数の第１の構造体３１０を配置している。

ここで、図２１Ａ、図２１Ｂを参照して、単位検出領域２０ｒ内に複数の第１の構造体３１０を配置することにより、座標計算の精度を改善できる理由について説明する。図２１Ａに示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ１を操作子ｈにより押圧すると、金属膜１２と電極基板２０とは略同様な形状に変形する。これにより、押圧後も、金属膜１２と電極基板２０との距離は略一定に保持される。一方、図２１Ｂに示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1、２０ｒ_i+2の間の近傍の位置Ｐ２を操作子ｈにより押圧すると、この押圧位置Ｐ２の近傍の金属膜１２がわずかに下方に向けて変形するに留まる。これにより、押圧後にも、押圧位置Ｐ２の近傍における金属膜１２と電極基板２０との距離のみが大きく変化することが抑制される。これは、単位検出領域２０ｒ_i+1、２０ｒ_i+2内に複数の第１の構造体３１０_i+1、３１０_i+2が配置されている影響で、押圧位置Ｐ２の近傍の金属膜１２の変形が抑制されるためである。このように局所的な距離の大きな変化が抑制される結果、図１９Ａに示すように、単位検出領域２０ｒの中心から単調に減少する理想的な容量変化率分布が得られる。

（第１および第２の構造体の配置例）
次に、第１および第２の構造体３１０、４１０の平面的な配置について説明する。

図２２Ａ、図２２Ｂは、第１および第２の構造体３１０、４１０と、第１の電極線（Ｙ電極）２１０および第２の電極線（Ｘ電極）２２０との配置例を示す模式的な平面図である。図２２では、各Ｘ電極２１０、各Ｙ電極２２０がそれぞれ電極群２１ｗ、２２ｗを有している例を示す。また、各検出部２０ｓは、上述のようにＸ電極２１０、Ｙ電極２２０の交差部に形成される。なお、図２２に示す黒丸は、第１の構造体３１０を示し、白丸は、第２の構造体４１０を示す。

Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０の交差部に対応して、単位検出領域（単位センサ領域）２０ｒが設けられている。この単位検出領域２０ｒ内に検出部２０ｓが設けられている。単位検出領域２０ｒの外周上には、複数の第２の構造体４１０が配置されている。単位検出領域２０ｒとは、Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０の交差部に対応するように、入力装置１００の主面を等分割して得られる領域をいう。典型的には、単位検出領域２０ｒは、以下の（Ａ）または（Ｂ）のように定義される。

（Ａ）Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０の交差部に対応して設けられた複数の第２の構造体４１０により規定される領域
ここで、第２の構造体４１０により規定されるのは、単位検出領域２０ｒの各辺（例えば各辺の中点）および／または各頂部（角部）の位置である。
（Ｂ）Ｘ電極２１０の中心線とＹ電極２２０の中心線の各交点を原点Ｏとした場合に、下記の２つの式を満たす領域
−Ｌｘ／２≦Ｘ＜＋Ｌｘ／２
−Ｌｙ／２≦Ｘ＜＋Ｌｙ／２
（但し、式中、Ｌｘ：Ｘ電極２１０の中心間隔、Ｌｙ：Ｙ電極２２０の中心間隔である。）

単位検出領域２０ｒの外周Ｃｒと、検出部（交差部）２０ｓの外周Ｃｓと、単位検出領域２０ｒに含まれる第１の構造体３１０の配置位置との位置関係としては、例えば、以下に示す位置関係（ａ）、（ｂ）が挙げられ、容量変化率などの特性を向上する観点からすると、位置関係（ｂ）が好ましい。但し、これらの位置関係は、入力装置１００をＺ軸方向（すなわち第１の面１１０に垂直な方向）から見たときの位置関係を意味している。
（ａ）検出部２０ｓの外周Ｃｓが単位検出領域２０ｒの外周Ｃｒの内側にあり、かつ、第１の構造体３１０が検出部２０ｓの外周Ｃｓの内側に配置されている（図２２Ａ参照）。
（ｂ）検出部２０ｓの外周Ｃｓが単位検出領域２０ｒの外周Ｃｒの内側にあり、かつ、第１の構造体３１０が検出部２０ｓの外周Ｃｓと単位検出領域２０ｒの外周Ｃｒとの間に配置されている（図２２Ｂ参照）。

単位検出領域２０ｒ内には、第１の構造体３１０が２個以上含まれている。これにより、入力装置１００の座標計算の精度を向上することができる。また、入力装置１００の加重感度を向上することができる。第１および第２の構造体３１０、４１０は、単位検出領域２０ｒの中心に対して対称（単位検出領域２０ｒの中心を通り単位検出領域２０ｒの２つの配列方向と平行な線に対してそれぞれ線対称）に配置されていることが好ましい。ただし、最外周または、最外周近傍の検出部２０ｓにおける単位検出領域２０ｒ内の複数の第１の構造体３１０、複数の第２の構造体４１０、複数の第１の電極要素２１ｚ、複数の第２の電極要素２２ｚなどの構成は単位検出領域２０ｒの中心に対して非対称であってもよい。

（第１および第２の構造体の対称配置の例）
以下、図２３Ａ〜図２５Ｂ、図２６、図５８Ａ〜図５９Ｂを参照して、単位検出領域２０ｒの中心に対して複数の第１および第２の構造体３１０、４１０を対称配置した例について説明する。より具体的には、第１および第２の電極線２１０、２２０それぞれの中心線（すなわちＸ軸よびＹ軸）に対して線対称に配置した例について説明する。なお、図２３Ａ〜図２５Ｂ、図２６、図５８、図５８Ａ〜図５９Ｂ中に示した線分は、Ｘ電極２１０、Ｙ電極２２０の中心線を示している。

（第１の配置例）
図２３Ａは、対称配置の第１の例を示す平面図である。第１の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で２個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。

第２の構造体４１０は、Ｘ軸方向の辺の長さＬｘとＹ軸方向の辺の長さＬｙとからなる長方形状の単位格子Ｕｃの各頂点（各格子点）の位置に配置されている。すなわち、第２の構造体４１０は、Ｘ軸方向に長さＬｘの配置ピッチ（周期）で配列され、Ｙ軸方向には長さＬｙの配置ピッチ（周期）で配列されている。ここで、単位格子Ｕｃは、第１の構造体３１０および第２の構造体の４１０の配置を説明するために仮想的に設定したものである。

単位格子Ｕｃの領域は、単位検出領域２０ｒに一致する。また、単位検出領域２０ｒの中心位置は、Ｘ電極２１０およびＹ電極２２０の交差部の中心位置と一致する。ここでは、単位格子Ｕｃが長方形状である場合を例として説明するが、単位格子Ｕｃはこの例に限定されるものではなく、例えば、正方格子、斜方格子、菱形格子、矩形格子、二等辺三角格子、長方格子、六角格子または正三角格子などを用いてもよい。

単位格子Ｕｃは、各頂点に配置された第２の構造体４１０の（１／４）個を含んでいる。そして、単位格子Ｕｃの領域は単位検出領域２０ｒと一致するから、１つの単位検出領域２０ｒ内には、合計で１個（＝（１／４）［個］×４）の第２の構造体４１０が含まれている。

第１の構造体３１０は、単位格子Ｕｃの各辺の中点に配列されている。単位格子Ｕｃの対角線方向における第１の構造体３１０間の距離（配置ピッチ）は（１／２）×√（Ｌｘ²＋Ｌｙ²）である。ここで、√（Ｌｘ²＋Ｌｙ²）は、（Ｌｘ²＋Ｌｙ²）の平方根を意味する。

単位格子Ｕｃは、各辺の中点に配列された第１の構造体３１０の（１／２）個を含んでいる。そして、単位格子Ｕｃの領域は単位検出領域２０ｒと一致するから、１つの単位検出領域２０ｒ内には、合計で２個（＝（１／２）［個］×４）の第１の構造体３１０が含まれている。

（第２の配置例）
図２３Ｂは、対称配置の第２の例を示す平面図である。第２の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で３個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第２の例は、単位格子Ｕｃの中心に１個の第１の構造体３１０がさらに配置されている点において、第１の例と異なっている。

単位格子Ｕｃは、各辺の中点に配列された第１の構造体３１０の（１／２）個を含んでいるとともに、中心に配列された１個の第１の構造体３１０を含んでいる。そして、単位格子Ｕｃの領域は単位検出領域２０ｒと一致するから、１つの単位検出領域２０ｒ内には、合計で３個（＝（１／２）［個］×４＋１［個］）の第１の構造体３１０が含まれている。

（第３の配置例）
図２４Ａは、対称配置の第３の例を示す平面図である。第３の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で４個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第２の構造体４１０の配置は、上述の対称配置の第１の例と同様であるので、説明を省略する。

単位格子Ｕｃの中心位置から各頂点との間の位置に、第１の構造体３１０が１個ずつ配置されている。ここで、単位格子Ｕｃの中心位置から各頂点との間の位置は、例えば単位格子Ｕｃの中心位置から各頂点との中点である。Ｘ軸方向における第１の構造体３１０間の距離（配置ピッチ）は、Ｌｘ／２であり、Ｙ軸方向における第１の構造体３１０間の距離（配置ピッチ）は、Ｌｙ／２である。

（第４の配置例）
図２４Ｂは、対称配置の第４の例を示す平面図である。第４の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で４個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第４の例は、単位格子Ｕｃの各頂点（各格子点）の位置にそれぞれ第１の構造体３１０がさらに配列されている点において、第２の例と異なっている。

単位格子Ｕｃは、各頂点に配置された第１の構造体３１０の（１／４）個と、各辺の中点に配列された第１の構造体３１０の（１／２）個とを含んでいるとともに、中心に配列された１個の第１の構造体３１０を含んでいる。そして、単位格子Ｕｃの領域は単位検出領域２０ｒと一致するから、１つの単位検出領域２０ｒ内には、合計で４個（＝（１／４）［個］×４＋（１／２）［個］×４＋１［個］）の第１の構造体３１０が含まれている。

（第５の配置例）
図２５Ａは、対称配置の第５の例を示す平面図である。第５の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で４個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第２の構造体４１０の配置は、上述の対称配置の第１の例と同様であるので、説明を省略する。

単位格子Ｕｃの中心位置から各辺の中点との間の位置に、第１の構造体３１０が１個ずつ配置されている。ここで、単位格子Ｕｃの中心位置から各辺の中点との間の位置は、例えば単位格子Ｕｃの中心位置から各辺の中点との間の中点である。Ｘ軸方向における第１の構造体３１０間の距離（配置ピッチ）は、Ｌｘ／２であり、Ｙ軸方向における第１の構造体３１０間の距離（配置ピッチ）は、Ｌｙ／２である。

（第６の配置例）
図２５Ｂは、対称配置の第６の例を示す平面図である。第６の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で５個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第６の例は、単位格子Ｕｃの中心に１個の第１の構造体３１０がさらに配置されている点において、第３の例と異なっている。

（第７の配置例）
図５８Ａは、対称配置の第７の例を示す平面図である。第７の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で６個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第７の例は、単位格子Ｕｃの各辺の中点に第１の構造体３１０がさらに配置されている点において、第３の例と異なっている。第７の配置例は、フレキシブルディスプレイ１１として非常に軟らかいものを用いた場合に、その局所的な変形を抑えるために特に有効である。

（第８の配置例）
図５８Ｂは、対称配置の第８の例を示す平面図である。第８の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で７個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。第７の例は、単位格子Ｕｃの各辺の中点に第１の構造体３１０がさらに配置されている点において、第６の例と異なっている。第７の配置例は、フレキシブルディスプレイ１１として非常に軟らかいものを用いた場合に、その局所的な変形を抑えるために特に有効である。

（第９の配置例）
図２６は、対称配置の第９の例を示す平面図である。第９の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とを含む対称配置の例である。このように、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第１の構造体３１０を含むようにしてもよい。第１の構造体３１０は、単位格子Ｕｃの中心に配列されている。

第１および第２の構造体３１０、４１０の数および配置（ピッチ）を調整することで、目的とする操作感や検出感度が得られるように、押圧力に対する金属膜１２および導体層５０各々と検出部２０ｓとの距離の変化量を調整することができる。操作部材１０の変形は、隣接する第１の構造体３１０間の距離の約２乗で小さくなる。単位検出領域２０ｒ内に４個の第１の構造体３１０が配置されていれば、操作部材１０の変形は約１／４となる。

（第１０の配置例）
図５９Ａは、対称配置の第１０の例を示す平面図である。第１０の例では、単位検出領域２０ｒは、Ｘ軸方向の辺の長さＬｘとＹ軸方向の辺の長さＬｙとが異なる長方形状を有している。Ｘ軸方向の辺の長さＬｘとＹ軸方向の辺の長さＬｙとが異なる場合には、第１の電極線２１０の中心線に対する線対称性と、第２の電極線２２０の中心線に対する線対称性とが異なっていてもよい。第９の例では、単位検出領域２０ｒ内に、合計で６個の第１の構造体３１０と、合計で１個の第２の構造体４１０とが配置されている。

（第１１の配置例）
図５９Ｂは、対称配置の第１１の例を示す平面図である。第１１の例は、単位検出領域２０ｒ内に合計で８個の第１の構造体３１０と、単位検出領域２０ｒ内に合計で１個の第２の構造体４１０とが配置されている点において、第９の例とは異なっている。

（第１および第２の構造体の配置関係の例）
図２７Ａおよび図２７Ｂに示すように、Ｚ軸方向から見た場合に、第１および第２の構造体３１０、４１０が重なって配置されている部分があると、操作部材１０および電極基板２０の変形が抑制されて、その重なり部分の感度が低下する傾向にある。このため、Ｚ軸方向から見た場合に（すなわち、入力装置１００の厚さ方向に）、第１および第２の構造体３１０、４１０がすべて重ならないように、第１および第２の構造体３１０、４１０を配置することが好ましい。

Ｚ軸方向から見て第１の構造体３１０と第２の構造体４１０とが重複しておらず、第１の構造体３１０が第２の空間部４３０上に配置される場合には、例えば操作時の数十ｇ程度の微小な押圧力によっても金属膜１２および導体層５０を変形させることが可能となる。

（第２の構造体の配置例）
以下、図２８、図２９Ａ〜図２９Ｃ、図３０Ａ、図３０Ｂを参照して、第２の構造体４１０の配置例について説明する。

（第１の配置例）
図２８は、第２の構造体４１０の第１の配置例を示す平面図である。第１の配置例では、第２の構造体４１０は、正方形状の単位格子（正方格子）Ｕｃの各頂点の位置に配置されている。

図２９Ａ、図２９Ｂ、図２９Ｃはそれぞれ、図２８に示した領域Ｒ_A、領域Ｒ_B、領域Ｒ_Cの近傍を拡大して表す斜視図である。領域Ｒ_A、領域Ｒ_B、領域Ｒ_Cはそれぞれ感度が異なっており、領域Ｒ_Aおよび領域Ｒ_Bは感度が良好であるのに対して、領域Ｒ_cは領域Ｒ_Aおよび領域Ｒ_Bに比して感度が低下する傾向にある。

（第２の配置例）
図３０Ａは、第２の構造体４１０の第２の配置例を示す平面図である。第２の配置例では、第２の構造体４１０は、正方形状の単位格子（正方格子）Ｕｃの各辺の中点の位置に配置されている。

（第３の配置例）
図３０Ｂは、第２の構造体４１０の第３の配置例を示す平面図である。第３の配置例では、第２の構造体４１０は、正方形状の単位格子（正方格子）Ｕｃの各頂点の位置と、正方形状の単位格子（正方格子）Ｕｃの各辺の中点の位置とに配置されている。

第２の構造体４１０が配置されている位置では、検出部２０ｓの検出感度が低下する傾向にある。したがって、座標計算への影響を小さくする観点からすると、単位格子Ｕｃの中心から見て、Ｘ軸方向とＹ軸方向との間の方向に第２の構造体４１０を配置することが好ましい。具体的には、単位格子Ｕｃの中心から見て、単位格子Ｕｃの対角線の方向に第２の構造体４１０を配置することが好ましい。すなわち、単位格子Ｕｃが正方格子の場合はＸ軸方向を基準にして略４５°、略１３５°、略２１５°および略３０５°の方向に第２の構造体４１０を配置することが好ましい。

第２の構造体４１０を上述の第１〜第３の配置例のように配置した場合、それらの配置例における検出部２０ｓの検出感度の高さの関係は、以下の通りである。
（第１の配置例の検出感度）＞（第２の配置例の検出感度）＞（第３の配置例の検出感度）

［荷重感度の向上］
本実施形態に係る入力装置１００では、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を２個以上含むことで、荷重感度を向上することができる。

ここで、図３１Ａ、図３１Ｂを参照して、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を２個以上含むことで、荷重感度を向上できる理由について説明する。
図３１Ａでは、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を１個含む入力装置１００の例が示されている。この例に示した入力装置１００では、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ１を操作子ｈにより押圧すると、図３１Ａに示すように、第１の構造体３１０の直下の電極基板２０のみが導体層５０に向けて局所的に変形する。

一方、図３１Ｂでは、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を２個以上含む入力装置１００の例が示されている。この例に示した入力装置１００では、図３１Ｂに示すように、第１の面１１０のうち、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ２を操作子ｈにより押圧すると、図３１Ｂに示すように、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心近傍の第１の構造体３１０に囲まれた広範囲の電極基板２０が導体層５０に向けて変形する。その結果、単位検出領域２０ｒ_i+1の中心に対応する位置Ｐ２を操作子ｈにより押圧したときの容量変化量が増加する。

（単位検出領域内における第１の構造体の配置位置の例）
以下、図３２Ａ〜図３２Ｃを参照して、単位検出領域２０ｒ内における第１の構造体３１０の配置位置の例について説明する。

（第１の配置例）
図３２Ａは、第１の配置例を示す概略断面図である。なお、図２６が、この第１の配置例の平面図に対応する。第１の例では、単位検出領域２０ｒに１個の第１の構造体３１０が配置された入力装置１００の例が示されている。この第１の配置例に示す入力装置１００では、第１の面１１０を操作子ｈにより押圧すると、金属膜１２および電極基板２０のうち、その押圧位置に対応する部分が下方（導体層５０の方向）へと変形する。

（第２の配置例）
図３２Ｂは、第２の配置例を示す概略断面図である。なお、図２５Ｂが、この第２の配置例の平面図に対応する。第２の例では、単位検出領域２０ｒに５個の第１の構造体３１０が配置された入力装置１００の例が示されている。この第２の配置例に示す入力装置１００では、第１の面１１０を操作子ｈにより押圧すると、第１の例に示した入力装置１００に比して、電極基板２０をより広範囲に変形させることができる。しかし、５個の第１の構造体３１０のうち、中央に配置された第１の構造体３１０上が操作子ｈにより押圧された場合には、その中央の第１の構造体３１０に荷重が多く加わり、中央の第１の構造体３１０が導体層５０に接触すると、電極基板２０の変形が止まり、変形の範囲が狭くなってしまう。

（第３の配置例）
図３２Ｃは、第３の配置例を示す概略断面図である。なお、図２４Ａが、この第３の配置例の平面図に対応する。第３の例では、単位検出領域２０ｒに４個の第１の構造体３１０が配置された入力装置１００の例が示されている。この第３の配置例に示す入力装置１００では、第１の面１１０を操作子ｈにより押圧すると、第１の例に示した入力装置１００に比して、電極基板２０をより広範囲に変形させることができる。また、図３２Ｃ中の領域Ｒに示すように、荷重を均等に分散させることができる。さらに、図３２Ｃ中に仮想線（破線）Ｃにて示すように、電極基板２０の変形が飽和した後にも、金属膜１２が変形し続ける。単位検出領域２０ｒの中央で最大の容量変化率を得るためには、第３の配列例のように、単位検出領域２０ｒ内に複数の第１の構造体３１０を配列するとともに、それらを単位検出領域２０ｒの中心からずらして配列することが好ましい。

（第１の構造体間の距離）
図３３Ａ〜図３３Ｃは、隣接する第１の構造体３１０間の距離Ｄｘ、Ｄｙを説明するための概略断面図である。図３４は、隣接する第１の構造体３１０間の距離Ｄｘ、Ｄｙを説明するための平面図である。図３３Ａ〜図３３Ｃ、図３４では、１つの単位検出領域２０ｒには、４個の第１の構造体３１０が配列され、Ｘ軸方向に隣接する第１の構造体３１０間の距離がＤｘであり、Ｙ軸方向に隣接する第１の構造体３１０間の距離がＤｙである例が示されている。

図３３Ａに示すように、隣接する第１の構造体３１０間の距離Ｄｘ、Ｄｙが狭いと、金属膜１２および電極基板２０の変形範囲Ｒが狭くなる。このように変形範囲Ｒが狭いと、検出部２０ｓの感度が低下する。一方、図３３Ｂに示すように、隣接する第１の構造体３１０間の距離Ｄｘ、Ｄｙが広いと、金属膜１２および電極基板２０の変形範囲Ｒが広くなる。このように変形範囲Ｒが広くなると、検出部２０ｓの感度が向上する。しかし、図３３Ｃに示すように、第１の構造体３１０間の距離Ｄｘ、Ｄｙが広すぎると、図３３Ｃ中の矢印ａに示すように、第２の構造体４１０からの反作用が大きくなるため、金属膜１２および電極基板２０が下方に変形しにくくなるため、検出部２０ｓの感度が低下する。

距離Ｄｘは、好ましくは（１／４）×Ｌｘ≦Ｄｘ、より好ましくは（１／４）×Ｌｘ≦Ｄｘ≦（３／４）×Ｌｘ、最も好ましくはＬｘ／２である。但し、Ｌｘは、Ｘ軸方向の第１の構造体３１０の配置ピッチである。Ｄｘ≦（３／４）×Ｌｘであると、検出部２０ｓの感度の低下を抑制することができる。（１／４）×Ｌｘ≦Ｄｘであると、容量変化率分布に対する２つのピーク発生（図１９Ｂ参照）を抑制する効果を更に高めることができる。

距離Ｄｙは、好ましくは（１／４）×Ｌｙ≦Ｄｙ、より好ましくは（１／４）×Ｌｙ≦Ｄｙ≦（３／４）×Ｌｙ、最も好ましくはＬｙ／２である。但し、Ｌｙは、Ｙ軸方向の第１の構造体３１０の配置ピッチである。Ｄｙ≦（３／４）×Ｌｙであると、検出部２０ｓの感度の低下を抑制することができる。（１／４）×Ｌｙ≦Ｄｙであると、位置感度分布に対する２つのピーク発生（図１９Ｂ参照）を抑制する効果を更に高めることができる。

（動的描画特性の向上）
以下に、図３５Ａ、図３５Ｂを参照して、単位検出領域２０ｒ内に第１の構造体３１０を１個含む入力装置１００の描画特性について説明する。図３５Ｂの矢印ａに示すように、第１の面１１０上に加わる荷重をＸ軸方向に向けて移動する動的描画を行った場合には、動的描画特性は、第１の構造体３１０を避ける動きをする傾向を示す。これは、単位検出領域２０ｒ内に１個の第１の構造体３１０が配置されている場合には、図３５Ａに示すように、単位検出領域２０ｒ間の境界近傍で操作部材１０（金属膜１２）が下方に向けて大きく落ち込むためである。

単位検出領域２０ｒ内に複数の第１の構造体３１０を配置することで、上述の動的描画特性の低下を抑制することができる。複数の第１の構造体３１０は、互いに直交するＸ軸方向（第１の方向）およびＹ軸方向（第２の方向）に２次元配列されており、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方向において、第１の構造体３１０は等間隔に配置されていることが好ましい。優れた描画特性を得ることができるからである。操作部材１０（金属膜１２）の変形は、第１の構造体３１０間の距離の約２乗で小さくなる。例えば、単位検出領域２０ｒ内に４個の第１の構造体３１０が存在する場合には、単位検出領域２０ｒ内に１個の第１の構造体３１０が存在する場合に比べて操作部材１０の変形は約（１／４）となる。

このような動的描画特性の低下を抑制するための第１の構造体３１０の配置例としては、例えば、以下の配置例が挙げられる。
単位検出領域２０ｒ内に３個の第１の構造体３１０を配置する配置例：図２３Ｂに示した配置例
単位検出領域２０ｒ内に４個の第１の構造体３１０を配置する配置例：図２４Ａ、図２４Ｂ、図２５Ａに示した配置例
但し、図２３Ｂ、図２５Ａに示した配置例では、動的描画特性の低下を抑制できるものの、わずかに沈みが発生する領域がある。図３６Ａ、図３６Ｂは、図２３Ｂ、図２５Ａに示した配置例でわずかに沈みが発生する領域Ｒを示している。したがって、動的描画特性向上の観点からすると、第１の構造体３１０の配置例としては、図２４Ｂに示した配置例が好ましく、図２４Ａに示した配置例がより好ましい。

［効果］
本実施形態に係る入力装置１００は、上述のように金属膜１２および導体層５０各々と検出部２０ｓとの間の双方の容量結合に基づく静電容量の変化量を検出であるため、指ｆのような大きな接触面積の操作子であっても、十分な静電容量の変化を生じさせることができる。また、操作が行われたか否かの判定においては、例えば静電容量の変化が生じた検出部２０ｓ_i、２０ｓ_i+1、２０ｓ_i+2全ての静電容量の変化量を合計した値を用いることで、たとえ操作圧力が小さい場合であっても、第１の面１１０全体の押圧力に基づいて精度よく接触を判定することができる。さらに、第１の面１１０内の操作圧力分布に基づいて静電容量が変化するため、これらの変化量の比率などに基づいて、ユーザの直感に即した操作位置を算出することができる。

さらに、一般的な静電容量センサの場合には、操作子とＸ、Ｙ電極との容量結合を利用して操作位置などを検出する。すなわち、操作子とＸ、Ｙ電極との間に導電体が配置される場合には、当該導電体とＸ、Ｙ電極との容量結合により、入力操作の検出が難しかった。また、操作子とＸ、Ｙ電極との間の厚みが大きい構成では、これらの間の容量結合量が小さくなり、検出感度が減少するという問題もあった。これらの事情から、ディスプレイの表示面上にセンサ装置を配置する必要があり、ディスプレイの表示品質の劣化が問題となっていた。

そこで、本実施形態に係る入力装置１００（センサ装置１）は、金属膜１２、導体層５０各々とＸ、Ｙ電極２１０、２２０との容量結合を利用するため、操作子とセンサ装置との間に導電体が配置されていた場合であっても検出感度に対する影響はない。また、操作子の押圧力により金属膜１２が変形可能であればよく、操作子とＸ、Ｙ電極との間の厚みの制限も少ない。したがってフレキシブルディスプレイ１１の裏面にセンサ装置１を配置した場合であっても、操作位置および押圧力を精度よく検出することができ、フレキシブルディスプレイ１１の表示特性の劣化を抑制することができる。

さらに、操作子とＸ、Ｙ電極との間に存在する絶縁体（誘電体）の厚みの制限も少ないことから、例えばユーザが絶縁体である手袋などを装着して操作した場合であっても、検出感度が低下することがない。したがって、ユーザの利便性の向上に寄与することができる。

［変形例］
（変形例１）
上述の第１の実施形態では、第１および第２の電極線２１０、２２０を直線状の複数の電極群２１ｗ、２２ｗで構成する例について説明したが（図１０Ｂ参照）、第１および第２の電極線２１０、２２０の構成はこの例に限定されるものではない。

図３７Ａは、第１の電極線２１０の変形例を示す平面図である。第１の電極線２１０は、複数の単位電極体２１０ｍと、複数の単位電極体２１０ｍ同士を連結する複数の連結部２１０ｎとを備える。単位電極体２１０ｍは、複数のサブ電極（電極要素）の群からなる電極群により構成され、それらのサブ電極は規則的または不規則的なパターンを有している。図３７Ａに示す例では、単位電極体２１０ｍは、中心部から放射状に伸びる複数本の直線的な電極パターンの集合体で構成される。連結部２１０ｎは、Ｙ軸方向に延在されており、隣り合う単位電極体２１０ｍ同士を連結する。

図３７Ｂは、第２の電極線２２０の変形例を示す平面図である。第２の電極線２２０は、複数の単位電極体２２０ｍと、複数の単位電極体２２０ｍ同士を連結する複数の連結部２２０ｎとを備える。単位電極体２２０ｍは、複数のサブ電極（電極要素）の群からなる電極群により構成され、それらのサブ電極は規則的または不規則的なパターンを有している。図３７Ｂに示す例では、単位電極体２２０ｍは、中心部から放射状に伸びる複数本の直線的な電極パターンの集合体で構成される。連結部２２０ｎは、Ｘ軸方向に延在されており、隣り合う単位電極体２２０ｍ同士を連結する。

Ｚ軸方向から見て、単位電極体２１０ｍと単位電極体２２０ｍとが重なるように、第１および第２の電極線２１０、２２０は交差して配置される。

図３８（Ａ）〜図３８（Ｐ）は、単位電極体２１０ｍ、２２０ｍの形状例を示す模式図である。なお、図３８（Ａ）〜図３８（Ｐ）は、第１および第２の電極線２１０、２２０の交差部における形状を示しており、それ以外の部分の形状は特に限定されるものではなく、例えば直線状としてもよい。また、第１および第２の電極線２１０、２２０の単位電極体２１０ｍ、２２０ｍの形状の組み合わせは、図１０（Ｂ）または図３８（Ａ）〜図３８（Ｐ）のうち同一種の２組でもよいし、異種の２組でもよい。

図３８（Ａ）は、図３７Ａ、図３７Ｂの単位電極体２１０ｍ、２２０ｍに相当する。図３８（Ｂ）は、図３８（Ａ）の例に示した放射状の線電極のうちの一本が他の線電極よりも太く形成される例を示す。これにより、太い線電極上の静電容量変化量を他の線電極上よりも高めることができる。さらに図３８（Ｃ）、図３８（Ｄ）は、略中心に環状の線状電極が配置され、そこから放射状に線電極が形成されている例を示す。これにより、中心部における線状電極の集中を抑制し、感度低下領域の発生を防止することができる。

図３８（Ｅ）〜図３８（Ｈ）は、いずれも環状または矩形環状に形成された複数の線状電極を組み合わせて集合体を形成した例を示す。これにより、電極の密度を調整することが可能となり、かつ、感度低下領域の形成を抑制することが可能となる。また、図３８（Ｉ）〜図３８（Ｌ）は、いずれもＸ軸方向またはＹ軸方向に配列した複数の線状電極を組み合わせて集合体を形成した例を示す。当該線状電極の形状、長さおよびピッチなどを調整することで、所望の電極密度とすることが可能となる。さらに図３８（Ｍ）〜図３８（Ｐ）は、線電極がＸ軸方向またはＹ軸方向に非対称に配置された例である。

（変形例２）
第１の実施形態における第１および第２の構造体３１０、４１０の互いの層間の配置位置（金属膜１２と電極基板２０との間の配置位置、および導体層５０と電極基板２０との間の配置位置）を入れ替えてもよい。以下に、このような入れ替えをした構成を有する入力装置１００について説明をする。

図５５Ａは、本技術の第１の実施形態に係る入力装置１００の変形例を示す概略断面図である。第１の構造体３１０ａは、第１の実施形態における第２の構造体４１０を金属膜１２と電極基板２０との間に設けたものであり、それ以外の点（すなわち面内方向の配置位置、構成、材料および形成方法などの点）では、第１の実施形態における第２の構造体４１０と同様である。第２の構造体４１０ａは、第１の実施形態における第１の構造体３１０を導体層５０と電極基板２０との間に設けたものであり、それ以外の点（すなわち面内方向の配置位置、構成、材料および形成方法などの点）では、第１の実施形態における第１の構造体３１０と同様である。このような構成を有する入力装置１００では、検出部２０ｓまたは単位検出領域２０ｒは、第２の構造体４１０ａ、または第２の構造体４１０が構成するグループとＺ軸方向に対向して配置されていてもよい。また、単位検出領域２０ｒには２個以上の第２の構造体４１０ａが配置されている。

図５５Ｂは、第１の面１１０が指ｆによる操作を受けたときの入力装置１００の態様を示す模式的な要部断面図である。図５５Ｂでは、操作位置の直下の操作部材１０（金属膜１２）が最も力を受け、その直下部分およびその近傍の操作部材１０（金属膜１２）が電極基板２０に向けて変形し、電極基板２０に対して近接または接触する。また、その操作部材１０の変形により、第１の構造体３１０ａ_i、３１０ａ_i+1を介して電極基板２０のうち単位検出領域２０ｒ_i、２０ｒ_i+1間および単位検出領域２０ｒ_i+1、２０ｒ_i+2間に対応する部分に力が加わり、その部分が導体層５０に向けて変形し、導体層５０に対して近接する。

（変形例３）
第１の実施形態では、入力装置１００が平板状を有する場合を例として説明したが、入力装置１００の形状はこれに限定されるものではない。例えば、入力装置１００が、筒状、曲面状、帯状、不定形状などを有していてもよい。曲面状としては、例えば、円弧状、楕円弧状、放物線状などの断面を有する曲面が挙げられる。また、入力装置１００の全体は、剛性を有していてもよいし、フレキシブル性を有していてもよい。入力装置１００の全体がフレキシブル性を有する場合、入力装置１００がウエアラブルな装置であってもよい。

図６０Ａは、円筒状を有する入力装置１００の形状例を示す斜視図である。図６０Ｂは、図６０ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。なお、図６０Ｂでは、入力装置１００の層構成の理解を容易にするために、入力装置１００の厚さを図６０Ａに比して厚くして示している。入力装置１００の外周面側にフレキシブルディスプレイ１１が設けられ、内周面側に導体層５０が設けられている。したがって、入力装置１００の外周面側が入力操作面および表示面として機能する。入力装置１００を円柱状などの支持体１００ｊまたは手首などの人体に勘合して使用するようにしてもよい。また、帯状の入力装置１００を円柱状などの支持体１００ｊまたは手首などの人体に巻き付けて使用するようにしてもよい。

図６１Ａは、曲面状を有する入力装置１００の形状例を示す斜視図である。図６１Ｂは、図６１ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。なお、図６１Ｂでは、入力装置１００の層構成の理解を容易にするために、入力装置１００の厚さを図６１Ａに比して厚くして示している。図６１Ｂでは、凸状の曲面側にフレキシブルディスプレイ１１を設け、凹状の曲面側に導体層５０を設けることで、凸状の曲面側が入力操作面および表示面として機能する例が示されている。なお、この例とは反対に、凹状の曲面側にフレキシブルディスプレイ１１を設け、凸状の曲面側に導体層５０を設けることで、凹状の曲面側が入力操作面および表示面として機能するようにしてもよい。入力装置１００を凸状の曲面を有する支持体１００ｋまたは手首などの人体に勘合して使用するようにしてもよい。また、帯状の入力装置１００を凸状の曲面を有する支持体１００ｋまたは手首などの人体に倣うように載せて使用するようにしてもよい。

［電子機器］
図３９Ａ、図３９Ｂは、本実施形態に係る入力装置１００の電子機器７０への実装例を示す図である。図３９Ａに係る電子機器７０ａは、入力装置１００が配置される開口部７２１ａを含む筐体７２０ａを有する。また、開口部７２１ａには支持部７２２ａが形成され、粘着テープなどの接合部７２３ａを介して導体層５０の周縁部を支持する。また、導体層５０と支持部７２２ａとの接合方法は上記に限定されず、例えばネジなどで固定してもよい。

また、本実施形態に係る入力装置１００は、周縁に沿って第１および第２の枠体３２０、４２０が形成されているため、実装時にも安定した強度を維持することができる。

図３９Ｂに係る電子機器７０ｂも、電子機器７０ａと略同一の構成を有し、開口部７２１ａおよび支持部７２２ａを含む筐体７２０ｂを有する。異なる点としては、導体層５０の裏面を支持する少なくとも１つの補助支持部７２４ｂを有する点である。補助支持部７２４ｂは、導体層５０と粘着テープなどで接合してもよいし、接合しなくてもよい。上記構成により、より安定的に入力装置１００を支持することができる。

＜２．第２の実施形態＞
図６２Ａは、本技術の第２の実施形態に係る入力装置１００の構成の一例を示す断面図である。図６２Ｂは、図６２Ａの一部を拡大して表す断面図である。第２の実施形態は、電極基板２０が配線基板２０ｇを含む点において、第１の実施形態とは異なっている。配線基板２０ｇは、基材２１１ｇと、この基材２１１ｇの同一の主面に設けられた複数の第１の電極線（Ｙ電極）２１０ｓおよび複数の第２の電極線（Ｘ電極）２２０ｓとを備えている。

ここで、図６３Ａ、図６３Ｂを参照して、第１の電極線２１０ｓおよび第２の電極線２２０ｓの構成の一例について説明する。図６３Ａに示すように、第１の電極線２１０ｓは、電極線部２１０ｐと、複数の単位電極体２１０ｍと、複数の接続部２１０ｚとを備える。電極線部２１０ｐは、Ｙ軸方向に延在されている。複数の単位電極体２１０ｍは、Ｙ軸方向に一定の間隔で配置されている。電極線部２１０ｐと単位電極体２１０ｍとは所定間隔離して配置されており、両者の間は接続部２１０ｚにより接続されている。なお、接続部２１０ｚを省略して、電極線部２１０ｐに単位電極体２１０ｍが直接設けられた構成を採用するようにしてもよい。

単位電極体２１０ｍは、全体として櫛歯状を有している。具体的には、単位電極体２１０ｍは、複数のサブ電極２１０ｗと、結合部２１０ｖとを備える。複数のサブ電極２１０ｗは、Ｙ軸方向に延在されている。隣り合うサブ電極２１０ｗの間は、所定の間隔離されている。複数のサブ電極２１０ｗの一端は、Ｘ軸方向に延在された結合部２１０ｖに接続されている。

図６３Ｂに示すように、第２の電極線２２０ｓは、電極線部２２０ｐと、複数の単位電極体２２０ｍと、複数の接続部２２０ｚとを備える。電極線部２２０ｐは、Ｘ軸方向に延在されている。複数の単位電極体２２０ｍは、Ｘ軸方向に一定の間隔で配置されている。電極線部２２０ｐと単位電極体２２０ｍとは所定間隔離して配置されており、両者の間は接続部２２０ｚにより接続されている。

単位電極体２２０ｍは、全体として櫛歯状を有している。具体的には、単位電極体２２０ｍは、複数のサブ電極２２０ｗと、結合部２２０ｖとを備える。複数のサブ電極２２０ｗは、Ｙ軸方向に延在されている。隣り合うサブ電極２２０ｗの間は、所定の間隔離されている。複数のサブ電極２２０ｗの一端は、Ｘ軸方向に延在された結合部２２０ｖに接続されている。

図６４Ａに示すように、櫛歯状の単位電極体２１０ｍ、２２０ｍとは、それらの櫛歯部分に相当するサブ電極２１０ｗ、２２０ｗをかみ合わせるようにして、対向配置されている。単位電極体２１０ｍの複数のサブ電極２１０ｗと、単位電極体２２０ｍの複数のサブ電極２２０ｗとは、Ｘ軸方向に向かって交互に配列されている。サブ電極２１０ｗ、２２０ｗの間は、所定の間隔離されている。

図６４Ｂに示すように、第２の電極線２２０ｓの電極線部２２０ｐ上には絶縁層２１０ｒが設けられている。そして、この絶縁層２１０ｒを跨ぐようにしてジャンパ配線２１０ｑが設けられている。このジャンパ配線２１０ｑにより電極線部２１０ｐが連結されている。

＜３．第３の実施形態＞
［３．１ 入力装置の構成］
本技術の第３の実施形態に係る入力装置１００では、第１の電極線２１０および第２の電極線２２０のうちの一方の単位電極体がサブ電極により構成されるのに対して、他方の単位電極体が平板状の電極により構成される。第３の実施形態は、これ以外の点においては第１の実施形態の変形例１と同様である。

（第１の構成例）
図６５Ａに示すように、第１の電極線２１０の単位電極体２１０ｍは、複数のサブ電極２１０ｗにより構成されている。一方、図６５Ｂに示すように、第２の電極線２２０の単位電極体２２０ｍは、平板状の電極により構成されている。

第１および第２の電極線２１０、２２０の構成として第１の構成例を採用する場合、図６７Ａに示すように、第２の支持体４０を介して第２の電極線２２０と対向する導体層５０（図１参照）を省略する、もしくは導体層５０に代えて、高分子樹脂層５０ａを採用するようにしてもよい。このように導体層５０を省略することができるのは、第２の電極線２２０に含まれる平板状の電極（単位電極体２２０ｍ）が外部ノイズ（外部電場）のシールド効果を有するためである。また逆に、導体層５０と複合して使用することで、強固なシールド効果を与えることもでき、外部ノイズに対して安定な検出部２０ｓとすることもできる。

（第２の構成例）
図６６Ａに示すように、第１の電極線２１０の単位電極体２１０ｍは、平板状の電極により構成されている。一方、図６６Ｂに示すように、第２の電極線２２０の単位電極体２２０ｍは、複数のサブ電極２２０ｗにより構成されている。

第１および第２の電極線２１０、２２０の構成として第２の構成例を採用する場合、図６７Ｂに示すように、第１の支持体３０を介して第１の電極線２１０と対向する金属膜１２（図１参照）を省略するようにしてもよい。このように金属膜１２を省略することができるのは、第１の電極線２１０に含まれる平板状の電極（単位電極体２１０ｍ）が外部ノイズ（外部電場）のシールド効果を有するためである。また逆に、金属膜１２と複合して使用することで、強固なシールド効果を与えることもでき、外部ノイズに対して安定な検出部２０ｓとすることもできる。

なお、第１、第２の電極線２１０、２２０の構成はこれに限定されるものではなく、第１の電極線２１０の単位電極体２１０ｍ、および第２の電極線２２０の単位電極体４２ｍの両方を平板状の電極により構成するようにしてもよい。

［３．２ 変形例］
上述の第１の実施形態において、第１の電極線２１０および第２の電極線２２０のうちの一方が複数のサブ電極により構成されるのに対して、他方が１つの平板状の電極により構成されるようにしてもよい。

（第１の構成例）
図６８Ａに示すように、第１の電極線２１０は、複数のサブ電極４２ｗにより構成されているのに対して、第２の電極線２２０は、平板状の電極により構成されている。第１および第２の電極線２１０、２２０の構成としてこのような構成を採用する場合、第３の実施形態の第１の構成例と同様に、第２の支持体４０を介して第２の電極線２２０と対向する導体層５０（図１参照）を省略する、もしくは導体層５０に代えて、高分子樹脂層５０ａを採用するようにしてもよい。

（第２の構成例）
図６８Ｂに示すように、第１の電極線２１０は、平板状の電極により構成されているのに対して、第２の電極線２２０は、複数のサブ電極２２０ｗにより構成されている。第１および第２の電極線２１０、２２０の構成としてこのような構成を採用する場合、第３の実施形態の第２の構成例と同様に、第１の支持体３０を介して第１の電極線２１０と対向する金属膜１１２（図１参照）を省略するようにしてもよい。

なお、第１および第２の電極線２１０、２２０の構成はこれに限定されるものではなく、第１および第２の電極線２１０、２２０の両方を平板状の１つの電極により構成するようにしてもよい。

＜４ 第４の実施形態＞
図４０は本技術の第４の実施形態に係る入力装置１００Ａの一構成例を示す概略断面図である。本実施形態に係る入力装置１００Ａの操作部材１０Ａ以外の構成は、第１の実施形態と同様であり、適宜その説明を省略する。図４０は第１の実施形態に係る図１に対応する図である。

（全体構成）
本実施形態に係る入力装置１００Ａは、フレキシブルディスプレイに替えてフレキシブルシート１１Ａと、第１の実施形態と同様のセンサ装置１を有する。フレキシブルシート１１Ａには、後述するように複数のキー領域１１１Ａが配置されており、入力装置１００Ａは、全体としてキーボード装置として用いられる。

（入力装置）
フレキシブルシート１１Ａは、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＩ（ポリイミド）などのフレキシブル性を有する絶縁性のプラスチックシートで構成される。フレキシブルシート１１Ａの厚みは特に限定されず、例えば０．１ｍｍ〜１ｍｍである。

なお、フレキシブルシート１１Ａは単層構造に限定されず、２層以上のシートが積層された構成でもよい。この場合には、上記プラスチックシートに加え、例えば基材としてＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＭＭＡ、ＰＣ、ＰＩなどのフレキシブル性を有する絶縁性のプラスチックシートが積層されていてもよい。

フレキシブルシート１１Ａは、操作面としての第１の面１１０Ａと、第１の面１１０Ａの裏面の第２の面１２０Ａとを有する。第１の面１１０Ａには、複数のキー領域１１１Ａが配列されている。一方で、第２の面１２０Ａには金属膜１２が積層されていてもよい。

フレキシブルシート１１Ａおよび金属膜１２は、樹脂シートの表面にあらかじめ金属箔が貼り付けられた複合シートなどで構成されてもよいし、第２の面１２０Ａ面に形成された蒸着膜やスパッタ膜などで構成されてもよい。あるいは第２の面１２０Ａに印刷された導電ペーストなどの塗膜であってもよい。

各キー領域１１１Ａは、ユーザによって押圧操作されるキートップに相当し、キーの種類に応じた形状、大きさを有する。各キー領域１１１Ａには、適宜のキー表示が施されていてもよく、当該キー表示は、キーの種類を表示するものであってもよいし、個々のキーの位置（輪郭）を表示するものであってもよいし、これら両方を表示するものであってもよい。表示には、適宜の印刷手法、例えば、スクリーン印刷やフレキソ印刷、グラビア印刷などが採用可能である。

第１の面１１０Ａは、キー領域１１１Ａの周囲に溝部１１２Ａが形成された形態を有する。キー領域１１１Ａに相当する凹凸面の形成には、プレス成形やエッチング、レーザ加工などの適宜の加工技術が採用可能である。あるいは、射出成形などの成形技術によって凹凸面を有するフレキシブルシート１１Ａが形成されてもよい。

また、フレキシブルシート１１Ａの構成は上述の例に限られない。例えば、図４１Ａ、図４１Ｂは、フレキシブルシート１１Ａの変形例を模式的に示す図である。図４１Ａに示すフレキシブルシート１１Ａａは、第１の面１１０Ａが平坦面で構成される例を示す。この場合は、不図示の各キー領域は印刷などにより記載してもよいし、キー領域を有さず、タッチセンサとして用いてもよい。また、図４１Ｂに示すフレキシブルシート１１Ａｂでは、フレキシブルシート１１Ａをプレス成形することなどによって形成され、各キー領域１１１Ａｂが独立して上下方向（シート厚み方向）へ変形可能に構成される。

さらにフレキシブルシート１１Ａは、金属などの導電性を有する材料で構成されてもよい。これにより、金属膜１２が不要となり、操作部材１０Ａを薄型化することができる。この場合、フレキシブルシート１１Ａは、金属膜１２としての機能をも有し、例えばグランド電位に接続される。

第１の電極線２１０は、図１０Ｂのように、複数の第１の電極要素２１ｚの群からなる電極群２１ｗにより構成されていてもよい。第１の電極要素２１ｚは、例えばＹ軸方向に延在された線状の導電部材（サブ電極）である。第２の電極線２２０は、図１０Ｂのように、複数の第２の電極要素２２ｚの群からなる電極群２２ｗにより構成されていてもよい。第２の電極要素２２ｚは、例えばＸ軸方向に延在された線状の導電部材（サブ電極）である。フレキシブルシート１１Ａに金属膜１２がない場合は、複数の第１の電極線２１０は、単一の電極要素により構成されていてもよい（すなわち複数の第１の電極要素２１ｚの群で構成されていいない太い１本の電極であってもよい）。フレキシブルシート１１Ａの外（外界）からの電気的なノイズを遮蔽するためである。

本実施形態において、ユーザがキー入力操作を行う際には、キー領域１１１Ａの中央部を押圧する。そこで、第１および第２の構造体３１０、４１０と検出部２０ｓとを、以下のように配置することができる。

（配置例）
例えば図４０に示すように、第２の支持体４０の第２の構造体４１０が、溝部１１２Ａの下方に配置されてもよい。この場合に検出部２０ｓは、Ｚ軸方向から見て第１の構造体３１０と重複した位置に配置され、第１の構造体３１０は、単位検出領域２０ｒ内に２個以上配置される。第２の構造体４１０は、単位検出領域２０ｒの間に配置される。

配置例１では、図１２で説明したように、キー入力操作時に第１の構造体３１０上の位置が押圧され、操作位置下の複数の第１の構造体３１０が下方へと変位し、電極基板２０を撓ませることで、第２の構造体４１０もわずかに弾性変形する。これにより、金属膜１２および導体層５０の各々と検出部２０ｓとが近接し、検出部２０ｓの静電容量変化を得ることができる。

また、第２の構造体４１０の形状は、図２２Ａ、図２２Ｂで示したような円柱体などに限定されず、例えば溝部１１２Ａに沿って壁状に配置されていてもよい。この場合に各第２の構造体４１０は、複数のキー領域１１１Ａ間の境界に沿って配置されることとなる。

なお、検出部２０ｓの配置は上記に限定されず、例えば第２の構造体４１０と重複して配置されていてもよい。

図６９Ａは、第１の電極線（Ｙ電極）２１０の配置例を示す平面図である。第１の電極線２１０は、複数の単位電極体２１０ｍと、複数の単位電極体２１０ｍ同士を連結する複数の連結部２１０ｎとを備える。単位電極体２１０ｍは、複数のサブ電極（電極要素）２１０ｗの群からなる電極群により構成されている。複数のサブ電極２１０ｗは、キーレイアウトに対応した規則的または不規則的なパターンを有している。図６９Ａでは、複数のサブ電極２１０ｗが、キーレイアウトに対応した不規則的なパターンを有している例が示されている。この例では、具体的には、複数のサブ電極２１０ｗは、Ｙ軸方向に延在された線状の導電部材であり、それらの導電部材が、ストライプ状に配列されている。

図６９Ｂは、第２の電極線（Ｘ電極）２２０の配置例を示す平面図である。第２の電極線（Ｘ電極）２２０は、Ｘ軸方向に延在された、ほぼ一定の幅を有する細長い矩形状電極である。その矩形状電極は、複数のサブ電極（電極要素）２２０ｗの群からなる電極群により構成されている。サブ電極２２０ｗは、例えばＸ軸方向に延在された線状の導電部材である。

なお、図６９Ｂに示すように、複数の第２の電極線（Ｘ電極）２２０のうち一部が、複数の単位電極体２２０ｍと、複数の単位電極体２２０ｍ同士を連結する複数の連結部２２０ｎとを備えるものであってもよい。

ここでは、第１の電極線（Ｙ電極）２１０が金属膜１２の側（上側）に設けられ、第２の電極線（Ｘ電極）２２０が導体層５０の側（下側）に設けられる例について説明したが、第２の電極線２２０が金属膜１２の側（上側）に設けられ、第１の電極線２１０が導体層５０の側に設けられていてもよい。

図７０Ａは、第１の構造体３１０の配置例を示す平面図である。図７０Ｂは、第２の構造体４１０の配置例を示す平面図である。複数の第１および第２の構造体３１０、４１０は、キーレイアウトに対応した所定パターンで２次元配列されている。第１の構造体３１０は、配置位置に応じて大きさや形状などが異なっていてもよい。第２の構造体４１０も同様に、配置位置に応じて大きさや形状などが異なっていてもよい。

図７１は、第１および第２の電極線２１０、２２０と第１および第２の構造体３１０、４１０との配置関係を示す平面図である。第１の電極線（Ｙ電極）２１０の複数の単位電極体２１０ｍが、Ｚ軸方向から見て、矩形状の第２の電極線（Ｘ電極）２２０に重なるように設けられている。

以下、図７２を参照して、第１および第２の構造体３１０、４１０の配置例について詳しく説明する。キーボード装置の場合には、スタイラスなどの操作子による描画とは異なり、キー領域１１１Ａを押したときの金属膜１２および電極基板２０の変形が、隣接するキー領域１１１Ａに伝播しないことが好ましい。

Ｘ軸方向（左右方向）におけるキー領域１１１Ａ間の部分（すなわち溝部１１２Ａ）では、第１および第２の構造体ｓ４、ｕ１０、第１および第２の構造体ｓ８、ｕ９がそれぞれ、Ｚ軸方向から見て重なるように設けられていることが好ましい。第１および第２の構造体ｓ４、ｕ１０、第１および第２の構造体ｓ８、ｕ９が重なる箇所では感度が下がり、Ｘ軸方向（左右方向）における変形の伝播が低下するからである。

Ｙ軸方向（上限方向）におけるキー領域１１１Ａ間の部分でも、Ｚ軸方向から見て、第１の構造体が第２の構造体ｓ２、ｓ６上に重なるように設けられていてもよい。この場合、Ｙ軸方向（上限方向）における変形の伝播も低下する。

Ｘ軸方向とＹ軸方向との間の方向（斜め方向）のキー領域１１１Ａ間の部分でも、Ｚ軸方向から見て、第１の構造体が第２の構造体ｓ１、ｓ３、ｓ５、ｓ７上に重なるように設けられていてもよい。この場合、Ｘ軸方向とＹ軸方向との間の方向（斜め方向）における変形の伝播も低下する。

単位検出領域２０ｒ内に複数の第１の構造体ｕ５〜ｕ８が設けられていることが好ましい。これにより、電極基板２０のうち単位検出領域２０ｒに対応する部分を複数の第１の構造体ｕ５〜ｕ８により変形させるため、キー領域１１１Ａを押圧したときの感度が向上する。したがって、キー領域１１１Ａを指で押圧した場合と爪で押圧した場合との感度差が小さくなる。

サブ電極２１０ｗ、２２０ｗの交点が、単位検出領域２０ｒの中央部付近に集まり、かつ、第１の構造体ｕ５〜ｕ８で規定される領域の内側に存在していることが好ましい。荷重感度を向上できるからである。

キーボード装置の場合には、キー領域１１１Ａの中央を押圧した場合と、キー領域１１１Ａの端部を押圧した場合との感度差が小さいことが好ましい。単位検出領域２０ｒの周辺部に第１の構造体ｕ１〜ｕ４、ｕ９、ｕ１０および第２の構造体ｓ１〜ｓ８が配置されていると、単位検出領域２０ｒの中央部の変形量が大きく、感度が高くなる傾向がある。この場合、単位検出領域２０ｒの中央部に第２の構造体ｓ９を配置することとで、単位検出領域２０ｒの中央部の感度を相対的に減少させ、キー領域１１１Ａの中央とキー領域１１１Ａの端部との感度差を小さくすることが好ましい。さらに、キー領域１１１Ａの端部でも十分な感度が得られるように、サブ電極２１０ｗ、２２０ｗの交点が、キー領域１１１Ａの外側まで存在していることが好ましい。

単位検出領域２０ｒの周辺部に設けられる第１の構造体ｕ１〜ｕ４、ｕ９、ｕ１０および第２の構造体ｓ１〜ｓ８は、単位検出領域２０ｒの中央部に設けられる第１の構造体ｕ４〜ｕ７および第２の構造体ｓ９に比べて大きいことが好ましい。金属膜１２と電極基板２０との間、および導体層５０と電極基板２０との間の接着力を向上できるからである。

各キー領域１１１Ａ（単位検出領域２０ｒ）は隔離されずに、各キー領域１１１Ａ間を抵抗なく空気が十分に移動できることが好ましい。各キー領域１１１Ａにおいて入力装置１００Ａの内圧が上昇し、感度の低下や、戻り遅延の発生などを抑制できるからである。

制御部６０は、上述のように演算部６１と、信号生成部６２とを有し、電極基板２０に電気的に接続される。また、本実施形態において、制御部６０は、複数の検出部２０ｓの静電容量の変化に基づいて、複数のキー領域１１１Ａ各々に対する入力操作に応じた信号を生成することが可能に構成される。より具体的には、制御部６０は、複数の検出部２０ｓの出力に基づいて複数のキー領域１１１Ａ各々に対する入力操作に関する情報を生成することが可能に構成される。すなわち、演算部６１は、電極基板２０の第１および第２の電極線２１０、２２０各々から出力される電気的な信号（入力信号）に基づいて第１の面１１０上のＸＹ座標系における操作位置を算出し、当該操作位置に割り当てられたキー領域１１１Ａを決定する。信号生成部６２は、その押圧が検出されたキー領域１１１Ａに対応する操作信号を生成する。

入力装置１００Ａは、ノート型のパーソナルコンピュータや、携帯電話などの電子機器に組み込まれることで、上述のようにキーボード装置として適用することができる。また、入力装置１００Ａは、不図示の通信部を有することで、有線または無線によりパーソナルコンピュータなどの他の電子機器と電気的に接続され、当該電子機器を制御するための入力操作が可能に構成されてもよい。

さらに入力装置１００Ａは、第１の実施形態で説明したように、ポインティングデバイスとしても用いることができる。すなわち、各検出部２０ｓの出力に対し２以上の閾値が設定され、演算部６１がタッチ操作とプッシュ操作とを判定することにより、ポインティングデバイスとキーボードとを兼ねた入力装置とすることが可能である。

＜５ 第５の実施形態＞
図４２は、本技術の第５の実施形態に係る入力装置１００Ｂが組み込まれた電子機器７０Ｂの一構成例を示す概略断面図である。本実施形態に係る入力装置１００Ｂの操作部材１０Ｂ以外の構成は、第１の実施形態と同様であり、適宜その説明を省略する。

本実施形態に係る入力装置１００Ｂは、電子機器７０Ｂの筐体７２０Ｂの一部が操作部材１０Ｂの一部を構成する。すなわち、入力装置１００Ｂは、筐体７２０Ｂの一部を構成する操作領域７１１Ｂと、第１の実施形態と同様のセンサ装置１とを有する。電子機器７０Ｂとしては、例えばタッチセンサを搭載したパーソナルコンピュータなどが適用可能である。

操作部材１０Ｂは、第１の面１１０Ｂと第２の面１２０Ｂとを含み変形可能な操作領域７１１Ｂと、金属膜１２との積層構造を有する。すなわち、第１の面１１０Ｂは筐体７２０Ｂの一表面であり、第２の面１２０Ｂは当該一表面の裏面（内面）である。

操作領域７１１Ｂは、例えば筐体７２０Ｂの他の領域と同一の材料、例えばアルミニウム合金やマグネシウム合金などの導体材料やプラスチック材料で構成されてもよく、この場合は、ユーザのタッチ操作またはプッシュ操作時に変形可能な厚みで構成される。あるいは操作領域７１１Ｂは、筐体７２０Ｂの他の領域と異なる材料で構成されてもよく、この場合は、当該他の領域よりも剛性の小さい材料を採用することが可能である。

また、第２の面１２０Ｂには、粘着性の樹脂膜などの接着層１３に形成された金属箔などの金属膜１２が形成される。なお、操作領域７１１Ｂが導体材料で構成される場合には、金属膜１２が不要となり、操作部材１０Ｂを薄型化することができる。この場合、操作領域７１１Ｂは、金属膜１２としての機能をも有し、例えばグランド電位に接続される。

以上のように、本実施形態に係る入力装置１００Ｂは、導体材料などの筐体７２０Ｂの一部を利用して構成することが可能である。これは、上述のように、入力装置１００Ｂが操作子とＸ、Ｙ電極との容量結合を利用して入力操作を検出するものではなく、操作子により押圧された金属膜１２とそれに対向する導体層５０各々と、検出部２０ｓとの容量結合を利用するものであることによる。したがって入力装置１００Ｂによれば、電子機器７０Ｂの部品点数を低減し、より生産性を高めることが可能である。

また、本実施形態に係る入力装置１００Ｂは、上述の第１の実施形態と同様のセンサ装置１を有することから、微小な押圧力であっても操作位置および押圧力を精度よく検出することができる。したがって本実施形態によれば、操作領域７１１Ｂの材料についての制限も少なく、検出感度の高い入力装置１００Ｂを提供することができる。

以下、試験例により本技術を具体的に説明するが、本技術はこれらの試験例のみに限定されるものではない。

以下のシミュレーションは、応力解析及び静電解解析を有限要素法を用いて行った。具体的なプログラムとしては、ムラタソフトウエア社製、商品名：ＦＥＭＴＥＴを用いた。

表１は、検出部のシミュレーション条件を示す表である。以下の各シミュレーションでは、表１に示すように、検出部の構成を設定した。なお、表１中のメッシュ（電極要素）幅Ｗ_x、Ｗ_y、メッシュ（電極要素）間隔ｄ_x、ｄ_y、および電極幅Ｅ_x、Ｅ_yは、図１０Ａ、図１０Ｂに示した通りである。メッシュ間隔ｄ_x、ｄ_yは、メッシュを構成する電極要素の中心間隔である。

表２は、入力装置のシミュレーション条件を示す表である。以下の各シミュレーションでは、表２に示すように、入力装置の構成を設定した。

本技術の実施例について以下の順序で説明する。
１ 単位検出領域内に配置される第１の構造体の個数
２ 単位検出領域内に配置される第１の構造体の個数および配置
３ 第１および第２の構造体の配置関係
４ 第２の構造体の配置
５ 単位検出領域内における第１の構造体の配置位置

＜１ 単位検出領域内に配置される第１の構造体の個数＞
まず、単位検出領域内に４個の第１の構造体が配置された入力装置と、単位検出領域内に１個の第１の構造体が配置された入力装置との特性の違いを、シミュレーションにより検討した。

（試験例１−１）
図４３は、試験例１におけるシミュレーションの条件を示す概略図である。図４３に示すように、入力装置を構成する操作部材、第１の構造体、電極基板、第２の構造体、および導体層の各数値を設定した。電極基板に含まれる検出部の構成としては、表１に示した検出部１の構成を用いた。第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ａに示すように配置した。

上述の条件に設定した入力装置について、以下の（１）から（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４４Ａ〜図４４Ｃに示す。
（１）操作部材の表面のうち、単位検出領域の中心に対応する位置に加重を加えたときの操作部材および電極基板の変形位置（図４３：ＸＺ断面内の変形位置）
操作部材の表面のうち、単位検出領域の間に対応する位置に加重を加えたときの操作部材および電極基板の変形位置（図４３：ＸＺ断面内の変形位置）
（２）加重位置に対する検出部２０ｓ₁、２０ｓ₂、２０ｓ₃の容量変化率分布の変化
（３）操作部材の表面のうち、単位検出領域の中心に対応する位置に加重を加えたときの、容量変化率の荷重依存性

なお、容量変化率は、以下の式により算出した。
（容量変化率）［％］＝［（初期容量Ｃ₀）−（変化後容量Ｃ₁）］／（初期容量Ｃ₀）
上記式中、「初期容量Ｃ₀」および「変化後容量Ｃ₁」は、具体的には以下の内容を示す。
初期容量Ｃ₀：操作部材の表面に加重を加えていない状態における入力装置の静電容量
変化後容量Ｃ₁：操作部材の表面に加重を加えた後の入力装置の静電容量

（試験例１−２）
第１の構造体および第２の構造体を、図２６に示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（１）から（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４５Ａ〜図４５Ｃに示す。

（シミュレーションの結果）
図４４Ａ〜図４４Ｃは、試験例１−１のシミュレーションの結果を示す図である。図４５Ａ〜図４５Ｃは、試験例１−２のシミュレーションの結果を示す図である。図４４Ａ、図４５Ａ中、符号「Ｌ１１」は、単位検出領域の中心に加重を加えたときの操作部材の変形位置を示し、符号「Ｌ１２」は、単位検出領域間に加重を加えたときの操作部材の変形位置を示している。図４４Ａ、図４５Ａ中、符号「Ｌ２１」は、単位検出領域の中心に加重を加えたときの電極基板の変形位置を示し、符号「Ｌ２２」は、単位検出領域間に加重を加えたときの電極基板の変形位置を示している。

図４４Ａ、図４５Ａの比較から以下のことがわかる。
単位検出領域内に１個の第１の構造体が配置されている場合には、単位検出領域の中心に荷重が加わると、電極基板のうち単位検出領域の中心に対応する部分のみが局所的に下方に向かって変形する。一方、単位検出領域内に４個の第１の構造体が配置されている場合には、電極基板のうち、４個の第１の構造体により囲まれた領域が広範囲に下方に向かって変形する。
単位検出領域内に１個の第１の構造体が配置されている場合には、単位検出領域間に荷重が加わると、その荷重を加えた箇所の操作部材が局所的に大きく変形する。一方、単位検出領域内に４個の第１の構造体が配置されている場合には、単位検出領域間に荷重が加わっても、その荷重を加えた箇所の操作部材の大きな変形は抑制される。

図４４Ｂ、図４５Ｂの比較から以下のことがわかる。
単位検出領域内に１個の第１の構造体が配置されている場合には、容量変化率分布に２つのピークが発生する。したがって、単位検出領域の中心から荷重位置が遠ざかるに従って、容量変化率分布が単調に減少する理想的な容量変化率分布が得られない。
一方、単位検出領域内に４個の第１の構造体が配置されている場合には、容量変化率分布にピークが１つのみ発生する。したがって、単位検出領域の中心から荷重位置が遠ざかると、容量変化率分布が単調に減少する理想的な容量変化率分布が得られる。

図４４Ｃ、図４５Ｃの比較から以下のことがわかる。
単位検出領域内に４個の第１の構造体を配置した場合には、単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、容量変化率を向上することができる。また、単位検出領域内に４個の第１の構造体を配置した場合には、単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、入力装置の荷重感度を向上することができる。ここで、荷重感度とは、荷重「０ｇｆ」近傍での容量変化率分布の曲線の傾きを意味する。

＜２ 単位検出領域内に配置される第１の構造体の個数および配置＞
次に、単位検出領域内に配置される第１の構造体の個数および配置を種々変更して、それら特性の違いをシミュレーションにより検討した。

（試験例２−１）
第１の構造体および第２の構造体を、図２３Ａに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４６Ａ、図４６Ｂに示す。

（試験例２−２）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−１と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４６Ｃに示す。

（試験例２−３）
第１の構造体および第２の構造体を、図２３Ｂに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４７Ａ、図４７Ｂに示す。

（試験例２−４）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−３と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４７Ｃに示す。

（試験例２−５）
第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ａに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４８Ａ、図４８Ｂに示す。

（試験例２−６）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−５と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４８Ｃに示す。

（試験例２−７）
第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ｂに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４９Ａ、図４９Ｂに示す。

（試験例２−８）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−７と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図４９Ｃに示す。

（試験例２−９）
第１の構造体および第２の構造体を、図２５Ａに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５０Ａ、図５０Ｂに示す。

（試験例２−１０）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−９と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５０Ｃに示す。

（試験例２−１１）
第１の構造体および第２の構造体を、図２５Ｂに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５１Ａ、図５１Ｂに示す。

（試験例２−１２）
電極基板に含まれる検出部の構成として、表１に示した検出部２の構成を用いた。これ以外のことは試験例２−１１と同様にして、上述の（２）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５１Ｃに示す。

（シミュレーションの結果）
図４６Ａ〜図４６Ｃ、図４７Ａ〜図４７Ｃ、図４８Ａ〜図４８Ｃ、図４９Ａ〜図４９Ｃ、図５０Ａ〜図５０Ｃ、図５１Ａ〜図５１Ｃはそれぞれ、試験例２−１〜２−２、試験例２−３〜２−４、試験例２−５〜２−６、試験例２−７〜２−８、試験例２−９〜２−１０、試験例２−１１〜２−１２のシミュレーションの結果を示す図である。なお、図４７Ａ、図４８Ａ、図４９Ａ、図５０Ａおよび図５１Ａには、比較のために、試験例１−２のシミュレーションの結果（曲線Ｌ１）も示している。なお、上述したように、試験例１−２のシミュレーションは、単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した入力装置についてのものである。

図４６Ａ〜図４６Ｃ（試験例２−１、２−２）から、単位検出領域内に２個の第１の構造体を、図２３Ａに示すように対称配置した場合には、入力装置の特性として以下の特性が得られることがわかる。
容量変化率分布のピークは、単位検出領域の中心に１つとすることができる。すなわち、容量変化率分布に２つのピークが発生することを防ぐことができる。容量変化率分布の形状は、単位検出領域の中心位置を頂点とする略三角形状を有する。
単位検出領域の中心から荷重位置が遠ざかるに従って、容量変化率分布が単調に減少する理想的な容量変化率分布が得られる。
検出部の構成を検出部１から検出部２（密集型電極）に変えても、容量変化率分布は略同様な傾向を示す。但し、検出部の構成として検出部２を用いた場合の方が、検出部の構成として検出部１を用いた場合よりも、容量変化率分布のピーク値が高くなる。
したがって、容量変化率分布のピーク値が高くするためには、検出部の外周が単位領域の外周の内側にあり、かつ、単位検出領域に含まれる第１の構造体が、検出部の外周と単位領域の外周との間に配置されていることが好ましい。
単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、容量変化率を向上することができる。また、単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、入力装置の荷重感度を向上することができる。

図４７Ａ〜図４７Ｃ（試験例２−３、２−４）から、単位検出領域内に４個の第１の構造体を、図２３Ｂに示すように対称配置した場合には、入力装置の特性として以下の特性が得られることがわかる。
容量変化率分布の形状は、単位検出領域の中心を通る垂線に対して対称である、略台形状を有する。これ以外の特性は、試験例２−１、２−２（図４６Ａ〜図４６Ｃ）と略同様である。なお、容量変化率分布の形状が略台形状であっても、容量変化に基づいて座標計算を行うことは可能である。

図４８Ａ〜図４８Ｃ（試験例２−５、２−６）から、単位検出領域内に４個の第１の構造体を、図２４Ａに示すように対称配置した場合には、試験例２−１、２−２（図４６Ａ〜図４６Ｃ）と略同様の特性が得られることがわかる。

図４９Ａ〜図４９Ｃ（試験例２−７、２−８）から、単位検出領域内に４個の第１の構造体を、図２４Ｂに示すように対称配置した場合には、入力装置の特性として以下の特性が得られることがわかる。
単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、容量変化率を向上する効果は得られない。また、単位検出領域内に１個の第１の構造体を配置した場合に比して、入力装置の荷重感度を向上する効果も得られない。これ以外の特性は、試験例２−１、２−２（図４６Ａ〜図４６Ｃ）と略同様である。
上記特性を考慮すると、第１の構造体と第２の構造体とが入力装置の厚さ方向に重ならないように、両構造体を配置することが好ましいことがわかる。なお、この点については、後述する試験例において、より詳しく検討する。

図５０Ａ〜図５０Ｃ（試験例２−９、２−１０）から、単位検出領域内に４個の第１の構造体を、図２５Ａに示すように対称配置した場合には、試験例２−１、２−２（図４６Ａ〜図４６Ｃ）と略同様の特性が得られることがわかる。

図５１Ａ〜図５１Ｃ（試験例２−１１、２−１２）から、単位検出領域内に５個の第１の構造体を、図２５Ｂに示すように対称配置した場合には、試験例２−３、２−４（図４７Ａ〜図４７Ｃ）と略同様の特性が得られることがわかる。

＜３ 第１および第２の構造体の配置関係＞
第１および第２の構造体が厚さ方向に重なるように配置された入力装置と、第１および第２の構造体が厚さ方向に重ならないように配置された入力装置との特性の違いについて、シミュレーションにより検討した。

（試験例３−１）
第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ａに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５２に示す。

（試験例３−２）
試験例３−１と同様の条件に設定した入力装置について、以下の（４）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５２に示す。
（４）操作部材の表面のうち、単位検出領域の間に対応する位置に加重を加えたときの、容量変化率の荷重依存性

（試験例３−３）
第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ｂに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５２に示す。

（試験例３−４）
試験例３−３と同様の条件に設定した入力装置について、以下の（４）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５２に示す。
（４）操作部材の表面のうち、単位検出領域の間に対応する位置に加重を加えたときの、容量変化率の荷重依存性

（シミュレーションの結果）
図５２は、試験例３−１〜３−４のシミュレーションの結果を示す図である。図５２において、曲線Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ２１、Ｌ２２はそれぞれ、試験例３−１、３−２、３−３、３−４のシミュレーション結果を示している。

図５２から以下のことがわかる。
第１の構造体と第２の構造体とが厚さ方向に重なる領域を持つ入力装置では、第１の構造体と第２の構造体とが厚さ方向に重なる領域を持たない入力装置に比べて、容量変化率が低下する傾向がある。特に、その低下の傾向は、単位検出領域の中央よりも単位検出領域間において顕著に現れる。
第１の構造体と第２の構造体とが厚さ方向に重なる領域を持つ入力装置では、第１の構造体と第２の構造体とが厚さ方向に重なる領域を持たない入力装置に比べて、荷重感度が低下する傾向がある。なお、荷重感度とは、上述したように、荷重「０ｇｆ」近傍での容量変化率の曲線の傾きを意味する。

＜４ 第２の構造体の配置＞
第２の構造体の配置位置を種々変更して、それらの特徴の違いをシミュレーションにより検討した。

（試験例４−１）
第１の構造体および第２の構造体を、図２８に示すように配置し、領域Ｒ_A（図２９Ａ参照）が単位検出領域の中心部となるように第１および第２の電極線との位置関係を規定した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５３に示す。

（試験例４−２）
領域Ｒ_B（図２９Ｂ参照）が単位検出領域の中心部となるように第１および第２の電極線との位置関係を規定した。これ以外のことは試験例４−１と同様にして、上述の（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５３に示す。

（試験例４−３）
領域Ｒ_C（図２９Ｃ参照）が単位検出領域の中心部となるように第１および第２の電極線との位置関係を規定した。これ以外のことは試験例４−１と同様にして、上述の（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５３に示す。

図５３は、試験例４−１〜４−３のシミュレーション結果を示す図である。
領域Ｒ_A（図２９Ａ）、領域Ｒ_B（図２９Ｂ）および領域Ｒ_C（図２９Ｃ）のいずれを単位検出領域の中心部にするかによって、容量変化率および荷重感度に違いがある。
領域Ｒ_A（図２９Ａ）を単位検出領域の中心部にした場合、容量変化率および荷重感度が最も高くなる。領域Ｒ_C（図２９Ｃ）を単位検出領域の中心部にした場合、容量変化率および荷重感度が最も低くなる。領域Ｒ_B（図２９Ｂ）を単位検出領域の中心部にした場合、上記２つの場合の中間の容量変化率および荷重感度が得られる。
したがって、容量変化率および荷重感度の向上の観点からすると、隣接する単位検出領域間に第２の構造体を配置することが好ましい。すなわち、単位検出領域内に１個の第２の構造体全体が含まれないように、第２の構造体を配置することが好ましい。
また、第２の構造体を配置する方向は、単位検出領域の中心から見て、Ｘ軸方向および／またはＹ軸方向であることが好ましくは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との間の方向（例えば単位検出領域の対角線方向）であることがより好ましい。

＜５ 単位検出領域内における第１の構造体の配置位置＞
単位検出領域の中心に第１の構造体が配置された入力装置と、単位検出領域の中心からずらして第１の構造体が配置された入力装置との特性の違いを、シミュレーションにより検討した。

（試験例５−１）
第１の構造体および第２の構造体を、図２４Ａに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５４Ａ、図５４Ｂに示す。

（試験例５−２）
第１の構造体および第２の構造体を、図２５Ｂに示すように配置した。これ以外のことは試験例１−１と同様にして、上述の（２）および（３）の解析をシミュレーションにより行った。その結果を図５４Ａ、図５４Ｃに示す。

図５４Ａは、試験例５−１、５−２のシミュレーションの結果を示す図である。図５４Ｂは、試験例５−１のシミュレーションの結果を示す図である。図５４Ｃは、試験例５−２のシミュレーションの結果を示す図である。なお、図５４Ａにおいて、曲線Ｌ１、Ｌ２はそれぞれ、試験例５−１、５−２のシミュレーションの結果を示す。なお、図５４Ａには、比較のために、試験例１−２のシミュレーションの結果（曲線Ｌ３）も示している。

単位検出領域の中心からずらして第１の構造体が配置されている場合には、容量変化率分布は、単位検出領域の中心位置にピークを有する略三角形状となる。これに対して、単位検出領域の中心に第１の構造体が配置されている場合には、容量変化率分布は、単位検出領域の中心を通る垂線に対して対称な略台形状を有する。この分布の形状の違いは、単位検出領域の中心に第１の構造体が存在しない方が、単位検出領域の中心において容量変化率が増大し、容量変化率が単位検出領域の中心から単調に減少する容量変化率分布の形状を取りやすいためであると考えられる。

単位検出領域の中心からずらして第１の構造体が配置されている場合には、単位検出領域の中心に第１の構造体が対称配置されている場合に比して、最大容量変化率（単位検出領域の中心位置の容量変化率）が高くなる。この特性向上は、単位検出領域の中心からずらして第１の構造体を配置した場合には、対称配置された第１の構造体に荷重が均等に分散し、電極基板が広範囲に渡って変形するためであると考えられる（図３２Ｂ、図３２Ｃ参照）。また、電極基板の形状変化が飽和した後にも、操作部材がさらに変形することも、特性向上の原因の１つと考えられる（図３２Ｃ参照）。

以上、本技術の実施形態について具体的に説明したが、本技術は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

例えば、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。

また、上述の実施形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

また、入力装置が、金属膜を有さず、操作子と導体層各々とＸ、Ｙ電極との容量結合による検出部の静電容量変化を検出するようにしてもよい。この場合には、操作部材として、絶縁材料で構成されたフレキシブルシート（第２の実施形態参照）を用いることができる。このような構成によっても、第１および第２の支持体が操作子と導体層各々と検出部との距離を変化させ、操作位置および押圧力の検出精度の高い入力装置とすることができる。

以上の実施形態では、検出部が相互キャパシタンス方式の容量素子を構成すると説明したが、自己キャパシタンス方式の容量素子を構成してもよい。この場合は、金属膜および導体層各々と検出部に含まれる電極層との静電容量の変化量に基づいて、入力操作を検出することができる。

また、入力装置は、平板状の構成に限定されず、例えば第１の面が曲面となるように電子機器に組み込まれてもよい。すなわち、本技術のセンサ装置は、全体としてフレキシブルな構成であるため、自由度の高い実装方法が可能となる。

また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
可撓性を有する第１の導体層と、
上記第１の導体層に対向して設けられた第２の導体層と、
上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれているセンサ装置。
（２）
上記第１の構造体および上記第２の構造体は、上記交差部の中心に対して対称に配置されている（１）に記載のセンサ装置。
（３）
上記第１の構造体および上記第２の構造体は、厚さ方向に重ならずに設けられている（１）または（２）に記載のセンサ装置。
（４）
上記第２の構造体は、上記単位領域間に設けられている（１）から（３）のいずれかに記載のセンサ装置。
（５）
上記単位領域は、第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
上記第２の構造体は、上記第１の方向と上記第２の方向との間の方向に隣接する上記単位領域の間に設けられている（１）から（４）のいずれかに記載のセンサ装置。
（６）
上記単位領域は、正方形状、または長方形状を有している（１）から（５）のいずれかに記載のセンサ装置。
（７）
上記第１の構造体は、上記単位領域の中心からずれて設けられている（１）から（６）のいずれかに記載のセンサ装置。
（８）
上記複数の第１の構造体は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
上記第１の方向および上記第２の方向の両方向において、上記第１の構造体は等間隔に配置されている（１）から（７）のいずれかに記載のセンサ装置。
（９）
上記電極基板は、上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極との交差領域に各々形成され、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部を含んでいる（１）から（８）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１０）
上記第１の導体層と上記電極基板との間に、上記電極基板の周縁に沿って設けられた第１の枠体と、
上記第２の導体層と上記電極基板との間に、上記第１の枠体と対向して設けられた第２の枠体とをさらに備える（１）から（９）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１１）
上記検出部の外周が上記単位領域の外周の内側にあり、かつ、上記単位領域に含まれる２個以上の上記第１の構造体が、上記検出部の外周と上記単位領域の外周との間に配置されている（９）に記載のセンサ装置。
（１２）
上記単位領域内には、上記第１の構造体が４個含まれている（１）から（１１）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１３）
上記電極基板は、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能である（１）から（１２）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１４）
可撓性を有する操作部材と、
上記操作部材に対向して設けられた導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれている入力装置。
（１５）
上記操作部材は、上記導体層に対して対向する面に設けられた導体層を含んでいる（１４）に記載の入力装置。
（１６）
上記操作部材は、表示部を含んでいる（１４）または（１５）に記載の入力装置。
（１７）
上記操作部材は、複数のキー領域を含んでいる（１４）から（１６）のいずれかに記載の入力装置。
（１８）
上記電極基板は、上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極との交差領域に各々形成され、上記導体層および上記操作部材各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部を含んでいる（１７）に記載の入力装置。
（１９）
上記複数の検出部の静電容量の変化に基づいて、上記複数のキー領域各々に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部をさらに備える（１８）に記載の入力装置。
（２０）
上記複数の第１の構造体は、上記複数のキー領域間の境界に沿って設けられている（１７）から（１９）のいずれかに記載の入力装置。
（２１）
可撓性を有する操作部材と、
上記操作部材に対向して設けられた導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する第２の構造体と
上記電極基板の静電容量の変化に基づいて、上記操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれている電子機器。

（２３）
可撓性を有する第１の導体層と、
上記第１の導体層に対向して設けられた第２の導体層と、
上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体または上記第２の構造体が２個以上含まれているセンサ装置。
（２４）
可撓性を有する操作部材と、
上記操作部材に対向して設けられた導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体または上記第２の構造体が２個以上含まれている入力装置。
（２５）
可撓性を有する操作部材と、
上記操作部材に対向して設けられた導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する第２の構造体と
上記電極基板の静電容量の変化に基づいて、上記操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体または上記第２の構造体が２個以上含まれている電子機器。

また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
可撓性を有する第１の導体層と、
第２の導体層と、
上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置。
（２）
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれている（１）に記載のセンサ装置。
（３）
上記第１の構造体および上記第２の構造体は、上記交差部の中心に対して対称に配置されている（１）または（２）に記載のセンサ装置。
（４）
上記第１の構造体および上記第２の構造体は、厚さ方向に重ならずに設けられている（１）から（３）のいずれかに記載のセンサ装置。
（５）
上記第２の構造体は、上記単位領域間に設けられている（２）に記載のセンサ装置。
（６）
上記単位領域は、第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
上記第２の構造体は、上記第１の方向と上記第２の方向との間の方向に隣接する上記単位領域の間に設けられている（２）に記載のセンサ装置。
（７）
上記第１の構造体は、上記単位領域の中心からずれて設けられている（２）に記載のセンサ装置。
（８）
上記複数の第１の構造体は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
上記第１の方向および上記第２の方向の両方向において、上記第１の構造体は等間隔に配置されている（２）に記載のセンサ装置。
（９）
上記電極基板は、上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極との交差領域に各々形成され、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部を含んでいる（１）から（８）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１０）
上記第１の導体層と上記電極基板との間に、上記電極基板の周縁に沿って設けられた第１の枠体と、
上記第２の導体層と上記電極基板との間に、上記第１の枠体と対向して設けられた第２の枠体とをさらに備える（１）から（９）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１１）
上記検出部の外周が上記単位領域の外周の内側にあり、かつ、上記単位領域に含まれる２個以上の上記第１の構造体が、上記検出部の外周と上記単位領域の外周との間に配置されている（９）に記載のセンサ装置。
（１２）
上記単位領域内には、上記第１の構造体が４個含まれている（１）から（１１）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１３）
上記電極基板は、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能である（１）から（１２）のいずれかに記載のセンサ装置。
（１４）
可撓性を有する操作部材と、
導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている入力装置。
（１５）
上記操作部材は、上記導体層に対して対向する面に設けられた導体層を含んでいる（１４）に記載の入力装置。
（１６）
上記操作部材は、表示部を含んでいる（１４）または（１５）に記載の入力装置。
（１７）
上記操作部材は、複数のキー領域を含んでいる（１４）から（１６）のいずれかに記載の入力装置。
（１８）
上記電極基板は、上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極との交差領域に各々形成され、上記導体層および上記操作部材各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部を含んでいる（１７）に記載の入力装置。
（１９）
上記複数の検出部の静電容量の変化に基づいて、上記複数のキー領域各々に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部をさらに備える（１８）に記載の入力装置。
（２０）
上記複数の第２の構造体は、上記複数のキー領域間の境界に沿って設けられている（１７）から（１９）のいずれかに記載の入力装置。
（２１）
上記複数の第１の構造体および上記複数の第２の構造体のうちの一部は、上記複数のキー領域間の境界において、厚さ方向に重なって設けられている（１７）から（２０）のいずれかに記載の入力装置。
（２２）
可撓性を有する操作部材と、
導体層と、
上記操作部材および上記導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記操作部材および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記導体層および上記電極基板を離間する複数の第２の構造体と
上記電極基板の静電容量の変化に基づいて、上記操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている電子機器。
（２３）
可撓性を有する第１の導体層と、
上記第１の導体層に対向して設けられた第２の導体層と、
上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれているセンサ装置。
（２４）
可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
上記第１の層および上記第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記第１の層および上記第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置。
（２５）
上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれており、
上記第１の層および上記第２の層は、導体層を含んでいる（２４）に記載のセンサ装置。
（２６）
操作部材を含む、可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
上記第１の層および上記第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記第１の層および上記第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている入力装置。
（２７）
操作部材を含む、可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
上記第１の層および上記第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と
上記第１の層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記第２の層および上記電極基板を離間する複数の第２の構造体と
上記電極基板の静電容量の変化に基づいて、上記操作部材に対する入力操作に応じた信号を生成する制御部と
を備え、
上記第１の層および上記第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれている電子機器。
（２８）
可撓性を有する第１の層と、
第２の層と、
上記第１の層および上記第２の層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
上記第１の層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
上記電極基板および上記第２の層を離間する複数の第２の構造体と
を備え、
上記第１の層および上記第２の層のうち少なくとも一方が、導体層を含み、
上記電極基板は、複数の第１の単位電極体を有する複数の第１の電極と、複数の第２の単位電極体を有する複数の第２の電極とを含み、
上記第１の電極体および上記第２の電極体の組により検出部が構成され、
上記検出部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置。
（２９）
上記第１の電極体および上記第２の電極体は、対向して配置されている（２８）に記載のセンサ装置。
（３０）
上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極とは、交差している（２８）または（２９）に記載のセンサ装置。
（３１）
上記第１の単位電極体は、複数の第１のサブ電極を含み、
上記第２の単位電極体は、複数の第２のサブ電極を含み、
上記検出部は、同一平面に交互に配置された上記複数の第１のサブ電極および上記複数の第２のサブ電極により構成されている（２８）に記載のセンサ装置。

１…センサ装置
１００、１００Ａ、１００Ｂ…入力装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ…操作部材
１１…フレキシブルディスプレイ（表示部）
１２…金属膜（第１の導体層）
２０…電極基板
２０ｓ…検出部
２０ｒ…単位検出領域
２１０…第１の電極線
２２０…第２の電極線
３０…第１の支持体
３１０…第１の構造体
３２０…第１の枠体
３３０…第１の空間部
４０…第２の支持体
４１０…第２の構造体
４２０…第２の枠体
４３０…第２の空間部
５０…導体層（第２の導体層）
５１…段差部
６０…制御部
７０、７０Ｂ…電子機器
７１０…コントローラ

Claims (18)

1. 可撓性を有する第１の導体層と、
   第２の導体層と、
   上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
   上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
   上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
   を備え、
   上記電極基板は、複数の第１の電極と、該複数の第１の電極と交差する複数の第２の電極とを含み、
   上記電極基板は、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能であり、
   上記第１の電極と上記第２の電極との各交差部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
   上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置。
2. 可撓性を有する第１の導体層と、
   第２の導体層と、
   上記第１の導体層および上記第２の導体層の間に設けられた、可撓性を有する電極基板と、
   上記第１の導体層および上記電極基板を離間する複数の第１の構造体と、
   上記電極基板および上記第２の導体層を離間する複数の第２の構造体と
   を備え、
   上記電極基板は、複数の第１の単位電極体を有する複数の第１の電極と、複数の第２の単位電極体を有する複数の第２の電極とを含み、
   上記第１の電極体および上記第２の電極体の組により検出部が構成され、
   上記電極基板は、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との距離の変化を静電的に検出することが可能であり、
   上記検出部に対応して、複数の単位領域が設けられ、
   上記単位領域内には、上記第１の構造体および上記第２の構造体のうち少なくとも一方が２個以上含まれているセンサ装置。
3. 上記単位領域内には、上記第１の構造体が２個以上含まれている請求項１または２に記載のセンサ装置。
4. 上記第１の構造体および上記第２の構造体は、上記交差部の中心に対して対称に配置されている請求項１に記載のセンサ装置。
5. 上記第１の構造体および上記第２の構造体は、厚さ方向に重ならずに設けられている請求項１または２に記載のセンサ装置。
6. 上記第２の構造体は、上記単位領域間に設けられている請求項３に記載のセンサ装置。
7. 上記単位領域は、第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
   上記第２の構造体は、上記第１の方向と上記第２の方向との間の方向に隣接する上記単位領域の間に設けられている請求項３に記載のセンサ装置。
8. 上記第１の構造体は、上記単位領域の中心からずれて設けられている請求項３に記載のセンサ装置。
9. 上記複数の第１の構造体は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に２次元配列されており、
   上記第１の方向および上記第２の方向の両方向において、上記第１の構造体は等間隔に配置されている請求項３に記載のセンサ装置。
10. 上記電極基板は、上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極との交差領域に各々形成され、上記第１の導体層および上記第２の導体層各々との相対距離に応じて容量が可変の複数の検出部を含んでいる請求項１に記載のセンサ装置。
11. 上記第１の導体層と上記電極基板との間に、上記電極基板の周縁に沿って設けられた第１の枠体と、
    上記第２の導体層と上記電極基板との間に、上記第１の枠体と対向して設けられた第２の枠体とをさらに備える請求項１または２に記載のセンサ装置。
12. 上記検出部の外周が上記単位領域の外周の内側にあり、かつ、上記単位領域に含まれる２個以上の上記第１の構造体が、上記検出部の外周と上記単位領域の外周との間に配置されている請求項１０に記載のセンサ装置。
13. 上記単位領域内には、上記第１の構造体が４個含まれている請求項３に記載のセンサ装置。
14. 上記第１の電極体および上記第２の電極体は、対向して配置されている請求項２に記載のセンサ装置。
15. 上記複数の第１の電極と上記複数の第２の電極とは、交差している請求項１４に記載のセンサ装置。
16. 上記第１の単位電極体は、複数の第１のサブ電極を含み、
    上記第２の単位電極体は、複数の第２のサブ電極を含み、
    上記検出部は、同一平面に交互に配置された上記複数の第１のサブ電極および上記複数の第２のサブ電極により構成されている請求項２に記載のセンサ装置。
17. 請求項１から１６のいずれかに記載の上記センサ装置を備える入力装置。
18. 請求項１から１６のいずれかに記載の上記センサ装置を備える電子機器。

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