JP6286905B2 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
本発明の一実施形態に係るインプリント装置100は、図1に示すように、レジスト2の液滴を転写基板51に吐出する吐出ユニット50と、凹凸パターン55aが形成された型材(以下、「モールド55」と称する。)を用いてレジスト2を成型し、転写基板51上に凹凸パターン55aを転写させる転写ユニット60と、を備える。なお、吐出ユニット50については後で詳述するため、説明の便宜上、図示を一部省略している。
次に、図4を用いて第1の実施形態に攪拌ユニット26を設けた実施形態を説明する。なお、本実施形態は上記第1の実施形態と攪拌ユニット26の有無のみが異なり、その他の構成は基本的に同じである。したがって、攪拌ユニット26のみを説明し、上記実施形態で示した同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
次に、図5を用いて攪拌ユニット26を変更した実施形態を説明する。なお、本実施形態は上記第2の実施形態と攪拌ユニット26のみが異なり、その他の構成は基本的に同じである。したがって、上記攪拌ユニット26との相違点のみを説明し、上記実施形態で示した同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
次に、図6を用いて吐出ユニット50の他の態様を示す実施形態を説明する。なお、本実施形態は、上述した実施形態とインクジェットヘッド30とサブタンク21との位置関係のみが異なり、その他の構成は基本的に同じである。したがって、上述した吐出ユニット50との相違点のみを説明し、上記実施形態で示した同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
本発明の一実施形態に係るインプリント方法について図7を参照して説明する。
2 レジスト
4 メインタンク
10 フィルタユニット
21 サブタンク
26 攪拌ユニット
30 インクジェットヘッド
50 吐出ユニット
51 転写基板
55 モールド
60 転写ユニット
100 インプリント装置
Claims (4)
- レジスト用樹脂を転写基板に吐出する吐出ユニットと、
凹凸パターンが形成された型材を用いて前記レジスト用樹脂を成型することにより前記転写基板上に前記凹凸パターンを転写させる転写ユニットと、を備えたインプリント装置において、
前記吐出ユニットは、
前記レジスト用樹脂を収容するメインタンクと、
前記メインタンクから供給される前記レジスト用樹脂を貯留可能なサブタンクと、
前記レジスト用樹脂が供給されていない前記サブタンクの空間部に前記レジスト用樹脂の揮発抑制用のガスを供給するガス供給ユニットと、
前記サブタンクから供給される前記レジスト用樹脂を吐出するインクジェットヘッドと、
を具備し、
前記揮発抑制用のガスが前記レジスト用樹脂に含まれる少なくとも1つの成分であり、モノマー成分であることを特徴とするインプリント装置。 - 前記吐出ユニットは、前記メインタンクから供給される前記レジスト用樹脂に含まれる異物を除去するフィルタユニットを更に備えていることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記吐出ユニットは、前記サブタンクに貯留された前記レジスト用樹脂を攪拌する攪拌ユニットを更に備えることを特徴とする請求項1、又は2に記載のインプリント装置。
- 凹凸パターンが形成された型材を用いて、インクジェットヘッドから吐出されたレジスト用樹脂を成型するインプリント方法であって、
前記インクジェットヘッドから吐出される前の前記レジスト用樹脂を貯留可能なサブタンクであって、前記レジスト用樹脂が供給されていない前記サブタンクの空間部に、前記レジスト用樹脂の揮発抑制用のガスを供給して、前記サブタンク内の前記レジスト用樹脂を前記インクジェットヘッドに供給するものであって、
前記揮発抑制用のガスが前記レジスト用樹脂に含まれる少なくとも1つの成分であり、モノマー成分であることを特徴とするインプリント方法。
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