JP6284519B2 - 真空ポンプの為のローター装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
11 インレットフランジ
12 ポンプアウトレット
14 回転軸
15 ローター軸
16 ローター
18 モーター室
20 駆動モーター
22 モーターステーター
24 中間室
26 矢印、ガス経路
28 インレット
30 アウトレット
32 チャネル
34 空所部
38 コア
42 コイル
64 ハウジング
66 ローターディスク
68 ステーターディスク
70 スペーサーリング
72 ローターハブ
74,76 ホルベックロータースリーブ
78,80 ホルベックステータースリーブ
82,84,86,87 ホルベック間隙
88 ローラー支承部
90 永久磁石支承部
92 スプラッシュナット
94 吸収性のディスク
96 槽形状のインサート
98 蓋部要素
100 ローター側の支承半部
102 ステーター側の支承半部
104,106 磁石リング
108 支承間隙
110,112 キャリア部分
114 支柱
116 蓋部要素
118 固定リング
120 バランス要素
122 支持リング
124 安全用支承部
126 固定スリーブ
128 永久磁石装置
130 カプセル
132 収容部分
134 リング状体
136 ローターブレード
138 内側壁部
140 第一の部分
142 第二の部分
144 第三の部分
146 第一の領域
148 第二の領域
150 第三の領域
152 第四の領域
154 機械的接続
156 リング形状の壁部
158 リング形状の壁部
160 リング形状の壁部
162 ディスク状体
164 収容開口部
166 センターピース
168 形状結合的接続
Claims (6)
- 真空ポンプの為のローター装置であって、ローター軸(15)と、少なくとも一つのローターディスク(66)を有し、当該ローターディスクが、ローター軸(15)の収容の為の中央の収容開口部を有し、ローターディスク(66)が、ローター軸(15)上に設けられており、かつローターディスク(66)とローター軸(15)の間に機械的接続(154)が形成されているローター装置において、
機械的接続(154)が、熱的接合過程によって実現されており、
収容開口部を縁取る、ローターディスク(66)の内側壁部(138)が、ローター軸(15)の外側面を取り囲んでおり、そして機械的な接続(154)が、内側壁部(138)とローター軸(15)の外側面の間に形成されており、
機械的接続(154)が、ローター軸(15)の外側面と、ローターディスク(66)の内側面(138)の間の全周囲にわたって形成されていること、及び/又は、
機械的接続(154)が、内側壁部(138)の全軸方向長さにわたって形成されていること、
ローター軸(15)が、その外直径が、軸方向でみて先行するローター軸(15)の領域(146,148,150)の外直径よりも大きく、かつ軸方向でみて後続するローター軸(15)の領域(148,150,152)よりも小さい少なくとも一つの部分(140、142、144)を有すること、及び少なくとも一つのローターディスク(66)が、該部分(140,142,144)に差し込まれていること、
を特徴とするローター装置。 - ローターディスク(66)が、ローター軸(15)にプレス嵌め、又は焼き嵌めされていないことを特徴とする請求項1に記載のローター装置。
- 前記部分(140,142,144)の軸方向長さが、少なくとも基本的に、少なくとも一つのローターディスク(66)の軸方向の長さに相当することを特徴とする請求項1または2に記載のローター装置。
- 接合過程が、レーザー溶接、電子ビーム溶接、摩擦溶接、摩擦攪拌溶接、またはこれら溶接過程の組合せである、つまり溶接過程であるか、又ははんだ付け過程であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のローター装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の、少なくとも一つのローター装置(16)、該ローター装置(16)と協働するステーター装置(68)、及びローター装置(16)をステーター装置(68)に対して回転駆動するための駆動装置を有する真空ポンプ。
- 真空ポンプのローター装置の製造方法であって、ローター軸(15)の収容の為の中央の収容開口部を有するローターディスク(66)がローター軸(15)上に設けられ、そしてローターディスク(66)とローター軸(15)の間に機械的接続(154)が形成される方法において、
機械的接続(154)が、熱的接合過程によって実現され、
収容開口部を縁取る、ローターディスク(66)の内側壁部(138)が、ローター軸(15)の外側面を取り囲んでおり、そして機械的な接続(154)が、内側壁部(138)とローター軸(15)の外側面の間に形成され、
機械的接続(154)が、ローター軸(15)の外側面と、ローターディスク(66)の内側面(138)の間の全周囲にわたって形成されること、及び/又は、
機械的接続(154)が、内側壁部(138)の全軸方向長さにわたって形成されること、
ローター軸(15)が、その外直径が、軸方向でみて先行するローター軸(15)の領域(146,148,150)の外直径よりも大きく、かつ軸方向でみて後続するローター軸(15)の領域(148,150,152)よりも小さい少なくとも一つの部分(140、142、144)を有すること、及び少なくとも一つのローターディスク(66)が、該部分(140,142,144)に差し込まれること、
を特徴とする方法。
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