JPH05133384A - ロータ - Google Patents
ロータInfo
- Publication number
- JPH05133384A JPH05133384A JP29586091A JP29586091A JPH05133384A JP H05133384 A JPH05133384 A JP H05133384A JP 29586091 A JP29586091 A JP 29586091A JP 29586091 A JP29586091 A JP 29586091A JP H05133384 A JPH05133384 A JP H05133384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- disks
- brazing filler
- rotary shaft
- brazing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 デイスクの素材の接合時における変形を防止
する。また金属製ろう材部の腐食を防止する。 【構成】 多段のデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回
転軸１ａとの中心部側を金属製ろう材５により接合して
いるので、接合時、比較的低温の加熱を行うものの、加
圧が不要で、素材が変形しない。そして同接合部よりも
外側のデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａと
の間の隙間に耐熱性プラスチツク６を充填しているの
で、金属製ろう材５が塩化物やフッ化物のガスに直接触
れることがなくて、金属製ろう材５の腐食が防止され
る。
する。また金属製ろう材部の腐食を防止する。 【構成】 多段のデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回
転軸１ａとの中心部側を金属製ろう材５により接合して
いるので、接合時、比較的低温の加熱を行うものの、加
圧が不要で、素材が変形しない。そして同接合部よりも
外側のデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａと
の間の隙間に耐熱性プラスチツク６を充填しているの
で、金属製ろう材５が塩化物やフッ化物のガスに直接触
れることがなくて、金属製ろう材５の腐食が防止され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ターボ分子ポンプ等に
適用するロータに関するものである。
適用するロータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のターボ分子ポンプのロータを図２
により説明すると、１がロータ、１ａが同ロータ１の回
転軸、１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 が多段のデイスク、１ｂ
2 、１ｃ2 、１ｄ2 が同デイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ
1 の外周部に設けた翼、３が同デイスク１ｃ1 及び上記
回転軸１の中心部に設けた凸状嵌合部、４が環状空隙部
である。
により説明すると、１がロータ、１ａが同ロータ１の回
転軸、１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 が多段のデイスク、１ｂ
2 、１ｃ2 、１ｄ2 が同デイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ
1 の外周部に設けた翼、３が同デイスク１ｃ1 及び上記
回転軸１の中心部に設けた凸状嵌合部、４が環状空隙部
である。
【０００３】上記ロータでは、デイスク１ｃ1 及び回転
軸１の中心部に設けた凸状嵌合部３を相手側の凹状嵌合
部に嵌合して、回転軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、
１ｄ 1 とを同一線上に組み付けるとともに、これら回転
軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 との隣接接合
部の全域を拡散接合法により接合して（符号２参照）、
回転軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 とを有す
るロータ１を構成している。
軸１の中心部に設けた凸状嵌合部３を相手側の凹状嵌合
部に嵌合して、回転軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、
１ｄ 1 とを同一線上に組み付けるとともに、これら回転
軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 との隣接接合
部の全域を拡散接合法により接合して（符号２参照）、
回転軸１ａとデイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 とを有す
るロータ１を構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記図２に示すロータ
には、次の問題があった。即ち、拡散接合は、高温下で
素材に塑性変形する程度の歪みを加えるため、拡散接合
後に高速回転させるためのバランス調整が難しくて、そ
れに多くの工数を必要とする。そのため、Ｎｉろう系、
Ｃｕろう系、Ａｇろう系のろう材を用いてろう付を行い
たいが、即ち、比較的低温の加熱を行うものの、加圧が
不要で、素材が変形しない接合を行いたいが、ターボ分
子ポンプの適用先として塩化物またはフッ化物系のガス
を取り扱うＣＶＤ装置が増大しており、これにターボ分
子ポンプを適用した場合、ロータに塩酸、フッ酸が凝縮
して、金属製ろう材部が腐食するという問題があった。
には、次の問題があった。即ち、拡散接合は、高温下で
素材に塑性変形する程度の歪みを加えるため、拡散接合
後に高速回転させるためのバランス調整が難しくて、そ
れに多くの工数を必要とする。そのため、Ｎｉろう系、
Ｃｕろう系、Ａｇろう系のろう材を用いてろう付を行い
たいが、即ち、比較的低温の加熱を行うものの、加圧が
不要で、素材が変形しない接合を行いたいが、ターボ分
子ポンプの適用先として塩化物またはフッ化物系のガス
を取り扱うＣＶＤ装置が増大しており、これにターボ分
子ポンプを適用した場合、ロータに塩酸、フッ酸が凝縮
して、金属製ろう材部が腐食するという問題があった。
【０００５】本発明は前記の問題点に鑑み提案するもの
であり、その目的とする処は、デイスクの素材の接合時
における変形を防止できる。また金属製ろう材部の腐食
を防止できるロータを提供しようとする点にある。
であり、その目的とする処は、デイスクの素材の接合時
における変形を防止できる。また金属製ろう材部の腐食
を防止できるロータを提供しようとする点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のロータは、複数個のデイスクを多段に取
付けたロータにおいて、前記各デイスクの中心部側を金
属製ろう材により接合し、同接合部よりも外側のデイス
ク間の隙間に耐熱性プラスチツクを充填している。
めに、本発明のロータは、複数個のデイスクを多段に取
付けたロータにおいて、前記各デイスクの中心部側を金
属製ろう材により接合し、同接合部よりも外側のデイス
ク間の隙間に耐熱性プラスチツクを充填している。
【０００７】
【作用】本発明のロータは前記のように構成されてお
り、多段のデイスクの間の中心部側を金属製ろう材によ
り接合しているので、接合時、比較的低温の加熱を行う
ものの、加圧が不要で、各デイスク（素材）の接合時に
おける変形が防止される。また多段のデイスクの間の外
周部側に耐熱性プラスチツクを充填しているので、金属
製ろう材が塩化物やフッ化物のガスに直接触れることが
なくて、金属製ろう材の腐食が防止される。
り、多段のデイスクの間の中心部側を金属製ろう材によ
り接合しているので、接合時、比較的低温の加熱を行う
ものの、加圧が不要で、各デイスク（素材）の接合時に
おける変形が防止される。また多段のデイスクの間の外
周部側に耐熱性プラスチツクを充填しているので、金属
製ろう材が塩化物やフッ化物のガスに直接触れることが
なくて、金属製ろう材の腐食が防止される。
【０００８】
【実施例】次に本発明のロータを図１に示す一実施例に
より説明すると、１がロータ、１ａが同ロータ１の回転
軸、１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 が多段のデイスク、１
ｂ2 、１ｃ2 、１ｄ2 が同デイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１
ｄ1 の外周部に設けた翼、３が同デイスク１ｃ1 及び上
記回転軸１の中心部に設けた凸状嵌合部、４が環状空隙
部である。
より説明すると、１がロータ、１ａが同ロータ１の回転
軸、１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 が多段のデイスク、１
ｂ2 、１ｃ2 、１ｄ2 が同デイスク１ｂ1 、１ｃ1 、１
ｄ1 の外周部に設けた翼、３が同デイスク１ｃ1 及び上
記回転軸１の中心部に設けた凸状嵌合部、４が環状空隙
部である。
【０００９】デイスク１ｃ1 及び回転軸１の中心部に設
けた凸状嵌合部３を相手側の凹状嵌合部に嵌合して、デ
イスク１ｂ1 、１ｃ1、１ｄ1 と回転軸１ａとを同一線
上に組み付けるとともに、これらデイスク１ｂ1 、１ｃ
1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの中心部側を金属製ろう材５
により接合している。そして同接合部よりも外側のデイ
スク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの間の隙間
に耐熱性プラスチツク６を充填している。
けた凸状嵌合部３を相手側の凹状嵌合部に嵌合して、デ
イスク１ｂ1 、１ｃ1、１ｄ1 と回転軸１ａとを同一線
上に組み付けるとともに、これらデイスク１ｂ1 、１ｃ
1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの中心部側を金属製ろう材５
により接合している。そして同接合部よりも外側のデイ
スク１ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの間の隙間
に耐熱性プラスチツク６を充填している。
【００１０】次に前記図１に示すロータの作用を具体的
に説明する。同ロータ１は、前記のようにデイスク１ｂ
1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの中心部側を金属製
ろう材５により接合しているので、接合時、比較的低温
の加熱を行うものの、加圧が不要で、素材が変形しな
い。そして同接合部よりも外側のデイスク１ｂ1 、１ｃ
1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの間の隙間に耐熱性プラスチ
ツク６を充填しているので、金属製ろう材５が塩化物や
フッ化物のガスに直接触れることがなくて、金属製ろう
材５の腐食が防止される。
に説明する。同ロータ１は、前記のようにデイスク１ｂ
1 、１ｃ1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの中心部側を金属製
ろう材５により接合しているので、接合時、比較的低温
の加熱を行うものの、加圧が不要で、素材が変形しな
い。そして同接合部よりも外側のデイスク１ｂ1 、１ｃ
1 、１ｄ1 と回転軸１ａとの間の隙間に耐熱性プラスチ
ツク６を充填しているので、金属製ろう材５が塩化物や
フッ化物のガスに直接触れることがなくて、金属製ろう
材５の腐食が防止される。
【００１１】なお耐熱性プラスチツク６を使用した理由
は、次の通りである。即ち、真空ポンプは、ロータへの
凝縮ガスまたは吸着ガスを除去するため、２００℃程度
に加熱される。この温度で溶融または分解しないように
ポリイミド等の耐熱性プラスチツク６を使用する。
は、次の通りである。即ち、真空ポンプは、ロータへの
凝縮ガスまたは吸着ガスを除去するため、２００℃程度
に加熱される。この温度で溶融または分解しないように
ポリイミド等の耐熱性プラスチツク６を使用する。
【００１２】
【表１】
【００１３】表１は、従来のロータ（従来法〜）と
本発明のロータ（実施例）との製造条件及び性能の
試験結果を示している。 （従来法）１７００℃×２．７ｋｇｆ／ｍｍ2 の条件
で拡散接合した。この場合、バランシグに多くの工数を
要し、各デイスク間の隙間も異なるため、ロータの製作
後に寸法を計測し、静翼を設計する等、多くの困難を伴
ったが、塩酸による耐食試験にも耐えて、実機でも後記
使用条件で２年間の運転に耐えた。 （従来法）Ａｇ・Ｃｕ・Ｔｉろう材を使用して、８２
０℃×０．００３８ｇｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。
耐食試験の段階で、ろう材が溶出したため、回転試験に
は至らなかった。 （従来法）Ｃｕ・Ｔｉろう材を使用して、１２００℃
×０．００３８ｇｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。この
場合も、耐食試験の段階で、ろう材が溶出したため、回
転試験には至らなかった。 （実施例）実施例の場合には、Ａｇ・Ｃｕ・Ｔｉ
ろう材を使用して、８２０℃×０．００３８ｇｆ／ｍｍ
2 の条件でろう付した。また実施例の場合には、Ｃｕ
・Ｔｉろう材を使用して、１２００℃×０．００３８ｇ
ｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。そしてろう付後、ろう
付部の外側の隙間にポリイミドの前駆体を注入し、６０
℃で１２０ｍｉｎベーキングし、次いで１２０℃×３０
ｍｉｎ、３００℃×３０ｍｉｎ、４５０℃×６０ｍｉｎ
のキユアリングを行って、完全にイミド化した。
本発明のロータ（実施例）との製造条件及び性能の
試験結果を示している。 （従来法）１７００℃×２．７ｋｇｆ／ｍｍ2 の条件
で拡散接合した。この場合、バランシグに多くの工数を
要し、各デイスク間の隙間も異なるため、ロータの製作
後に寸法を計測し、静翼を設計する等、多くの困難を伴
ったが、塩酸による耐食試験にも耐えて、実機でも後記
使用条件で２年間の運転に耐えた。 （従来法）Ａｇ・Ｃｕ・Ｔｉろう材を使用して、８２
０℃×０．００３８ｇｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。
耐食試験の段階で、ろう材が溶出したため、回転試験に
は至らなかった。 （従来法）Ｃｕ・Ｔｉろう材を使用して、１２００℃
×０．００３８ｇｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。この
場合も、耐食試験の段階で、ろう材が溶出したため、回
転試験には至らなかった。 （実施例）実施例の場合には、Ａｇ・Ｃｕ・Ｔｉ
ろう材を使用して、８２０℃×０．００３８ｇｆ／ｍｍ
2 の条件でろう付した。また実施例の場合には、Ｃｕ
・Ｔｉろう材を使用して、１２００℃×０．００３８ｇ
ｆ／ｍｍ2 の条件でろう付した。そしてろう付後、ろう
付部の外側の隙間にポリイミドの前駆体を注入し、６０
℃で１２０ｍｉｎベーキングし、次いで１２０℃×３０
ｍｉｎ、３００℃×３０ｍｉｎ、４５０℃×６０ｍｉｎ
のキユアリングを行って、完全にイミド化した。
【００１４】これにより、耐塩酸性を満足し且つ精度の
高いローラを容易に製作することができて、実機に提供
できた。後記使用条件で２年間の実機運転後、後記使
用条件で１５年間の実機運転中であるが、異常は認め
られていない。またＣｕ・Ｔｉろう材を用いて接合した
ものについては、ポリエーテル・エーテルケトンの前駆
体を注入し、後記使用条件で２年間の実機運転を行っ
たところ、異常が認められなかった。
高いローラを容易に製作することができて、実機に提供
できた。後記使用条件で２年間の実機運転後、後記使
用条件で１５年間の実機運転中であるが、異常は認め
られていない。またＣｕ・Ｔｉろう材を用いて接合した
ものについては、ポリエーテル・エーテルケトンの前駆
体を注入し、後記使用条件で２年間の実機運転を行っ
たところ、異常が認められなかった。
【００１５】塩酸による耐食試験は、８０℃、３５％Ｈ
ＩＣ中に浸漬して、１００Ｈｒ保持後に接合部の面積の
減少率が２％を越えないものを合格とした。なお実機の
使用条件は、Ｍ0 Ｃｌ5 を取り扱うＣＶＤ装置で、年
間約２２０回の発停を行い、その都度、２００℃のベー
キングを行うものである。また使用条件は、Ｍ0 ；ｆ
6 を取り扱うＣＶＤ装置で、年間約２２０回の発停を行
い、その都度、２００℃のベーキングを行うものであ
る。
ＩＣ中に浸漬して、１００Ｈｒ保持後に接合部の面積の
減少率が２％を越えないものを合格とした。なお実機の
使用条件は、Ｍ0 Ｃｌ5 を取り扱うＣＶＤ装置で、年
間約２２０回の発停を行い、その都度、２００℃のベー
キングを行うものである。また使用条件は、Ｍ0 ；ｆ
6 を取り扱うＣＶＤ装置で、年間約２２０回の発停を行
い、その都度、２００℃のベーキングを行うものであ
る。
【００１６】なおＡｇ・Ｃｕ・Ｔｉろう材の組成は、７
０ｗｔ％Ａｇ、２８ｗｔ％Ｃｕ、２ｗｔ％Ｔｉである。
またＣｕ・Ｔｉろう材の組成は、５０ａｔｍ％Ｃｕ、５
０ａｔｍ％Ｔｉである。
０ｗｔ％Ａｇ、２８ｗｔ％Ｃｕ、２ｗｔ％Ｔｉである。
またＣｕ・Ｔｉろう材の組成は、５０ａｔｍ％Ｃｕ、５
０ａｔｍ％Ｔｉである。
【００１７】
【発明の効果】本発明のロータは前記のように多段のデ
イスクの間の中心部側を金属製ろう材により接合してい
るので、接合時、比較的低温の加熱を行うものの、加圧
が不要で、各デイスク（素材）の接合時における変形を
防止できる。また多段のデイスクの間の外周部側に耐熱
性プラスチツクを充填しているので、金属製ろう材が塩
化物やフッ化物のガスに直接触れることがなくて、金属
製ろう材の腐食を防止できる。
イスクの間の中心部側を金属製ろう材により接合してい
るので、接合時、比較的低温の加熱を行うものの、加圧
が不要で、各デイスク（素材）の接合時における変形を
防止できる。また多段のデイスクの間の外周部側に耐熱
性プラスチツクを充填しているので、金属製ろう材が塩
化物やフッ化物のガスに直接触れることがなくて、金属
製ろう材の腐食を防止できる。
【図１】本発明のロータの一実施例を示す縦断側面図で
ある。
ある。
【図２】従来のロータを示す縦断側面図である。
１ ロータ １ａ ロータ１の回転軸 １ｂ1 、１ｃ1 、１ｄ1 多段のデイスク ３ 凸状嵌合部 ４ 環状空隙部 ５ 金属製ろう材 ６ 耐熱性プラスチツク
Claims (1)
- 【請求項１】 複数個のデイスクを多段に取付けたロー
タにおいて、前記各デイスクの中心部側を金属製ろう材
により接合し、同接合部よりも外側のデイスク間の隙間
に耐熱性プラスチツクを充填したことを特徴とするロー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29586091A JPH05133384A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ロータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29586091A JPH05133384A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ロータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133384A true JPH05133384A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17826129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29586091A Withdrawn JPH05133384A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ロータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05133384A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105697395A (zh) * | 2014-12-15 | 2016-06-22 | 普发真空有限公司 | 用于真空泵的转子设施及其制造方法 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP29586091A patent/JPH05133384A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105697395A (zh) * | 2014-12-15 | 2016-06-22 | 普发真空有限公司 | 用于真空泵的转子设施及其制造方法 |
| JP2016114059A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプの為のローター装置及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |