JPS60203375A - タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法Info
- Publication number
- JPS60203375A JPS60203375A JP59058209A JP5820984A JPS60203375A JP S60203375 A JPS60203375 A JP S60203375A JP 59058209 A JP59058209 A JP 59058209A JP 5820984 A JP5820984 A JP 5820984A JP S60203375 A JPS60203375 A JP S60203375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vane
- plates
- radial direction
- welding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/20—Bonding
- B23K26/21—Bonding by welding
- B23K26/24—Seam welding
- B23K26/28—Seam welding of curved planar seams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/04—Tubular or hollow articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/08—Non-ferrous metals or alloys
- B23K2103/14—Titanium or alloys thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ターボ分子ポンプのロータの製作方法に関す
るものである。
るものである。
従来の高速回転するターボ分子ポンプなどのロータは、
高力ＡＩ！合金、ステンレス鋼、Ｔｉ合金などを用い、
ロータの各羽根の板厚部を削り出した後に羽根をねじり
成形する方法で製作されている。人！合金の場合は、ベ
ーキング温度、すなわちアウトガスを極力無くすために
真空引き時高温に加熱するが、せいぜい１５０℃以下で
あり、それ以上になると軟化変形する。そのため、超高
真空を得るターボ分子ポンプのロータに適用する場合は
、真空ベーキング時間が非常に長くなる。更に、使用環
境が塩素系等の雰囲気では腐食の問題もある。
高力ＡＩ！合金、ステンレス鋼、Ｔｉ合金などを用い、
ロータの各羽根の板厚部を削り出した後に羽根をねじり
成形する方法で製作されている。人！合金の場合は、ベ
ーキング温度、すなわちアウトガスを極力無くすために
真空引き時高温に加熱するが、せいぜい１５０℃以下で
あり、それ以上になると軟化変形する。そのため、超高
真空を得るターボ分子ポンプのロータに適用する場合は
、真空ベーキング時間が非常に長くなる。更に、使用環
境が塩素系等の雰囲気では腐食の問題もある。
他方、翼板とロータリングを各々加工し、交互に積重ね
て一体に拡散接合してロータを製作する方法もある。こ
れは、Ａ７合金の弱点をカバーするため、耐食性があり
かつベーキング温度を高くできる高強度なＴｉ合金を用
いＸ、インサート材にＡｊ’−８ｉ材を用いてろう付は
温度６００℃にて拡散接合する８法である。Ａ７−８ｉ
材を用いているのは、より高温では拡散接合中ｔこ羽根
の変形が生じ高精度を保ち得ないからである。しかし、
本方法はＴｉ合金とＡＪ金合金の異材接合であり、硬脆
弱な境界相となるため疲労１こ、対しては幽いと考えら
れる。侭１こ、Ｔｉ合金の酸化膜が強固でその除去が難
しく、この酸化膜が除去しきれない場合は引張り強さが
数Ｋｐｆ／ｍｕかなく、高速回転中ｔこ剥離するおそれ
があり、絶対の信頼性が要求されるターボ分子ポンプの
ロータＶこは不向きである。
て一体に拡散接合してロータを製作する方法もある。こ
れは、Ａ７合金の弱点をカバーするため、耐食性があり
かつベーキング温度を高くできる高強度なＴｉ合金を用
いＸ、インサート材にＡｊ’−８ｉ材を用いてろう付は
温度６００℃にて拡散接合する８法である。Ａ７−８ｉ
材を用いているのは、より高温では拡散接合中ｔこ羽根
の変形が生じ高精度を保ち得ないからである。しかし、
本方法はＴｉ合金とＡＪ金合金の異材接合であり、硬脆
弱な境界相となるため疲労１こ、対しては幽いと考えら
れる。侭１こ、Ｔｉ合金の酸化膜が強固でその除去が難
しく、この酸化膜が除去しきれない場合は引張り強さが
数Ｋｐｆ／ｍｕかなく、高速回転中ｔこ剥離するおそれ
があり、絶対の信頼性が要求されるターボ分子ポンプの
ロータＶこは不向きである。
本発明の目的は、高速回転ｅごて超高真空を得るターボ
分子ポンプのロータを、連続長時間安全に運転できるよ
うに信頼性の高い接合法？こより製作し、高精度かつ高
信頼性のあるロータを提供することにある。
分子ポンプのロータを、連続長時間安全に運転できるよ
うに信頼性の高い接合法？こより製作し、高精度かつ高
信頼性のあるロータを提供することにある。
従来、ｒｌｌ ｉ ６金製ロータはｋｌ−８ｉ材をイン
サート材ｒこ用いて拡散接合法で製作していた。しかし
、翼板とロータリングの機械加工精度不良１こよる加圧
下の密着不良、酸化膜除去不良など？こより、高速回転
中に剥離する場合があった。そこで、これらの翼板とロ
ータリングの接合を確実ｅこするためには融接しかなく
、本発明は、高精度、無歪で溶は込みの深い電子ビーム
溶接又はレーザ溶接の利点を活用することｔこより解決
策を見い出したものである。
サート材ｒこ用いて拡散接合法で製作していた。しかし
、翼板とロータリングの機械加工精度不良１こよる加圧
下の密着不良、酸化膜除去不良など？こより、高速回転
中に剥離する場合があった。そこで、これらの翼板とロ
ータリングの接合を確実ｅこするためには融接しかなく
、本発明は、高精度、無歪で溶は込みの深い電子ビーム
溶接又はレーザ溶接の利点を活用することｔこより解決
策を見い出したものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図文び第２図は、Ｔｉ合金製のターボ分子ポンプＸ
ロータの一例の平面回文び組立断面図を示したものであ
る。この翼板】は通常約１１１ＩＩのＴｉ合金の薄板で
、外周部１こ所定寸法のスリット２がワイヤカット放電
加工又はレーザ切断等ｔこより加工される。ロータリン
グ３は約１０数ｎ程度の厚板のＴｉ合金である。これら
翼板１とロータリング３を交互に積重ねてロータを製作
するもので、翌 横機４の部分はこれらを接合する前あるいは後で、所定
の角度にねじり成形する。
ロータの一例の平面回文び組立断面図を示したものであ
る。この翼板】は通常約１１１ＩＩのＴｉ合金の薄板で
、外周部１こ所定寸法のスリット２がワイヤカット放電
加工又はレーザ切断等ｔこより加工される。ロータリン
グ３は約１０数ｎ程度の厚板のＴｉ合金である。これら
翼板１とロータリング３を交互に積重ねてロータを製作
するもので、翌 横機４の部分はこれらを接合する前あるいは後で、所定
の角度にねじり成形する。
第３図は、本発明により塑性成形した場合の電、 ３
子ビーム溶接又はレーザ溶接の継手形状を示すもはこの
部分がはめ込めるようｔこ機械加工する。そして、羽根
円板５とロータリング３を交互に積重ね、半径か向で３
重（羽根円板軸方向部分とその内外方にある上下のロー
タリング）ｅこなった部分を半径方向外周から電子ビー
ム溶接又はレーザ溶接６で縫合せて一体化する。
部分がはめ込めるようｔこ機械加工する。そして、羽根
円板５とロータリング３を交互に積重ね、半径か向で３
重（羽根円板軸方向部分とその内外方にある上下のロー
タリング）ｅこなった部分を半径方向外周から電子ビー
ム溶接又はレーザ溶接６で縫合せて一体化する。
第４図は、翼板１を機械加工で削り出した場合の電子ビ
ーム溶接又はレーザ溶接の継手形状を示すものである。
ーム溶接又はレーザ溶接の継手形状を示すものである。
羽根円板５の半径方向内側でロータリング３ｔこはさが
れる部分のみ約５〜１０鱈厚さとし、翼板１の他の部分
を約１１１１に機械加工で削り出す。そして、翼板】と
ロータリング３を交互に積重ね、羽根円板５と上下のロ
ータリング３を半径方向外周から電子ビーム溶接又はレ
ーザ溶接６で図のように融接して一体化する。
れる部分のみ約５〜１０鱈厚さとし、翼板１の他の部分
を約１１１１に機械加工で削り出す。そして、翼板】と
ロータリング３を交互に積重ね、羽根円板５と上下のロ
ータリング３を半径方向外周から電子ビーム溶接又はレ
ーザ溶接６で図のように融接して一体化する。
これらの製作方法によれば、確実ｔこ翼板１とロータリ
ング３を接合でき、ロータの軸方向の応力以上ｔこ強度
を持たせることかできる。又、電子ビーム溶接又はレー
ザ溶接は低入熱であるため溶接による歪が少なく、拡散
接合のようｔこ６００℃の高温に加熱されることがない
ため高精度なロータの製作が可能である。
ング３を接合でき、ロータの軸方向の応力以上ｔこ強度
を持たせることかできる。又、電子ビーム溶接又はレー
ザ溶接は低入熱であるため溶接による歪が少なく、拡散
接合のようｔこ６００℃の高温に加熱されることがない
ため高精度なロータの製作が可能である。
本発明會こよ１ば、次のような効果がある。
（１） 羽根円板とロータリングを融接するため、拡散
接合のように部材の加工精度９表面の酸化膜除去の状態
などの条件因子１こ左右されることはなく、確実−こ高
強度なロータを得ることかできる。
接合のように部材の加工精度９表面の酸化膜除去の状態
などの条件因子１こ左右されることはなく、確実−こ高
強度なロータを得ることかできる。
（２） 高温度に加熱されず低入熱溶接のため、変形が
少なく高精度のロータが得られる。
少なく高精度のロータが得られる。
第１図はターボ分子ポンプロータの一例の平面図、第２
図は第１図の組立断面図、第３図は本発明の一実施例の
断面図、第４図は本発明の他の実施例の断面図ノである
。 １・・・・・・翼板、２・・・・・・スリット、３・・
・・・・ロータリング、４・・・・・羽根、５・・・・
・・羽根円板、６・曲・電子ビーム溶接（又はレーザ溶
接）
図は第１図の組立断面図、第３図は本発明の一実施例の
断面図、第４図は本発明の他の実施例の断面図ノである
。 １・・・・・・翼板、２・・・・・・スリット、３・・
・・・・ロータリング、４・・・・・羽根、５・・・・
・・羽根円板、６・曲・電子ビーム溶接（又はレーザ溶
接）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 翼板とロータリング交互の配置から成るターボ分
子ポンプのロータｔこおいて、この両者を半径方向外周
から電子ビーム又はレーザ溶接して一体化することを特
徴とするターボ分子ポンプのロータの製作す法。 ２ 翼板の半径か内向側部分が軸左向に加工したもので
ある特許請求の範囲第１項記載のターボ分子ポンプのロ
ータの製作方法。 ３、翼板のロータリングとの重なり部分を羽根の板厚よ
り厚くなるようにした特許請求の範囲第１項記載のター
ボ分子ポンプのロータの製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59058209A JPS60203375A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59058209A JPS60203375A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60203375A true JPS60203375A (ja) | 1985-10-14 |
Family
ID=13077652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59058209A Pending JPS60203375A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60203375A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290010A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Fujitsu Ltd | 高さ計測装置 |
| WO2009049988A1 (de) * | 2007-10-11 | 2009-04-23 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Mehrstufiger turbomolekularpumpen-pumpenrotor |
| WO2010052056A1 (de) * | 2008-11-07 | 2010-05-14 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpenrotor |
| EP3462036A1 (de) * | 2017-10-02 | 2019-04-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularvakuumpumpe |
-
1984
- 1984-03-28 JP JP59058209A patent/JPS60203375A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290010A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Fujitsu Ltd | 高さ計測装置 |
| WO2009049988A1 (de) * | 2007-10-11 | 2009-04-23 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Mehrstufiger turbomolekularpumpen-pumpenrotor |
| US8562293B2 (en) | 2007-10-11 | 2013-10-22 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Multi-stage pump rotor for a turbomolecular pump |
| WO2010052056A1 (de) * | 2008-11-07 | 2010-05-14 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpenrotor |
| EP2775149A1 (de) * | 2008-11-07 | 2014-09-10 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpenrotor |
| EP3462036A1 (de) * | 2017-10-02 | 2019-04-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularvakuumpumpe |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6095402A (en) | Method for the manufacture or repair of a blisk by linear friction welding | |
| RU2585147C2 (ru) | Способ изготовления металлического элемента усиления | |
| JP4353981B2 (ja) | ガスタービンブレード又はブレード一体化ガスタービンロータを製造又は修理する際に、ブレードをブレード付け根部もしくはロータディスクへ接合する方法 | |
| US4273512A (en) | Compressor rotor wheel and method of making same | |
| US8100655B2 (en) | Method of machining airfoil root fillets | |
| US6666653B1 (en) | Inertia welding of blades to rotors | |
| JP2574589B2 (ja) | ターボ機械用中空羽根の製造方法 | |
| JP2011501019A (ja) | ブリスクまたはブリングの製造方法、該製造方法により製造された構成部品、及びタービンブレード | |
| SE519781C2 (sv) | Förfarande för framställning av en stator-eller rotorkomponent | |
| US7841506B2 (en) | Method of manufacture of dual titanium alloy impeller | |
| US20050098608A1 (en) | Process for manufacturing or repairing a monobloc bladed disc | |
| IL107412A (en) | Process for assembling a disc with wings by welding | |
| US5390413A (en) | Bladed disc assembly method by hip diffusion bonding | |
| US4736504A (en) | Alignment method for pressure welded bladed disk | |
| JPS60203375A (ja) | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 | |
| EP1424465A1 (en) | Hybrid rotor, method of manufacturing the hybrid rotor, and gas turbine | |
| JP3305204B2 (ja) | 輻流羽根車の加工方法 | |
| JP2002364588A (ja) | 羽根車及びその製造方法 | |
| US20110129310A1 (en) | Angle-rounding method and tool | |
| JPS60162585A (ja) | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 | |
| JPH0463902A (ja) | チタン合金製タービン動翼の製造方法 | |
| JPS6326285A (ja) | 羽根車の溶接組立方法 | |
| JPH01205889A (ja) | 接合方法 | |
| JP4264963B2 (ja) | 複合構造ディスク製造方法 | |
| JPS601302A (ja) | ラジアルガスタ−ビンロ−タ |