JP2016205391A - 真空ポンプの部材の製造方法、真空ポンプの部材、及び真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の課題は、真空ポンプの部材の製造の為の改善された方法を提供することである。当該方法によって、複雑な部材幾何形状も高速で、コスト効率が良く、そして低い材料コストで実現されることが可能である。その上、本発明の課題は、高速かつコスト効率よく製造されることが可能であり、そして好ましくは高い機械的負荷可能性を有する真空ポンプの部材を提供することである。
【解決手段】課題は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの部材（６６，６８）の製造の為の方法において、部材（６６，６８）が、生成的な製造方法によって作られることにより解決される。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの部材の製造の為の方法、真空ポンプの部材、並びに真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプに関する。

例えばターボ分子ポンプ又はルーツポンプのような真空ポンプは、複数の部材から成っている。その際、いくつかの部材は複雑な幾何形状を有する可能性があるので、その製造はコスト集中的である。その上、真空ポンプにおけるほとんどの部材は、運転中高い機械的要求にさらされる。部材の機械的な負荷可能性は、主として部材の材料に依存する。真空ポンプにおいては、特にターボ分子ポンプにおいては、特に高負荷部材は通常、アルミニウムから成る。アルミニウムは十分な材料強度を提供する。

真空ポンプの部材の製造の際、特に原材料ブロックから削り出される部材の製造の際、比較的多くの廃棄物が発生する。例えば、ターボ分子ポンプのターボ分子的ポンプ段のローターディスク又はステーターディスクを原材料のブロックから切削過程によって製造する場合、出発原料の９０％以上が切削される。

欧州特許出願公開第２７９６７２６Ａ１号明細書

よって本発明の課題は、真空ポンプの部材の製造の為の改善された方法を提供することである。当該方法によって、複雑な部材幾何形状も高速で、コスト効率が良く、そして低い材料コストで実現されることが可能である。その上、本発明の課題は、高速かつコスト効率よく製造されることが可能であり、そして好ましくは高い機械的負荷可能性を有する真空ポンプの部材を提供することである。

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する方法又は請求項８に記載の特徴を有する部材によって解決される。

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの部材の製造の為の、発明に係る方法は、部材が生成的な製造方法によって製造されることを含む。

生成的な製造方法とは、体積要素を互いに接合すること、例えば層状に積重ねることによる部材の造形を行うこと、または作りだすことである。従来の製造方法においては、造形は特に旋削又は切削によって行われていた。そのような材料の削剥は、生成的な製造方法においては省略される、又は、後処理の領域の少ない程度に減少されることが可能である。その上、生成的な製造方法においては、鋳造部品におけるように鋳型が必要とされない。

生成的な製造方法によって、真空ポンプの、特に複雑な部材も、簡単、迅速、かつ安価で、そして、運転中高い負荷特性（独語：Ｂｅｌａｓｔｂａｒｋｅｉｔ）を有する材料の使用の下、製造されることが可能である。生成的な製造方法は、その際、特に、付加的製造（Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）の為の規格化された符号ＡＭのもとの方法である（ＶＤＩ−Ｎｏｒｍ ３４０４）。

好ましくは、生成的な製造方法は、部材が、ステレオリトグラフ、レーザー溶融、レーザー焼結、選択的レーザー焼結、レイヤーラミネート法、押出成形、熱溶融積層方、積層オブジェクトモデリング、または３Ｄプリンティングといった方法の少なくとも一つの方法に従い製造されることを含む。上述した製造方法はそれ自体は既知である。

本発明の発展形に従い、部材は、部材の少なくとも一つの計算機内部のデータモデルの基礎に基づいて製造される。計算機内部のデータモデルは、例えば、部材の３Ｄ−ＣＡＤ−体積モデルであることが可能である。これは計算機内部又はコンピューター内部にバーチャルに作りだされる。データモデルは、ユーザーが部材を、その全ての特性に関して観察すること、回転させること、着色すること、及び他の操作を行うことを可能とする。しかし例えば部材の物理的なテストは、不可能である。

生成的な製造方法によって、計算機内部のデータモデルから現実の物理的な部材を作りだすために、モデルは数学的に同じ厚さの複数の層にカットされることが可能である。これら層は、その際、例えば約０．１ｍｍの厚さを有し得る。輪郭情報が、生成的な製造装置に供給されることが可能である。これは製作者（ファブリケーター、独語：Ｆａｂｒｉｋａｔｏｒ）とも称される。製造装置は、輪郭情報を使って、其々、部材の一つのディスクを、正確かつ外側の境界を含めて作りだし、そしてこれを、既に前もって作っておいたディスクへと、上から下へと層から層へと部材が生じるように接合する。

好ましくは、部材は、少なくとも一つの無定形の材料、又は少なくとも一つの形状中立的な材料から、化学的なプロセス、及び／又は物理的なプロセスによって製造される。無定形の材料は、特に流体又は粉状物であることが可能である。形状中立的な材料は、例えばバンド形状またはワイヤー形状の材料であることが可能である。

本発明の発展形に従い、部材は、少なくとも二つの部材層から、例えば上述したファブリケーターによって構成される。その際、部材層は、磁気的に相前後して、かつ空間的に少なくとも基本的に重なり合って製造されることが可能である。ファブリケーターによって、部材層は、バーチャルなモデルを介して提供される輪郭情報に従い、各層の正確な外側及び内側の境界を含めて、層から層へと下から上に向かって構成されることが可能である。

本発明の発展形に従い、部材は少なくとも二つの部材層を有している。これら部材層はラミネート（積層加工、独語：Ｌａｍｉｎｉｅｒｅｎ）によって互いに接続されることが可能である。その際、部材層は個々に作られる、そして後に互いに接合される又は積層化されることが可能である。よって、二以上の部材層から成る部材を構成するために、いわゆる付加的方法が使用されることが可能である。

本発明の一つの態様に従い、部材を製造するために少なくとも一つの（一種の）粉状材料が使用される。粉状材料は、物理的、特に熱的または化学的なプロセスによって層ごとに（独語：ｓｃｈｉｃｈｔｗｅｉｓｅ）に固められることが可能である。その際、粉状材料は型内に運ばれそして圧縮されることが可能である。その際、少なくとも近似的に均質（独語：ｈｏｍｏｇｅｎ）な材料が形成されることが可能である。

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの為の、及び／又は発明に係る方法によって製造された、又は製造可能である部材に関する。その際、部材は粉状材料から構成されていることが可能である。粉状材料からの部材の構成によって、部材は端部輪郭に近く、又は端部輪郭に忠実に、生成的な方法によって製造されることが可能であり、これによって、特に、複雑な部材が安価に、少ない材料コストで、そして少ない廃棄物を発生させつつ製造可能である。

本発明の一つの態様に従い、粉状材料は、アルミニウム又はチタン又はアルミニウムとチタンの組合せを含んでいる。

特に、様々な材料コンビネーションが部材中において意図されていることが可能である。部材のある領域が、例えば一つの粉状材料から構成されていることが可能である一方で、他の領域が他の粉状材料から構成されている。部材の第一の領域は、例えば、アルミニウムから、そして部材の第二の領域は、例えばチタンから形成されていることが可能である。その際、両方の領域の間の境界領域内には、金属間結合によるアルミニウム・チタン遷移物（独語：Ｕｅｂｅｒｇａｅｎｇｅ）が形成されることが可能である。

部材は、様々な粉状材料から形成されていることも可能である。これらは例えばバッファー層を介して組合わせられている。

好ましくは、部材は少なくとも二つの、特に積層化された部材層から構成されている。これら層は、その際、個々に製造され、そして上述した配置で互いに配置されており、そして特に積層化によって互いに接合されている。

本発明の一つの態様に従い、部材は、ターボ分子ポンプのターボ分子的ポンプ段のローターディスク又はステーターディスクである。ローターディスク及び／又はステーターディスクは、比較的複雑な幾何形状を有するので、そのようなディスクは特別有利には、生成的な製造方法によって製造されることが可能である。ローターディスク又はステーターディスクは、好ましくはベースボディ、例えば担持リングを有し、そして該ベースボディに設けられた羽根を有する。ベースボディは、その際、アルミニウムから、そして羽根はチタンから形成されていることが可能であり、そして、生成的な製造方法によって製造されることが可能である。

当該部材は、真空ポンプの運転の間、高負荷を受ける部材であることも可能である。これは特に、運転の間高い負荷にさらされる領域内では、高い負荷に耐える材料、例えばチタンのようなものを含む。これに対して、他のより少ない負荷を受ける領域内では、部材は、より低い材料強度を有する材料、例えばアルミニウムのようなものを含む。

粉末材料は、例えば予合金化されたチタン又はアルミニウムを含む粉状材料であることが可能である。

部材は、リング形状の部材、例えば、ターボ分子ポンプのホルベックポンプ段のホルベックスリーブにおけるＳＫＰ−Ｒｉｎｇであることが可能である。

本発明の更なる対象は、上述した説明に従う少なくとも一つの部材を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプである。部材及びその製造並びに真空ポンプ内におけるその使用に関してここで説明したメリットおよび有利な実施形は、真空ポンプの相応するメリット及び有利な実施形を意味する。

以下に本発明を添付の図面を参照しつつ例示的に説明する。

ターボ分子ポンプの断面図。 ターボ分子ポンプのローター装置の上面図。 ローター装置を有する真空ポンプの一部の断面図。

図１に示された真空ポンプは、インレットフランジ１１によって取り囲まれたポンプインレット１０と、ポンプアウトレット１２と、ポンプインレット１０に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１２に搬送するための複数のプロセスガスポンプ段を有する。真空ポンプは、ハウジング６４と該ハウジング内６４内に配置されたローター１６を有している。ローターは、ローター軸１４を中心に回転可能に支承されたローター軸１５を有している。

ポンプは、本実施例においてはターボ分子ポンプとして形成されており、そしてポンプ作用を奏する、互いにシリアルに接続された複数のターボ分子的ポンプ段を有する。これらポンプ段は、ローター軸１５に固定された半径方向の複数のローターディスク６６と、該ローターディスク６６の間に配置され、そしてハウジング６４内で固定されているステーターディスク６８を有している。その際、一つのローターディスク６６および隣接する一つのステーターディスク６８は、それぞれ一つのターボ分子的ポンプ段を形成する。ステーターディスク６８は、スペーサーリング７０によって互いに所望の軸方向の間隔に保持されている。

真空ポンプは、その上、半径方向において入れ子式（独語：ｉｎｅｉｎａｎｄｅｒ）に配置されており、そして互いにシリアルに接続されているポンプ作用を奏する四つのホルベックポンプ段を有している。ホルベックポンプ段のローターは、ローター軸１５と一体に形成されたローターハブ７２と、該ローターハブ７２に固定され、そしてこれによって担持されているシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ７４，７６を有している。これらは、回転軸１４に同軸に向けられており、そして半径方向に置いて入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ７８，８０が設けられている。これらは、同様に回転軸１４に同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。第三のホルベックステータースリーブが、ハウジング６４の収容部分１３２によって形成されている。これは、駆動モーター２０の収容及び固定の為に使用される。

ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、側面、つまりホルベックロータースリーブ７４，７６、ホルベックステータースリーブ７８，８０及び収容部分１３２の半径方向内側面及び外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ７８の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８２を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ７４の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ７４の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８４を形成しつつ内側のホルベックステータースリーブ８９の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ８０の半径方向内側面は、ホルベック間隙８６は、半径方向のホルベック間隙８６を形成しつつ内側のホルベックロータースリーブ７６の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第三のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックロータースリーブ７６の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８７を形成しつつ収容部分１３２の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第四のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックステータースリーブ７８，８０と収容部分１３２の上述したポンプ効果を発する表面は、其々、回転軸１４の周りを螺旋形状に軸方向に推移する複数のホルベック溝を有している。他方で、ホルベックロータースリーブ７４，７６の向き合った表面は、滑らかに形成されており、そしてガスは、真空ポンプの運転中、当該ホルベック溝の中を搬送される。

ローター軸１５の回転可能な支承の為に、ローラー支承部８８がポンプアルトレット１２の領域に、そして永久磁石支承部９０がポンプインレット１０の領域に設けられている。

ローラー支承部８８の領域には、ローター軸１５に円すい形のスプラッシュナット９２が、ローラー支承部８８の方向に向かって増加する外直径を有し、設けられている。スプラッシュナット９２は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触している。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク９４を有する。これらは、ローラー支承部８８の為の作動媒体、例えば潤滑媒体を浸されている。真空ポンプの作動中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部から、スキマーを介して、回転するスプラッシュナット９２へと伝達され、そして遠心力の結果、スプラッシュナット９２に沿って、大きくなるスプラッシュナット９２の外直径の方向へと、ローラー支承部８８に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。ローラー支承部８８と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプのカバー要素９８及び槽形状のインサート９６によって囲まれている。

永久磁石支承部は、ローター側の支承半部１００とステーター側の支承半部１０２を有する。これらは、各一つのリング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１０４または１０６から成る。磁石リング１０４，１０６は、半径方向の支承間隙１０８を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ローター側の磁石リング１０４は、半径方向の外側、そしてステーター側の磁石リング１０６は半径方向の内側に配置されている。支承間隙１０８内に存在する磁場は、磁気的反発力を、磁石リング１０４，１０６の間に引き起こす。これらは、ローター軸１５の半径方向の支承に作用する。

ローター側の磁石リング１０４は、ローター軸のキャリア１１０に担持されている。このローター軸は、磁石リング１０４を半径方向外側において取り囲んでいる。ステーター側の磁石リングは、ステーター側のキャリア部分１１２によって担持されている。このキャリア部分は、磁石リング１１２を通って延在しており、ハウジング６４の半径方向の支柱１１４に懸架されている。回転軸１４に平行に、ローター側の磁石リング１０４は、一方の方向では、キャリア部分１１０と連結されたカバー要素１１６によって、そして他方の方向では、半径方向に突き出したキャリア部分１１０のショルダー部分によって固定されている。ステーター側の磁石リング１０６は、回転軸１４に平行に、一方の方向では、キャリア部分１１２と接続された固定リング１１８によって、そして、固定リング１１８と磁石リング１０６の間に設けられたバランス要素１２０によって、そして他方の方向では、キャリア部分１１２と接続されたサポートリング１２２によって固定されている。

磁石支承部の内部には、緊急又は安全用支承部（Ｎｏｔ− ｂｚｗ． Ｆａｎｇｌａｇｅｒ）１２４が設けられている。これは、真空ポンプの通常の運転では、非接触で起立しており、ローター１６がステーターに対して半径方向に過剰に傾いた際に初めてこれと係合するに至り、そして共に動き、ローター１６の為の半径方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。安全用支承部１２４は、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そしてローター１６及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部１２４が通常のポンプ運転において係合しないことに作用する。安全用支承部１４が係合する半径方向の傾きは、十分大きく寸法決めされているので、安全用支承部１２４は真空ポンプの通常の運転で係合せず、そして同時に十分小さいのでローター側の構造がステーター側の構造と衝突することを、どんなことがあっても防止する。

真空ポンプは、ローター１６の回転駆動の為の駆動モーター２０を有する。駆動モーター２０は、一つのコア３８を有し、そして一又は複数の図１には簡略的にのみ表されているコイル４２を有するモーターステーター２２を有する。これらコイルは、コア３８の半径方向内側に設けられるコア３８の溝内に固定されている。

駆動モーター２０のアンカー（独語：Ａｎｋｅｒ）が、ローター１６によって形成されており、そのローター軸１５が、モーターステーター２２を貫通して延在している。ローター軸１５の、モーターステーター２２を貫通して延在する部分には、半径方向外側に、永久磁石装置１２８が固定されている。モーターステーター２２と、ローター１６のモーターステーター２２を貫通して延在する部分の間には、中間空間２４が設けられている。この中間空間は、半径方向のモーター間隙を有する。このモーター間隙を介して、モーターステーター２２と永久磁石装置１２８が駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響する。

永久磁石装置１２８は、軸方向において、ローター軸１５上にかぶせられた（独語：ａｕｆｇｅｓｔｅｃｋｔｅ）固定スリーブ１２６によってローター軸１５に固定されている。カプセル部１３０が、永久磁石装置１２８をその半径方向外側において取り囲んでおり、そしてこれを中間空間２４に対してシールしている。

モーターステーター２２は、ハウジング６４内で、ハウジング固定の収容部分１３２によって固定されている。これは、モーターステーター２２を半径方向外側で取り囲み、そしてモーターステーター２２を半径方向及び軸方向で支持している。収容部分１３２は、ローターハブ７２とともにモーター室１８を画成する。この中に駆動モーター２０が収容されている。

モーター室１８は、中間空間２４の一方の側に設けられ、そして内側に位置する第四のホルベックポンプ段によってガスを導くよう接続されたインレット２８と、中間空間２４の向き合った側に設けられ、そしてポンプアウトレット１２とガスを導くよう接続されたアウトレット３０を有している。

モーターステーター２２のコアは、その半径方向外側、図１において左側に示された領域に、空所部３４を有する。これは、収容部分１３２の隣接する領域とともにチャネル３２を形成する。このチャネルによって、モーター室１８内に搬送されるプロセスガスが、中間空間２４を通過し、インレット２８からアウトレット３０へと搬送される。

プロセスガスがポンプインレット１０からポンプアウトレット１２へと至るガス経路は、図１において矢印２６によって見て取れる。プロセスガスは、ポンプインレット１０から出発して、まず順番にターボ分子的ポンプ段を通って、そして引き続いて順番に四つのホルベックポンプ段を通って搬送される。第四のホルベックポンプ段から発生するガスは、モーター室１８に至り、そしてモーター室１８のインレット２８からチャネル３２を通ってモーター室１８のアウトレット３０とポンプアウトレット１２に搬送される。

図１の真空ポンプにおいては、ローター軸１５に固定された半径方向のローターディスク６６と、ローターディスク６６の間に配置され、かつ真空ポンプのハウジング６４に固定されているステーターディスク６８が、其々対としてターボ分子的ポンプ段を形成する。

図２は、ローターディスク６６の上面図を示す。これは、半径方向内側に位置する担持リング１３６を有している。担持リングには、外側に向かって推移し、かつ担持リング１３６の周囲方向においてみて互いにオフセットして設けられる複数の羽根１３４が設けられている。ローターディスク６６の担持リング１３６の半径方向内側面と、ローター軸１５の半径方向外側面の間には、しまり嵌め（独語：Ｑｕｅｒｐｒｅｓｓｖｅｒｂｉｎｄｕｎｇ）が生じる。これは、上述した面をお互いに押圧する。押圧は、固定的かつ極めて確実にローターディスク６６がローター軸１５上にシートすることが保証されているように行われる。

図３は、複数のローターディスク６６を有する装置を示す。当該装置は、図２を参照しつつ先に説明したように、ローター軸１５上に設けられている。図１を参照しつつ上述したように、軸方向で見て、ローターディスク６６はステーターディスク６８と交互に交替している。ステーターディスク６８のうち、図３には羽根１４０のみが示されている。これらは、半径方向外側に設けられ、かつ真空ポンプのハウジングによって担持されている担持リング（ステーターディスク６８の担持リング）から出発して半径方向内側に向かって延在している。

担持リング１３６には、軸方向でみて羽根１３４の上側および下側に各一つの補強リング１３８が設けられていることが可能である。各補強リング１３８の半径方向内側面と、各担持リング１３６の半径方向外側面の間には、ここでもまた、しまり嵌めが形成されていることが可能である。これによって各ローターディスク６６のローター軸１５に対するシートの強度が向上されることが可能である。

各ローターディスク６６は、上述したバリエーションにおいては、よって担持リング１３６（担持リングは、これに設けられた羽根１３４を有する）から成っている。相応して、各ステーターディスク６８は、担持リング（担持リングはこれに設けられた羽根１４０を有する）から成っている。ローターディスク６６又はステーターディスク６８は、例えば、発明に従い特に有利に、生成的な製造方法によって製造される、または製造されている部材である。というのは、これによって特に、比較的複雑な羽根１３４，１４０の幾何形状が特に簡単に実現されることが可能だからである。生成的な製造方法は、その際、ローターディスク６６又はステーターディスク６８が、ステレオリトグラフ、レーザー溶融、レーザー焼結、選択的レーザー焼結、層ラミネート方法、押出成形、熱溶融積層法、ラミネートオブジェクトモデリング、または３Ｄプリンティングの少なくとも一つに従い製造されることを含む。その際、部材６６，６８は、二以上の部材層から構成されることが可能である。これらは、時期的にみて相次いで、そして空間的にみて重なり合って生成的な製造方法によってつくりだされることが可能である。その際、重なり合った部材層は、積層によってまとめられることが可能である。

部材の製造の為に、好ましくは少なくとも粉状材料が仕様される。特に、担持リング（ローターディスク６６の担持リング１３６参照）の製造の為に、羽根（羽根１３４および１４０参照）の製造のためのものと異なる粉状材料が仕様される。例えば担持リングは、アルミニウムから、そして羽根はチタンから生成的な製造方法によって作られることが可能である。担持リングと羽根の間の接続箇所には、その際、金属間化結合（独語：ｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｓｃｈｅ Ｖｅｒｂｉｎｄｕｎｇ）によるアルミニウム・チタン・繊維部が形成されることが可能である。

生成的な製造方法によるローターディスク６６とステーターディスク６８の製造は、例としてのみ見られる。当然、他の部材、特に、複雑な幾何形状を有する部材、及び／又は真空ポンプの運転中に高い負荷にさらされる部材も、生成的な製造方法によって作られることが可能である。

図１に表されたターボ分子ポンプの他の真空ポンプの部材も、生成的な製造方法によって作られることが可能である。例えば、上述した方法によってルーツポンプ（独語：Ｗａｅｌｚｋｏｌｂｅｎｐｕｍｐｅ）の部材も作られることが可能である。例えば、ルーツポンプのローターが生成的に作られることが可能であり、その際、特にローターにおいて意図されるハチの巣構造が簡単な方法、少ない材料コスト、及び少ない廃棄物で作られることが可能である。

１０ ポンプインレット
１１ インレットフランジ
１２ ポンプアウトレット
１４ 回転軸
１５ ローター軸
１６ ローター
１８ モーター室
２０ 駆動モーター
２２ モーターステーター
２４ 中間空間
２６ 矢印、ガス経路
２８ インレット
３０ アウトレット
３２ チャネル
３４ 空所部
３８ コア
４２ コイル
６４ ハウジング
６６ ローターディスク
６８ ステーターディスク
７０ スペーサーリング
７２ ローターハブ
７４，７６ ホルベックロータースリーブ
７８，８０ ホルベックステータースリーブ
８２，８４，８６，８７ ホルベック間隙
８８ ローラー支承部
９０ 永久磁石支承部
９２ スプラッシュナット
９４ 吸収性のディスク
９６ 槽形状のインサート
９８ カバー要素
１００ ローター側の支承半部
１０２ ステーター側の支承半部
１０４，１０６ 磁石リング
１０８ 支承間隙
１１０，１１２ キャリア部分
１１４ 支柱
１１６ カバー要素
１１８ 固定リング
１２０ バランス要素
１２２ サポートリング
１２４ 安全用支承部
１２６ 固定スリーブ
１２８ 永久磁石装置
１３０ カプセル部
１３２ 収容部分
１３４ 羽根
１３６ 担持リング
１３８ 補強リング
１４０ 羽根

Claims (13)

1. 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの部材（６６，６８）の製造の為の方法において、
   部材（６６，６８）が、生成的な製造方法によって作られることを特徴とする方法。
2. 生成的な製造方法が、部材（６６，６８）が、ステレオリトグラフィー、レーザー溶融、レーザー焼結、選択的レーザー焼結、層ラミネート方法、押出成形、熱溶融積層法、ラミネートオブジェクトモデリング、電子放射溶融、または３Ｄプリンティングの少なくとも一つに従い製造されることを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 部材（６６，６８）が、部材（６６，６８）の計算機内部の少なくとも一つのデータモデルに基づいて製造されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
4. 部材（６６，６８）が、無定形の、または形状中立的な少なくとも一つの材料から、化学的及び／又は物理的なプロセスによって製造されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
5. 部材（６６，６８）が、少なくとも二つの部材層から構成されており、これら部材層が、時期的に前後して、及び空間的に少なくとも基本的に重なり合って製造されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
6. 部材６６，６８）の少なくとも二つの部材層がラミネートによって合わせられることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
7. 部材（６６，６８）の製造の為に、少なくとも一つの粉状材料が使用されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
8. 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの為の部材であって、及び／又は請求項１から７のいずれか一項に記載の方法に従い製造される、または製造可能である部材において、
   部材（６６，６８）が、粉状材料から構成されることを特徴とする部材。
9. 粉状材料が、アルミニウム又はチタン又はアルミニウムとチタンの組合せ、特に金属間結合によるアルミニウム・チタン遷移物を含むことを特徴とする請求項８に記載の部材。
10. 部材（６６，６８）が、少なくとも二つの、特にラミネートされた部材層から構成されていることを特徴とする請求項８または９に記載の部材。
11. 部材が、ターボ分子ポンプのターボ分子的ポンプ段のローターディスク（６６）又はステーターディスク（６８）であって、その際、好ましくは、ディスク（６６，６８）が、ベースボディ（１３６）、特に担持リングと、該ベースボディ（１３６）に設けられた複数の羽根（１３４，１４０）を有し、そしてベースボディ（１３６）が、材料、特にアルミニウムから形成されており、そして羽根（１３４，１４０）が他の材料、特にチタンから形成されていることを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の部材。
12. 部材（６６，６８）がリング形状の部材であることを特徴とする請求項８から１１のいずれか一項に記載の部材。
13. 請求項８から１２のいずれか一項に記載の部材（６６，６８）を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプ。

Images