JP4395052B2 - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4395052B2 JP4395052B2 JP2004327112A JP2004327112A JP4395052B2 JP 4395052 B2 JP4395052 B2 JP 4395052B2 JP 2004327112 A JP2004327112 A JP 2004327112A JP 2004327112 A JP2004327112 A JP 2004327112A JP 4395052 B2 JP4395052 B2 JP 4395052B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- displaced
- voltage
- passage
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 10
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 8
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/12—Fluid-filled or evacuated lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/12—Fluid-filled or evacuated lenses
- G02B3/14—Fluid-filled or evacuated lenses of variable focal length
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Description
(1)引張力を利用して保持するため、可動体20を、変位方向と略直交する面と平行に保つことができ、重力の影響を低減して姿勢の安定化を図ることができる。
(2)レンズ22と圧電振動子21を一体化して可動体20を形成することとしたので、部品点数が減り、小型化,軽量化,製造効率の向上,製造コストの低減が可能である。
(3)バネ14の弾性力を利用して可動体20を保持するため動作が安定する。
(4)可動体20の移動の際に、該可動体20の外周部とシャフト16の接点が常に移動するため、可動体20とシャフト16の固着が抑制され、レンズ22を変位方向に安定して駆動することができ、耐久性も向上する。また、移動方向によらず安定した変位速度を保つことができる。
(5)シャフト16が可動体20の移動時の回転を防止することにより、安定した位置決めが可能である。従って、回転抑制が必要とされる他の各種の被移送物についても、良好な移送を行うことができる。
(1)上述した実施例に示した材料,形状,寸法は一例であり、同様の作用を奏するように適宜変更可能である。特に、前記実施例で示したシャフト16や開口部26及び46の形状は一例であり、可動体20や42と、シャフト16が接触し、摩擦力が作用する形状であれば、適宜変更してよい。例えば、前記実施例1の構造において、図15(A)に示すように、シャフト70の形状を板状とし、凸部24Aに設ける開口部72の形状を長方形などとしてもよいし、図15(B)に示すように、シャフト74を角に丸みを持たせた各棒状とし、開口部76の形状をそれに合わせるようにしてもよい。このほかにも、凸部24や振動板44に形成する開口部の形状とともに変更することにより、シャフト16の断面形状を楕円形,扇形,半円形などにしても、上述した実施例1と同様の効果が得られる。
(6)前記実施例のレンズ22は一例であり、本発明は、例えば、カメラの撮影レンズやオーバーヘッドプロジェクタなどの投影レンズ,双眼鏡のレンズ,複写機のレンズなど、光学装置におけるレンズの駆動のほか、プロッタやX−Y駆動テーブルのような装置など、駆動部を有する装置一般に適用可能である。
12:通路
14:バネ
16:シャフト
20:可動体(アクチュエータ本体)
21:圧電振動子(平面変形素子)
22:レンズ
24:振動板
24A,24B:凸部
26:開口部
28,30:圧電素子
28A,30A:電極層
40:駆動装置
42:可動体
44:振動板
46:開口部
50:駆動装置
52:保持ガイド
54:溝
60:可動体
62:振動板
64:フック
66,68:圧電素子
66A:電極層
70,74:シャフト
72,76:開口部
78:貫通部
80:フック
82:保持ガイド
84:溝101:鏡筒
101a,101c:両端
101b,101d:孔
101e:支持部
101f:フォーク
101k:コ字状部
103:ガイドバー
112:圧電素子
113:駆動棒支持部材
113a,113c,113e:立ち上がり部
113b,113d:孔
114:板バネ
114c:摩擦部
115,116:ネジ
117:駆動棒
200:平面変形素子
202:ウエイト
204:クランプ脚
206:円板
208,210:圧電板
W:壁面
Claims (2)
- 被変位物を通路内で移動させるための駆動装置であって、
前記被変位物が一体に取り付けられるとともに、印加電圧により撓む平面変形素子,
前記被変位物の移動方向と略直交する方向に引張力を付与するための少なくとも一つの付勢手段,
前記付勢手段を利用して、前記通路の内側から外側に向けて前記平面変形素子の外周部に引張力を負荷するとともに、前記被変位物の移動範囲に応じて移動をガイドする複数の保持機構を備え、
前記保持機構は、
前記付勢手段の先端に、前記被変位物の移動方向に沿って連続して設けられたガイド手段,
前記平面変形素子の外周部に設けられた突出部に形成されており、前記ガイド手段を、前記付勢手段による押圧ないし引張方向にスライド可能に貫通させる開口部,
を含むことを特徴とする駆動装置。 - 被変位物を通路内で移動させるための駆動装置であって、
前記被変位物が一体に取り付けられるとともに、印加電圧により撓む平面変形素子,
前記被変位物の移動方向と略直交する方向に引張力を付与するための少なくとも一つの付勢手段,
前記付勢手段を利用して、前記通路の内側から外側に向けて前記平面変形素子の外周部に引張力を負荷するとともに、前記被変位物の移動範囲に応じて移動をガイドする複数の保持機構を備え、
前記保持機構は、
前記付勢手段の先端に、前記被変位物の移動方向に沿って連続して設けられたガイド手段,
前記平面変形素子の周縁部に形成されており、前記ガイド手段を、前記付勢手段による押圧ないし引張方向にスライド可能に貫通させる開口部,
を含むことを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004327112A JP4395052B2 (ja) | 2004-11-10 | 2004-11-10 | 駆動装置 |
CNB2005101177885A CN100446291C (zh) | 2004-11-10 | 2005-11-10 | 驱动装置 |
US11/271,676 US7656073B2 (en) | 2004-11-10 | 2005-11-10 | Driving device |
HK06108835A HK1086947A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-08-09 | Driving device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004327112A JP4395052B2 (ja) | 2004-11-10 | 2004-11-10 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006141102A JP2006141102A (ja) | 2006-06-01 |
JP4395052B2 true JP4395052B2 (ja) | 2010-01-06 |
Family
ID=36573417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004327112A Expired - Fee Related JP4395052B2 (ja) | 2004-11-10 | 2004-11-10 | 駆動装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7656073B2 (ja) |
JP (1) | JP4395052B2 (ja) |
CN (1) | CN100446291C (ja) |
HK (1) | HK1086947A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7800845B2 (en) * | 2006-05-26 | 2010-09-21 | Hinds Instruments, Inc. | Support for vibrating optical assembly |
WO2009001770A1 (ja) * | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Alps Electric Co., Ltd. | 電歪アクチュエータ |
US8190015B2 (en) | 2007-09-07 | 2012-05-29 | Qualcomm Incorporated | Method and device for damping lens vibration |
US8314533B2 (en) * | 2007-10-18 | 2012-11-20 | Panasonic Corporation | Vibratory actuator |
US7751135B2 (en) * | 2007-12-03 | 2010-07-06 | Nokia Corporation | Piezoelectric movement of a lens |
KR101361783B1 (ko) * | 2008-10-15 | 2014-02-11 | 삼성테크윈 주식회사 | 렌즈 구동 유닛 및 이를 구비하는 카메라 모듈 |
CN102033286A (zh) * | 2009-09-29 | 2011-04-27 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 对焦装置及相机模组 |
US8279543B2 (en) * | 2009-12-28 | 2012-10-02 | Panasonic Corporation | Lens drive unit, lens barrel and imaging apparatus |
JP5791237B2 (ja) * | 2010-06-14 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
US8866364B2 (en) * | 2010-07-05 | 2014-10-21 | Aron Michael | Piezo-electric based micro-electro-mechanical lens actuation system |
CN101900862B (zh) * | 2010-08-02 | 2011-08-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 |
JP5679781B2 (ja) | 2010-11-26 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御装置 |
WO2012140967A1 (ja) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | アクチュエータ支持構造およびポンプ装置 |
CN102169218B (zh) * | 2011-05-17 | 2012-06-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 |
CN103597394B (zh) | 2011-07-20 | 2017-08-04 | 株式会社尼康 | 透镜镜筒、拍摄装置以及透镜镜筒的控制方法 |
JP2014018027A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Canon Inc | 振動型アクチュエータ、撮像装置、及びステージ |
US9484521B2 (en) * | 2013-04-10 | 2016-11-01 | Mplus Co., Ltd. | Vibration generating apparatus |
KR102019098B1 (ko) * | 2013-04-19 | 2019-11-04 | 엘지이노텍 주식회사 | 멤스 소자 |
GB201317216D0 (en) * | 2013-09-27 | 2013-11-13 | Adlens Ltd | Improvements in or relating to deformable membrane assemblies |
KR20160031728A (ko) * | 2014-09-15 | 2016-03-23 | 주식회사 엠플러스 | 진동발생장치 |
EP3085964B1 (de) * | 2015-04-21 | 2019-12-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Herstellung eines vakuumpumpen-teils mittels eines metallischen, generativen fertigungsverfahrens |
US10007034B2 (en) * | 2015-09-09 | 2018-06-26 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Auto focusing device |
CN107046380B (zh) * | 2017-02-23 | 2019-04-19 | 南京航空航天大学 | 一种多辐条型超声电机 |
JP6725068B2 (ja) * | 2017-05-01 | 2020-07-15 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品 |
KR20240023213A (ko) | 2017-06-12 | 2024-02-20 | 매직 립, 인코포레이티드 | 깊이 평면들을 변경하기 위한 다중-엘리먼트 적응형 렌즈를 갖는 증강 현실 디스플레이 |
CN108540009B (zh) * | 2018-05-10 | 2019-08-13 | 西安交通大学 | 基于双弧形逆挠曲电作动部件的二维精密作动平台及方法 |
US20220066239A1 (en) * | 2018-12-14 | 2022-03-03 | Optotune Ag | Shape changing optical device for ophthalmic testing devices |
EP3977595A4 (en) | 2019-05-24 | 2022-11-02 | Magic Leap, Inc. | ANNULAR AXIAL FLUX MOTORS |
US11624919B2 (en) * | 2019-05-24 | 2023-04-11 | Magic Leap, Inc. | Variable focus assemblies |
EP3754733A1 (en) * | 2019-06-19 | 2020-12-23 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Piezoelectric actuator and microfluidic device |
WO2022032198A1 (en) | 2020-08-07 | 2022-02-10 | Magic Leap, Inc. | Tunable cylindrical lenses and head-mounted display including the same |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2633066B2 (ja) | 1990-07-03 | 1997-07-23 | キヤノン株式会社 | 駆動装置 |
JP3170999B2 (ja) | 1994-04-26 | 2001-05-28 | ミノルタ株式会社 | 駆動装置 |
JPH08168278A (ja) | 1994-12-16 | 1996-06-25 | Tamura Electric Works Ltd | リニア型超音波アクチュエータ |
JPH08207755A (ja) | 1995-02-02 | 1996-08-13 | Nippondenso Co Ltd | 孔内移動装置 |
JP3538976B2 (ja) | 1995-07-19 | 2004-06-14 | 株式会社デンソー | 積層型アクチュエータおよび移動装置 |
JPH10144976A (ja) | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2001179180A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Victor Co Of Japan Ltd | 振動子及びこれを用いた光偏向器並びに半導体冷却装置 |
DE60307514T2 (de) * | 2002-12-10 | 2007-04-05 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Einfüge- und Extraktionsvorrichtung für rotierbare Datenträgerplatten |
JP4689989B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2011-06-01 | オリンパス株式会社 | 振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置 |
-
2004
- 2004-11-10 JP JP2004327112A patent/JP4395052B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-11-10 US US11/271,676 patent/US7656073B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-10 CN CNB2005101177885A patent/CN100446291C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-09 HK HK06108835A patent/HK1086947A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7656073B2 (en) | 2010-02-02 |
CN1773741A (zh) | 2006-05-17 |
JP2006141102A (ja) | 2006-06-01 |
HK1086947A1 (en) | 2006-09-29 |
US20060119218A1 (en) | 2006-06-08 |
CN100446291C (zh) | 2008-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4395052B2 (ja) | 駆動装置 | |
US20090127974A1 (en) | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor | |
JP2007104761A (ja) | アクチュエータ | |
JP2010097216A (ja) | レンズ駆動ユニット及びこれを備えるカメラモジュール | |
JP2007049878A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007049879A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007049874A (ja) | アクチュエータ | |
US7956513B2 (en) | Method of driving a driving device | |
JP2007049875A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007114707A (ja) | レンズ装置 | |
JP2012029495A (ja) | 駆動装置 | |
JP2008199826A (ja) | 駆動装置 | |
JP2005057907A (ja) | 駆動装置 | |
JP2007049880A (ja) | アクチュエータ | |
JP4558071B2 (ja) | 駆動装置、およびこれを備えた撮像装置、電子機器 | |
JP4554261B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP2007181261A (ja) | 駆動ユニット及びカメラモジュール | |
JP6948102B2 (ja) | リニア駆動装置、カメラ装置及び電子機器 | |
JP4809016B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2013120375A (ja) | 駆動装置 | |
JP2016027780A (ja) | 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及び自動ステージ | |
JP4554976B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP2019170079A (ja) | 振動型アクチュエータ及び装置 | |
JP2005354868A (ja) | アクチュエータ | |
JP2008243902A (ja) | 積層圧電素子の接着方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061030 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121023 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121023 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131023 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |