JP2019170079A - 振動型アクチュエータ及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ヒンジ構造の振動型アクチュエータにおいて振動体を支持する支持部材間のガタつきを抑制する。【解決手段】被駆動体10を挟む複数の振動体2を有する駆動ユニット6を有する振動型アクチュエータ100において、駆動ユニット6は、軸嵌合部を有し、軸嵌合部の軸まわりに回転可能で、それぞれが複数の振動体2のうち少なくとも1つの振動体を支持する上基台7と下基台8と、上基台7と下基台8を連結して、上基台7に支持された振動体2と下基台8に支持された振動体2とを被駆動体10に対して加圧する加圧バネ25と、上基台7と下基台とを被駆動体10と駆動ユニット6とが相対移動する方向に片寄せする圧縮コイルバネ14を備える。【選択図】図5
Description
本発明は、振動型アクチュエータと、振動型アクチュエータを備える装置に関する。
無音動作、低速から高速までの駆動の可能性、高トルク等の特徴を有する振動型アクチュエータは、例えば、カメラのレンズ駆動源として用いられている。圧電素子に励起した振動を利用する振動型アクチュエータは、圧電素子を備える振動体と被駆動体との間に摩擦力が生じるため、圧電素子へ無通電の状態であっても被駆動体を停止させた位置で保持する力(保持力)が大きいという特徴を有している。よって、複数の振動型アクチュエータを用いることで大きな駆動力と保持力を得ることができる。
このような振動型アクチュエータの特徴を活かした駆動装置が、例えば、特許文献1に開示されている。特許文献1に開示された駆動装置は、棒状の被駆動体と、被駆動体を上下方向で挟むように配置された2個の振動体と、振動体と共に移動する2個の振動体ユニットと、振動体を被駆動体に加圧する弾性部材を備える。2個の振動体ユニットにはそれぞれ2個ずつのガイド穴が形成され、振動体ユニットの間に位置する伝達部材の伝達ピンと嵌合されてガイド機構を形成している。このガイド機構により、2個の振動体ユニットは上下方向にのみ移動可能になり、弾性部材の付勢力により振動体は被駆動体に対して加圧接触する。この状態で振動体に振動が励起されると、被駆動体に対して振動体ユニットが直進移動を行う。このとき、弾性部材を、加圧方向だけでなく振動体ユニットの移動方向においても振動体ユニットを被駆動体に押圧させる姿勢(以下「傾斜姿勢」という)で配置することにより、ガイド機構に内在する隙間に起因するガタつきを抑制している。
しかしながら、特許文献1に開示された駆動装置では、2箇所のガイド機構を通る直線の延長線上近傍に弾性部材を配置しなければ、ガイド機構のスムーズな動きを保障することができない。しかし、このような位置に弾性部材を配置した場合、振動体の位置から離れた位置で付勢力を働かせることになり、被駆動体に対する振動体の加圧状態が安定せず、よって、駆動特性が安定しないという問題が生じる。また、弾性部材を傾斜姿勢で配置すると、2個の振動体ユニットの移動方向でのサイズが大きくなるため、ガイド機構に内在する隙間をなくす効果に限界がある。これらの問題を解決する手段として、2個の振動体ユニットをヒンジ構造によって連結し、ヒンジ部の反対側に弾性部材を張架するユニット構造を採用することが考えられる。
図11は、ヒンジ構造を有する振動型アクチュエータの断面図である。なお、図11に示す振動型アクチュエータは、後述する本発明の実施形態に係る振動型アクチュエータに対する比較例となる。振動型アクチュエータは、振動体が搭載された駆動ユニット201とガイド軸206を有し、駆動ユニット201は筐体(不図示)に両端を固定されたガイド軸206によって移動可能に案内されている。図11には、駆動ユニット201を駆動ユニット201の移動方向(X方向)と直交する平面(YZ面)で切った断面が表されている。
駆動ユニット201は、上基台202、下基台203、2個の振動体ユニット205a,205b、引っ張りバネ207を有する。下基台203には、ガイド軸206が嵌挿される丸穴が形成されている。上基台202には、上基台202を回転可能に支持するための回転軸202aが設けられ、下基台203には回転軸202aが嵌挿される丸穴(不図示)が形成されており、上基台202は下基台203に対して回転軸202aを中心に回転可能に支持されている。上基台202には振動体ユニット205aが上下方向(z方向)にのみ移動可能に支持され、下基台203には振動体ユニット205bが上下方向にのみ移動可能に支持されている。上基台202と下基台203の先端のフック形状に引っ張りバネ207を架けることにより、所定の押圧力で振動体ユニット205a,205bを被駆動体204に付勢することができる。制御手段(不図示)の移動命令(駆動信号)に従って、駆動ユニット201はx方向に所定距離を移動する。このような構成によれば、摺動抵抗の小さいヒンジ構造を用いるため、被駆動体204に対して振動体を一定の加圧力で接触させて、安定した接触状態を維持することができる。
ここで、振動体ユニット205a,205bが被駆動体204と接触する点と回転軸202aのY方向距離を“a”とする。また、引っ張りバネ207の張架位置と回転軸202aのY方向距離を“b”とする。振動体ユニット205a,205bの加圧力を“Fp”とし、引っ張りバネ207の張力を“T”とすると、Fp=T×b/a、の関係が成り立ち、b>aであるから張力Tは加圧力Fpよりも小さな力で済む。つまり、ヒンジ構造を採用することで、加圧力よりも小さな張力の引っ張りバネを使用することができる。
しかしながら、回転軸202aを中心にしてスムーズに回転させるためには、上基台202と下基台203の間に移動方向(x方向)で隙間が必要になるため、この隙間によるガタつきを抑制する手段が必要になる。例えば、上記特許文献1に開示されている技術に倣って引っ張りバネ207を移動方向に傾けて張架しても、このガタつきを抑制することはできない。これは、引っ張りバネ207が回転軸202aから離れた位置にあるため、移動方向の付勢力が加えられても、回転軸202aの中央付近を中心としたZ軸まわりのモーメントが大きく働くために、この隙間を詰める効果は期待できないからである。
本発明は、複数の振動体を用いたヒンジ構造の振動型アクチュエータにおいて、振動体を支持する支持部材間のガタつきを抑制することが可能な振動型アクチュエータを提供することを目的とする。
本発明に係る振動型アクチュエータは、被駆動体と、前記被駆動体を挟む複数の振動体を有する駆動ユニットと、を有する振動型アクチュエータであって、前記駆動ユニットは、軸嵌合部を有し、前記軸嵌合部の軸まわりに回転可能で、それぞれが前記複数の振動体のうち少なくとも1つの振動体を支持する第1の支持部材および第2の支持部材と、前記軸嵌合部から離れた位置で前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とを連結して、前記第1の支持部材に支持された振動体と前記第2の支持部材に支持された振動体とを前記被駆動体に対して加圧する第1の付勢手段と、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とを前記軸嵌合部において前記相対移動の方向に片寄せする第2の付勢手段と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、振動体を支持した基台間のガタつきを抑制することができ、これにより、高精度の位置決めが可能となり、また、応答性能を向上させることができる。
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の実施形態に係るリニア駆動型の振動型アクチュエータ100の外観斜視図である。図2は、振動型アクチュエータ100の分解斜視図である。振動型アクチュエータ100は、第1実施形態に係る駆動ユニット6、被駆動体10、上プレート20、下プレート21、ガイド軸22及び固定部材23,24を有する。駆動ユニット6は、2つの振動体ユニット1、上基台7、下基台8、2本の加圧バネ25を有する。
図1は、本発明の実施形態に係るリニア駆動型の振動型アクチュエータ100の外観斜視図である。図2は、振動型アクチュエータ100の分解斜視図である。振動型アクチュエータ100は、第1実施形態に係る駆動ユニット6、被駆動体10、上プレート20、下プレート21、ガイド軸22及び固定部材23,24を有する。駆動ユニット6は、2つの振動体ユニット1、上基台7、下基台8、2本の加圧バネ25を有する。
被駆動体10の両端とガイド軸22の両端は、固定部材23,24に固定されている。固定部材23,24は上プレート20と下プレート21に挟まれてこれらと連結されており、これらの部材によって振動型アクチュエータ100の筐体部が構成されている。駆動ユニット6は、ガイド軸22に沿って移動可能に支持されており、被駆動体10は、上基台7と下基台8に支持された2つの振動体ユニット1に挟まれている。
説明の便宜上、図1に示すようにX方向、Y方向、Z方向を規定する。X方向は、振動型アクチュエータ100の長さ方向であり、また、駆動ユニット6の移動方向である。Z方向は、振動型アクチュエータ100の厚み方向であり、2つの振動体ユニット1で被駆動体10を挟み込む方向である。Y方向は、Z方向は振動型アクチュエータ100の幅方向である。
図3は、駆動ユニット6の外観斜視図である。下基台8にはガイド軸22が摺動自在に挿入される嵌合穴8cが2か所(1箇所は振動体ユニット1に隠れて不図示)に設けられている。これにより、下基台8はガイド軸22に案内されてガイド軸22の軸方向(長さ方向)に移動可能であり、また、ガイド軸22を中心として回転可能である。
上基台7のY方向の一方の端部側には軸部7a,7bが形成され、下基台8のY方向の一方の端部側には軸受け部8a,8bが形成されている。上基台7に設けられた軸部7a,7bは下基台8に設けられた軸受け部8a,8bに嵌合しており、これにより軸嵌合部が形成されて、上基台7が下基台8に対して軸部7a,7bを中心として回動可能な位置関係が保たれたヒンジ構造が構成されている。軸部7a,7bは、円柱の側面の2箇所を互いに平行になるようにカットされた形状を有している。軸部7a,7bのカット面をXY平面と平行になるようにしてY方向から軸受け部8a,8bへ挿入した後、カット面がZ方向と平行になるように上基台7を90°回転させて加圧バネ25を張架する。こうして、簡単に軸部7a,7bを軸受け部8a,8bに嵌合させることができ、また、軸受け部8a,8bから軸部7a,7bが抜けるのを防止することができる。なお、ここでは上基台7に軸部7a,7bを設け、下基台8に軸受け部8a,8bを設けて軸嵌合部を形成したが、上基台7と下基台8とで軸部と軸受け部を逆に形成してもよい。なお、軸部7bと軸受け部8bは、上基台7に隠れて不図示となっている。
上基台7のY方向の他方の端部側にはバネフック7d,7eが形成されており、下基台8のY方向の他方の端部側にはバネフック8d,8eが形成されている。加圧バネ25は、上基台7に設けられたバネフック7d,7eと下基台8に設けられたバネフック8d,8eに張架されて、上基台7と下基台8に引っ張り力を与えている。これにより、上基台7と下基台8を介して2つの振動体ユニット1が被駆動体10へ加圧される。なお、ここでは、加圧バネ25として、引っ張りコイルばねを用いているが、これに限られず、ゴム製部材等の弾性体を用いて上基台7と下基台8に引っ張り力を与えてもよい。振動型アクチュエータ100では、2つの振動体ユニット1を駆動することにより、駆動ユニット6がガイド軸22に案内されながら、被駆動体10に対してX方向に相対移動する構造となっている。なお、振動体ユニット1の駆動方法については、図5を参照して後述する。
図4は、駆動ユニット6を構成する下基台8と振動体ユニット1の構造を説明する分解斜視図である。下基台8は、振動体ユニット1を支持する支持部材である。振動体ユニット1は、振動体2、緩衝部材11、加圧ブロック13及び振動体保持部9を有する。振動体2は、2つの突起部5が形成された振動板3と、振動板3に接着された電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子4とを有する。振動板3は鉄系の金属(例えば、SUS420J2)からなり、突起部5はプレス加工等により振動板3に一体的に成形されている。なお、別部材として準備された突起部材を溶接、接着等の手段を用いて振動板3に取り付けることで、振動板3に突起部5を設けてもよい。
ここで、振動体2の駆動原理について説明する。図5(a)は、振動体2を簡略化して示す斜視図である。図5(b)は、振動体2に励起される2つの屈曲振動モードのうちの第1振動モード(以下「Aモード」という)を説明する図である。Aモードは、振動体2の長手方向(X方向)における二次の屈曲振動であり、振動体2の短手方向(Y方向(幅方向))と略平行な3本の節線を有している。突起部5は、Aモードの振動で節となる位置の近傍に配置されており、振動体2にAモードの振動が励起されることによりX方向で往復運動を行う。図5(c)は、振動体2に励起される2つの屈曲振動モードのうちの第2振動モード(以下「Bモード」という)を説明する図である。Bモードは、振動体2の短手方向(Y方向)における一次の屈曲振動であり、長手方向(X方向)と略平行な2本の節線を有している。突起部5は、Bモードの振動で腹となる位置の近傍に配置されており、振動体2にBモードの振動が励起されることにより突起部5の軸方向(Z方向)で往復運動を行う。
ここで、振動体2は、Aモードでの節線とBモードでの節線がXY平面内において略直交するように構成されている。よって、AモードとBモードの振動を所定の位相差で励起することにより、突起部5の先端にZX面内で楕円運動を発生させて、被駆動体10(図5に不図示、図1及び図2参照)にX方向の駆動力を与えることができる。なお、圧電素子4には不図示のフレキシブル基板が接着されており、フレキシブル基板を通じて圧電素子4に交流電流を供給することにより、振動体2にAモードとBモードの振動を同時に励起することができる。振動体ユニット1は、振動体2のX方向が振動型アクチュエータ100のX方向と一致するように、振動型アクチュエータ100に組み込まれている。
図3及び図4を参照した説明に戻る。振動体2は、振動体保持部9に接着、溶接等の手段により固定されている。振動体保持部9には2カ所に穴部9aが設けられ、下基台8には2カ所に円柱状の凸部8fが設けられており、穴部9aと凸部8fは摺動自在に嵌合している。なお、凸部8fは、下基台8と一体的に形成されていてもよいし、別部材として準備されたピンを圧入等により下基台8に固定することにより形成されていてもよい。
圧電素子4において振動板3と接着される面の反対側の面は、加圧力を分散させるための緩衝部材11と接触している。緩衝部材11が取り付けられた加圧ブロック13は、下基台8に対してZ方向にのみ移動可能に支持されている。緩衝部材11としては、例えば、フェルトを用いることができる。緩衝部材11は、接着等の手段により加圧ブロック13に取り付けられている。加圧ブロック13において緩衝部材11が取り付けられている面の反対の面には2カ所に突起13aが設けられ、下基台8には2カ所に穴部8gが設けられている。突起13aが穴部8gに嵌合することにより、加圧ブロック13は下基台8に対して位置決めされている。
振動体2の突起部5を被駆動体10に対して加圧接触させる加圧力は、加圧バネ25によって与えられる。つまり、加圧ブロック13において緩衝部材11が取り付けられた面の反対側の面は、下基台8に設けられた凸部8hと接触する。これにより、振動体保持部9と下基台8との間に隙間が形成された状態となることで、振動体2のみに加圧力を与えることができるようになっている。
なお、上基台7は、下基台8と同様に振動体ユニット1を支持する支持部材であり、上基台7に対する振動体2、振動体保持部9、緩衝部材11及び加圧ブロック13の設置の形態は上述した下基台8での各部材の設置の形態と同様であるため、説明を省略する。上記構成により、上基台7と下基台8に加圧バネ25によって与えられた加圧力が、直接、振動体2に伝わる。すなわち、Z方向において2つの振動体2のそれぞれと被駆動体10との間に加圧力が作用する。
次に、駆動ユニット6の構成について、より詳細に説明する。図6(a)は、駆動ユニット6の分解斜視図である。図6(b)は、駆動ユニット6の上面図(平面図)である。下基台8の下部には、駆動ユニット6を不図示の駆動部品(移動させたい物体、例えば、撮像装置におけるレンズ等)と連結するための連結部8iが設けられている。
上基台7の軸部7aの内側(根元側)には、軸部7aより若干太い円柱状のバネガイド部7cが形成されている。振動体2の被駆動体10への加圧力を安定させるためには、上基台7と下基台8が軸部7a,7bを中心としてスムーズに回転する必要がある。そのためには、上基台7の軸部7aの内側の端面7f(バネガイド部7cの軸部7a側の端面)と下基台8の軸受け部8aの内側の端面8jとの間に適当な隙間が必要となる。上基台7と下基台8の加工誤差を考慮すると、この隙間は少なくとも数十ミクロン以上は必要である。
しかし、このような隙間が存在すると、従来技術に関して前述した通り、位置決め精度や応答性能が低下してしまい、所望の性能が得られない。そこで、バネガイド部7cに圧縮コイルバネ14を予め圧縮した状態で挿入している。これにより、圧縮コイルバネ14の付勢力により、図6(b)に示すように、上基台7と下基台8の間には常にバネガイド部7cの中心軸方向である矢印k方向に力が働く。この矢印k方向の力により、上基台7は下基台8に対して片寄せされ、上基台7と下基台8の間のX方向の隙間は、常に圧縮コイルバネ14が配置された軸部7a側にのみ生じる。
この場合、圧縮コイルバネ14の付勢力によって上基台7と下基台8の軸部7bの周囲に摩擦力(以下「基台間摩擦力」という)が発生する。しかし、軸部7a,7b中心軸まわりのモーメントを考えると、基台間摩擦力によるモーメントよりも加圧バネ25の付勢力によるモーメントの方が遙かに大きいため、基台間摩擦力は問題とならない。なお、圧縮コイルバネ14を軸部7a,7bと同軸に配置することで、基台間摩擦力によるモーメントを最小限に抑えることができる。なお、圧縮コイルバネ14は、上基台7を下基台8に片寄せする付勢部材の一例である。圧縮コイルバネ14に代えて、軸方向に圧縮された円筒形状のゴム製部材をバネガイド部7cに挿入し、ゴム製部材の付勢力により上基台7を下基台8に片寄せする構成としてもよい。
次に、振動型アクチュエータ100の応答性について説明する。仮に、圧縮コイルバネ14を配置せずに駆動ユニット6が矢印kの反対方向へ移動させる場合、連結部8iが下基台8と一体に形成されているため、下基台8が保持する振動体2の推力Fは直ぐに駆動部品(不図示)を移動させるための駆動力として働く。一方、上基台7が保持する振動体2の推力Fは、先ず、下基台8に対するX方向の隙間分を移動するために用いられ、よって、駆動部品に連結された下基台8に直ぐには伝わらない。つまり、上基台7が下基台8に当接するまでの間は、駆動部品を移動させるための駆動力が実質的に1つの振動体2による推力Fだけになるので、駆動部品を必要な加速度で移動させることができないおそれがある。つまり、必要な応答性が得られず、場合によっては上基台7に保持されている振動体2の推力Fが下基台8に伝わるまでの間は、駆動部品が停止したままとなって、起動が遅れるおそれもある。
これに対して、圧縮コイルバネ14が配置されることで、上基台7の振動体2の推力が圧縮コイルバネ14を介して即座に下基台8に伝達されるため、応答性を改善することができる。圧縮コイルバネ14の付勢力は、1個の振動体2の推力F以上とすることが望ましい。これは、推力F以上の付勢力があれば、振動体2の起動時に発生する圧縮コイルバネ14の変形量は小さく、よって、応答性改善の効果が顕著になるからである。
<第2実施形態>
第1実施形態に係る駆動ユニット6では、圧縮コイルバネ14により上基台7と下基台8の間に常に付勢力が働いている構成とした。これに対して、第2実施形態に係る駆動ユニットでは、以下に詳細に説明するように、板状のバネを用いて上基台を下基台に対して片寄せする付勢力が常に働いている構成としている。
第1実施形態に係る駆動ユニット6では、圧縮コイルバネ14により上基台7と下基台8の間に常に付勢力が働いている構成とした。これに対して、第2実施形態に係る駆動ユニットでは、以下に詳細に説明するように、板状のバネを用いて上基台を下基台に対して片寄せする付勢力が常に働いている構成としている。
図7は、第2実施形態に係る駆動ユニット30の外観斜視図である。駆動ユニット30では、上基台37に軸部37a,37bが設けられ、下基台38に軸受け部38a,38bが設けられて軸嵌合部が形成されており、上基台37と下基台38がヒンジ構造を形成している。加圧バネ25の配設形態や振動体2の支持構造は、駆動ユニット30と第1実施形態に係る駆動ユニット6とで共通するため、説明を省略する。
上基台37の軸部37aの先端には、半球上の凸部37cが形成されている。下基台38には、付勢板バネ31がねじ止めされている。付勢板バネ31は、ねじ止めされた固定部からL字状の変形部31aが延在しており、変形部31aの端部が凸部37cに接している。凸部37cが−X方向に突出していることにより変形部31aの端部が外向き(−X向き)に変形する。これにより、付勢板バネ31からのX方向の付勢力が常に上基台37に働き、軸部37b側の上基台37と下基台38との間のX方向でのガタつきをなくすことができる。駆動ユニット30では、組立工程の最後に付勢板バネ31をねじ止めすればよいため、第1実施形態に係る駆動ユニット6よりも、組立が容易であり、生産性を高めることができる。なお、上基台37と下基台38とで軸部と軸受け部を逆に形成してもよい。その場合、付勢板バネ31は上基台37に固定する必要がある。
<第3実施形態>
第3実施形態では、引っ張りコイルバネを用いて上基台を下基台に対して片寄せする付勢力が常に働いている構成としている。図8は、第3実施形態に係る駆動ユニット40の外観斜視図である。駆動ユニット40では、上基台47に軸部47a,47bが設けられ、下基台48に軸受け部48a,48bが設けられて軸嵌合部が形成されており、上基台47と下基台48がヒンジ構造を形成している。加圧バネ25の配設形態や振動体2の支持構造は、駆動ユニット40と第1実施形態に係る駆動ユニット6とで共通するため、説明を省略する。
第3実施形態では、引っ張りコイルバネを用いて上基台を下基台に対して片寄せする付勢力が常に働いている構成としている。図8は、第3実施形態に係る駆動ユニット40の外観斜視図である。駆動ユニット40では、上基台47に軸部47a,47bが設けられ、下基台48に軸受け部48a,48bが設けられて軸嵌合部が形成されており、上基台47と下基台48がヒンジ構造を形成している。加圧バネ25の配設形態や振動体2の支持構造は、駆動ユニット40と第1実施形態に係る駆動ユニット6とで共通するため、説明を省略する。
上基台47にはバネフック47cが形成されており、下基台48にはバネフック48cが形成されている。バネフック47c,48c間に引っ張りコイルバネ41を張架することにより、上基台47と下基台48の間に常にX方向の付勢力が働き、軸部47a側での上基台47と下基台48のX方向でのガタつきをなくすことができる。引っ張りコイルバネ41の付勢力は、第1及び第2実施形態とは異なり、軸部47a,47bから離れた位置で働くが、軸部47a,47bからの距離が短ければ、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られる。また、引っ張りコイルバネ41の付勢力の方向が軸部47a,47bの中心軸と平行でなくても、付勢力の成分を駆動ユニット40の移動方向成分と、移動方向と直交する方向の成分とに分解したときに、移動方向成分の方が大きければ(支配的であれば)よい。これにより、第1実施形態及び第2実施形態と同様の効果が得られる。駆動ユニット40では、組立工程の最後に引っ張りコイルバネ41を張架すればよいので、第1実施形態に係る駆動ユニット6よりも、組立が容易であり、生産性を高めることができる。
<第4実施形態>
次に、振動型アクチュエータ100を適用した各種の装置について説明する。図9は、振動型アクチュエータ100を備える撮像装置50の概略構成を示す上面図である。撮像装置50は、撮像素子(不図示)を有する撮像装置本体51と、撮像装置本体51に対して着脱自在なレンズ鏡筒52を有する。レンズ鏡筒52は、複数のレンズ群53と、フォーカス調整用レンズ54と、振動型アクチュエータ100を含む。フォーカス調整用レンズ54を保持する不図示のレンズ保持枠は、振動型アクチュエータ100における駆動ユニット6の下基台8の連結部8iに連結されている。振動型アクチュエータ100を駆動することにより、フォーカス調整用レンズ54を光軸方向に駆動して、被写体にピントを合わせることができる。
次に、振動型アクチュエータ100を適用した各種の装置について説明する。図9は、振動型アクチュエータ100を備える撮像装置50の概略構成を示す上面図である。撮像装置50は、撮像素子(不図示)を有する撮像装置本体51と、撮像装置本体51に対して着脱自在なレンズ鏡筒52を有する。レンズ鏡筒52は、複数のレンズ群53と、フォーカス調整用レンズ54と、振動型アクチュエータ100を含む。フォーカス調整用レンズ54を保持する不図示のレンズ保持枠は、振動型アクチュエータ100における駆動ユニット6の下基台8の連結部8iに連結されている。振動型アクチュエータ100を駆動することにより、フォーカス調整用レンズ54を光軸方向に駆動して、被写体にピントを合わせることができる。
なお、振動型アクチュエータ100は、レンズ鏡筒52にズーム用レンズが配置されている場合に、ズーム用レンズを光軸方向に移動させる駆動源として用いることもできる。更に、レンズ鏡筒52に像ブレ補正レンズが配置されている場合に、振動型アクチュエータ100は、像ブレ補正レンズを光軸と直交する平面内で駆動する駆動源として用いることができる。
図10は、振動型アクチュエータ100を備えるマニピュレータ70の概略構成を示す図である。マニピュレータ70は、支持部71、支持部71に配置された振動型アクチュエータ100、支持部71に対して矢印S方向にスライド可能に配置されたハンド部72を備える。ハンド部72は、振動型アクチュエータ100における駆動ユニット6の下基台8の連結部8iに連結されている。振動型アクチュエータ100は、ハンド部72を矢印S方向に駆動する(矢印S方向で伸縮させる)ための駆動源として用いられる。
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
例えば、上記実施形態では、2個の振動体2を用いた振動型アクチュエータ100について説明したが、振動体2の数は2個に限られるものではなく、3個以上であってもよい。例えば、上基台7が1個の振動体2を保持し、下基台8が2個の振動体2を保持した構造や、上基台7と下基台8のそれぞれが2個ずつの振動体2を保持した構造としてもよい。1の基台に複数の振動体2を配置する場合には、それらを駆動ユニットの移動方向に沿って並べてもよいし、移動方向と直交する方向に沿って並べてもよい。また、上記実施形態では、固定された被駆動体10に駆動ユニット6が移動する構成について説明したが、逆に、駆動ユニット6が固定されて被駆動体10をガイド部材に沿って移動させる構成とすることも可能である。更に、上記実施形態では、振動型アクチュエータ100を撮像装置及びマニピュレータに適用した例について説明したが、振動型アクチュエータ100の適用例はこれらに限られるものでない。振動型アクチュエータ100は、自動ステージにおけるステージ移動機構の他、所定の駆動部品の移動と位置決めを高精度に行う必要のある各種の装置(電子機器、精密機器、工作機械等)に適用することができる。
1 振動体ユニット
2 振動体
6,30,40 駆動ユニット
7 上基台
7a,7b 軸部
8 下基台
8a,8b 軸受け部
10 被駆動体
14 圧縮コイルバネ
23,24 固定部材
50 撮像装置
70 マニピュレータ
100 振動型アクチュエータ
2 振動体
6,30,40 駆動ユニット
7 上基台
7a,7b 軸部
8 下基台
8a,8b 軸受け部
10 被駆動体
14 圧縮コイルバネ
23,24 固定部材
50 撮像装置
70 マニピュレータ
100 振動型アクチュエータ
Claims (10)
- 被駆動体と、
前記被駆動体を挟む複数の振動体を有する駆動ユニットと、を有する振動型アクチュエータであって、
前記駆動ユニットは、
軸嵌合部を有し、前記軸嵌合部の軸まわりに回転可能で、それぞれが前記複数の振動体のうち少なくとも1つの振動体を支持する第1の支持部材および第2の支持部材と、
前記軸嵌合部から離れた位置で前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とを連結して、前記第1の支持部材に支持された振動体と前記第2の支持部材に支持された振動体とを前記被駆動体に対して加圧する第1の付勢手段と、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とを前記軸嵌合部において前記相対移動の方向に片寄せする第2の付勢手段と、を備えることを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記第2の付勢手段の付勢力を、前記相対移動の方向の成分と前記相対移動の方向と直交する方向の成分とに分けたときに、前記相対移動の方向の成分が前記直交する方向の成分よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記第2の付勢手段の付勢力における前記相対移動の方向の成分の大きさが、前記第2の支持部材に支持された振動体の推力よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記第2の付勢手段は、圧縮コイルバネまたはゴム製部材であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記圧縮コイルバネまたは前記ゴム製部材は、前記軸嵌合部と同軸に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記第2の付勢手段は板バネであり、
前記軸嵌合部は、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の一方に設けられた軸部と他方に設けられた軸受け部とによって形成され、
前記板バネは、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のうち前記軸受け部が設けられた支持部材に取り付けられると共に前記軸部の端部に当接して前記相対移動の方向に前記軸部を付勢することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第2の付勢手段は引っ張りコイルバネであり、
前記引っ張りコイルバネは、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のそれぞれに設けられたバネフックに張架されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記被駆動体を固定する固定部材と、
前記相対移動の方向と平行に配置されるガイド軸と、を備え、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のいずれか一方が前記ガイド軸に摺動自在に嵌合していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のいずれか一方を固定する固定部材と、
前記被駆動体を前記相対移動の方向に移動可能にガイドするガイド部材と、を備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動される駆動部品と、を備えることを特徴とする装置。
Priority Applications (2)
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JP2018056359A JP2019170079A (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | 振動型アクチュエータ及び装置 |
PCT/JP2019/008256 WO2019181445A1 (ja) | 2018-03-23 | 2019-02-26 | ヒンジ構造を有する振動型アクチュエータ及び装置 |
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JP2018056359A JP2019170079A (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | 振動型アクチュエータ及び装置 |
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JP2018056359A Pending JP2019170079A (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | 振動型アクチュエータ及び装置 |
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-
2019
- 2019-02-26 WO PCT/JP2019/008256 patent/WO2019181445A1/ja active Application Filing
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