JP2005057907A - 駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 移動安定性と低消費電力性能、耐振動性、耐衝撃性を有した駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置は、移動体１０と、移動体と接触し、移動体の移動方向を規制するガイド２と、移動体をガイドに沿って移動させる電気機械変換素子５と、電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路６と、移動体とガイドとの間の接触圧力を制御する圧力制御部４１とを有する。移動体１０とガイド２との間の摩擦力の因子である垂直抗力を圧力制御部４１を用いて制御することにより、安定した移動性能と低消費電力、耐振動性、耐衝撃性が実現できる。
【選択図】 図１

Description

本発明は電気機械変換素子を用いて移動体を移動させるための駆動装置に関する。

従来の駆動装置の一例を図１６を用いて説明する。図１６は従来のレンズの駆動装置を示した概略構成図である（特許文献１，特許文献２参照）。１０１はレンズを保持する鏡筒、１０３は鏡筒１０１を支持するとともに鏡筒１０１を光軸方向に案内するガイドバーである。ガイドバー１０３は鏡筒１０１から伸びる支持部１０１ｅに形成されたフォーク１０１ｆを貫通することによって鏡筒１０１を支持し、案内する。１１７は鏡筒支持部材兼駆動部材であり、上記ガイドバー１０３と協働して鏡筒１０１を支持するとともに鏡筒１０１を光軸方向に案内する。駆動部材１１７は駆動部材支持部材１１３に設けられた立ち上がり部１１３ａ、１１３ｃに形成された孔１１３ｂ、１１３ｄに挿入されており、光軸方向に移動可能である。そして、駆動部材１１７は、鏡筒１０１から支持部１０１ｅとは反対方向に伸びるコ字状部１０１ｋの両端１０１ａ、１０１ｃに形成された孔１０１ｂ、１０１ｄを貫通している。さらに、駆動部材１１７の後端は圧電素子１１２の前端に固定されている。圧電素子１１２の後端は駆動部材支持部材１１３のもう一つの立ち上がり部１１３ｅに固定されている。板バネ１１４がネジ１１５及び１１６により鏡筒１０１の上記両端１０１ａ、１０１ｃに下方から取り付けられている。板バネ１１４は駆動部材１１７と平行であるが、板バネ１１４の略中央に形成された上方に突出した摩擦部１１４ｃが駆動部材１１７に接触することによって鏡筒１０１と駆動部材１１７との間に摩擦力が発生している。この摩擦力は板バネ１１４のバネ圧により発生する。この摩擦力を利用して鏡筒１０１の光軸方向の駆動が可能になる。

圧電素子１１２には駆動回路１０５から電圧が印加され、この印加電圧に従って圧電素子１１２は伸縮する。１０８は位置検出回路であって、鏡筒１０１の光軸方向の位置を検出する。鏡筒１０１が駆動目標位置に到達するとこの検出回路１０８が駆動回路１０５に停止を指示し、圧電素子１１２への電圧印加が終了する。即ち、圧電素子１１２が印加電圧によって伸長・収縮を繰り返して、駆動部材１１７がその長手方向に往復移動すると、摩擦力によって鏡筒１０１も移動し、鏡筒１０１が目標位置に到達したときに圧電素子１１２の伸縮が終了して駆動が完了する。

鏡筒１０１の駆動方法として、特許文献１では、圧電素子１１２が伸長時と縮小時とで異なる速度で伸縮するように圧電素子１１２に電圧を印加し、伸長時と縮小時とのどちらか一方において、駆動部材１１７と鏡筒１０１との間に滑りを生じさせる。また、特許文献２では、圧電素子１１２が伸長時と縮小時とで異なる速度で伸縮するように圧電素子１１２に電圧を印加し、伸長時と縮小時との両方で駆動部材１１７と鏡筒１０１との間に滑りを生じさせている。
特開平４−６９０７０号公報 特開平７−２９８６５６号公報

上記のように駆動部材１１７と鏡筒１０１との間の摩擦力と駆動部材１１７の加速度との関係により鏡筒１０１を駆動する方式においては、摩擦力の変化（摩擦係数の変化）が鏡筒１０１の移動特性に大きな影響を及ぼす。例えば、駆動部材１０１と鏡筒１０１との間に高粘度の油等が付着すると摩擦条件が大きく変化し、圧電素子１１２に信号を印加しても鏡筒１０１が移動しない事態が発生する。また、同様の理由で移動量が大きく変化することも起こりうる。

また、上記の従来の駆動装置では、鏡筒１０１は駆動部材１１７に対する摩擦力でその位置を保持している。この摩擦力が大きすぎると、圧電素子１１２に大きなエネルギーを加えないと鏡筒１０１は移動しないし、逆に小さすぎると、小さな外部からの振動によっても鏡筒１０１は位置を変えてしまう。

本発明は、上記の従来の駆動装置の課題を解決し、摩擦面の状態にかかわらず所望する移動量を得ることができ、さらに、大きな静止保持力を有することにより、耐振動性、耐衝撃性が向上した駆動装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明の駆動装置は、移動体と、前記移動体と接触し、前記移動体の移動方向を規制するガイドと、前記移動体を前記ガイドに沿って移動させる電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路とを有し、更に、前記移動体と前記ガイドとの間の接触圧力を制御する圧力制御部を有することを特徴とする。

本発明の駆動装置は、摩擦力の決定因子である垂直抗力を制御することにより、摩擦面の状態にかかわらず所望する移動量を得ることができ、移動量安定性と低消費電力性能が向上する。さらに、大きな静止保持力を有することにより、耐振動性、耐衝撃性が向上する。

上記の本発明の駆動装置において、前記移動体は前記ガイドを前記移動体に押し付ける加圧部を有し、前記圧力制御部は、前記加圧部の前記ガイドに対する押力を制御することが好ましい。これにより、簡単な構成で移動体とガイドとの間の接触圧力を制御することができる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記移動体は、更に第２圧電素子を有し、前記圧力制御部は、前記第２圧電素子に印加される駆動信号を制御することが好ましい。圧電素子の良好な応答性を利用することにより、移動体とガイドとの間の接触圧力の制御性が向上する。

この場合において、前記加圧部はヒンジを支点として揺動することが好ましい。ヒンジを介して第２圧電素子の変位を増幅させることにより、ガイドと移動体との間の接触部周辺の寸法精度を緩和することができる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記移動体は、前記移動体と前記ガイドとの間の接触圧力を発生させるばね機構と、前記ばね機構を振動させる振動源とを有し、前記圧力制御部は、前記振動源により前記ばね機構を加振することが好ましい。ばね機構を加振する周波数を適切に設定することにより、移動体とガイドとの間の接触圧力をより細かく制御することができる。また、電源ＯＦＦ時にはばね機構により移動体とガイドとの間の接触圧力を発生させ続けることができるので、静止保持特性を向上させることができる。

この場合において、前記ばね機構は前記電気機械変換素子に保持されており、前記振動源は前記電気機械変換素子であることが好ましい。これにより部品の共有化が可能になり、装置の小型化と組み立て工数の削減が可能になる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記移動体は、温度変化により寸法又は形状の変化を生じる可変形部材を有し、前記圧力制御部は、前記可変形部材の温度を制御することが好ましい。可変形部材の寸法又は形状の変化を適切に制御することにより、移動体とガイドとの間の接触圧力をより細かく制御することができる。また、ガイドと移動体との間の接触部周辺の寸法精度を緩和することができる。更に、電源ＯＦＦ時には可変形部材の寸法又は形状の変化をほぼ一定に維持できるので、移動体とガイドとの間の接触圧力を発生させ続けることができ、従って、静止保持特性を向上させることができる。

この場合において、前記移動体は、更に、前記可変形部材を前記ガイドに付勢する補助ばねを有することが好ましい。電源ＯＦＦ時には補助ばねによる付勢力によって移動体とガイドとの間の接触圧力を発生させ続けることができるので、静止保持特性を向上させることができる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記移動体は、可変磁界を発生する可変磁界発生装置を有し、前記圧力制御部は、前記可変磁界発生装置が発生する磁界を制御することが好ましい。可変磁界発生装置が発生する磁界を適切に制御することにより、移動体とガイドとの間の接触圧力をより細かく制御することができる。

この場合において、前記移動体は、更に、一定の磁界を発生し、前記ガイドを磁気吸着する一定磁界発生装置を有することが好ましい。これにより、電源ＯＦＦ時には一定磁界発生装置による磁気吸着力によって移動体とガイドとの間の接触圧力を発生させ続けることができるので、静止保持特性を向上させることができる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記電気機械変換素子が圧電素子であることが好ましい。圧電素子の伸縮動作により発生する加速度を移動体に周期的に作用させることができるので、圧力制御部と組み合わせることにより、安定した移動量を確保できる。また、小型で軽量な駆動装置を実現できる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記電気機械変換素子が前記移動体に取り付けられていることが好ましい。これにより、ガイドを精度よく強固に取り付けることができるので、装置の信頼性が向上する。

あるいは、前記電気機械変換素子が前記ガイドに取り付けられていてもよい。これにより、移動体を小型、軽量化できるので、制御性が向上する。

また、上記の本発明の駆動装置において、複数の前記ガイドを有することが好ましい。これにより、ガイドの長手方向と直交する面内での移動体の位置精度を向上できる。また、ガイドを介して移動体に電力供給する場合には、供給経路を多様化できる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記ガイドを介して電力供給を行うことが好ましい。これにより、配線を収納するための空間が不要になり、小型の駆動装置が得られる。また配線のための作業工数が削減できる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記駆動信号の波形の１周期分の２階微分値が少なくとも２値をとることが好ましい。これにより、移動体に作用する加速度を少なくとも２通りに変えることが可能になり、それぞれの加速度が作用している時の移動体とガイドとの間の接触圧力を制御することにより、移動体の効率よい駆動が実現できる。

また、上記の本発明の駆動装置において、前記圧力制御部は、前記駆動信号と同じ周期で且つこれと一定の位相差を有しながら、前記接触圧力を変化させることが好ましい。これにより移動体の駆動効率を一層向上できる。

また、上記の本発明の駆動装置において、更に、衝撃検出装置を有し、前記圧力制御部は、前記衝撃検出装置からの出力信号に基づいて前記接触圧力を制御することが好ましい。これにより、外部衝撃に対する耐衝撃性を著しく改善することができる。

以下、本発明を、実施の形態を示しながら具体的に説明する。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。

図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１の駆動装置の正面図、図１（Ｂ）はその斜視図である。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）において、１０は移動体、２は移動体１０の移動方向と平行に設置され、移動体１０の移動方向を規制するガイド、５は一端が移動体１０に固定され、片持ち支持された電気機械変換素子としての圧電素子、６は圧電素子５に駆動信号を印加して圧電素子５を矢印５ａ方向に伸縮振動させる駆動回路である。

移動体１０は、ガイド２に対して相対的に移動する構造体であって、移動体本体１と、移動体本体１に固定されてガイド２と接触する接触部材３と、一端が移動体本体１に固定され、他端が所定の荷重でガイド２を接触部材３に押し付けて、接触部材３とガイド２との間に接触圧力を発生させる加圧部４とを含む。接触部材３は、ガイド２との間に安定した摩擦力を発生するような材料からなるが、これを省略して移動体本体１にガイド２を直接接触させてもよい。

加圧部４は、移動体本体１に固定された固定端４３と、ガイド２と接触する接触面４４と、これらの間に配置され、ガイド２と接触部材３との間の接触圧力を変化させる第２圧電素子４１とを含む。

７は第２圧電素子４１に駆動信号を印加して、ガイド２と接触部材３との接触圧力を制御する接触圧力制御回路である。

駆動装置の用途に応じて、移動体本体１には図示しない被駆動部材が搭載される。例えば、レンズの駆動装置として使用する場合には、移動体本体１にレンズが搭載される。この場合は、移動体本体１はレンズを保持できる鏡筒としての形状を有していてもよい。

本駆動装置では、移動体１０は、接触部材３と加圧部４の接触面４４との間でガイド２を把持することにより、ガイド２に保持される。移動体１０の駆動は、第２圧電素子４１及び圧力制御回路７により、接触部材３とガイド２との間の接触加圧力を一定周期で制御しながら、移動体１０に取り付けられた圧電素子５に駆動回路６より一定周期の信号を印加することにより圧電素子５を矢印５ａ方向に伸縮動作させることにより行う。

本実施形態では、圧電素子５は矢印５ａ方向に圧電材料層と電極層とが交互に積層されてなり、それぞれの圧電材料層に電界が印加されるように、各圧電材料層の両側の電極層に駆動信号を印加するための配線が接続されている。また、電圧を印加した際には矢印５ａ方向の変位が得られるように各圧電材料層は分極処理がなされている。このような構成により、圧電素子５に駆動回路６より駆動信号を加えると、その伸縮運動により移動体１０に加速度が作用し、その加速度により移動体１０はガイド２に沿って所定の向きに移動する。

第２圧電素子４１の基本的構成は圧電素子５と同じである。接触圧力制御回路７から印加される駆動信号（加圧部制御信号）により第２圧電素子４１は矢印４１ａ方向に伸縮する。ガイド２と接触部材３との間の接触圧力は、第２圧電素子４１が伸長すると減少し、第２圧電素子４１が縮小すると増大する。

ここで、ガイド２が水平に配置され、図１（Ａ）の紙面の上下方向を鉛直方向として駆動装置が配置されているとき、加圧部４による押付力によって発生する接触部材３がガイド２から受ける垂直抗力をＮ、接触部材３とガイド２との間の静摩擦係数をμ、移動体１０を含む移動構造体全体（移動体１０に他の部材が搭載されている場合はそれを含む）の質量をｍｍとしたとき、ガイド２と接触部材３との間の最大静止摩擦力ＦsはＦs＝μ（ｍｍ・ｇ＋Ｎ）となる。

圧電素子５が伸縮運動すると、圧電素子５が発生する加速度により移動体１０に力が作用する。圧電素子５が発生する加速度が大きい時には、接触部材３とガイド２との間に滑りを生じ、移動体１０はガイド２に沿って移動する。移動体１０が移動するために必要な最低の加速度ａlimはａlim＝Ｆs／ｍｍである。

本実施の形態では、第２圧電素子４１により、接触部材３がガイド２から受ける垂直抗力Ｎを制御可能としている。これにより、最大静止摩擦力Ｆsを小さくしたり、大きくしたりすることが可能となる。

例えば、垂直抗力Ｎを小さくして最大静止摩擦力Ｆsを小さくすることにより、加速度ａlimを小さくすることが出来る。従って、例えば、圧電素子５に印加する信号の電圧レベルを小さくしても、移動体１０を移動させることが可能となる。電圧レベルが下がると圧電素子５を流れる電流が小さくなり、低消費電力駆動が可能となる。この結果、携帯機器などのバッテリー駆動用の機器に対して不可欠な性能である低消費電力化を実現することが出来る。

さらに、接触部材３とガイド２との間の摩擦面に高粘度の油などが付着するなどして摩擦係数が極端に変化した場合でも、垂直効力Ｎを変化させることが可能であるため、摩擦力を自在に変化させることが可能となる。従って、如何なる条件下でも、駆動可能であり、且つ移動量の変化を少なくすることができ、駆動安定性を実現できる。

また、垂直抗力Ｎを大きくすることにより、接触部材３とガイド２との間の最大静止摩擦力Ｆsを非常に大きくすることができる。これにより、例えば、移動体１０を移動させる必要がないときには、移動体１０のガイド２に対する相対位置の変化を生じにくくすることができる。これは、携帯機器の耐衝撃性を向上させる。

このように、本実施の形態では、垂直抗力Ｎを制御することにより、低消費電力駆動や、摩擦係数の変化への対応や、耐衝撃性の向上など、従来の駆動装置では実現できなかった効果を得ることができる。

次に、本駆動装置において、移動体１０の駆動方法を詳細に説明する。

図２に駆動回路６が発生する駆動信号を示す。この信号波形は、非対称ののこぎり波で、その波形の一周期分は、立ち上がり部分６１と立ち下がり部分６２という２つの異なる曲線を有している。なお、これらの曲線は、加速度ａlimの値を元に決定する。

圧電素子５の変位は印加される電圧に比例するから、図２に示した電圧波形の２階微分は圧電素子５に発生する加速度を示す。本実施の形態では、立ち上がり部分６１の電圧波形は低加速度部分を構成しており、その２階微分値が加速度ａlimを超えないように設定され、立ち下がり部分６２の電圧波形は高加速度部分を構成しており、その２階微分値が加速度ａlimを超えるように設定される。なお、加速度ａlimの上限は、圧電素子５の共振周波数で規定され、通常、圧電素子５の最大速度と共振周波数との積の１／２〜１／１．５程度である。

さらに、図３の実線で示すような、立ち上がり部分６１の２階微分値の絶対値と立ち下がり部分６２の２階微分値の絶対値とがほぼ等しい駆動信号でも、本実施形態の駆動装置を駆動することができる。このとき、接触圧力制御回路７が図３の破線で示すような、実線の駆動信号と同じ周期で且つこれと一定の位相差を有する駆動信号で第２圧電素子４１を駆動して垂直抗力をＮを制御する。これにより、立ち上がり部分６１では垂直抗力Ｎが極端に大きくなるために、移動体１０はガイド２に対して相対的に停止し、立ち下がり部分６２では垂直抗力Ｎが極端に小さくなるため、移動体１０はガイド２に対して相対的に移動する。

図２及び図３の例では、立ち上がり部分６１では移動体１０はガイド２に対して相対的に停止してガイド２とともに移動し、立ち下がり部分６２では移動体１０はガイド２に対して相対的に移動し、その移動方向はガイド２の移動方向と逆向きである。従って、移動体１０を所望する方向に移動させることができる。このとき、例えば、立ち上がり部分６１と立ち下がり部分６２とで曲線のカーブを逆にしたり、図３において破線で示した接触圧力制御回路７の信号を圧電素子５に印加される駆動信号の立ち下がり部分６２で発生させたりすることにより、移動体１０の移動方向を逆にすることができる。

さらに、接触圧力制御回路７から第２圧電素子４１に信号入力がない時に、垂直抗力Ｎが最大となるように構成すれば、駆動回路６及び接触圧力制御回路７の出力信号がゼロ、即ち装置の電源がＯＦＦの状態の時に、移動体１０に対して大きな静止保持力を発生させ続けることができ、耐衝撃性が向上する。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）では、断面形状が円の１本のガイド２を用いた駆動装置を示したが、本発明の駆動装置はこれに限定されず、例えばガイド２が多角形の断面形状を有していてもよく、また、相互に平行に配置された複数のガイド２を用いてもよい。これらにより、移動体１０がガイド２の長手方向と垂直な面内で回転することを防ぐことができる。

図４に、移動体１０が相互に平行に配置された２本のガイド２ａ，２ｂに架け渡されるようにして保持された駆動装置の一例の正面図を示す。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）と同じ構成要素には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。移動体１０は、移動体本体１と、その両側の第２圧電素子４１と、更にその両外側の接触部材３とを備える。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置と同様に、第２圧電素子４１に印加する駆動信号を制御することにより接触部材３とガイド２ａ，２ｂとの間の垂直抗力Ｎを制御することができる。なお、一対の第２圧電素子４１のうちの一方は省略可能である。移動体１０の駆動方法は図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した駆動装置と同様であり、その説明を省略する。

本実施の形態の駆動装置では、圧電素子５や第２圧電素子４１への電力供給をガイドを介して行ってもよく、これにより、結線作業を省略でき、駆動装置の組立効率を著しく向上させることができる。これは、ガイド２と移動体１０とが加圧接触し続けているために可能である。

さらに、装置の落下などによって加えられる衝撃を検知する衝撃検出装置（例えば、加速度検出器）を更に搭載して、衝撃検出装置の出力信号の大きさ、検出時間、周波数に応じて接触圧力制御回路７から第２圧電素子４１に駆動信号を出力させ垂直抗力Ｎを増大させても良い。これにより、機器の落下などの外部衝撃に対する耐衝撃性を著しく改善することが可能である。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）では、加速度を発生する圧電素子５を移動体１０に固定したが、この圧電素子５をガイド２に固定しても良く、同等の効果を得ることができる。

以下、その構成を図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を用いて説明する。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）において図１（Ａ）及び図１（Ｂ）と同一の機能を有する構成要素には同一の記号を付し、それらについての説明を省略する。

図５（Ａ）及び図５（Ｂ）において、２’は移動体１０の移動方向と平行に設置され、移動体１０の移動方向を規制するガイド、５’は一端がガイド２の一端に固定され、他端が固定壁８に固定された圧電素子である。

本駆動装置では、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した駆動装置と同様に、移動体１０は、接触部材３と加圧部４の接触面４４との間でガイド２’を把持することにより、ガイド２’に保持される。移動体１０の駆動は、第２圧電素子４１及び圧力制御回路７により、接触部材３とガイド２’との間の接触加圧力を一定周期で制御しながら、ガイド２’の一端に取り付けられた圧電素子５’に駆動回路６より一定周期の信号を印加することにより圧電素子５’を矢印５ａ方向に伸縮動作させることにより行う。

本例の圧電素子５’は、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した圧電素子５と同様に、矢印５ａ方向に圧電材料層と電極層とが交互に積層されてなり、それぞれの圧電材料層に電界が印加されるように、各圧電材料層の両側の電極層に駆動信号を印加するための配線が接続されている。また、電圧を印加した際には矢印５ａ方向の変位が得られるように各圧電材料層は分極処理がなされている。このような構成により、圧電素子５’に駆動回路６より駆動信号を加えると、その伸縮運動によりガイド２’に加速度が作用し、その加速度により移動体１０はガイド２’に沿って所定の向きに移動する。

ここで、ガイド２が水平に配置され、図５（Ａ）の紙面の上下方向を鉛直方向として駆動装置が配置されているとき、加圧部４による押付力によって発生する接触部材３がガイド２’から受ける垂直抗力をＮ、接触部材３とガイド２’との間の静摩擦係数をμ、移動体１０を含む移動構造体全体（移動体１０に他の部材が搭載されている場合はそれを含む）の質量をｍｍとしたとき、ガイド２’と接触部材３との間の最大静止摩擦力ＦsはＦs＝μ（ｍｍ・ｇ＋Ｎ）となる。また、接触部材３とガイド２’との間の動摩擦係数をμ'とすると動摩擦力ＦdはＦd＝μ'（ｍｍ・ｇ＋Ｎ）となる。

圧電素子５’によりガイド２’が動くとき、移動体１０には摩擦力が作用する。ガイド２’の加速度が小さいときには、移動体１０はガイド２’に対する滑りを生じないでガイド２’とともに動く。しかし、加速度がある限界を超えると移動体１０とガイド２’との間に滑りが生じてしまう。その限界の加速度ａlimはａlim＝Ｆs／ｍｍである。

ガイド２’を移動体１０の目標移動方向と同方向に動かすときには、ガイド２’を加速度ａlim未満で動かして移動体１０がガイド２’に対して滑りを生じないようにし、ガイド２’を目標移動方向と逆方向に動かすときには、ガイド２’に加速度ａlimより大きな加速度を生じさせて移動体１０がガイド２’に対して滑りを生じさせる。これにより、移動体１０を目標移動方向に動かすことができる。

あるいは、特許文献２に記載されているように、ガイド２’を移動体１０の目標移動方向に対して同方向及び逆方向のいずれに動かすときにもガイド２’を加速度alimより大きな加速度で動かして、移動体１０とガイド２’との間に滑りを生じさせても、移動体１０を動かすことができる。

さらに、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の駆動装置でも、第２圧電素子４１により、接触部材３がガイド２’から受ける垂直抗力Ｎを制御可能としている。これにより、最大静止摩擦力Ｆsを小さくしたり、大きくしたりすることが可能となる。

例えば、垂直抗力Ｎを小さくして最大静止摩擦力Ｆsを小さくすることにより、加速度ａlimを小さくすることが出来る。従って、例えば、圧電素子５’に印加する信号の電圧レベルを小さくしても、移動体１０を移動させることが可能となる。電圧レベルが下がると圧電素子５’を流れる電流が小さくなり、低消費電力駆動が可能となる。この結果、携帯機器などのバッテリー駆動用の機器に対して不可欠な性能である低消費電力化を実現することが出来る。

さらに、接触部材３とガイド２’との間の摩擦面に高粘度の油などが付着するなどして摩擦係数が極端に変化した場合でも、垂直抗力Ｎを変化させることが可能であるため、摩擦力を自在に変化させることが可能となる。従って、如何なる条件下でも駆動可能であり、且つ移動量の変化を少なくすることができ、駆動安定性を実現できる。

また、垂直抗力Ｎを大きくすることにより、接触部材３とガイド２’との間の最大静止摩擦力Ｆsを非常に大きくすることができる。これにより、例えば、移動体１０を移動させる必要がないときには、移動体１０のガイド２に対する相対位置の変化を生じにくくすることができる。これは、携帯機器の耐衝撃性を向上させる。

（実施の形態２）
本実施の形態は、第２圧電素子４１の配置において、実施の形態１の図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置及び図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の駆動装置と異なる。

図６は、本発明の実施の形態２の駆動装置のガイド２の周辺構造を、ガイド２の長手方向に沿って見た側面図である。本駆動装置の構成は、図示した構成を除いて、実施の形態１の図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置又は図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の駆動装置と同様である。

移動体本体１の一側部に略「コ」字状の溝が形成され、この溝内にガイド２が挿入される。溝の対向する一対の内壁面のうちの一方には第２圧電素子４１を介して加圧部４が設けられており、他方の内壁面には接触部材３が設けられている。加圧部４は所定の加重でガイド２を接触部材３に押し付けている。駆動回路６（図示せず）により第２圧電素子４１の伸縮を制御することにより、ガイド２と接触部材３との間の接触圧力を制御することができる。図６の駆動装置の上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。

図６の駆動装置でも、実施の形態１の図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置及び図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の駆動装置と同様の効果を得ることができる。

図７は、本発明の実施の形態２の別の駆動装置のガイド２の周辺構造を、ガイド２の長手方向に沿って見た側面図である。本駆動装置の構成は、図示した構成を除いて、実施の形態１の図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置又は図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の駆動装置と同様である。

移動体本体１の一側部に、断面形状が略「Ｈ」字状となるように、表裏面に互いに平行な２本の溝が形成されている。一方の溝内にはガイド２が挿入され、他方の溝内には第２圧電素子４１が取り付けられている。駆動回路６（図示せず）により第２圧電素子４１の伸縮を制御すると、２本の溝の間の薄肉部分であるヒンジ１１が支点となって加圧部４が揺動し、移動体本体１とガイド２との間の接触圧力を制御することができる。

図７の構成では、各部の寸法を適切に設定することにより、第２圧電素子４１の伸縮量を増幅してガイド２に伝達できる。一般に第２圧電素子４１の伸縮量は極めて小さいため、例えば、図６の構成では、移動体３と加圧部４の接触面４４との間のクリアランス寸法、及びガイド２の直径を厳密に（通常、０．１μｍオーダーで）管理する必要がある。一方、これらの寸法精度を緩和するためには、第２圧電素子４１の変位量を大きくする必要があり、そのためには、第２圧電素子４１に対する印加電圧を著しく大きくするか、第２圧電素子４１の伸縮方向の寸法を著しく大きくする必要がある。印加電圧を大きくするためには、昇圧回路が必要なることによりコストアップや効率の悪化が懸念される。また、第２圧電素子４１の寸法を大きくすると、駆動装置の大型化が懸念される。図７の構成は、これらの問題を解決するもので、第２圧電素子４１の伸縮量をてこの原理により大きな変位に変換する。従って、本構成により、第２圧電素子４１に対する印加電圧の大電圧化や第２圧電素子４１の大型化をしなくても、加圧部４のストロークを大きくすることが可能となり、クリアランス寸法とガイド径の精度管理を緩和することが可能となり、製造コストを著しく低減するすることが出来る。

図７の駆動装置の上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。図７の駆動装置は、上記効果に加えて実施の形態１の図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置及び図５（Ａ）及び図５（Ｂ）駆動装置と同様の効果を得られる。

なお、本実施の形態においても、ガイド２の断面形状は、円形に限られず、多角形であってもよく、その場合も上記と同様の効果が得られる。

（実施の形態３）
本発明の実施の形態３について、図面を参照しながら説明する。

図８は、本発明の第３の実施の形態の駆動装置の正面図である。

本実施の形態の駆動装置は、実施の形態１に示した図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置と異なり、加圧部４において、固定端４３と接触面４４との間に、振動源４２とばね機構５０とが介在している。実施の形態１に示した第２圧電素子４１は存在しない。

振動源４２は、例えば、実施の形態１で説明した第２圧電素子４１と同様の構成を有する圧電素子からなる。振動源４２には振動源駆動回路７’から駆動信号が印加され、振動源４２は所望する振動数で矢印４２ａ方向に伸縮を繰り返す。

図９はばね機構５０の内部構造を示した断面図である。

実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

図９において、５１はシリンダ、５２はシリンダ５１内に挿入されたピストン、５３はシリンダ５１内においてピストン５１に外挿された圧縮コイルばねである。

圧縮コイルばね５３の弾性回復力により、矢印５０ａ方向の力が発生する。この力により、加圧部４の接触面４４はガイド２を押圧し、ガイド２と接触部材３との間に接触圧力を生じさせる。

このとき、例えば図３の破線に示したように、圧電素子５の駆動信号と同じ周期で且つこれと一定の位相差を有する駆動信号を振動源駆動回路７’より振動源４２に印加する。これにより、振動源４２は、圧電素子５と同一周期で矢印４２ａ方向に伸縮振動し、その振動がばね機構５０内の圧縮コイルばね５３に伝達される。振動源４２の駆動信号周波数と圧縮コイルばね５３の共振周波数とが一致するように各部を設計しておくことにより、振動源４２を振動させることにより、ばね機構５０内の圧縮コイルばね５３を共振させることが出来る。共振状態のばねにその共振周波数と同じ周波数の外力を作用させると、ばねは大きく変位する。言いかえると、共振周波数と同じ周波数の外力に対しては、ばね剛性は著しく低下する。従って、圧電素子５に駆動信号を印加するタイミングに同期させて、ばね機構５０が発生する矢印５０ａ方向の力、即ち、ガイド２と接触部材３との間の接触圧力を著しく小さくすることができる。この結果、移動体１０が移動するのを妨げる摩擦力を著しく小さくすることが出来きるので、効率的な駆動を実現することができる。

なお、ガイド２と接触部材３との間の接触圧力の変化と振動源駆動回路７’が印加する駆動信号との間には一定の位相差が生じるので、駆動回路６は、この位相差を考慮した駆動信号を圧電素子５に印加するように設定されるのが最も効率的である。

図８及び図９の駆動装置は、加圧面４４のガイド２に対する押力を直接制御するため、加圧面４４とガイド２との間のクリアランスを制御することにより、間接的に加圧面４４のガイド２に対する押力を制御する実施の形態１，２の駆動装置に比べて、接触圧力をより細かく制御することができ、より効率的な駆動が可能となる。

また、移動体３と加圧部４の接触面４４との間のクリアランス寸法、及びガイド２の直径の精度管理を緩和することが可能となり、製造コストを著しく低減することが出来る。

さらに、電源を供給していない状態でも、ばね機構５０によりガイド２と接触部材３との間の接触圧力を維持し続けることが出来る。従って、電源ＯＦＦ時の接触部材３とガイド２との間の最大静止摩擦力Ｆsを大きくすることができる。これにより、耐衝撃性の優れた駆動装置を実現することが出来る。

図８及び図９の駆動装置の上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。図８及び図９の駆動装置は、上記効果に加えて実施の形態１の駆動装置と同様の効果を得られる。

本実施の形態３の駆動装置の別の構成例を図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）を用いて説明する。

図１０（Ａ）は、本発明の実施の形態３の別の駆動装置の正面図、図１０（Ｂ）はその斜視図である。図８及び図９の駆動装置と同一の構成要素には同一の符号を付して、それらについての説明を省略する。以下に、図８及び図９の駆動装置との相違点を中心に、本駆動装置を説明する。

略「Ｌ」字状の断面を有する接触部材３が移動体本体１に片持ち支持されている。この接触部材３と移動体本体１との間にガイド２が挿入される。圧電素子５は、その一端が移動体本体１に固定されることにより片持ち支持される。圧電素子５の他端には、ばね機構として、弾性を有する板ばね５５の一端が固定されている。板ばね５５は略「Ｌ」字状に弾性変形させられて、その他端はガイド２を接触部材３側に押圧している。即ち、板ばね５５は、ガイド２を移動体１０の構成要素である接触部材３に押し付ける加圧部としての機能を備えている。圧電素子５は、移動体１０を移動させるための駆動源としての役割と、板ばね５５を振動させるための振動源としての役割とを兼ねる。従って、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）の駆動装置には、図８及び図９の駆動装置における加圧部４、振動源４２、及び振動源駆動回路７’は設けられていない。

図８及び図９の駆動装置において圧電素子５と振動源４２とが同じ周波数の駆動信号で駆動される点に着目し、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）の駆動装置では、圧電素子５を振動源としても機能させている。即ち、本駆動装置では、圧電素子５を板ばね５５の共振周波数と同じ周波数の駆動信号で駆動することにより、板ばね５５のガイド２に対する押力を低減させ、移動体１０を移動させる。

本駆動装置によれば、図８及び図９の駆動装置の効果に加えて、振動源４２、振動源駆動回路７’、及び振動源駆動回路７’から振動源４２に対して駆動信号を供給するためのワイヤなどを省けるため、装置の著しい小型化と低コスト化とを実現できる。

（実施の形態４）
本発明の実施の形態４について、図面を参照しながら説明する。

図１１（Ａ）は、本発明の実施の形態４の駆動装置の正面図、図１１（Ｂ）はその斜視図である。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置と同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付してそれらについての説明を省略する。

図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）の駆動装置では、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置における加圧部４に代えて可変形部材７０が設けらている。可変形部材７０の形状は加圧部４とほぼ同一であって、可変形部材７０は、移動体本体１に固定された固定端７３と、ガイド２と接触する接触面７４と、固定端７３と接触面７４とを繋ぐ架橋部７２とを含む。接触面７４がガイド２を押圧することにより、接触部材３とガイド２との間に接触圧力が発生する。

７１は、可変形部材７０の架橋部７２に密着され、架橋部７２を加熱する加熱部（例えば加熱ヒータ）、７５は加熱部７１に制御信号を印加して架橋部７２の温度を制御する温度制御回路である。

温度制御回路７５からの制御信号により加熱部７１が発熱し、その熱が架橋部７２に伝達される。架橋部７２を含む可変形部材７０は、ある境界温度にして寸法又は形状を大きく変化させる材料（例えば、形状記憶合金、バイメタル材など）よりなる。従って、架橋部７２が境界温度以上に加熱されると、接触面７４のガイド２に対する押圧力が変化し、接触部材３がガイド２から受ける垂直抗力Ｎが変化する。

このように、本駆動装置では、可変形部材７０の温度を制御することにより、接触部材３とガイド２との間の接触圧力を制御している。

上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。本駆動装置は、実施の形態１の駆動装置と同様の効果を得られる。

図１２（Ａ）は、本発明の実施の形態４の別の駆動装置の正面図、図１２（Ｂ）はその斜視図である。図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）の駆動装置と同一の構成要素には同一の符号を付して、それらについての説明を省略する。以下に、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）の駆動装置との相違点を中心に、本駆動装置を説明する。

略「Ｌ」字状の断面を有する接触部材３が移動体本体１に片持ち支持されている。この接触部材３と移動体本体１との間にガイド２が挿入される。７７は略「Ｌ」字状の板ばね形状を有する可変形部材である。可変形部材７７は、その一端が移動体本体１に固定されることにより片持ち支持される。可変形部材７７の他端の一方の面はガイド２と接触しており、他方の面には、補助ばね７８の一端が接続されている。補助ばね７８の他端は移動体本体１に接続されている。補助ばね７８は、可変形部材７７の他端に矢印７８ａ方向に一定の付勢力を付与する圧縮コイルばねである。即ち、可変形部材７７は、ガイド２を移動体１０の構成要素である接触部材３に押し付ける加圧部としての機能を備えている。可変形部材７７は、例えばＴｉ−Ｎｉ合金などの形状記憶合金よりなる。

温度制御回路７５からの制御信号により可変形部材７７が発熱する。可変形部材７７は、温度により形状を変化させ、その他端は、低温時には矢印７７ａ方向に変形しようとし、高温時には矢印７７ｂ方向に変形しようとする。このため、低温時には、可変形部材７７の矢印７７ａ方向の付勢力と補助ばね７８の矢印７８ａ方向の付勢力との合力がガイド２に作用する。一方、高温時には、可変形部材７７の矢印７７ｂ方向の付勢力と補助ばね７８の矢印７８ａ方向の付勢力との合力（２つの力の向きが逆であるので、両者の絶対値の差）がガイド２に作用する。従って、可変形部材７７の温度により、接触部材３のガイド２から受ける垂直抗力Ｎが変化する。

このように、本駆動装置では、可変形部材７７の温度を制御することにより、接触部材３とガイド２との間の接触圧力を制御している。

上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。本駆動装置は、実施の形態１の駆動装置と同様の効果を得られる。

図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）の駆動装置及び図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）の駆動装置では、可変形部材７０，７７の温度による寸法又は形状の変化を利用して接触部材３とガイド２との間の接触圧力を制御する。実施の形態１，２の駆動装置では、接触部材３とガイド２との間の接触圧力を制御するために接触面４４を変位させている。接触面４４の剛性が相対的に大きく且つその変化量が極めて小さいので、移動体３と接触面４４との間のクリアランス寸法、及びガイド２の直径を厳密に（通常、０．１μｍオーダーで）管理する必要がある。しかし、 図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）の駆動装置及び図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）の駆動装置では、可変形部材７０，７７の剛性は上記接触面４４に比べると小さく、且つ温度による変形量が大きいので、クリアランス寸法とガイド径の精度管理のレベルを１００倍程度緩和にすることが出来、製造コストを著しく低減することが出来る。

（実施の形態５）
本発明の実施の形態５について、図面を参照しながら説明する。

図１３（Ａ）は、本発明の実施の形態５の駆動装置の正面図、図１３（Ｂ）はその斜視図である。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置と同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付してそれらについての説明を省略する。

図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）の駆動装置では、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の駆動装置における加圧部４に代えて、電磁コイルなどからなる可変磁界発生装置８０と磁性体からなる加圧部８２とが設けらている。可変磁界発生装置８０と加圧部８２との一体構造物は実施の形態１の加圧部４とほぼ同じ形状を有する。可変磁界発生装置８０の一端は移動体本体１に固定され、他端には加圧部８２が固定されている。８５は可変磁界発生装置８０に制御信号を印加する磁気回路制御回路である。

磁気回路制御回路８５からの制御信号により可変磁界発生装置８０は磁界を発生する。

ガイド２が非磁性体の場合、ガイド２を挟んで加圧部８２と対向して磁性体からなる接触部材３を配置する。可変磁界発生装置８０からの磁束は、加圧部８２、ガイド２、接触部材３を通って可変磁界発生装置８０に戻る。従って、加圧部８２と接触部材３とが互いに吸引し合い、両者間の間隔が狭くなるので、ガイド２と加圧部８２との間及びガイド２と接触部材３との間で接触圧力が増大し、摩擦力が増大する。磁気回路制御回路８５からの制御信号を変化させることにより、可変磁界発生装置８０が発生する磁界の強度を変化させることができるので、摩擦力を任意に制御することができる。これにより、駆動装置の動作時及び停止時の摩擦力を最適に制御でき、駆動効率を向上させることができ、また低電圧駆動をも実現できる。上記において、移動体本体１が磁性体である場合には、接触部材３を省略できる。

ガイド２が磁性体の場合も上記と同様の効果が得られるが、この場合には、接触部材３を省略若しくは非磁性体とすることができる。この場合には、可変磁界発生装置８０からの磁束は、加圧部８２、ガイド２を通って可変磁界発生装置８０に戻る。これにより、加圧部８２とガイド２との吸引力が増大し、両者間の接触圧力が増大する。磁気回路制御回路８５からの制御信号を変化させることにより、可変磁界発生装置８０が発生する磁界の強度を変化させることができるので、加圧部８２とガイド２との間の接触圧力を任意に制御することができる。この場合には、移動体１０とガイド２との間の摩擦力は、加圧部８２とガイド２との間の摩擦力のみとなり、摩擦力制御が簡単化できる。

上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。本駆動装置は、上記の効果に加えて実施の形態１の駆動装置と同様の効果を得られる。

ガイド２が磁性体である場合の、本実施の形態の駆動装置の別の構成例を図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示す。図１４（Ａ）は、本発明の実施の形態５の別の駆動装置の正面図、図１４（Ｂ）はその斜視図である。図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）の駆動装置と同一の構成要素には同一の符号を付して、それらについての説明を省略する。以下に、図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）の駆動装置との相違点を中心に、本駆動装置を説明する。

図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）において、８７は、移動体本体１の側面に取り付けられて、一定の磁界を発生する永久磁石などからなる一定磁界発生装置、８８は、一定磁界発生装置８７とは逆方向の可変磁界を発生する、電磁コイルなどからなる可変磁界発生装置である。８５は可変磁界発生装置８８に制御信号を印加する磁気回路制御回路である。

この駆動装置の動作を図１５を用いて説明する。

一定磁界発生装置８７は、実線で示した一定の磁束８７ａを生じ、この磁束８７ａにより、一定磁界発生装置８７の端面はガイド２に一定圧力で吸着する。

可変磁界発生装置８８に磁気回路制御回路８５から制御信号が印加されると、可変磁界発生装置８８は、磁束８７ａとは逆向きの磁束８８ａを発生する。磁束８８ａの発生により、磁束８７ａが弱められ、一定磁界発生装置８７の端面のガイド２に対する吸着力は低減する。磁気回路制御回路８５からの制御信号を変化させることにより、可変磁界発生装置８８が発生する磁束８８ａを変化させることができるので、一定磁界発生装置８７の端面のガイド２に対する吸着力（即ち、両者間の接触圧力）を任意に制御することができる。これにより、駆動装置の動作時の摩擦力を最適に制御でき、駆動効率を向上させることができ、また低電圧駆動をも実現できる。

更に、可変磁界発生装置８８に制御信号が印加されない場合には、一定磁界発生装置８７の端面のガイド２に対する吸着力が最大となる。従って、装置の電源ＯＦＦ時に摩擦力を大きくできるので、耐衝撃性の優れた駆動装置を実現することが出来る。

上記以外の構成や動作原理は実施の形態１と同様である。本駆動装置は、上記の効果に加えて実施の形態１の駆動装置と同様の効果を得られる。

上記の実施の形態１〜５に示した具体例は、本発明の駆動装置を説明するための例に過ぎず、本発明の駆動装置は上記の実施の形態に示された構成に限定されず、適宜変更することができる。

本発明の駆動装置の利用分野は、特に限定はないが、例えば、カメラの撮影レンズやオーバーヘッドプロジェクタなどの投影レンズ、双眼鏡のレンズ、複写機のレンズなど、光学装置におけるレンズを駆動するための装置や、プロッタやＸ−Ｙ駆動テーブルなどにおける駆動装置など、駆動部を有する装置に広く利用することができる。

図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１の駆動装置の正面図、図１（Ｂ）はその斜視図である。 本発明の実施の形態１の駆動装置において、駆動回路が発生する駆動信号の一例の概略図である。 本発明の実施の形態１の駆動装置において、駆動回路が発生する駆動信号の別の例の概略図である。 本発明の実施の形態１の別の駆動装置の正面図である。 図５（Ａ）は、本発明の実施の形態１の更に別の駆動装置の正面図、図５（Ｂ）はその斜視図である。 本発明の実施の形態２の駆動装置のガイドの周辺構造を、ガイドの長手方向に沿って見た側面図である。 本発明の実施の形態２の別の駆動装置のガイドの周辺構造を、ガイドの長手方向に沿って見た側面図である。 本発明の実施の形態３の駆動装置の正面図である。 本発明の実施の形態３の駆動装置におけるばね機構周辺の断面図である。 図１０（Ａ）は、本発明の実施の形態３の別の駆動装置の正面図、図１０（Ｂ）はその斜視図である。 図１１（Ａ）は、本発明の実施の形態４の駆動装置の正面図、図１１（Ｂ）はその斜視図である。 図１２（Ａ）は、本発明の実施の形態４の別の駆動装置の正面図、図１２（Ｂ）はその斜視図である。 図１３（Ａ）は、本発明の実施の形態５の駆動装置の正面図、図１３（Ｂ）はその斜視図である。 図１４（Ａ）は、本発明の実施の形態５の別の駆動装置の正面図、図１４（Ｂ）はその斜視図である。 本発明の実施の形態５の別の駆動装置の動作を説明する図である。 従来の駆動装置の概略構成図である。

符号の説明

１ 移動体本体
２、２ａ、２ｂ、２’ ガイド
３ 接触部材
４ 加圧部
５、５’ 圧電素子（電気機械変換素子）
６ 駆動回路
７ 接触圧力制御回路
７’ 振動源駆動回路
８ 固定壁
９ 加圧用圧縮バネ
１０ 移動体
１１ シリンダ
４１ 第２圧電素子
４２ 振動源
４３ 固定端
４４ 接触面
５０ ばね機構
５１ シリンダ
５２ ピストン
５３ 圧縮コイルばね
５５ 板ばね
６１ 立ち上がり部分
６２ 立ち下がり部分
７０ 可変形部材
７１ 加熱部
７２ 架橋部
７３ 固定端
７４ 接触面
７５ 温度制御回路
７７ 可変形部材
７８ 補助ばね
８０ 可変磁界発生装置
８２ 加圧部
８５ 磁気回路制御回路
８７ 一定磁界発生装置
８８ 可変磁界発生装置

Claims (18)

1. 移動体と、
   前記移動体と接触し、前記移動体の移動方向を規制するガイドと、
   前記移動体を前記ガイドに沿って移動させる電気機械変換素子と、
   前記電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路と
   を有し、
   更に、前記移動体と前記ガイドとの間の接触圧力を制御する圧力制御部を有することを特徴とする駆動装置。
2. 前記移動体は前記ガイドを前記移動体に押し付ける加圧部を有し、
   前記圧力制御部は、前記加圧部の前記ガイドに対する押力を制御する請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記移動体は、更に第２圧電素子を有し、
   前記圧力制御部は、前記第２圧電素子に印加される駆動信号を制御する請求項１に記載の駆動装置。
4. 前記加圧部はヒンジを支点として揺動する請求項２に記載の駆動装置。
5. 前記移動体は、前記移動体と前記ガイドとの間の接触圧力を発生させるばね機構と、前記ばね機構を振動させる振動源とを有し、
   前記圧力制御部は、前記振動源により前記ばね機構を加振する請求項１に記載の駆動装置。
6. 前記ばね機構は前記電気機械変換素子に保持されており、前記振動源は前記電気機械変換素子である請求項５に記載の駆動装置。
7. 前記移動体は、温度変化により寸法又は形状の変化を生じる可変形部材を有し、
   前記圧力制御部は、前記可変形部材の温度を制御する請求項１に記載の駆動装置。
8. 前記移動体は、更に、前記可変形部材を前記ガイドに付勢する補助ばねを有する請求項７に記載の駆動装置。
9. 前記移動体は、可変磁界を発生する可変磁界発生装置を有し、
   前記圧力制御部は、前記可変磁界発生装置が発生する磁界を制御する請求項１に記載の駆動装置。
10. 前記移動体は、更に、一定の磁界を発生し、前記ガイドを磁気吸着する一定磁界発生装置を有する請求項９に記載の駆動装置。
11. 前記電気機械変換素子が圧電素子である請求項１に記載の駆動装置。
12. 前記電気機械変換素子が前記移動体に取り付けられている請求項１に記載の駆動装置。
13. 前記電気機械変換素子が前記ガイドに取り付けられている請求項１に記載の駆動装置。
14. 複数の前記ガイドを有する請求項１に記載の駆動装置。
15. 前記ガイドを介して電力供給を行う請求項１に記載の駆動装置。
16. 前記駆動信号の波形の１周期分の２階微分値が少なくとも２値をとる請求項１に記載の駆動装置。
17. 前記圧力制御部は、前記駆動信号と同じ周期で且つこれと一定の位相差を有しながら、前記接触圧力を変化させる請求項１に記載の駆動装置。
18. 更に、衝撃検出装置を有し、前記圧力制御部は、前記衝撃検出装置からの出力信号に基づいて前記接触圧力を制御する請求項１に記載の駆動装置。

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