EP3786457B1 - Rotoranordnung für eine vakuumpumpe, vakuumpumpe und verfahren zum herstellen einer solchen - Google Patents

Rotoranordnung für eine vakuumpumpe, vakuumpumpe und verfahren zum herstellen einer solchen Download PDF

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EP3786457B1
EP3786457B1 EP20195315.5A EP20195315A EP3786457B1 EP 3786457 B1 EP3786457 B1 EP 3786457B1 EP 20195315 A EP20195315 A EP 20195315A EP 3786457 B1 EP3786457 B1 EP 3786457B1
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EP
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rotor
rotor body
pump
rotor arrangement
arrangement
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Mirko Mekota
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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    • F04D19/00—Axial-flow pumps
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    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04D29/02—Selection of particular materials
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    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
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    • F05D2300/60—Properties or characteristics given to material by treatment or manufacturing
    • F05D2300/603—Composites; e.g. fibre-reinforced
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    • F05D2300/00—Materials; Properties thereof
    • F05D2300/70—Treatment or modification of materials
    • F05D2300/702—Reinforcement

Definitions

  • the invention relates to a rotor arrangement for a vacuum pump, in particular for a turbomolecular pump, a vacuum pump and a method for producing such a rotor arrangement.
  • Vacuum pumps such as turbomolecular pumps, are used in various areas of technology, such as in semiconductor production, to create a vacuum that is necessary for the respective process.
  • a turbomolecular pump generally comprises a rotor arrangement which, during operation of the turbomolecular pump, rotates at a very high speed, which is typically above 10,000 revolutions per minute, in relation to a stator or a housing of the turbomolecular pump.
  • the rotor arrangement thus has a very high kinetic energy during operation of the turbomolecular pump, in the event of a so-called "rotor crash", in which the rotor arrangement blocks for a short time, for example, an extremely high torque can act on the housing of the turbomolecular pump and, via this, on to the entire vacuum system be transferred, in which the turbomolecular pump is located.
  • rotor crash in which the rotor arrangement blocks for a short time, for example, an extremely high torque can act on the housing of the turbomolecular pump and, via this, on to the entire vacuum system be transferred, in which the turbomolecular pump is located.
  • a rotor crash there is consequently a considerable risk of destruction and injury in the vicinity of the turbomolecular pump.
  • the DE 20 2013 006 436 U1 describes a rotor arrangement for a vacuum pump with a rotor body which is wrapped with an armoring tape on its outer circumference.
  • EP 3 085 964 A1 describes a rotor assembly for a vacuum pump in which a rotor body has reinforcement rings attached thereto by a cross-press connection.
  • An object of the invention is to provide a rotor assembly for a vacuum pump, a vacuum pump and a method of manufacturing a rotor assembly, in which improved strength of the rotor assembly against breakage is easily achieved. Furthermore, the hazard in the vicinity of the vacuum pump should also be reduced in the event of the rotor arrangement breaking apart.
  • a rotor arrangement according to the invention for a vacuum pump, in particular for a turbomolecular pump, has a rotor body which is wrapped at least once completely around the axis of rotation with an armoring strip on its outer circumference.
  • the presence of the armor band on the outer circumference of the rotor body improves the resistance of the rotor assembly to breaking apart. This reduces the risk of danger in the vicinity of the vacuum pump.
  • the armor strip ensures that the individual parts of the rotor assembly are still held together for a certain period of time and the burst is thus extended over a longer period of time.
  • the kinetic energy of the rotor arrangement or a corresponding torque is also transmitted to a housing of the vacuum pump over a longer period of time, which reduces the total torque exerted on the vacuum pump and reduces the risk of the vacuum pump tearing off, for example pump flange exists.
  • the risk of destruction and injury in the area surrounding the vacuum pump is reduced by the armor strip, even in the event of a rotor crash or burst.
  • the wrapping of the rotor body with the armoring strip can be applied to the outer circumference of the rotor body in a simple manner, and no prefabricated tubes or rings have to be produced, which are shrunk onto the rotor body, for example, as armor.
  • the reinforcement of the rotor body can thus be achieved in a cost-effective manner by means of the reinforcement strip.
  • the rotor assembly includes at least two pumping stages spaced along the axis of rotation and each having active pumping elements located on the outer periphery of the rotor body.
  • the rotor body is also at least once completely circumferential on its outer circumference at a plurality of positions which are different from one another in the axial direction, with respective wrapped in armor strips.
  • the number of windings of the respective armoring tapes is different. This applies generally, ie regardless of whether the armor strips are arranged in different intermediate spaces between individual pumping stages or generally at a number of different axial positions.
  • the rotor body is bell-shaped and has an inner space, the cross section of which increases perpendicularly to the axis of rotation in the axial direction, starting from a high-vacuum side of the rotor arrangement. Since the cross section of the inner space of such a bell-shaped rotor body increases in the axial direction, the outer circumference of the rotor body also increases in the same direction.
  • the wrapping by means of an armoring strip to produce an armoring of the rotor body is particularly advantageous in such a bell-shaped rotor, since otherwise when using armoring tubes or armoring rings, a large number of armorings with different diameters would first have to be produced.
  • the outlay for producing the armoring is consequently reduced in the case of bell-shaped rotor bodies.
  • the rotor body is wrapped with an armoring strip in each case in one or more intermediate spaces between pump stages which are furthest away from the high-vacuum side of the rotor arrangement.
  • the rotor assembly includes more than two pumping stages spaced along the axis of rotation and each having pumping active elements located on the outer periphery of the rotor body.
  • one armoring strip is arranged in at least two intermediate spaces, which extend in the axial direction between the two pumping stages, and is wound around the rotor body.
  • the strength of the rotor assembly can be improved in an efficient manner, since the rotor assembly can initially be manufactured without armoring tape and the spaces between the pumping stages are then accessible for wrapping with the armoring tape.
  • the number of spaces in which the rotor body is to be wrapped with the armoring tape is selected based on a rated speed of the rotor assembly.
  • the reinforcement of the rotor body can thus be flexibly adapted to the conditions during operation of the vacuum pump by wrapping it in a number of intermediate spaces between the pump stages.
  • the number of windings of a respective armoring strip is selected on the basis of the nominal speed of the rotor arrangement.
  • the number of windings or layers of the armoring strip can thus be increased at those points along the outer circumference of the rotor body that are considered to be particularly critical for a burst of the rotor body or when such a burst occurs, for example at points with a large outer circumference of the rotor body or larger Dimensions.
  • the entire thickness of the reinforcement can thus be flexibly varied along the outer circumference of the rotor body or in the axial direction along the axis of rotation and adapted to the expected risk of a burst.
  • the armoring strip can include a carbon fiber reinforced plastic (CFRP).
  • CFRP carbon fiber reinforced plastic
  • the carbon fibers or carbon fibers of the CFRP are embedded in a plastic matrix, which can include, for example, epoxy resin, duroplastics or thermoplastics.
  • the fibers can be integrated into the plastic matrix in such a way that a flexible reinforcement band is present overall. which can be unrolled in a similar way to packing tape when the armoring tape is wrapped around the rotor body.
  • the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) has a low mass despite high rigidity. The strength of the rotor body and the rotor arrangement can be improved overall by integrating the CFRP into the armoring strip.
  • the armoring strip can also be wound at least once around the outer circumference of the rotor body in a plurality of layers and/or next to one another at a plurality of positions which differ from one another in the axial direction. Different axial positions can be dictated by different clearances between pump stages. But this is not mandatory.
  • a plurality of armoring strips can also be arranged in a single space between two immediately consecutive pumping stages on different axial pumping stages or on a rotor body without pumping stages or on a region of a rotor body comprising no pumping stages.
  • the rotor body is wrapped helically or helically with one or more layers of the armoring strip in one or more axial areas.
  • An armoring strip does not therefore have to be in just one axial position.
  • the rotor body can be designed in one piece.
  • the wrapping with the armoring strip is a simple and cost-effective way of actually attaching an armoring to the rotor body.
  • fitting armor tubes or rings in the spaces between pumping stages of a one-piece rotor is extremely difficult, if not impossible.
  • the armoring strip can be self-adhesive and/or, after being wrapped around it, can be connected to the rotor body by exposure to an elevated temperature that is greater than the ambient temperature.
  • the wrapping of the rotor body involves particularly little effort, since no connecting means, such as adhesive, have to be used between the armoring strip and the rotor body.
  • a particularly strong connection between the armoring strip and the rotor body can also be produced by the effect of an increased temperature, for example by "baking" of the armoring strip with the rotor body in an oven.
  • the type of connection - e.g. self-adhesive or "baking" - can depend on the respective design of the armoring strip.
  • the invention also relates to a vacuum pump, which is in particular a turbomolecular pump and which has a rotor arrangement as described above.
  • a further object of the invention is a method for producing a rotor arrangement for a vacuum pump, in which the outer circumference of the rotor body is wrapped at least once completely around the axis of rotation with an armoring strip.
  • the outer circumference of the rotor body is wrapped at least once completely around the circumference at a plurality of positions which differ from one another in the axial direction with respective armoring strips.
  • the number of windings of the respective armoring tapes is different.
  • a number of windings of a respective armoring strip is selected depending on a nominal speed of the rotor arrangement.
  • the strength of the reinforcement is thus adapted to the rated speed of the rotor arrangement, so that on the one hand the reinforcement is strong enough and on the other hand no unnecessary additional mass is applied to the rotor body by too strong a reinforcement.
  • an armoring strip is wound around the rotor body in at least two and in particular in all intermediate spaces which extend in the axial direction between the pump stages.
  • reinforcement can be produced on the rotor body in a simple and cost-effective manner, so that its resistance to a burst is improved.
  • the effort involved in producing the reinforcement is reduced when the reinforcement tape is wrapped around it, in particular in comparison to reinforcement tubes or reinforcement rings because the diameter of such reinforcement tubes or reinforcement rings has to be precisely adapted to the diameter of the rotor body, and such an adjustment is not necessary when the reinforcement tape is wrapped around it .
  • the armoring strip preferably comprises a carbon fiber reinforced plastic (CFRP).
  • CFRP carbon fiber reinforced plastic
  • the armoring strip can be wound at least once around the outer circumference of the rotor body in a plurality of layers and/or next to one another at a plurality of positions that differ from one another in the axial direction.
  • the wrapping of the rotor body with several layers and/or at different points in the axial direction along the rotor body enables flexible adaptation of the reinforcement with regard to its position and thickness to the operating properties of the rotor arrangement and the vacuum pump.
  • the armoring strip can be wrapped around the rotor body as a self-adhesive strip and/or, after wrapping, can be connected to the rotor body by exposure to an elevated temperature that is greater than the ambient temperature. If the armoring strip is self-adhesive, there is no additional effort to connect the armoring strip to the rotor body, for example by means of adhesive, while the connection between the armoring strip and the rotor body can be made alternatively or additionally strengthened after the wrapping by the effect of an increased temperature.
  • FIG 1A shows a possible example of a rotor arrangement 11 according to the invention for a turbomolecular pump.
  • the rotor assembly 11 rotates at a speed that is greater than 10,000 revolutions per minute, for example, about an axis of rotation 13.
  • the rotor assembly 11 has a rotor body 15, which is bell-shaped, so that the rotor assembly 11 includes an interior 17 , whose cross section perpendicular to the axis of rotation 13 in the axial direction starting from a high-vacuum side of the rotor assembly 11 - in Figure 1A so from top to bottom - increases.
  • the high-vacuum side of the turbomolecular pump, for which the rotor assembly 11 is intended, is located in Figure 1A above. Due to the bell-shaped design of the rotor body 15, the rotor assembly 11 is also referred to as a bell-shaped rotor.
  • the rotor arrangement 11 On the outside of the rotor body 15, the rotor arrangement 11 comprises a plurality of pump stages 19, which comprise rotor disks 21 as active pumping elements.
  • a reinforcement 27 is attached to an outer circumference 25 of the rotor body 15 in the intermediate space 23 between the two lowest rotor disks 21 .
  • the reinforcement 27 comprises three layers of a reinforcement strip 29 which is wound around the outer circumference 25 of the rotor body 15 three times completely around the axis of rotation 13 .
  • Figure 1B shows an enlarged section of Figure 1A , in which the three layers of the armoring strip 29 in the intermediate space 23 between the two lowest rotor disks 21 can be seen.
  • the three layers of the armoring strip 29 form the armoring 27 on the outer circumference 25 of the rotor body 15 between those two rotor disks 21 which are furthest away from the high-vacuum side of the rotor arrangement 11 and in their intermediate space 23 the outer diameter of the rotor body 15 is larger than in all other intermediate spaces 23 is.
  • the reinforcement 27 is thus located in a region of the rotor body 15 in which it has a greater moment of inertia in relation to the other intermediate spaces 23 . It is advantageous to provide the reinforcement 27 between the two lowest rotor discs 21, since the reinforcement 27 at this point improves the strength of the rotor body 15 against breaking apart or a burst the most.
  • the reinforcement tape 29 consists of a flexible plastic material that is self-adhesive and is unrolled in a manner similar to a package adhesive tape.
  • the armoring strip 29 comprises a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) in which fibers are embedded in a plastic matrix in order to increase the strength of the armoring strip 29 .
  • CFRP reinforcement strip 29 is wound three times completely around the axis of rotation 13 around the outer circumference 25 of the rotor body 15 .
  • the strength of the rotor arrangement 11 is improved by the reinforcement 27 by means of the reinforcement strip 29, and there is less elongation under the centrifugal force at high speeds. As a result, the rotor arrangement 11 can achieve a higher nominal speed than a corresponding rotor arrangement without the reinforcement 27 .

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe, insbesondere für ein Turbomolekularpumpe, eine Vakuumpumpe und ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Rotoranordnung.
  • Vakuumpumpen, wie zum Beispiel Turbomolekularpumpen, werden in unterschiedlichen Bereichen der Technik, wie z.B. in der Halbleiterherstellung, eingesetzt, um ein für den jeweiligen Prozess notwendiges Vakuum zu schaffen. Eine Turbomolekularpumpe umfasst allgemein eine Rotoranordnung, die sich im Betrieb der Turbomolekularpumpe bezogen auf einen Stator bzw. ein Gehäuse der Turbomolekularpumpe mit einer sehr hohen Drehzahl dreht, die typischerweise oberhalb von 10.000 Umdrehungen pro Minute liegt.
  • Da die Rotoranordnung während des Betriebs der Turbomolekularpumpe somit eine sehr hohe kinetische Energie aufweist, kann im Fall eines sogenannten "Rotorcrashs", bei dem die Rotoranordnung beispielsweise kurzfristig blockiert, ein extrem hohes Drehmoment auf das Gehäuse der Turbomolekularpumpe und über dieses weiter auf die gesamte Vakuumanlage übertragen werden, in der sich die Turbomolekularpumpe befindet. Im Fall eines Rotorcrashs besteht folglich eine erhebliche Zerstörungs- und Verletzungsgefahr innerhalb der Umgebung der Turbomolekularpumpe.
  • Dieses Problem ist besonders relevant bei magnetgelagerten Turbomolekularpumpen, wenn diese eine glockenförmige Rotoranordnung aufweisen, um die Magnetlagerung und gegebenenfalls auch einen Antriebsmotor der Rotoranordnung in einem Hohlraum innerhalb der glockenförmigen Rotoranordnung unterzubringen. Bei einem Rotorcrash kann eine solche glockenförmige Rotoranordnung schlagartig in wenige Teile auseinanderbrechen, die jeweils eine sehr hohe kinetische Energie aufweisen. Ein solches Auseinanderbrechen der Rotoranordnung wird auch als "Burst" bezeichnet.
  • Aus der JP 2012 145043 A sind eine Rotoranordnung mit den Merkmalen gemäß dem jeweiligen Oberbegriff des Anspruchs 1 oder 3 und ein Verfahren mit den Merkmalen gemäß dem jeweiligen Oberbegriff des Anspruchs 9 oder 11 bekannt.
  • Die DE 20 2013 006 436 U1 beschreibt eine Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe mit einem Rotorkörper, der an seinem Außenumfang mit einem Armierungsband umwickelt ist.
  • In der EP 3 085 964 A1 ist eine Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe beschrieben, bei der ein Rotorkörper Armierungsringe aufweist, die durch eine Querpressverbindung an diesem angebracht sind.
  • Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe, eine Vakuumpumpe und ein Verfahren zum Herstellen einer Rotoranordnung zu schaffen, bei welchen auf einfache Weise eine verbesserte Festigkeit der Rotoranordnung gegenüber einem Auseinanderbrechen erreicht wird. Ferner soll die Gefährdung innerhalb der Umgebung der Vakuumpumpe auch im Falle eines Auseinanderbrechens der Rotoranordnung verringert sein.
  • Diese Aufgabe wird durch die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche gelöst.
  • Eine erfindungsgemäße Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe, weist einen Rotorkörper auf, der an seinem Außenumfang zumindest einmal vollständig um die Drehachse umlaufend mit einem Armierungsband umwickelt ist.
  • Durch das Vorhandensein des Armierungsbandes am Außenumfang des Rotorkörpers wird die Festigkeit der Rotoranordnung gegenüber einem Auseinanderbrechen verbessert. Dadurch verringert sich das Gefährdungsrisiko in der Umgebung der Vakuumpumpe.
  • Im Fall eines Auseinanderbrechens oder "Bursts" der Rotoranordnung bewirkt das Armierungsband, dass die einzelnen Teile der Rotoranordnung noch für eine gewisse Zeitdauer zusammengehalten werden und der Burst somit über einen längeren Zeitraum ausgedehnt wird. Dadurch erfolgt die Übertragung der kinetischen Energie der Rotoranordnung bzw. eines entsprechenden Drehmoments auf ein Gehäuse der Vakuumpumpe ebenfalls über eine verlängerte Zeitdauer, wodurch das Drehmoment, das insgesamt auf die Vakuumpumpe ausgeübt wird, verringert wird und eine geringere Gefahr beispielsweise eines Abreißens der Vakuumpumpe von einem Pumpenflansch besteht. Insgesamt wird daher durch das Armierungsband die Zerstörungs- und Verletzungsgefahr in der Umgebung der Vakuumpumpe auch im Fall eines Rotorcrashs bzw. Bursts verringert.
  • Darüber hinaus kann die Umwicklung des Rotorkörpers mit dem Armierungsband an dem Außenumfang des Rotorkörpers auf einfache Weise angebracht werden, und es müssen keine vorgefertigten Rohre oder Ringe hergestellt werden, die als Armierung am Rotorkörper beispielsweise aufgeschrumpft werden. Die Armierung des Rotorkörpers lässt sich somit mittels des Armierungsbandes auf kostengünstige Weise erreichen.
  • Die Rotoranordnung umfasst mindestens zwei Pumpstufen, die entlang der Drehachse beabstandet angeordnet sind und jeweils pumpaktive Elemente aufweisen, die sich an dem Außenumfang des Rotorkörpers befinden. Der Rotorkörper ist außerdem an seinem Außenumfang an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen zumindest einmal vollständig umlaufend mit jeweiligen Armierungsbändern umwickelt. Die Anzahl der Wicklungen der jeweiligen Armierungsbänder ist verschieden. Dies gilt allgemein, d.h. unabhängig davon, ob die Armierungsbänder in unterschiedlichen Zwischenräumen zwischen einzelnen Pumpstufen oder allgemein an mehreren unterschiedlichen axialen Positionen angeordnet sind.
  • Ferner ist der Rotorkörper glockenförmig ausgebildet und weist einen Innenraum auf, dessen Querschnitt rechtwinklig zu der Drehachse in axialer Richtung ausgehend von einer Hochvakuumseite der Rotoranordnung zunimmt. Da der Querschnitt des Innenraums eines solchen glockenförmigen Rotorkörpers in axialer Richtung zunimmt, nimmt auch der Außenumfang des Rotorkörpers in gleicher Richtung zu. Die Umwicklung mittels eines Armierungsbandes zum Herstellen einer Armierung des Rotorkörpers ist bei einem solchen glockenförmigen Rotor besonders vorteilhaft, da ansonsten bei der Verwendung von Armierungsrohren oder Armierungsringen zunächst eine Vielzahl von Armierungen mit unterschiedlichen Durchmessern hergestellt werden müsste. Bei der Umwicklung mittels des Armierungsbandes ist der Aufwand zum Herstellen der Armierung folglich bei glockenförmigen Rotorkörpern verringert. Dabei wird der Rotorkörper in einem oder mehreren Zwischenräumen zwischen Pumpstufen, die von der Hochvakuumseite der Rotoranordnung am weitesten entfernt sind, jeweils mit einem Armierungsband umwickelt.
  • Alternativ umfasst die Rotoranordnung mehr als zwei Pumpstufen, die entlang der Drehachse beabstandet angeordnet sind und jeweils pumpaktive Elemente aufweisen, die sich an dem Außenumfang des Rotorkörpers befinden. Jeweils ein Armierungsband ist in mindestens zwei Zwischenräumen angeordnet, welche sich in axialer Richtung zwischen den zwei Pumpstufen erstrecken, um den Rotorkörper gewickelt.
  • Durch die Umwicklung des Rotorkörpers mit dem Armierungsband in mehreren Zwischenräumen zwischen den Pumpstufen lässt sich die Festigkeit der Rotoranordnung auf effiziente Weise verbessern, da die Rotoranordnung zunächst ohne Armierungsband hergestellt werden kann und die Zwischenräume zwischen den Pumpstufen anschließend zur Umwicklung mit dem Armierungsband zugänglich sind. Die Anzahl der Zwischenräume, in denen der Rotorkörper mit dem Armierungsband umwickelt werden soll, ist anhand einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung ausgewählt. Somit kann die Armierung des Rotorkörpers durch die Umwicklung in mehreren Zwischenräumen zwischen den Pumpstufen flexibel an die Bedingungen während des Betriebs der Vakuumpumpe angepasst werden. Ferner ist die Anzahl der Wicklungen eines jeweiligen Armierungsbandes anhand der Nenndrehzahl der Rotoranordnung ausgewählt.
  • Die Anzahl der Wicklungen bzw. Lagen des Armierungsbandes kann somit an solchen Stellen entlang des Außenumfangs des Rotorkörpers erhöht werden, die für einen Burst des Rotorkörpers oder beim Auftreten eines solchen als besonders kritisch angesehen werden, beispielsweise an Stellen mit großem Außenumfang des Rotorkörpers bzw. großer Masse. Die gesamte Dicke der Armierung kann somit entlang des Außenumfangs des Rotorkörpers bzw. in axialer Richtung entlang der Drehachse flexibel variiert und an das zu erwartende Risiko eines Bursts angepasst werden.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen angegeben.
  • Das Armierungsband kann einen kohlenstofffaserverstärkten Kunststoff (CFK) umfassen. Die Kohlenstofffasern bzw. Carbonfasern des CFK sind dabei in eine Kunststoffmatrix eingebettet, die beispielsweise Epoxidharz, Duroplaste oder Thermoplaste umfassen kann. Die Einbindung der Fasern in die Kunststoffmatrix kann dabei derart erfolgen, dass insgesamt ein flexibles Armierungsband vorliegt, das sich ähnlich wie ein Paketklebeband abrollen lässt, wenn das Armierungsband um den Rotorkörper gewickelt wird. Der kohlenstofffaserverstärkte Kunststoff (CFK) weist eine geringe Masse trotz einer hohen Steifigkeit auf. Durch das Einbinden des CFK in das Armierungsband lässt sich somit die Festigkeit des Rotorkörpers und der Rotoranordnung insgesamt verbessern.
  • Das Armierungsband kann ferner in mehreren Lagen und/oder nebeneinander an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen jeweils zumindest einmal vollständig umlaufend um den Außenumfang des Rotorkörpers gewickelt sein. Unterschiedliche axiale Positionen können durch unterschiedliche Zwischenräume zwischen Pumpstufen vorgegeben sein. Dies ist aber nicht zwingend. Mehrere Armierungsbänder können auch in einem einzigen Zwischenraum zwischen zwei unmittelbar aufeinanderfolgenden Pumpstufen an unterschiedlichen axialen Pumpstufen oder an einem Rotorkörper ohne Pumpstufen oder an einem keine Pumpstufen umfassenden Bereich eines Rotorkörpers angeordnet sein.
  • Außerdem kann vorgesehen sein, dass der Rotorkörper an einem oder mehreren axialen Bereichen jeweils helikal oder schraubenförmig mit einer oder mehreren Lagen des Armierungsbandes umwickelt ist. Ein Armierungsband muss sich also nicht lediglich an einer axialen Position befinden.
  • Darüber hinaus kann der Rotorkörper einstückig ausgebildet sein. Die Umwicklung mittels des Armierungsbandes ist bei einem solchen Rotorkörper eine einfache und kostengünstige Möglichkeit, um überhaupt eine Armierung an dem Rotorkörper anzubringen. Beispielsweise ist eine Anbringung von Armierungsrohren oder Armierungsringen in den Zwischenräumen zwischen Pumpstufen eines einstückigen Rotors äußerst schwierig wenn nicht unmöglich.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann das Armierungsband selbstklebend sein und/oder nach dem Umwickeln durch eine Einwirkung einer erhöhten Temperatur, die größer als die Umgebungstemperatur ist, mit dem Rotorkörper verbunden sein. Bei einem selbstklebenden Armierungsband ist das Umwickeln des Rotorkörpers mit besonders geringem Aufwand verbunden, da kein Verbindungsmittel wie etwa Klebstoff zwischen dem Armierungsband und dem Rotorkörper verwendet werden muss. Durch die Einwirkung einer erhöhten Temperatur, beispielsweise durch "Verbacken" des Armierungsbandes mit dem Rotorkörper in einem Ofen, kann ebenfalls eine besonders feste Verbindung zwischen dem Armierungsband und dem Rotorkörper hergestellt werden. Die Art und Weise des Verbindens - z.B. selbstklebend oder "Verbacken" - kann von der jeweiligen Ausgestaltung des Armierungsbandes abhängig sein.
  • Außerdem betrifft die Erfindung eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe handelt und die eine Rotoranordnung aufweist, wie sie vorstehend beschrieben ist.
  • Weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen einer Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe, bei dem der Rotorkörper an seinem Außenumfang zumindest einmal vollständig um die Drehachse umlaufend mit einem Armierungsband umwickelt wird.
  • Der Rotorkörper wird ferner an seinem Außenumfang an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen zumindest einmal vollständig umlaufend mit jeweiligen Armierungsbändern umwickelt. Die Anzahl der Wicklungen der jeweiligen Armierungsbänder ist verschieden.
  • Alternativ oder zusätzlich wird eine Anzahl von Wicklungen eines jeweiligen Armierungsbandes in Abhängigkeit von einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung gewählt. Die Stärke der Armierung wird somit an die Nenndrehzahl der Rotoranordnung angepasst, so dass die Armierung einerseits stark genug ist und andererseits keine unnötige zusätzliche Masse durch eine zu starke Armierung auf dem Rotorkörper aufgebracht wird.
  • Wenn die Rotoranordnung mehr als zwei Pumpstufen umfasst, wird in mindestens zwei und insbesondere in allen Zwischenräumen, welche sich in axialer Richtung zwischen den Pumpstufen erstrecken, jeweils ein Armierungsband um den Rotorkörper gewickelt.
  • Mit einem solchen Verfahren lässt sich auf einfache und kostengünstige Weise eine Armierung an dem Rotorkörper herstellen, so dass dessen Festigkeit gegenüber einem Burst verbessert wird. Der Aufwand zur Herstellung der Armierung ist bei der Umwicklung mit dem Armierungsband insbesondere dadurch im Vergleich zu Armierungsrohren oder Armierungsringen verringert, dass der Durchmesser solcher Armierungsrohre oder Armierungsringe an den Durchmesser des Rotorkörpers exakt angepasst werden muss und eine solche Anpassung bei der Umwicklung mit einem Armierungsband entfällt. Die vorstehend genannten Vorteile und die Offenbarung, die für die erfindungsgemäße Rotoranordnung und deren Ausführungsformen beschrieben sind, gelten sinngemäß auch für das erfindungsgemäße Verfahren.
  • Das Armierungsband umfasst vorzugsweise einen kohlenstofffaserverstärkten Kunststoff (CFK).
  • Das Armierungsband kann bei einer Ausführungsform des Verfahrens in mehreren Lagen und/oder nebeneinander an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen jeweils zumindest einmal vollständig umlaufend um den Außenumfang des Rotorkörpers gewickelt werden. Das Umwickeln des Rotorkörpers mit mehreren Lagen und/oder an unterschiedlichen Stellen in axialer Richtung entlang des Rotorkörpers ermöglicht eine flexible Anpassung der Armierung bezüglich deren Position und Dicke an die Betriebseigenschaften der Rotoranordnung und der Vakuumpumpe.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens kann das Armierungsband als selbstklebendes Band um den Rotorkörper gewickelt werden und/oder nach dem Umwickeln durch eine Einwirkung einer erhöhten Temperatur, die größer als die Umgebungstemperatur ist, mit dem Rotorkörper verbunden werden. Wenn das Armierungsband selbstklebend ist, entfällt zusätzlicher Aufwand zum Verbinden des Armierungsbandes mit dem Rotorkörper, beispielsweise mittels Klebstoff, während durch die Einwirkung einer erhöhten Temperatur nach dem Umwickeln die Verbindung zwischen dem Armierungsband und dem Rotorkörper alternativ hergestellt oder zusätzlich verfestigt werden kann.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand einer vorteilhaften Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:
    • Fig. 1A
    eine erfindungsgemäße Rotoranordnung und
    Fig. 1B
    einen Ausschnitt der in Fig. 1A gezeigten Rotoranordnung.
  • Fig. 1A zeigt ein mögliches Beispiel für eine erfindungsgemäße Rotoranordnung 11 für eine Turbomolekularpumpe. Im Betrieb der Turbomolekularpumpe rotiert die Rotoranordnung 11 mit einer Drehzahl, die beispielsweise größer als 10.000 Umdrehungen pro Minute ist, um eine Drehachse 13. Die Rotoranordnung 11 weist einen Rotorkörper 15 auf, der glockenförmig ausgebildet ist, so dass die Rotoranordnung 11 einen Innenraum 17 umfasst, dessen Querschnitt rechtwinklig zu der Drehachse 13 in axialer Richtung ausgehend von einer Hochvakuumseite der Rotoranordnung 11 - in Fig. 1A also von oben nach unten - zunimmt. Die Hochvakuumseite der Turbomolekularpumpe, für welche die Rotoranordnung 11 vorgesehen ist, befindet sich in Fig. 1A oben. Aufgrund der glockenförmigen Ausbildung des Rotorkörpers 15 wird die Rotoranordnung 11 auch als Glockenrotor bezeichnet.
  • An der Außenseite des Rotorkörpers 15 umfasst die Rotoranordnung 11 mehrere Pumpstufen 19, die als pumpaktive Elemente Rotorscheiben 21 umfassen. Die Rotorscheiben 21 bilden mit jeweiligen, nicht dargestellten Statorscheiben eine jeweilige Pumpstufe der Turbomolekularpumpe, für welche die Rotoranordnung 11 vorgesehen ist. Zwischen den Rotorscheiben 21 befindet sich jeweils ein Zwischenraum 23, in welchem jeweils nach Einbau der Rotoranordnung 11 in die Turbomolekularpumpe eine Statorscheibe vorhanden ist.
  • In dem Zwischenraum 23 zwischen den beiden untersten Rotorscheiben 21 ist an einem Außenumfang 25 des Rotorkörpers 15 eine Armierung 27 angebracht. Die Armierung 27 umfasst drei Lagen eines Armierungsbandes 29, das um den Außenumfang 25 des Rotorkörpers 15 dreimal vollständig um die Drehachse 13 umlaufend gewickelt ist.
  • Fig. 1B zeigt einen vergrößerten Ausschnitt von Fig. 1A, in welchem die drei Lagen des Armierungsbandes 29 in dem Zwischenraum 23 zwischen den beiden untersten Rotorscheiben 21 zu erkennen sind. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel bilden die drei Lagen des Armierungsbandes 29 die Armierung 27 am Außenumfang 25 des Rotorkörpers 15 zwischen denjenigen zwei Rotorscheiben 21, die von der Hochvakuumseite der Rotoranordnung 11 am weitesten entfernt sind und in deren Zwischenraum 23 der Außendurchmesser des Rotorkörpers 15 größer als in allen anderen Zwischenräumen 23 ist. Die Armierung 27 befindet sich somit in einem Bereich des Rotorkörpers 15, in welchem dieser bezogen auf die anderen Zwischenräume 23 ein größeres Trägheitsmoment aufweist. Es ist vorteilhaft, die Armierung 27 zwischen den beiden untersten Rotorscheiben 21 vorzusehen, da die Armierung 27 an dieser Stelle die Festigkeit des Rotorkörpers 15 gegenüber einem Auseinanderbrechen bzw. einem Burst am meisten verbessert.
  • Während die Armierung 27 im Ausführungsbeispiel von Fig. 1A und 1B nur zwischen den beiden untersten Rotorscheiben 21 dargestellt ist, kann die Armierung 27 auch in weiteren Zwischenräumen 23 zwischen den Rotorscheiben 21 angeordnet sein, indem eine oder mehrere Lagen des Armierungsbandes 29 in dem jeweiligen Zwischenraum 23 um den Außenumfang 25 des Rotorkörpers 15 gewickelt werden. Es ist auch möglich, dass eine jeweilige Armierung 27 mit zumindest einer Lage des Armierungsbandes 29 in allen Zwischenräumen 23 zwischen den Rotorscheiben 21 angebracht wird.
  • Das Armierungsband 29 besteht aus einem flexiblen Kunststoffmaterial, das selbstklebend ist und ähnlich wie ein Paketklebeband abgerollt wird. Das Armierungsband 29 umfasst einen kohlenstofffaserverstärkten Kunststoff (CFK), bei dem Fasern in eine Kunststoffmatrix eingebettet sind, um die Festigkeit des Armierungsbandes 29 zu verstärken. Zur Herstellung der Armierung 27 wird das CFK-Armierungsband 29 dreimal vollständig um die Drehachse 13 umlaufend um den Außenumfang 25 des Rotorkörpers 15 gewickelt. Durch die Armierung 27 mittels des Armierungsbandes 29 wird die Festigkeit der Rotoranordnung 11 verbessert, und es tritt eine geringere Dehnung unter der Fliehkraft bei hohen Drehzahlen auf. Dadurch kann die Rotoranordnung 11 eine höhere Nenndrehzahl als eine entsprechende Rotoranordnung ohne die Armierung 27 erreichen.
  • Falls im Betrieb der Turbomolekularpumpe dennoch ein Rotorcrash mit einem Auseinanderbrechen des Rotorkörpers 15 bzw. einem Burst auftreten sollte, werden die Bruchstücke des Rotorkörpers 15 durch die Armierung 27 noch für eine gewisse Zeitdauer zusammengehalten, so dass die gesamte Zeitdauer verlängert wird, über welche die kinetische Energie bzw. das Drehmoment der Rotoranordnung 11 auf ein Gehäuse der Turbomolekularpumpe bzw. an die Umgebung der Rotoranordnung 11 und der Turbomolekularpumpe übertragen wird. Folglich wird das Drehmoment reduziert, das bei einem Rotorcrash auf den Stator und das Gehäuse der Turbomolekularpumpe insgesamt einwirkt. Somit wird die Verletzungs- und Zerstörungsgefahr bei einem Rotorcrash durch die Armierung 27 mittels des Armierungsbandes 29 verringert.
    • Bezugszeichenliste
    • 11
    Rotoranordnung
    13
    Drehachse
    15
    Rotorkörper
    17
    Innenraum
    19
    Pumpstufe
    21
    Rotorscheibe
    23
    Zwischenraum
    25
    Außenumfang
    27
    Armierung
    29
    Armierungsband

Claims (14)

  1. Rotoranordnung (11) für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe, mit einem Rotorkörper (15), der im Betrieb der Vakuumpumpe um eine Drehachse (13) rotiert,
    wobei der Rotorkörper (15) glockenförmig ausgebildet ist und einen Innenraum (17) aufweist, dessen Querschnitt rechtwinklig zu der Drehachse (13) in axialer Richtung ausgehend von einer Hochvakuumseite der Rotoranordnung (11) zunimmt,
    wobei die Rotoranordnung (11) mindestens zwei Pumpstufen (19) umfasst, die entlang der Drehachse (13) beabstandet angeordnet sind und jeweils pumpaktive Elemente (21) umfassen, welche sich an einem Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) befinden, und
    wobei der Rotorkörper (15) an dem Außenumfang (25) an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen zumindest einmal vollständig um die Drehachse (13) umlaufend mit jeweiligen Armierungsbändern (29) umwickelt ist,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    der Rotorkörper (15) in einem oder mehreren Zwischenräumen (23) zwischen den Pumpstufen, die von der Hochvakuumseite der Rotoranordnung (11) am weitesten entfernt sind, jeweils mit einem Armierungsband (29) umwickelt ist und
    die Anzahl der Wicklungen der jeweiligen Armierungsbänder (29) verschieden ist.
  2. Rotoranordnung (11) nach Anspruch 1, wobei
    die Anzahl der Wicklungen des jeweiligen Armierungsbandes (29) in Abhängigkeit von einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung (11) gewählt ist.
  3. Rotoranordnung (11) für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe, mit einem Rotorkörper (15), der im Betrieb der Vakuumpumpe um eine Drehachse (13) rotiert,
    wobei der Rotorkörper (15) an seinem Außenumfang (25) zumindest einmal vollständig um die Drehachse (13) umlaufend mit einem Armierungsband (29) umwickelt ist, und
    wobei die Rotoranordnung (11) mehr als zwei Pumpstufen (19) umfasst, die entlang der Drehachse (13) beabstandet angeordnet sind und jeweils pumpaktive Elemente (21) umfassen, welche sich an dem Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) befinden,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    in mindestens zwei Zwischenräumen (23), welche sich in axialer Richtung zwischen den Pumpstufen (19) erstrecken, jeweils ein Armierungsband (29) um den Rotorkörper (15) gewickelt ist,
    eine Anzahl von Wicklungen des jeweiligen Armierungsbandes (29) in Abhängigkeit von einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung (11) gewählt ist und
    die Anzahl der Zwischenräume (23), in denen der Rotorkörper (15) jeweils mit dem Armierungsband (29) umwickelt ist, anhand der Nenndrehzahl ausgewählt ist.
  4. Rotoranordnung (11) nach Anspruch 3, wobei
    der Rotorkörper (15) glockenförmig ausgebildet ist und einen Innenraum (17) aufweist, dessen Querschnitt rechtwinklig zu der Drehachse (13) in axialer Richtung ausgehend von einer Hochvakuumseite der Rotoranordnung (11) zunimmt.
  5. Rotoranordnung (11) einem der vorstehenden Ansprüche, wobei in allen Zwischenräumen (23) jeweils ein Armierungsband (29) um den Rotorkörper (15) gewickelt ist.
  6. Rotoranordnung (11) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die jeweiligen Armierungsbänder (29) in mehreren Lagen und/oder nebeneinander an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen jeweils zumindest einmal vollständig umlaufend um den Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) gewickelt sind.
  7. Rotoranordnung (11) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das jeweilige Armierungsband (29) selbstklebend ist und/oder nach dem Umwickeln durch eine Einwirkung einer erhöhten Temperatur, die größer als die Umgebungstemperatur ist, mit dem Rotorkörper (15) verbunden ist.
  8. Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer Rotoranordnung (11) nach einem der vorstehenden Ansprüche.
  9. Verfahren zum Herstellen einer, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 7 ausgebildeten, Rotoranordnung (11) für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe,
    wobei die Rotoranordnung (11) einen Rotorkörper (15) aufweist, der im Betrieb der Vakuumpumpe um eine Drehachse (13) rotiert,
    wobei der Rotorkörper (15) glockenförmig ausgebildet ist und einen Innenraum (17) aufweist, dessen Querschnitt rechtwinklig zu der Drehachse (13) in axialer Richtung ausgehend von einer Hochvakuumseite der Rotoranordnung (11) zunimmt, und
    wobei die Rotoranordnung (11) mindestens zwei Pumpstufen (19) umfasst, die entlang der Drehachse (13) beabstandet angeordnet sind und jeweils pumpaktive Elemente (21) umfassen, welche sich an einem Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) befinden,
    wobei das Verfahren umfasst, dass der Rotorkörper (15) an dem Außenumfang (25) an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen zumindest einmal vollständig umlaufend mit jeweiligen Armierungsbändern (29) umwickelt wird,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    der Rotorkörper (15) in einem oder mehreren Zwischenräumen zwischen Pumpstufen, die von der Hochvakuumseite der Rotoranordnung (15) am weitesten entfernt sind, jeweils mit einem Armierungsband (29) umwickelt wird und
    die Anzahl der Wicklungen der jeweiligen Armierungsbänder (29) verschieden ist.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die Anzahl der Wicklungen eines jeweiligen Armierungsbandes (29) in Abhängigkeit von einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung (11) gewählt wird.
  11. Verfahren zum Herstellen einer, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 7 ausgebildeten, Rotoranordnung (11) für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe,
    wobei die Rotoranordnung (11) einen Rotorkörper (15) aufweist, der im Betrieb der Vakuumpumpe um eine Drehachse (13) rotiert, und
    wobei die Rotoranordnung (11) mehr als zwei Pumpstufen (19) umfasst, die entlang der Drehachse (13) beabstandet angeordnet sind und die jeweils pumpaktive Elemente (21) umfassen, welche an dem Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) angeordnet sind,
    wobei das Verfahren umfasst, dass
    der Rotorkörper (15) an seinem Außenumfang (25) zumindest einmal vollständig um die Drehachse (13) umlaufend mit einem Armierungsband (29) umwickelt wird,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    in mindestens zwei Zwischenräumen (23), welche sich in axialer Richtung zwischen den Pumpstufen (19) erstrecken, jeweils ein Armierungsband (29) um den Rotorkörper (15) gewickelt wird,
    eine Anzahl von Wicklungen des Armierungsbandes (29) in Abhängigkeit von einer Nenndrehzahl der Rotoranordnung (11) gewählt wird und
    die Anzahl der Zwischenräume (23), in denen der Rotorkörper jeweils mit dem Armierungsband (29) umwickelt ist, anhand der Nenndrehzahl ausgewählt wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die jeweiligen Armierungsbänder (29) in mehreren Lagen und/oder nebeneinander an mehreren in axialer Richtung voneinander verschiedenen Positionen jeweils zumindest einmal vollständig umlaufend um den Außenumfang (25) des Rotorkörpers (15) gewickelt werden.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei in allen Zwischenräumen (23) jeweils ein Armierungsband (29) um den Rotorkörper (15) gewickelt wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, wobei das jeweilige Armierungsband (29) als selbstklebendes Band um den Rotorkörper (15) gewickelt wird und/oder nach dem Umwickeln durch eine Einwirkung einer erhöhten Temperatur, die größer als die Umgebungstemperatur ist, mit dem Rotorkörper (15) verbunden wird.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007048703A1 (de) * 2007-10-11 2009-04-16 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Mehrstufiger Turbomolekularpumpen-Pumpenrotor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0444498U (de) * 1990-08-16 1992-04-15
JP3160039B2 (ja) * 1991-08-22 2001-04-23 エヌティエヌ株式会社 ターボ分子ポンプと動翼の加工方法
DE19525829A1 (de) * 1995-07-15 1997-01-16 Abb Research Ltd Lüfter
JP5664253B2 (ja) * 2011-01-12 2015-02-04 株式会社島津製作所 高真空ポンプ
DE202013006436U1 (de) * 2013-07-17 2014-10-22 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Rotorelement für eine Vakuumpumpe
DE102014100622A1 (de) * 2014-01-21 2015-07-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe und Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe
EP3085964B1 (de) * 2015-04-21 2019-12-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Herstellung eines vakuumpumpen-teils mittels eines metallischen, generativen fertigungsverfahrens

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007048703A1 (de) * 2007-10-11 2009-04-16 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Mehrstufiger Turbomolekularpumpen-Pumpenrotor

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