JP6280281B1 - 検査マスタと、検査マスタ用の基準部材と、光学式3次元測定機の計量トレサビリティー確認方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の検査マスタは、光学式3次元測定機から照射された測定光を反射又は散乱(以下、まとめて「散乱」という。)させるための二以上の光学式測定指標(以下、単に「光学指標」という。)と、接触式3次元測定機のプローブを接触させるための二以上の測定穴又は凹部(以下、まとめて「測定穴」という。)を備えたものである。二以上の光学指標間の距離と二つの測定穴間の距離は等距離、或いは1対2、1対3といった特定の距離関係に設定してある。光学指標は交差する二本以上の散乱溝の交点に設けることができる。光学指標は二つの測定穴の夫々の中心を通る二本の延長線上の散乱溝の交点に設定すると、二つの測定穴の中心間の距離と二つの光学指標間の距離が同じになる。本発明の検査マスタはマスタ本体に二以上の測定穴と少なくとも一つの光学指標を備えた基準部材を二以上取り付けたものであってもよく、基準部材を取り付けずに、マスタ本体自体に二以上の測定穴と二以上の光学指標を備えたものであってもよい。
本発明の検査マスタ用の基準部材は、マスタ本体に取り付けるものであり、一つの基材に二以上の測定穴と少なくとも一つの光学指標を備えたものである。光学指標は二つの測定穴の中心の延長線上に二本以上の散乱溝を設け、それら散乱溝を一点で交差させ、その交点を一つの光学指標としてある。この基準部材は、二以上を、一つのマスタ本体に間隔をあけて一直線上に取り付けると、二つの基準部材の測定穴の中心間の距離と、二つの基準部材の光学指標間の距離が一定の距離関係になる。
本発明の検査マスタ用の基準部材は、一つの基材に二つ一対の測定穴が二対以上と、二以上の光学指標を備えたものであってもよい。この場合も、光学指標は夫々の一対の測定穴の中心の延長線上に二本以上の散乱溝を設け、それら散乱溝を一点で交差させ、その交点を一つの光学指標として、一つの基準部材の二対の測定穴の中心間の距離と、一つの基準部材の光学指標間の距離が一定の距離関係になるようにしてある。この基準部材を二つ以上、マスタ本体に取り付けると、二以上の基準部材の二対の測定穴の中心間の距離と二つの光学指標間の距離が一定の距離関係になる。
本発明の光学式3次元測定機の計量トレサビリティー確認方法は、二以上の光学指標と二以上の測定穴を備え、二つの光学指標間の距離と二つの測定穴間の距離が特定の距離関係にある検査マスタ(本発明の検査マスタ)を使用し、その検査マスタの二つの光学指標間の距離を光学式3次元測定機で測定した距離(光学式実測距離)と、計量トレサビリティーが取れている接触式3次元測定機で測定した測定穴の中心間の距離(接触式実測距離)を比較して、光学式測定機の計量トレサビリティーを確認する方法である。
(1)一つの検査マスタに二以上の光学指標と二以上の測定穴があるため、一つの検査マスタを光学式3次元測定機での測定と、接触式3次元測定機での測定に共用することができ、光学式3次元測定用と接触式3次元測定用の検査マスタを別々に用意する必要がない。また、測定が簡便且つ容易になる。
(2)別々の検査マスタを使用した場合は、それら検査マスタ間に、光学指標間の距離のずれ、測定穴間の距離のずれがある場合もあるが、本発明ではそのようなずれがないため測定精度が向上する。
(3)二本以上の散乱溝の交点を光学指標としたので、二本以上の散乱溝からの散乱光が光学指標に集合して光学指標からの散乱光強度が強くなり、光学式測定機の光検出器によって散乱光を確実に捉えることができ、光学指標間の距離の測定精度が向上し、安定もする。
(1)一つの基準部材が二以上の測定穴と一つの光学指標を備えたものである場合は、一つのマスタ本体に二以上の基準部材を取り付けて、二以上の測定穴と二以上の光学指標を備えた一つの検査マスタを構成することができる。
(2)一つの基準部材が二以上の測定穴と二以上の光学指標を備えたものである場合は、一つのマスタ本体に一つの基準部材を取り付けて、二以上の測定穴と二以上の光学指標を備えた一つの検査マスタを構成することができる。
(1)一つの検査マスタの二つの測定穴間の距離と、二つの光学指標間の距離が一定の距離関係に設定されているので、トレサビリティーの取れていない光学式3次元測定機で測定した二つの光学指標間の距離の実測値を、トレサビリティーの取れている接触式3次元測定機で測定した二つの測定穴の中心間の距離の実測値と比較することにより光学式3次元測定機のトレサビリティーを確認することができる。
(2)二つの光学指標間の距離と、二つの測定穴の中心間の距離の測定を、一つの検査マスタで行うことができるので、光学式測定機の計量トレサビリティーの確認が容易になる。
(3)一つの検査マスタで光学式測定と接触式測定を行うので、二つの検査マスタを測定する場合のように、使用する二つの検査マスタ間の測定穴間の距離、光学指標間の距離のずれがなく、測定精度も計量トレサビリティーの確認精度も向上する。
本発明の検査マスタの実施形態の一例を図示して説明する。以下の説明はあくまでも一例であって、本発明はその実施形態に限定されるものではなく、本発明の課題を解決できる限りにおいて、他の構成、他の方法であってもよい。
本発明の検査マスタの一例を図1〜図4(a)(b)に示す。この検査マスタ1は細長のマスタ本体2の長軸方向五箇所に、円盤状の基準部材3が一列に間隔をあけて取り付けられている。取付け間隔は任意に設計することができる。マスタ本体2の素材、基準部材3の素材は熱膨張が小さく、寸法安定性に優れたものが適する。例えば、セラミックス、石英、水晶、不変鋼、ノムナイト、SK鋼、その他の素材とすることができる。この実施形態では、マスタ本体2の素材にノムナイトを、基準部材3の素材にSK鋼を使用した。マスタ本体2の素材と基準部材3の素材は同じものであってもよい。
マスタ本体2は細長平板状の基板4の幅方向両側に側板5が立設されて、端面形状が上方開口のコ字状である。両側板5は主として基板4の補強用、変形防止用である。基板4の上面(取付け面)4aは平坦(平滑)に仕上げられている。基板4のうち基準部材3を取り付ける箇所には貫通穴6(図3(b))が開口されている。図1では五箇所に開口されている。
図1の基準部材3は円盤状であり、マスタ本体2の基板4の上面4aの五箇所の貫通穴6の上に重ねて一列に固定されている。基板4への基準部材3の固定手段は任意とすることができるが、ロックタイト、その他の接着剤で接着固定することができる。必要に応じてカシメ、その他の固定手段とすることもできる。接着剤と他の手段との併用とすることもできる。
図1、図2の五個の基準部材3は全て同じ形状、構成であり、円盤状の基材7の上面(基準面)7aに二個の測定穴8と、二本の散乱溝9と、一つの光学指標(二本の散乱溝9の交点)10(図3(a))がある。二個の測定穴8の開口箇所、間隔、直径等は任意に設計することができる。図示した測定穴8の直径はマスタ本体2の貫通穴6の直径よりも小さくしてある(図3(b))。一つの基準部材3の測定穴8の数は二個が望ましいが、可能であれば一個でもよく、必要であれば三個以上であってもよい。
基準部材3の基準面7aには二本の散乱溝9が十字状に設けられている。一方の散乱溝9は一方の測定穴8の中心から内側に、他方の散乱溝9は他方の測定穴8の中心から内側に直交するように設けてあり、両散乱溝9の交点を光学指標10としてある。二本の散乱溝9はいずれも数μm程度の微細幅であり、照射される測定光(レーザ光)を散乱するものである。二本以上の散乱溝9の交点に光学指標10を設けることにより、それら散乱溝9からの散乱光が光学指標10に集光して散乱光強度が強くなり、光学指標10の確認が容易かつ確実になる。散乱溝9の本数は二本以上であれば所望本数とすることができ、交差は十字状、T字状等であってもよい。散乱溝は三本以上を放射状に設けたものであってもよく、それら散乱溝を一点で交差せて、その交点を光学指標10とすることもできる。
図1、図2の五個の基準部材3は二つの測定穴8及び二本の散乱溝9の向きを一定方向に揃えて、マスタ本体2の基板4の上面4aに、マスタ本体2の軸方向に一定間隔で一列に配置固定してある。このように配置固定することにより、図2のように、隣接する二つの基準部材3の測定穴8間の距離L1と、隣接する二つの基準部材3の光学指標10間の距離L2を同じ距離にしてある。基準部材3の配置固定数は二以上の所望数とすることができる。任意箇所の二つの基準部材3の測定穴8の中心間の距離L3と、光学指標10間の距離L4が特定の距離関係になるようにすることもできる。基準部材3の配列間隔は任意とすることもできる。
この実施形態は、図5のように、基準部材3を細長楕円形にしたものである。この基準部材3は一つの細長楕円形の基材13の基準面13aに二つ一対の測定穴8が二対と、二本一対の散乱溝9が二対と、二つの光学指標10を備えている。二本の散乱溝9は二つの測定穴8の中心の延長線上に設けてあり、しかも、両散乱溝9を直交するように設けて、両散乱溝9の交点を光学指標10としてある。細長楕円形の基材13の素材は図1の円盤状の基材7の素材と同じものが望ましく、測定穴8、散乱溝9も図1の基準部材3のそれらと同様にすることができる。
図5では三個の基準部材3を、それらの測定穴8及び二本の散乱溝9、光学指標10の向きを一定方向に揃えて、マスタ本体2の基板4の上面4aに一定間隔で配置固定してある。基準部材3を一つのマスタ本体2に、測定穴8、光学指標10の向きを揃えて二以上取り付けて、一つの基準部材3の二対の測定穴8の中心間の距離L1と、その基準部材3の二つの光学指標10間の距離L2が一定の距離関係になるようにしてある。任意箇所の二つの基準部材3の一対の測定穴8の中心間の距離L3と、一対の光学指標10間の距離L4が特定の距離関係になるようにすることもできる。基準部材3の配列間隔は任意とすることもできる。
この実施形態は、図6のように、マスタ本体2の基板4の上面4aに直に、二つの測定穴8と、二本の散乱溝9を設けたものである。測定穴8、散乱溝9、光学指標10は図1の基準部材3のそれらと同様にすることができる。測定穴8、散乱溝9、光学指標10の数も二以上の任意数とすることができ、配列も縦一列或いは横一列にすることもできる。
この実施形態は、図7(a)(b)のように、マスタ本体2を立方体(正六面体)にし、その六面を取付け面14とし、それら全ての取付け面14の取付け穴15(図7(b))に基準部材3を嵌め込んで、接着剤、その他の手段で固定してある。この基準部材3は図4(a)(b)のような円盤状であるが、図5のような細長楕円形、その他の任意形状であってもよい。図7(a)のように、基準部材3は測定穴8、二本の散乱溝9を同じ向きにして一定間隔で取り付けてある。基準部材3は六面の全てに取り付ける必要はなく、いずれか一又は二以上の任意の取付け面14に取り付けるだけでもよい。
この実施形態は、図8(a)のように、マスタ本体2を立方体とし、その六面を取付け面14とし、それら任意の取付け面14の取付け穴15に基準部材3を固定してある。この基準部材3は図8(b)〜(d)のような球形であって、球状の基材16の一部に平面状の基準面16aがあり、その基準面16aに図1の基準部材3のそれらと同様に二つの測定穴8と二本の散乱溝9と、両散乱溝9の交点に光学指標10が形成されている。この実施形態でも、基準部材3はいずれか一又は二以上の任意の取付け面14に取り付けるだけでもよい。
本発明の光学式3次元測定機の計量トレサビリティー確認方法の一例を以下に説明する。この確認には前記した本発明の検査マスタの二つの測定穴8の中心間の距離を、計量トレサビリティーが確認されている汎用の接触式3次元測定機で測定し、二つの光学指標10間の距離を既存の光学式測定機で測定し、両実測値を比較して行う。二つの光学指標10間の距離(図2のL2)と二つの測定穴8の中心間の距離(図2のL1)は予め同じ距離或いは特定の距離関係に設計されているため、両実測値が合致すれば光学式測定機の計量トレサビリティーが取れていると判断することができ、合致しないときは計量トレサビリティーが取れていないと判断することができる。合致しないとき、即ち、光学式測定機の計量トレサビリティーがとれていないと判断されたときは、光学式測定機を校正する。校正は従前の方法で行うことができる。
計量トレサビリティーの確認されている汎用の接触式3次元測定機は、図9のように、測定テーブル20の上に治具パレット30があり、測定テーブル20の上に門型の移動フレーム40がある。門型の移動フレーム40は図9のX軸方向(前後方向)にスライド自在である。移動フレーム40にはヘッド部50が図9のY軸方向(左右方向)にスライド自在に支持されている。ヘッド部50には図9のZ軸方向(上下方向)に昇降移動可能な昇降体60があり、昇降体60には球状のプローブ70が支持されている。移動フレーム40をX軸方向に、ヘッド部50をY軸方向に移動させ、昇降体60をZ軸方向へ昇降させることにより、プローブ70が3次元で位置決めされるようになっている。プローブ70の先端部は人造ルビーやセラミックス等の硬質で耐摩耗性のある素材で高精度の球状に形成されている。
接触式3次元測定機の精度検査を行う場合は、図9のように、治具パレット30の上に、本発明の検査マスタ1(図1)をセットする。この場合、測定穴8、散乱溝9及び光学指標10を上に向けてセットする。この状態で、その検査マスタ1の2つの測定穴8にプローブ70を接触させて、両測定穴8の中心間の座標位置を求め、両測定穴8の座標位置の距離から両測定穴8の中心間の距離を計測する。
汎用の光学式3次元測定機は、図10のように、測定テーブル20の上に治具パレット30があり、測定テーブル20の上に図10のX軸方向(前後方向)にスライド自在に支持された門型の移動フレーム40がある。移動フレーム40にはヘッド部50が図10のY軸方向(左右方向)にスライド自在に支持されている。ヘッド部50には図10のZ軸方向(上下方向)に昇降移動可能な昇降体60がある。昇降体60の先に(下部)にヘッド80がある。昇降体60は筒状であり、その内部には、図示されていないが、レーザ光源、受光器(例えばCCDカメラ)等が内蔵されている。レーザ光源は被測定物に向けて測定光(例えば、レーザ光)を照射する光源であり、CCDカメラは被測定物からの反射光を受光(検知)するものである。移動フレーム40をX軸方向に、ヘッド部50をY軸方向に移動させ、昇降体60をZ軸方向へ昇降させることによって、ヘッド80が3次元で位置決めされるようになっている。
光学式3次元測定機による精度検査を行う場合は、図10のように、治具パレット30の上に、本発明の検査マスタ1(図1)をセットする。この場合、散乱溝9及び光学指標10を上に向けてセットする。この状態で散乱溝9に向けて光学式3次元測定機のヘッド80の下面から測定光(レーザ光)を照射すると、レーザ光は散乱溝9で乱反射し、その散乱溝9からの光が光学指標10に集光して当該光学指標10から散乱する。この場合、光学指標10からの反射光が強くなる。この反射光が昇降体60内のCCDカメラで受光されて、検査マスタ1とヘッド80との相対的な位置関係が高精度で測定される。光学式3次元測定機の移動フレーム40及び昇降体60を水平面内でX、Y軸方向に移動させ、昇降体60をZ軸方向に移動させてヘッド80を所定位置に設定し、マスタ本体2の光学指標10の座標値を測定し、二つの光学指標10間の距離を測定する。
光学式3次元測定機の計量トレサビリティーの確認を行う場合は、トレサビリティーの取れている接触式3次元測定機で前記のように測定した検査マスタ1の二つの測定穴8の中心間の実測値と、光学式3次元測定機で本発明の検査マスタ1の二つの光学指標10間の距離の実測値とを比較する。この場合、二つの測定穴8の中心間の距離と二つの光学指標10間の距離には一定の距離関係があるため、両測定値(実測値)がその距離関係にある場合(誤差がない場合)は計量トレサビリティーが取れていると判断し、その距離関係にない場合(誤差がある場合)は計量トレサビリティーが取れていないと判断することができる。
前記両実測値を比較することにより確認される測定誤差に基づいて光学式3次元測定機の精度を評価する。また、前記測定誤差がゼロになるように光学式3次元測定機の校正を行う。これら精度の評価、校正は従前の方法で行うことができる。
2 マスタ本体
3 基準部材
4 基板
4a (基板の)上面(取付け面)
5 側板
6 貫通穴
7 (円盤状の)基材
7a (円盤状の基材の)上面(基準面)
8 測定穴
9 散乱溝
10 光学指標
11 (散乱溝の)開口部周縁
12 (測定穴の)開口部周縁
13 (細長楕円形の)基材
13a (細長楕円形の基材の)上面(基準面)
14 取付け面
15 取付け穴
16 (球状の)基材
16a (球状の基材の)上面(基準面)
20 測定テーブル
30 治具パレット
40 (門型の)移動フレーム
50 ヘッド部
60 昇降体
70 (球状の)プローブ
80 ヘッド
Claims (10)
- 接触式3次元測定機又は/及び光学式3次元測定機の測定精度の検査や測定誤差の校正に使用される検査マスタであり、
検査マスタは、接触式3次元測定機の接触子が接触可能な測定穴が二以上と、光学式測定機から照射された測定光を散乱させる光学指標が二以上あり、
前記二以上の測定穴の中心間の距離と前記二以上の光学指標間の距離とが特定の距離関係にある、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1に記載の検査マスタにおいて、
光学指標が二本以上の散乱溝の交点である、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1又は請求項2に記載の検査マスタにおいて、
二つの光学指標の夫々が、二つの測定穴の中心の延長線上にある散乱溝の交点である、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査マスタにおいて、
検査マスタが、マスタ本体とマスタ本体に固定された基準部材を備え、
基準部材に平面状の基準面があり、その基準面に、測定穴が二以上、光学指標が一以上あり、その基準部材が測定穴と光学指標を同じ向きに揃えてマスタ本体に二以上固定されて、少なくとも二つの基準部材の二つの測定穴の中心間の距離と、二つの基準部材の二つの光学指標間の距離が、一定の距離関係に設定された、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査マスタにおいて、
検査マスタが、マスタ本体とマスタ本体に固定された基準部材を備え、
基準部材に平面状の基準面があり、その基準面に、測定穴が二以上、光学指標が二以上あり、これら基準部材の一又は二以上がマスタ本体に固定されて、一つの基準部材の二対の測定穴の中心間の距離と二対の光学指標間の距離が特定の距離関係にあり、二以上の基準部材の二つの測定穴の中心間の距離と二つの光学指標間の距離も特定の距離関係にある、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1記載の検査マスタにおいて、
検査マスタが平面状の基準面を備え、その基準面に直に、測定穴が二以上と、光学指標が二以上あり、二つの測定穴の中心間の距離と、二つの光学指標間の距離が特定の距離関係にある、
ことを特徴とする検査マスタ。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査マスタにおいて、
マスタ本体が多面体であり、その多面体が取付け面を備え、
前記取付け面に基準部材が固定され、基準部材が平面状の基準面を備え、その基準面に測定穴と光学指標がある、
ことを特徴とする検査マスタ。 - マスタ本体に取り付ける基準部材であって、
一つの基材に二以上の測定穴と一つの光学指標を備えたものであり、二つの測定穴の中心の延長線上に二本以上の散乱溝があり、それら散乱溝が一点で交差し、その交点を光学指標としてある、
ことを特徴とする検査マスタ用の基準部材。 - マスタ本体に取り付ける基準部材であって、
一つの基材に二つ一対の測定穴が二対以上と、二以上の光学指標を備えたものであり、夫々の対の二つの測定穴の中心の延長線上に二本以上の散乱溝があり、二本以上の散乱溝は一点で交差し、その交点を光学指標としてあり、前記測定穴と前記光学指標は同じ向きに揃えてある、
ことを特徴とする検査マスタ用の基準部材。 - 検査マスタを使用して、光学式測定機の計量トレサビリティーを確認する方法であり、
前記検査マスタが請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の検査マスタを使用し、
前記検査マスタの少なくとも二つの光学指標間の距離を光学式測定機で測定し、少なくとも二つの測定穴の中心間の距離を計量トレサビリティーが取れている接触式3次元測定機で計測し、
前記二つの光学指標間の実測距離と二つの測定穴間の実測距離を比較して、光学式測定機の計量トレサビリティーを確認する、
ことを特徴とする光学式測定機の計量トレサビリティー確認方法。
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