JP4049272B2 - 光学式3次元測定機の検査マスタ用基準部材 - Google Patents
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Description
3次元測定機1は、被測定物を載置する測定テーブル2を有し、この測定テーブル2の両側に、同図に示すように、水平面内のX方向にスライド自在に支持された門型の可動フレーム3と、前記可動フレーム3にスライド自在に支持されて、水平面内でX方向と直角なY方向にスライド自在なヘッド部4と、前記ヘッド部4に対し上下方向、すなわちZ方向に上下動自在に支持された昇降筒5とを備えている。
2 測定テーブル
3 可動フレーム
4 ヘッド部
5 昇降筒
6 治具パレット
7 検査マスタ
8 マスタ本体
8A 上面
8B 平坦面
8C 貫通孔
9 ホルダ
9A 円筒部
9B 鍔部
9C 貫通孔
9D 取付座面
10 基準部材
M 十字溝(線状溝)
L レーザ光(測定光)
Claims (2)
- 光学式3次元測定機の精度検査に使用する検査マスタ用基準部材であって、3次元測定機から照射された測定光を反射する球面状の被測定面を有し、前記被測定面に測定光を乱反射させるための複数の線状溝を当該被測定面上の一点で互いに交差するように形成したことを特徴とする光学式3次元測定機の検査マスタ用基準部材。
- 線状溝が被測定面上の一点を交点とする十字溝であることを特徴とする請求項1記載の光学式3次元測定機の検査マスタ用基準部材。
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