JP7438056B2

JP7438056B2 - 校正方法

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Publication number: JP7438056B2
Application number: JP2020134961A
Authority: JP
Inventors: 正之奈良
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2020-08-07
Filing date: 2020-08-07
Publication date: 2024-02-26
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Description

本発明は、校正方法に関する。

測定対象物の寸法、及び形状などの測定を行う測定機器として座標測定機が知られている。座標測定機は、測定の精度を維持するために、ボールプレートなどの基準器を用いて校正される（例えば、特許文献１を参照）。

特許第４５８４０２９号公報

ボールプレートに設けられた複数の基準球は、予め定められた間隔に配置されている。基準球の間隔を校正するために座標測定機を使用して基準球の間隔を校正することが考えられる。しかしながら、座標測定機にはスケール誤差が存在するため、座標測定機を用いてボールプレートの複数の基準球の間隔を測定する場合、間隔を高い精度で測定することができないという問題があった。

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、基準器の校正の精度を向上させることを目的とする。

本発明の第一の態様に係る校正方法は、複数の測定対象物体を有する基準器における前記複数の測定対象物体の間隔を座標測定機で校正する方法であって、前記座標測定機のスケール誤差を測定するための測定体と、前記測定体と連結された反射体と、を有する測定物を、前記スケール誤差の測定方向における第１位置に載置するステップと、前記測定物が前記第１位置にある状態で、レーザ干渉計が前記反射体にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射体までの第１距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定体の前記測定方向における第１座標を測定するステップと、前記第１位置と異なる第２位置まで前記測定方向に前記測定物を移動させるステップと、前記測定物が前記第２位置にある状態で、前記レーザ干渉計が前記反射体にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射体までの第２距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定体の前記測定方向における第２座標を測定するステップと、前記第１距離と前記第２距離との差分と、前記第１座標と前記第２座標との差分とを比較することにより、前記座標測定機の誤差を特定するステップと、前記座標測定機の前記測定方向に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置するステップと、前記基準器を載置した後に、前記複数の測定対象物体の間隔を前記座標測定機で測定するステップと、前記座標測定機で前記複数の測定対象物体の間隔を測定した結果を前記誤差で補正をすることにより、前記基準器の前記複数の測定対象物体の間隔の校正値を算出するステップと、を有する。

前記第１座標を測定するステップにおいて、前記座標測定機は前記測定体の複数の位置の複数の座標を測定し、測定した前記複数の座標に基づいて前記測定体の所定の位置を示す前記第１座標を特定してもよい。

前記測定物を移動させるステップにおいて、前記複数の測定対象物体の間隔の仕様値に対応する距離だけ前記測定物を移動してもよい。

前記測定物を移動させるステップにおいて、長手方向が前記測定方向と一致するレールに沿って前記測定物を移動させてもよい。

前記基準器を載置するステップにおいて、前記測定物が載置されていた位置に前記基準器を載置してもよい。

前記基準器を載置するステップにおいて、前記第１位置及び前記第２位置に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置してもよい。

本発明の第二の態様に係る校正方法は、複数の測定対象物体を有する基準器における前記複数の測定対象物体の間隔を座標測定機で校正する方法であって、前記座標測定機のスケール誤差を測定するための測定部位と、照射されたレーザ光を反射させる反射部位と、を有する測定物を、前記スケール誤差の測定方向における第１位置に載置するステップと、前記測定物が前記第１位置にある状態で、レーザ干渉計が前記反射部位にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射部位までの第１距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定部位の前記測定方向における第１座標を測定するステップと、前記第１位置と異なる第２位置まで前記測定方向に前記測定物を移動させるステップと、前記測定物が前記第２位置にある状態で、前記レーザ干渉計が前記反射部位にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射部位までの第２距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定部位の前記測定方向における第２座標を測定するステップと、前記第１距離と前記第２距離との差分と、前記第１座標と前記第２座標との差分とを比較することにより、前記座標測定機の誤差を特定するステップと、前記座標測定機の前記測定方向に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置するステップと、前記基準器を載置した後に、前記複数の測定対象物体の間隔を前記座標測定機で測定するステップと、前記座標測定機で前記複数の測定対象物体の間隔を測定した結果を前記誤差で補正をすることにより、前記基準器の前記複数の測定対象物体の間隔の校正値を算出するステップと、を有する。

本発明によれば、基準器の校正の精度を向上させるという効果を奏する。

本実施形態に係る基準器のスケール誤差の校正方法を示すフローチャートである。座標測定機Ｓのスケール誤差を特定する方法を説明するための図である。ボールプレートＰが有する複数の基準球の間隔を測定する方法を説明するための図である。測定体１４の形状の他の例を説明するための図である。測定体１４及び反射体１５の形状の他の例を説明するための図である。

＜校正方法の概要＞
本校正方法は、複数の測定対象物体を有する基準器における複数の測定対象物体の間隔を座標測定機（すなわち三次元測定機）で校正する方法である。複数の測定対象物体は、例えば、ボールプレートが有する複数の基準球又はホールプレートが有する複数の開口である。本校正方法においては、複数の測定対象物体を測定するための座標測定機のスケール誤差を特定し、特定した座標測定機のスケール誤差と座標測定機で測定した複数の測定対象物体の間隔とに基づいて、基準器が有する複数の測定対象物体の間隔を校正する。本実施形態では、一例として、ボールプレートが備える複数の基準球のうち、２つの基準球の間隔を校正する方法を説明する。

＜校正方法のフローチャート＞
図１は、本実施形態に係る基準器のスケール誤差の校正方法を示すフローチャートである。図２は、座標測定機Ｓのスケール誤差を特定する方法を説明するための図である。図３は、基準器の一例であるボールプレートＰが有する複数の基準球の間隔を測定する方法を説明するための図である。

図２は、座標測定機Ｓの定盤面１０に、座標測定機Ｓのスケール誤差を測定するために用いられるツールであるレール１２、スライダ１３、測定体１４、反射体１５及びレーザ干渉計１６を載置した状態を示している。本校正方法においては、図２に示すツールと座標測定機Ｓのプローブ１１を用いてスケール誤差を特定するための測定をした後に、図３に示すように、定盤面１０にボールプレートＰを載置して、ボールプレートＰが有する複数の基準球の間隔を測定することにより、複数の基準球の間隔を校正する。スケール誤差を特定するための演算は、例えば不図示のコンピュータによって行われる。

定盤面１０は、座標測定機Ｓが備える定盤面である。プローブ１１は、座標測定機Ｓが備えるプローブである。レール１２は、定盤面１０に載置された直方体形状の物体である。

スライダ１３、測定体１４及び反射体１５は、スケール誤差を測定するために、座標測定機Ｓ及びレーザ干渉計１６のそれぞれによって移動距離が測定される測定物である。スライダ１３は、測定体１４及び反射体１５と結合されており、レール１２の上面を移動する。測定体１４は、座標測定機Ｓがプローブ１１を接触させることにより位置を測定するための物体であり、例えば球形の部位を有する。反射体１５は、レーザ干渉計１６が照射したレーザを再帰反射する物体であり、レーザ干渉計１６に面する平面を有する。レーザ干渉計１６は、反射体１５にレーザ光を照射することにより、レーザ干渉計１６と反射体１５との距離を測定する。図３に示す台座１７は、ボールプレートＰを載置するための台である。

以下、図１に示すフローチャートに沿って、校正方法の手順を説明する。
最初のステップでは、図２に示すように定盤面１０にツールを載置した状態で、スライダ１３をレール１２の上面の位置である第１位置に載置する（Ｓ１１）。具体的には、座標測定機Ｓのスケール誤差を測定するための測定体１４と、測定体１４と連結された反射体１５と、を有する測定物を、スケール誤差の測定方向における第１位置に載置する。測定方向は、レール１２の長手方向と一致する方向である。測定物の位置は、測定物に含まれるスライダ１３、測定体１４及び反射体１５のいずれかの部位の位置であり、例えば測定体１４が有する球体の中心位置である。

次のステップでは、測定物が第１位置にある状態で、レーザ干渉計１６が第１距離を測定するとともに、座標測定機Ｓが第１座標を測定する（Ｓ１２）。具体的には、レーザ干渉計１６が反射体１５にレーザ光を測定方向に照射することにより、レーザ干渉計１６から反射体１５までの第１距離を測定する。また、座標測定機Ｓが測定体の測定方向における第１座標を測定する。レーザ干渉計１６による第１距離の測定と座標測定機Ｓによる第１座標の測定の実施順序は任意である。

図２に示すように、レーザ干渉計１６は、レーザ干渉計１６が発するレーザ光がレール１２の長手方向に一致するように載置されている。レーザ干渉計１６は、測定体１４の一端に備えられた球体の中心と反射体１５の一端に備えられた再帰反射体の中心とが、レーザ干渉計が発するレーザ光の光軸上に位置するように載置されている。このようにすることで、本校正方法による測定は、アッベ誤差の影響を受けにくくすることができる。

座標測定機Ｓは、プローブ１１が測定体１４に接触した位置に対応する座標を測定する。座標測定機Ｓは、測定方向における位置の測定精度を向上させるために、測定体１４の複数の位置の複数の座標を測定し、測定した複数の座標に基づいて測定体１４の所定の位置を示す第１座標を特定してもよい。座標測定機Ｓは、例えば、測定体１４における最も外側の複数の位置の座標を順次測定し、測定した複数の位置の中心位置の座標を測定体１４の位置の座標であるとする。座標測定機Ｓがこのように複数の座標に基づいて測定体１４の位置の座標を測定することで、測定体１４に接触するプローブ１１の位置の違いによる測定誤差の発生を抑制できる。

第１距離及び第１座標を測定した後に、第１位置と異なる第２位置まで測定方向に測定物を移動させる（Ｓ１３）。具体的には、レール１２に沿ってスライダ１３を第２位置まで移動させる。第２位置は、例えば、第１位置から複数の測定対象物体の間隔の仕様値に対応する距離だけ測定物をレール１２に沿って移動させた位置である。具体的には、第２位置は、第１位置から、ボールプレートＰが備える基準球Ａ１、Ａ２の間隔と同じ距離をレール１２の長手方向に沿って移動させた位置である。

このように、第１位置と第２位置との距離として、校正する対象の仕様値に近い距離を用いることで、本校正方法においてボールプレートＰの校正に使用される座標測定機Ｓの測定範囲におけるスケール誤差の測定精度を高くすることができる。また、スライダ１３がレール１２の長手方向に沿って移動可能に構成されていることで、本校正方法においては、任意の第１位置及び第２位置の間におけるスケール誤差を特定することができる。その結果、本校正方法は、複数の基準器のそれぞれが有する複数の測定対象物体の異なる間隔のそれぞれに対応することができる。

次のステップでは、測定物が第２位置にある状態で、レーザ干渉計１６が第２距離を測定するとともに、座標測定機Ｓが第２座標を測定する（Ｓ１４）。具体的には、レーザ干渉計１６が反射体１５にレーザ光を測定方向に照射することにより、レーザ干渉計１６から反射体１５までの第２距離を測定するとともに、座標測定機Ｓが測定体の測定方向における第２座標を測定する。

次のステップでは、座標測定機Ｓのスケール誤差を特定する（Ｓ１５）。座標測定機Ｓのスケール誤差は、第１距離と第２距離との差分と、第１座標と第２座標との差分とを比較することにより、例えばコンピュータを用いて特定される。例えば、第１距離と第２距離との差分が「３００ｍｍ＋１μｍ」であり、第１座標と第２座標との差分に対応する距離が「３００ｍｍ」である場合、座標測定機Ｓのスケール誤差は「－１μｍ」であると特定する。

以上の手順により、座標測定機Ｓのスケール誤差を特定した後に、スケール誤差の測定のために用いたツールを定盤面１０から取り除き、スケール誤差が特定された座標測定機Ｓにより、定盤面１０に載置したボールプレートＰが備える複数の基準球Ａ１、Ａ２の間隔を測定する。測定した間隔と特定した座標測定機Ｓのスケール誤差とに基づいて、基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔の校正値を算出する。

基準器であるボールプレートＰが備える複数の基準球Ａ１、Ａ２の間隔を測定するために、測定方向（レール１２の長手方向）に複数の基準球Ａ１、Ａ２が位置するようにボールプレートＰを載置する（Ｓ１６）。具体的には、測定物が載置されていた位置にボールプレートＰを載置する。より具体的には、ボールプレートＰを定盤面１０に載置する際に、第１位置及び第２位置に複数の測定対象物体である複数の基準球Ａ１、Ａ２が位置するようにボールプレートＰを定盤面１０に載置する。

図３に示すボールプレートＰにおいては、測定対象物体である基準球Ａ１、Ａ２の外周が円形であり、基準球Ａ１及び基準球Ａ２それぞれに隣接する複数の開口を有している。この場合、第１位置及び第２位置又は第１位置及び第２位置の近傍に、基準球Ａ１及び基準球Ａ２が位置するようにボールプレートＰを載置する。図３において、例えば、基準球Ａ１が第１位置に対応し、基準球Ａ２が第２位置に対応している。このようにボールプレートＰを載置することで、スケール誤差が測定された位置とボールプレートＰにおける測定位置とがほぼ一致するので、校正精度が向上する。

ボールプレートＰを定盤面１０に載置する際、図３に示すように、定盤面１０の上面に載置された台座１７の上面にボールプレートＰを載置してもよい。ボールプレートＰを台座１７の上面に載置することにより、例えば、ボールプレートＰにおいてプローブ１１が接触する位置の高さが、測定体１４の中心位置と同等の高さになるように調整することができる。このように調整することで、座標測定機Ｓのスケール誤差を測定した際と同等の条件下でボールプレートＰを測定できるので、校正精度がさらに向上する。

次のステップでは、基準器を座標測定機Ｓで測定する（Ｓ１７）。本実施形態においては、基準器であるボールプレートＰが備える複数の測定対象物体である複数の基準球Ａ１、Ａ２の間隔を座標測定機Ｓで測定する。具体的には、座標測定機Ｓが基準球Ａ１の座標と基準球Ａ２の座標とを測定し、測定した座標の差分に対応する間隔を特定する。

本ステップは、複数の開口Ｂ１、Ｂ２の位置を測定するステップと、複数の開口Ｂ１、Ｂ２の位置の間隔に基づいて複数の測定対象物体である基準球Ａ１、Ａ２の間隔を特定するステップとを有してもよい。例えば、本ステップにおいては、開口Ｂ１の位置と開口Ｂ２の位置との位置を測定し、測定した開口Ｂ１と開口Ｂ２との位置の間隔に基づいて、開口Ｂ１に接する基準球Ａ１と開口Ｂ２に接する基準球Ａ２との間隔を特定してもよい。開口Ｂ１、Ｂ２の位置は、開口Ｂ１、Ｂ２の外周の測定により特定できるため、球体である基準球Ａ１、Ａ２よりも測定が容易であり、且つ、高い精度で位置を特定できる。

次のステップでは、測定器の校正値を算出する（Ｓ１８）。具体的には、座標測定機Ｓで複数の測定対象物体である基準球Ａ１、Ａ２の間隔を測定した結果を、Ｓ１５で特定した座標測定機Ｓのスケール誤差で補正することにより、基準器であるボールプレートＰの複数の測定対象物体である基準球Ａ１、Ａ２の間隔の校正値を算出する。例えば、基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔を測定した結果が「３００ｍｍ＋２μｍ」であり、座標測定機Ｓのスケール誤差が「－１μｍ」である場合、測定した間隔をスケール誤差で補正した値は「３００ｍｍ＋３μｍ」である。この場合、基準球Ａ１、Ａ２の間隔の仕様値が「３００ｍｍ」の場合、校正値は「３μｍ」と算出できる。

＜第１変形例＞
以上の説明においては、座標測定機Ｓが測定する測定体１４の一端に球体が形成されている場合を例示したが、座標測定機Ｓが測定する測定体１４の一端の形状は、球体に限らない。図４は、測定体１４の形状の他の例を示す図である。図４（ａ）は、測定体１４の一端の形状がリング状の円柱である例を示す。図４（ｂ）は、測定体１４の一端の形状がブロック（直方体）である例を示す。

図４（ａ）の場合、座標測定機Ｓは、プローブ１１が、測定体１４が備えるリング状の円柱の内周又は外周と接触することにより、第１座標及び第２座標を測定する。図４（ｂ）の場合、座標測定機Ｓは、プローブ１１が、測定体１４が備えるブロックの表面である複数の平面と接触することにより、第１座標及び第２座標を測定する。このように、球体とは異なる測定体１４の一端の形状を測定することで、座標測定機Ｓは、プローブ１１が接触する位置が異なることによる測定誤差を抑制した測定を行うことができる。

＜第２変形例＞
以上の説明においては、測定体１４と反射体１５とが異なる物体である場合を例示したが、測定体１４と反射体１５とが単一の物体であってもよい。図５は、測定体１４及び反射体１５の形状の他の例を説明するための図である。図５においては、測定体１４を測定部位１８に置き換えている点と反射体１５を反射部位１９に置き換えている点とで図２と異なり、他の点において同じである。

図５における測定物は、スライダ１３、測定部位１８、及び反射部位１９により構成されており、測定部位１８と反射部位１９とは結合されている。測定部位１８は、座標測定機Ｓがプローブ１１を接触させることにより位置を測定するための部位であり、例えば球形の形状である。反射部位１９は、レーザ干渉計１６が照射したレーザを再帰反射する部位であり、レーザ干渉計１６に面する平面を有する。

図５に示す測定物を用いて本校正方法を行う場合、座標測定機Ｓは、測定部位１８とプローブ１１とを接触させることにより、測定体の測定方向における第１座標及び第２座標を測定する。レーザ干渉計１６は、反射部位１９にレーザ光を測定方向に照射することにより、レーザ干渉計１６から反射部位１９までの第１距離及び第２距離を測定する。

このような構成にすることで、座標測定機Ｓとレーザ干渉計１６とが、同じ位置の測定対象物体を測定できるので、スケール誤差の測定精度がさらに向上する。さらに、測定物の構造を簡素化することができる。

＜第３変形例＞
以上の説明においては、基準器を載置するステップにおいて、第１座標と第２座標との差分と基準球Ａ１、Ａ２の間隔とが同じ又は近似している場合を例示したが、第１座標と第２座標との差分と基準球Ａ１、Ａ２の間隔とは異なっていてもよい。

その場合、座標測定機Ｓのスケール誤差の特定に用いた第１座標と第２座標との差分と、基準球Ａ１、Ａ２の間隔とを比較し、第１座標と第２座標との差分に対する基準球Ａ１、Ａ２の間隔の比例量を算出する。そして、算出した比例量と特定した座標測定機Ｓのスケール誤差とに基づいて、基準球Ａ１、Ａ２の間隔におけるスケール誤差を特定する。

例えば、第１座標と第２座標との差分に対応する距離が「３００ｍｍ」であり、スケール誤差が「－１μｍ」である場合、基準球Ａ１、Ａ２の間隔が「６００ｍｍ」ならば、スケール誤差を「－２μｍ」として校正値を算出する。このように校正値を算出することで、本校正方法は、例えば、基準球Ａ１、Ａ２の間隔がレール１２の長手方向の距離より長い場合であっても、校正値を算出することができる。

＜第４変形例＞
以上の説明においては、座標測定機Ｓのスケール誤差を特定した後に基準球Ａ１、Ａ２の間隔を測定することで、基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔の校正値を算出したが、基準球Ａ１、Ａ２の間隔を測定した後に座標測定機Ｓのスケール誤差を特定することで、基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔の校正値を算出してもよい。

具体的には、最初に、図１に示すＳ１６からＳ１７の手順を行うことによりボールプレートＰが備える基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔を測定する。続いて、図１に示すＳ１１からＳ１５の手順を行うことにより座標測定機Ｓのスケール誤差を特定する。そして、図１に示すＳ１８を行うことによりボールプレートＰが備える基準球Ａ１と基準球Ａ２との間隔の校正値を算出する。

＜本実施形態に係る校正方法の効果＞
以上のとおり、本実施形態に係る校正方法は、レーザ干渉計１６がレーザ干渉計１６から反射体１５までの第１距離を測定するとともに、座標測定機Ｓが測定体１４の第１座標を測定するステップと、測定体１４及び反射体１５を有する測定物を移動させるステップと、レーザ干渉計１６がレーザ干渉計１６から移動後の反射体１５までの第２距離を測定するとともに、座標測定機Ｓが移動後の測定体１４の第２座標を測定するステップと、測定した第１距離と第２距離との差分と、第１座標と第２座標との差分に基づいて座標測定機Ｓのスケール誤差を特定するステップと、座標測定機Ｓが基準器の測定対象物体である基準球の間隔を測定するステップと、測定した基準球の間隔と座標測定機Ｓのスケール誤差とに基づいて基準球の間隔の校正値を算出するステップと、を有する。

このような手順で基準器を校正することで、座標測定機Ｓに存在するスケール誤差を考慮して基準器が備える複数の測定対象物体の間隔の校正値を算出できるため、基準器の校正の精度を向上させることができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。

１０定盤面
１１プローブ
１２レール
１３スライダ
１４測定体
１５反射体
１６レーザ干渉計
１７台座
１８測定部位
１９反射部位

Claims

複数の測定対象物体を有する基準器における前記複数の測定対象物体の間隔を座標測定機で校正する方法であって、
前記座標測定機のスケール誤差を測定するための測定体と、前記測定体と連結された反射体と、を有する測定物を、前記スケール誤差の測定方向における第１位置に載置するステップと、
前記測定物が前記第１位置にある状態で、レーザ干渉計が前記反射体にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射体までの第１距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定体の前記測定方向における第１座標を測定するステップと、
前記第１位置と異なる第２位置まで前記測定方向に前記測定物を移動させるステップと、
前記測定物が前記第２位置にある状態で、前記レーザ干渉計が前記反射体にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射体までの第２距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定体の前記測定方向における第２座標を測定するステップと、
前記第１距離と前記第２距離との差分と、前記第１座標と前記第２座標との差分とを比較することにより、前記座標測定機の誤差を特定するステップと、
前記座標測定機の前記測定方向に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置するステップと、
前記基準器を載置した後に、前記複数の測定対象物体の間隔を前記座標測定機で測定するステップと、
前記座標測定機で前記複数の測定対象物体の間隔を測定した結果を前記誤差で補正をすることにより、前記基準器の前記複数の測定対象物体の間隔の校正値を算出するステップと、
を有する校正方法。
前記第１座標を測定するステップにおいて、前記座標測定機は前記測定体の複数の位置の複数の座標を測定し、測定した前記複数の座標に基づいて前記測定体の所定の位置を示す前記第１座標を特定する、
請求項１に記載の校正方法。
前記測定物を移動させるステップにおいて、前記複数の測定対象物体の間隔の仕様値に対応する距離だけ前記測定物を移動させる、
請求項１又は２に記載の校正方法。
前記測定物を移動させるステップにおいて、長手方向が前記測定方向と一致するレールに沿って前記測定物を移動させる、
請求項１から３のいずれか一項に記載の校正方法。
前記基準器を載置するステップにおいて、前記測定物が載置されていた位置に前記基準器を載置する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の校正方法。
前記基準器を載置するステップにおいて、前記第１位置及び前記第２位置に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置する、
請求項５に記載の校正方法。
複数の測定対象物体を有する基準器における前記複数の測定対象物体の間隔を座標測定機で校正する方法であって、
前記座標測定機のスケール誤差を測定するための測定部位と、照射されたレーザ光を反射させる反射部位と、を有する測定物を、前記スケール誤差の測定方向における第１位置に載置するステップと、
前記測定物が前記第１位置にある状態で、レーザ干渉計が前記反射部位にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射部位までの第１距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定部位の前記測定方向における第１座標を測定するステップと、
前記第１位置と異なる第２位置まで前記測定方向に前記測定物を移動させるステップと、
前記測定物が前記第２位置にある状態で、前記レーザ干渉計が前記反射部位にレーザ光を前記測定方向に照射することにより、前記レーザ干渉計から前記反射部位までの第２距離を測定するとともに、前記座標測定機が前記測定部位の前記測定方向における第２座標を測定するステップと、
前記第１距離と前記第２距離との差分と、前記第１座標と前記第２座標との差分とを比較することにより、前記座標測定機の誤差を特定するステップと、
前記座標測定機の前記測定方向に前記複数の測定対象物体が位置するように前記基準器を載置するステップと、
前記基準器を載置した後に、前記複数の測定対象物体の間隔を前記座標測定機で測定するステップと、
前記座標測定機で前記複数の測定対象物体の間隔を測定した結果を前記誤差で補正をすることにより、前記基準器の前記複数の測定対象物体の間隔の校正値を算出するステップと、
を有する校正方法。