JP6278427B1 - 光学装置、及び除振方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。まず、図1を用いて本実施形態に係る光学装置の全体構成を説明する。本実施の形態では、光学装置がEUV(Extremely UltraViolet)光を用いて、EUVマスクを検査する検査装置100となっている。したがって、試料42はEUVマスクとなっている。なお、試料42となるEUVマスクはパターン付きマスクでもよく、パターンなしのマスクブランクスであってもよい。
本実施の形態にかかる検査装置100は、光源用チャンバ10と、第2の除振装置11と、EUV光源12、楕円面鏡13と、光学系用チャンバ20と、第1の除振装置21と、光学系30と、ステージ41と、処理装置45と、ベローズ50と、位置センサ51とを備えている。
次に、第2の除振装置11の制御について、図2を用いて説明する。図2は、第2の除振装置11の制御構成を示すブロック図である。位置センサ51が6軸センサであるため、図2では、位置センサ51の6軸センサのそれぞれを第1の位置センサ51a〜第6の位置センサ51fと示している。
次に、2つの真空チャンバの連結箇所の好適な一例について、図3を用いて説明する。図3は、図1で示した光源用チャンバ10と光学系用チャンバ20との連結箇所を示す図である。光源用チャンバ10の光学系用チャンバ20に向かう壁をチャンバ壁10aとして示している。光学系用チャンバ20の光源用チャンバ10に向かう壁をチャンバ壁20aとして示している。チャンバ壁10aとチャンバ壁20aとは対向して配置されており、互に平行になっている。
11 第2の除振装置
12 EUV光源
13 楕円面鏡
20 光学系用チャンバ
21 第1の除振装置
22 光学センサ
30 光学系
31 楕円面鏡
32 取り出しミラー
33 落とし込みミラー
34 穴開き凹面鏡
35 凸面鏡
36 シュバルツシルト拡大光学系
37 凹面鏡
38 凹面鏡
39 カメラ
41 ステージ
42 試料
45 処理装置
51 位置センサ
61 中心位置検出演算装置
62 座標演算装置
63 電空レギュレータ
64 アクチュエータ
71 差圧計
72 換算回路
73 電空レギュレータ
74 空気バネ
100 検査装置
Claims (10)
- 光源用真空チャンバと、
前記光源用真空チャンバ内に配置された光源と、
光学系用真空チャンバと、
前記光源用真空チャンバと前記光学系用真空チャンバとを接続し、前記光源で発生した光が通過するベローズと、
前記光学系用真空チャンバ内に配置され、前記ベローズを介して前記光学系用真空チャンバ内に入射した光を対象物に導く光学系と、
前記光学系用真空チャンバを除振する第1の除振装置と、
前記光学系用真空チャンバ内に配置され、前記光源で発生した光を検出する光学センサと、
前記光学系用真空チャンバに対する前記光源用真空チャンバの相対位置を検出するために設けられた位置センサと、
前記光学センサと前記位置センサとの検出結果に基づいて、前記光源用真空チャンバを除振する第2の除振装置と、
前記位置センサで検出された相対位置が所定の目標位置になるように前記第2の除振装置を制御する制御部と、を備え、
前記第1の除振装置と前記第2の除振装置のうち、前記第1の除振装置のみがチャンバの加速度を打ち消すように除振しており、
前記制御部が、前記光学センサでの前記光の検出位置に基づいて、前記光源からの光の光軸に垂直な面内における前記目標位置を補正する光学装置。 - 前記光学センサが前記光源の発光点と共役な位置に配置されている請求項1に記載の光学装置。
- 前記ベローズがS字状に湾曲している請求項1、又は2に記載の光学装置。
- 前記光源用真空チャンバと前記光学系用真空チャンバとの間に設けられ、前記光源用真空チャンバ、及び前記光学系用真空チャンバの圧力に応じて動作する空気バネをさらに備えた請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記光源がEUV(Extremely Ultraviolet)光を発生するDPP(Discharge Produced Plasma)光源である請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学装置。
- 光源用真空チャンバと、
前記光源用真空チャンバ内に配置された光源と、
光学系用真空チャンバと、
前記光源用真空チャンバと前記光学系用真空チャンバとを接続し、前記光源で発生した光が通過するベローズと、
前記光学系用真空チャンバ内に配置され、前記ベローズを介して前記光学系用真空チャンバ内に入射した光を対象物に導く光学系と、を備えた光学装置における除振方法であって、
前記光源用真空チャンバ内に配置された光学センサで、前記光源で発生した光を検出するステップと、
前記光源用真空チャンバに対する前記光学系用真空チャンバの相対位置を位置センサで検出するステップと、
前記光学センサと前記位置センサとの検出結果に基づいて、前記光源用真空チャンバを除振するステップと、を備え、
前記光学系用真空チャンバと前記光源用真空チャンバのうちの前記光学系用真空チャンバのみが加速度を打ち消すように第1の除振装置により除振されており、
前記位置センサで検出された相対位置が所定の目標位置になるように前記光源用真空チャンバが第2の除振装置により制御され、
前記光学センサでの前記光の検出位置に基づいて、前記光源からの光の光軸に垂直な面内における前記目標位置を補正する除振方法。 - 前記光学センサが前記光源の発光点と共役な位置に配置されている請求項6に記載の除振方法。
- 前記ベローズがS字状に湾曲している請求項6、又は7に記載の除振方法。
- 前記光源用真空チャンバと前記光学系用真空チャンバとの間に設けられ、前記光源用真空チャンバ、及び前記光学系用真空チャンバの圧力に応じて動作する空気バネをさらに備えた請求項6〜8のいずれか1項に記載の除振方法。
- 前記光源がEUV光を発生するDPP光源である請求項6〜9のいずれか1項に記載の除振方法。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020055540A1 (en) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | Cymer, Llc | Metrology for a body of a gas discharge stage |
US10670970B1 (en) * | 2019-01-25 | 2020-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Lithography system and method thereof |
CN113467203B (zh) * | 2021-06-10 | 2024-01-23 | 东莞市多普光电设备有限公司 | 利用相机对平台进行对位的方法、对位装置及直接成像光刻设备 |
US20230122832A1 (en) * | 2021-10-18 | 2023-04-20 | Kla Corporation | Method and apparatus for positioning optical isolator assembly with replaceable motor assembly |
Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4803712A (en) * | 1987-01-20 | 1989-02-07 | Hitachi, Ltd. | X-ray exposure system |
JPH04136943A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-11 | Toshiba Corp | X線露光装置 |
JPH09275062A (ja) * | 1996-04-03 | 1997-10-21 | Canon Inc | 露光装置 |
JPH11185304A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Sony Corp | レーザ露光装置 |
US6031598A (en) * | 1998-09-25 | 2000-02-29 | Euv Llc | Extreme ultraviolet lithography machine |
JP2003059801A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-28 | Canon Inc | 露光装置及び露光方法 |
JP2004311657A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Nikon Corp | 真空チャンバ及びそれを有する露光装置 |
JP2005223011A (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Canon Inc | 露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2005273904A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-10-06 | Ebara Corp | 除振装置 |
JP2006017994A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Canon Inc | 光ファイバケーブルの密封方法および投影露光装置 |
JP2007024313A (ja) * | 2005-07-16 | 2007-02-01 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | 振動に敏感な要素を支持する支持装置 |
JP2007048932A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Canon Inc | 位置合せ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2009071055A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Nikon Corp | 露光装置および電子機器 |
JP2009525590A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-07-09 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光源の変動を測定するためのシステムを備えたeuv照明システム |
JP2010123942A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-06-03 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2012134372A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Lasertec Corp | 汚染防止装置、汚染防止方法、露光装置、及びパターン付きウエハの製造方法 |
JP2012235043A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置、euvマスク検査方法 |
JP2013026621A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Asml Netherlands Bv | 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 |
JP2013080810A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置及びeuvマスク検査方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5930324A (en) | 1996-04-03 | 1999-07-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method using the same |
JP4313865B2 (ja) | 1998-01-14 | 2009-08-12 | キヤノン株式会社 | 除振装置 |
JP3039542B2 (ja) | 1999-04-12 | 2000-05-08 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
US6937316B2 (en) * | 2001-08-15 | 2005-08-30 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
JP2005136120A (ja) | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Nikon Corp | Euv光投影露光装置及び方法 |
JP4440031B2 (ja) * | 2004-07-29 | 2010-03-24 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US7812928B2 (en) * | 2005-07-06 | 2010-10-12 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
US8648999B2 (en) * | 2010-07-22 | 2014-02-11 | Cymer, Llc | Alignment of light source focus |
EP2469340B1 (en) * | 2010-12-21 | 2021-01-06 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE102016203990A1 (de) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Beleuchtungssystems für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage, Beleuchtungssystem und Messverfahren |
-
2017
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Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4803712A (en) * | 1987-01-20 | 1989-02-07 | Hitachi, Ltd. | X-ray exposure system |
JPH04136943A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-11 | Toshiba Corp | X線露光装置 |
JPH09275062A (ja) * | 1996-04-03 | 1997-10-21 | Canon Inc | 露光装置 |
JPH11185304A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Sony Corp | レーザ露光装置 |
US6031598A (en) * | 1998-09-25 | 2000-02-29 | Euv Llc | Extreme ultraviolet lithography machine |
JP2003059801A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-28 | Canon Inc | 露光装置及び露光方法 |
JP2004311657A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Nikon Corp | 真空チャンバ及びそれを有する露光装置 |
JP2005223011A (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Canon Inc | 露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2005273904A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-10-06 | Ebara Corp | 除振装置 |
JP2006017994A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Canon Inc | 光ファイバケーブルの密封方法および投影露光装置 |
JP2007024313A (ja) * | 2005-07-16 | 2007-02-01 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | 振動に敏感な要素を支持する支持装置 |
JP2007048932A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Canon Inc | 位置合せ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2009525590A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-07-09 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光源の変動を測定するためのシステムを備えたeuv照明システム |
JP2009071055A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Nikon Corp | 露光装置および電子機器 |
JP2010123942A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-06-03 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2012134372A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Lasertec Corp | 汚染防止装置、汚染防止方法、露光装置、及びパターン付きウエハの製造方法 |
JP2012235043A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置、euvマスク検査方法 |
JP2013026621A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Asml Netherlands Bv | 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 |
JP2013080810A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置及びeuvマスク検査方法 |
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