JP6273384B2 - マルチレベル動作を有する不揮発性強誘電体メモリセル - Google Patents
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Description
本出願は、2014年8月19日に出願された「NON-VOLATILE FERROELECTRIC MEMORY CELLS WITH MULTILEVEL OPERATION」と題する米国特許仮出願第62/039,229号への恩典を主張する。この参照される特許出願の内容全体が参照により本出願に組み入れられる。
本開示は概して、不揮発性メモリおよびエネルギー貯蔵用途に使用することができるポリマー強誘電体材料を有する電子デバイスおよび素子の動作に関する。
パーソナルコンピュータシステム、埋め込みプロセッサベースのシステム、ビデオイメージ処理回路、携帯電話などの多くの電子製品におけるデータ、プログラムコードおよび/または他の情報の記憶のためにメモリシステムが使用されている。電子デバイスにおけるメモリセルにとって重要な特性は、低いコスト、不揮発性、高い密度、書き込み可能性、低いパワーおよび高い速度である。従来のメモリ解決手段としては、ROM(Read Only Memory/読み取り専用メモリ)、PROM(Programmable Read only Memory/プログラマブルROM)、EPROM(Electrically Programmable Memory/電気的プログラマブルメモリ)、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory/電気的消去可能ROM)、DRAM(Dynamic Random Access Memory/ダイナミックランダムアクセスメモリ)およびSRAM(Static Random Access Memory/スタティックランダムアクセスメモリ)がある。
以下の工程を含む方法:
a)強誘電体層を含むマルチレベルメモリセルに書き込むためのビットパターンを受信する工程;
b)該受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて、書き込みパルスを該メモリセルに印加するためのパルス持続時間を選択する工程;および
c)該選択したパルス持続時間を有する少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、該少なくとも一つの書き込みパルスが、該受信したビットパターンを表す残留分極を該強誘電体層内に発生させる、工程。
[本発明1002]
前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、該少なくとも一つの書き込みパルスを強誘電体電界効果トランジスタ(Fe-FET)に印加する工程を含む、本発明1001の方法。
[本発明1003]
前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、該少なくとも一つの書き込みパルスを、強誘電体ポリマーを含むマルチレベルメモリセルに印加する工程を含むか、または
該少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、それにより前記残留分極を前記強誘電体層内に発生させる工程が、前記Fe-FETのドレインとソースとの間のチャネル抵抗を変化させる工程を含み、該ドレインと該ソースとの間の該チャネル抵抗が、前記受信したビットパターンを表す、
本発明1002の方法。
[本発明1004]
前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、該少なくとも一つの書き込みパルスを強誘電体ダイオードに印加する工程を含む、本発明1001の方法。
[本発明1005]
前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程であって、それにより前記残留分極を前記強誘電体層内に発生させる工程が、ダイオードの上側電極と下側電極との間のチャネル抵抗を変化させる工程を含み、該上側電極と該下側電極との間の該チャネル抵抗が、前記受信したビットパターンを表す、本発明1004の方法。
[本発明1006]
前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、前記受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づく周波数で複数の書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程を含む、本発明1001の方法。
[本発明1007]
強誘電体層を有する第二のマルチレベルメモリセルのチャネル抵抗を検知する工程;および
該検知した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、該第二のマルチレベルメモリセルに記憶された第二のビットパターンを決定する工程
をさらに含む、本発明1001の方法。
[本発明1008]
前記検知した前記第二のマルチレベルメモリセルの抵抗が、前記強誘電体層の残留分極を表す、本発明1007の方法。
[本発明1009]
前記第二のマルチレベルメモリセルが第一のマルチレベルメモリセルであり、かつ前記方法が、前記決定した第二のビットパターンが前記受信したビットパターンであることを検証する工程をさらに含む、本発明1008の方法。
[本発明1010]
以下を含む装置:
a)i. ソース;
ii. ドレイン;
iii. 該ソースと該ドレインとの間のチャネル;
iv. 該チャネルの上または下の強誘電体層;
v. 該強誘電体層の上または下のゲート
を含む、メモリセル;ならびに
b)該メモリセルの該ゲートに接続されかつ以下の工程を実行するように構成されている、コントローラ:
i. 該メモリセルに書き込むためのビットパターンを受信する工程;
ii. 該受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて、書き込みパルスを該メモリセルに印加するためのパルス持続時間を選択する工程;および
iii. 該選択したパルス持続時間を有する少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、該少なくとも一つの書き込みパルスが、該受信したビットパターンを表す残留分極を該強誘電体層内に発生させる、工程。
[本発明1011]
前記コントローラが、前記少なくとも一つの書き込みパルスの前記パルス持続時間に少なくとも部分的に基づいて該少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加することによって前記チャネル中に導電路を形成させるように構成されている、本発明1010の装置。
[本発明1012]
前記コントローラが、前記少なくとも一つの書き込みパルスの前記パルス持続時間に少なくとも部分的に基づいて該少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加することによって導電チャネル中の電荷キャリアレベルをセットするように構成されている、本発明1011の装置。
[本発明1013]
前記コントローラが、前記受信したビットパターン中の少なくとも2ビットを受信するように構成されている、本発明1010の装置。
[本発明1014]
前記メモリセルが上に構築される基板であって、該メモリセルが、該メモリセルの該基板に面しない側にゲートを有するトップゲート構造で構成されている、基板をさらに含むか、または
前記メモリセルが上に構築される基板であって、該メモリセルが、該メモリセルの該基板に面する側にゲートを有するボトムゲート構造で構成されている、基板をさらに含む、
本発明1010の装置。
[本発明1015]
前記強誘電体層が有機強誘電体を含む、本発明1010の装置。
[本発明1016]
前記メモリセルが、メモリセルのアレイの一つのメモリセルである、本発明1010の装置。
[本発明1017]
前記装置が、前記メモリセルの前記ゲートに接続されかつ前記コントローラに接続されたワードラインをさらに含み、該コントローラが、該ワードラインを介して前記パルス持続時間の前記少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルの該ゲートに印加するように構成されているか、または
前記装置が、前記メモリセルの前記ドレインおよび前記ソースの少なくとも一つに接続されたビットラインと、該ビットラインに接続されたセンスアンプとをさらに含み、前記コントローラがさらに、i.)該センスアンプによって検知される該メモリセル中の電流を検出する工程;およびii.)該検出された電流を表すビットパターンを決定する工程を実行するように構成されている、
本発明1016の装置。
[本発明1018]
前記コントローラが、前記決定したビットパターンが前記受信したビットパターンに等しいことを検証するように構成されている、本発明1017の装置。
[本発明1019]
前記メモリセルが強誘電体電界効果トランジスタ(Fe-FET)である、本発明1010の装置。
[本発明1020]
以下を含む装置:
a)i. 上側電極;
ii. 下側電極;
iii. 下側電極と上側電極との間の、強誘電体材料と半導体材料とのブレンド
を含む、メモリセル;ならびに
b)該メモリセルに接続されかつ以下の工程を実行するように構成されている、コントローラ:
i. 該メモリセルに書き込むためのビットパターンを受信する工程;
ii. 該受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて、書き込みパルスを該メモリセルに印加するためのパルス持続時間を選択する工程;および
iii. 該選択したパルス持続時間を有する少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、該少なくとも一つの書き込みパルスが、該受信したビットパターンを表す残留分極を強誘電体層内に発生させる、工程。
本発明の他の目的、特徴および利点が以下の図面、詳細な説明および実施例から明らかになるであろう。しかし、図面、詳細な説明および実施例は、本発明の特定の態様を示すが、実例として記されるだけであり、限定的であることを意図しないことが理解されよう。加えて、この詳細な説明から、本発明の精神および範囲内の変形および修飾が当業者に明らかになることが考慮されよう。
強誘電体材料に基づく現在のメモリデバイスは、従来のメモリデバイスに比べ、製造に関連する高いコストを伴う。本発明は、強誘電性メモリデバイスの製造に関連する今ある難題を解決する。メモリデバイスのコストを減らすためには、メモリデバイスの各セルを、従来の強誘電体メモリデバイスにおけるような単一ビットの情報ではなく、複数ビットの情報を記憶するように制御し得る。したがって、同じ全情報記憶量を維持しながらも強誘電体メモリデバイスのサイズを減らし得る。たとえば、単一レベル強誘電体メモリデバイスは通常、1GBの情報を記憶するために10mm2×10mm2のダイサイズを必要とし得る。しかし、デバイス中の各メモリセルが2ビットの情報を記憶するように動作するマルチレベル強誘電体メモリデバイスは、約7mm2×7mm2のダイサイズだけで1GBメモリチップの構築を許し得る。
図1A、1B、2Aおよび2Bは、それぞれ、本発明の方法にしたがってメモリデバイスに組み込まれ、メモリコントローラまたは他の装置によって動かされことができる強誘電体コンデンサおよび薄膜トランジスタ(図2Aの(A)、(B)、(C)および(D)における異なるセットアップの電界効果トランジスタ)を含む強誘電体素子の図を提供する。本発明のプロセスを詳述する前に、強誘電体コンデンサおよび薄膜トランジスタを製造するために使用することができる構成要素のいくつかの説明を提供する。図1Aを参照すると、強誘電体コンデンサ(10)は、一つの態様においてはパルス化光または別の態様においては熱でアニールされる強誘電体材料(13)を含む。強誘電体材料(13)に関して使用された陰影付けは、ヒステリシス性を有する強誘電体材料へと変換された前駆材料を指す。図1Aに関して、強誘電体材料(13)は膜または層の形態で示されている。強誘電体コンデンサ(10)は、基板(11)、下側電極(12)、強誘電体材料(13)および末端電極(14)を含むことができる。強誘電体コンデンサ(10)は、基板上で二つの導電電極(12)および(14)の間に強誘電体材料(13)を挟むことによって製造することができる。当業者に公知であるさらなる材料、層およびコーティング(図示せず)を強誘電体コンデンサ(10)とともに使用することができ、そのいくつかを以下に説明する。たとえば端部電極14を図1Bに示すようにパターニングすることにより、コンデンサを含む強誘電体素子のアレイを製造し得る。メモリアレイを形成するために使用され得る他の強誘電体素子は、図2Aに示すような強誘電体電界効果トランジスタ(FeFET)であり得る。図2Aは、本発明のメモリデバイスに組み込むことができる薄膜トランジスタ(20)の様々な構成を表す。メモリアレイを形成するために使用され得る他の強誘電体素子が、図2Bに示すような強誘電体ダイオードであり得る。図2Bは強誘電体ダイオード(25)の構成を表す。強誘電体ダイオードは、交互に並ぶ強誘電体材料および半導体材料の層によって分けられた上側電極および下側電極を含み得る。強誘電体材料部分は強誘電体材料と半導体材料とのブレンドを含み得る。
基板(10)は支持体として使用される。一般に、熱または有機溶媒によって容易には変質または劣化しない材料から製造される。そのような材料の非限定的な例は、無機材料、たとえばシリコン、プラスチック、紙、銀行券用紙およびポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリ(メチルメタクリレート)もしくはポリエーテルイミドまたはそのようなポリマーを含むポリマーブレンドを含むSABIC基板を含む。本明細書に記載されるメモリセルは、低いガラス転移温度(Tg)を有するもの(たとえばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン(PE)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリスチレン(PS)またはポリプロピレン(PP))を含む、すべてのタイプの基板上に製造され得る。
なおも図1Aを参照すると、下側電極(12)は導電性材料でできていることができる。一般に、下側電極(12)は、そのような材料を使用して膜を形成することによって得ることができる(たとえば真空蒸着、スパッタリング、イオンめっき、めっき、コーティングなど)。膜を形成するために使用することができる導電性材料の非限定的な例は、金、白金、銀、アルミニウムおよび銅、イリジウム、酸化イリジウムなどを含む。加えて、導電性ポリマー材料の非限定的な例は、導電ポリマー(たとえばPEDOT:PSS、ポリアニリン、グラフェンなど)および導電性マイクロまたはナノ構造(たとえば銀ナノワイヤ)の包含によって導電性になるポリマーを含む。下側電極(12)のための膜の厚さは一般に20nm〜500nmであるが、本発明に関連する使用の場合には他のサイズおよび範囲が考慮される。
さらに図1Aを参照すると、強誘電体材料(13)は下側電極(12)と上側電極(14)との間に挿入されることができる。一つの例において、材料(13)は、強誘電体前駆材料(図3の要素(34)を参照)から得ることができ、強誘電体前駆材料は、強誘電体ポリマー、コポリマー、ターポリマーまたは強誘電体ポリマー、コポリマーもしくターポリマーまたはそれらの組み合わせを含むポリマーブレンドを含むことができる。好ましい局面において、前駆材料(34)中のポリマーは、強誘電体ヒステリシス性を示さないが、たとえば熱によるアニールによって変換されると強誘電体ヒステリシス性を示すことができるよう、溶媒または溶融体中に可溶化される。この工程に関する説明は以下に提供する。強誘電体ポリマーの非限定的な例は、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)系ポリマー、ポリウンデカノアミド(ナイロン11)系ポリマーまたはPVDF系ポリマーとポリウンデカノアミド(ナイロン11)系ポリマーとのブレンドを含む。PVDF系ポリマーは、ホモポリマー、コポリマーもしくはターポリマーまたはそれらのブレンドであることができる。PVDF系ホモポリマーポリマーの非限定的な例はPVDFである。PVDF系コポリマーの非限定的な例は、ポリ(フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン)(P(VDF-TrFE))、ポリ(フッ化ビニリデン-co-ヘキサフルオロプロペン)(P(VDF-HFP))、ポリ(フッ化ビニリデン−クロロトリフルオロエチレン)(P(VDF-CTFE))またはポリ(フッ化ビニリデン−クロロフルオロエチレン)(P(VDF-CFE))である。PVDF系ターポリマーの非限定的な例は、ポリ(フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレン)(P(VDF-TrFE-CTFE))またはポリ(フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロフルオロエチレン)(P(VDF-TrFE-CFE))を含む。強誘電体ポリマーは非強誘電体ポリマーとブレンドされることができる。非強誘電体ポリマーの例は、ポリ(フェニレンオキシド)(PPO)、ポリスチレン(PS)もしくはポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)またはそれらのブレンドを含む。いくつかの例において、工程(a)および(b)はロール・ツー・ロール法で実施される。
なおも図3を参照すると、ロール・ツー・ロールシステム(30)は、所望の速度で基板(11)材料を転がすために使用することができるローラ(31aおよび31b)を含む。基板(11)は、第一のローラ(31a)から第二のローラ(31b)まで移動するよう、展開され、第一のローラ(31a)上に配置されたのち、第二のローラ31(b)に取り付けられることができる。その経路に沿って、システム(30)は、様々な材料の付着のための様々な装置を含むことができる。たとえば、上述した任意の形態の付着法により、背面電極(12)を基材(11)上に配置することができる−付着装置は(32)として示されている。必要ならば、背面電極(12)をさらに加工することもできる(たとえば、付着させた背面電極(12)の硬化)。背面電極(12)を基板(11)に付着させ、加工したのち、前駆材料(34)を電極面(12)または基板(11)もしくは両方の少なくとも一部分の上に配置することができる。図3中、前駆材料(34)は付着装置(33)によって電極面(12)に付着される。そして、強誘電体前駆材料(34)をオーブンもしくはホットプレートまたは他の従来の加熱源によってアニールすることができる。たとえば、基板(11)/背面電極(12)/強誘電体前駆材料(34)のスタックを、熱(36)を発生させる装置(35)、たとえば標準的な高速熱アニールオーブンへと直に転がすことができる。装置(35)は、加熱の持続時間および加熱の温度を詳細に制御するためのソフトウェアと組み合わせて使用されることができる。加えられる熱が前駆材料(34)を、強誘電体ヒステリシス性を有する強誘電体材料(13)へと転換し、それが、(13)中の陰影付け区域により、(34)中の陰影なしの線と比較して示されている。このアニール工程が、前駆材料(34)の化学的制限または前記前駆材料(34)からの溶媒の除去もしくはその両方により、結晶相((13)中の陰影付け部分)の調製を可能にする。その後、付着装置37によって前面電極(14)を強誘電体材料(13)の少なくとも一面に付着することにより、基板(11)/背面電極(12)/強誘電体前駆材料(13)のスタックをさらに処理することができる。必要ならば、前面電極(14)をさらに硬化させることができる。
本発明の強誘電体コンデンサ、薄膜トランジスタまたはダイオードはいずれも、スマートカード、RFIDカード/タグ、圧電センサ、圧電トランスデューサ、圧電アクチュエータ、圧電センサ、メモリデバイス、不揮発性メモリ、スタンドアロンメモリ、ファームウェア、マイクロコントローラ、ジャイロスコープ、音響センサ、アクチュエータ、マイクロジェネレータ、電源回路、回路カップリングおよびデカップリング、RFフィルタリング、遅延回路およびRFチューナを含むがそれらに限定されることなく、多種多様な技術およびデバイスに使用することができる。ファームウェアを含むメモリとして実現されるならば、機能は、コンピュータ読み取り可能な媒体上の一つまたは複数の命令またはコードとして強誘電体コンデンサまたは薄膜トランジスタの中に記憶され得る。例は、データ構造でコード化されたコンピュータ読み取り可能な媒体およびコンピュータプログラムでコード化されたコンピュータ読み取り可能な媒体を含む。コンピュータ読み取り可能な媒体は物理的コンピュータ記憶媒体を含む。また、上記の組み合わせがコンピュータ読み取り可能な媒体の範囲内に含まれるべきである。
上記の強誘電体電界効果トランジスタ(FeFET)ならびに強誘電体コンデンサおよびダイオードのような強誘電体素子は、本発明によって記載されるように、マルチレベルメモリセルとして動作し得る。従来、一つの強誘電体素子またはデバイスが単一ビットの情報、たとえば「1」または「0」を記憶し得る。この「1」または「0」値は、強誘電体素子中の強誘電体層の二進分極方向として記憶され得る。たとえば、強誘電体層が上から下へと分極するとき、強誘電体素子は「1」を記憶し、強誘電体層が下から上へと分極するとき、強誘電体素子は「0」を記憶する。本発明に開示されるようなマルチレベルメモリセル(MLC)は、2ビット以上の情報、たとえば「00」、「01」、「10」または「11」を一つの強誘電体素子の中に記憶する。一つの態様において、複数ビットの情報は、強誘電体層の分極のレベルを変えることによって表され得る。すなわち、高度に分極した強誘電体層は「00」を表し得、比較的分極していない層は「01」を表し得、さらに低い分極の層は「10」を表し得、ゼロに近いまたはゼロ分極層は「11」を表し得る。この分極状態のマッピングは単なる一例である。本発明の様々な態様において、様々な分極レベルが様々なビットの組み合わせを表し得る。
強誘電体メモリデバイスは、上記マルチレベル強誘電体メモリセルのアレイによって構築され得る。強誘電体メモリデバイスに対する読み書き動作は、マルチレベル強誘電体メモリセルのアレイに接続されたメモリコントローラによって制御され得る。複数ビットの情報を一つの強誘電体メモリセルに記憶するためにコントローラによって実行される書き込み動作の一例が図9に示されている。図9の方法900は、ブロック902で、マルチレベル強誘電体メモリセルに書き込むためのビットパターンを受信することから始まる。ビットパターンはたとえば「01」または「010」であり得る。ブロック904で、強誘電体メモリセルに印加される書き込みパルスのパルス持続時間を選択し得る。パルス持続時間は、ブロック902で受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて選択され得る。たとえば、上記のように、パルス持続時間は、強誘電体メモリセルの強誘電体層中に一定レベルの残留分極を発生させるように選択され得る。その残留分極が強誘電体メモリセルのチャネル抵抗に影響し、それを後に計測すると、強誘電体メモリセルに記憶された、チャネル抵抗に対応するビットパターンを検索し得る。次いで、ブロック906で、ブロック904で選択されたパルス持続期間の書き込みパルスを強誘電体メモリセルに印加し得る。書き込みパルスは、ブロック902で受信したビットパターンに対応する残留分極を強誘電体層内に発生させ得る。ブロック906におけるセルプログラミングはまた、ブロック902で受信したビットパターンに基づいて選択される、書き込みパルスにおける他の変更をも含み得る。たとえば、ブロック906は、選択したパルス持続時間または変化するパルス持続時間をそれぞれが有する複数の書き込みパルスを生成し得る。これらの書き込みパルスの印加の周波数は、ブロック902で受信したビットパターンに基づいて選択され得る。
Claims (15)
- 以下の工程を含む、強誘電体マルチレベルメモリセルにおける複数ビットの情報の記憶方法:
a)強誘電体層を含むマルチレベルメモリセルに書き込むためのビットパターンを受信する工程;
b)該受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて、書き込みパルスを該メモリセルに印加するためのパルス持続時間を選択する工程;および
c)該選択したパルス持続時間を有する少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、該少なくとも一つの書き込みパルスが、該受信したビットパターンを表す残留分極を該強誘電体層内に発生させる、工程
ここで、該強誘電体マルチレベルメモリセルは、強誘電体ダイオードを含む。 - 前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、該少なくとも一つの書き込みパルスを該強誘電体ダイオードに印加する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程であって、それにより前記残留分極を前記強誘電体層内に発生させる工程が、該強誘電体ダイオードの上側電極と下側電極との間のチャネル抵抗を変化させる工程を含み、該上側電極と該下側電極との間の該チャネル抵抗が、前記受信したビットパターンを表す、請求項2に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加する工程が、前記受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づく周波数で複数の書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 強誘電体層を有する第二のマルチレベルメモリセルのチャネル抵抗を検知する工程;および
該検知した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、該第二のマルチレベルメモリセルに記憶された第二のビットパターンを決定する工程
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記検知した前記第二のマルチレベルメモリセルの抵抗が、前記強誘電体層の残留分極を表す、請求項5に記載の方法。
- 前記第二のマルチレベルメモリセルが第一のマルチレベルメモリセルであり、かつ前記方法が、前記決定した第二のビットパターンが前記受信したビットパターンであることを検証する工程をさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 以下を含む装置:
a)i. 上側電極;
ii. 下側電極;
iii. 下側電極と上側電極との間の、強誘電体材料と半導体材料とのブレンド
を含む、強誘電体ダイオードを含むメモリセル;ならびに
b)該メモリセルに接続されかつ以下の工程を実行するように構成されている、コントローラ:
i. 該メモリセルに書き込むためのビットパターンを受信する工程;
ii. 該受信したビットパターンに少なくとも部分的に基づいて、書き込みパルスを該メモリセルに印加するためのパルス持続時間を選択する工程;および
iii. 該選択したパルス持続時間を有する少なくとも一つの書き込みパルスを該メモリセルに印加する工程であって、該少なくとも一つの書き込みパルスが、該受信したビットパターンを表す残留分極を強誘電体層内に発生させる、工程。 - 前記コントローラが、前記少なくとも一つの書き込みパルスの前記パルス持続時間に少なくとも部分的に基づいて該少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加することによって強誘電体材料および半導体材料を含むブレンド層中に導電チャネルを形成させるように構成されている、請求項8に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記少なくとも一つの書き込みパルスの前記パルス持続時間に少なくとも部分的に基づいて該少なくとも一つの書き込みパルスを前記メモリセルに印加することによって強誘電体材料および半導体材料を含むブレンド層中の電荷キャリアレベルをセットするように構成されている、請求項9に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記受信したビットパターン中の少なくとも2ビットを受信するように構成されている、請求項8に記載の装置。
- 前記強誘電体層が有機強誘電体を含む、請求項8に記載の装置。
- 前記メモリセルが、メモリセルのアレイの一つのメモリセルである、請求項8に記載の装置。
- 前記コントローラがさらに、i.)前記メモリセル中の電流を検出する工程;およびii.)該検出された電流を表すビットパターンを決定する工程を実行するように構成されている、請求項8に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記決定したビットパターンが前記受信したビットパターンに等しいことを検証するように構成されている、請求項14に記載の装置。
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