JP6268297B2 - シリコンウエハのプリアライメント装置及びその方法 - Google Patents
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Description
好ましくは、前記情報は、前記第1のチャックの中心からの前記ウエハの中心の偏りを含み、前記第1ユニット及び前記第2ユニットは、前記偏りに基づいて前記第1のチャックに対する前記ウエハの半径方向の位置を調整可能に構成されている。
好ましくは、前記第1ユニットは、更に、前記第1のチャックを回転可能な回転モータと、前記第1のチャックを上下動可能な昇降モータと、を有する。
好ましくは、前記第2ユニットは、第2のチャックと変位モータを有し、前記第2のチャックは、前記第1のチャックの側方に配置され、前記昇降モータは、前記第1のチャックと前記第2のチャックの間で前記ウエハを移載可能に構成されており、前記変位モータは、前記第1のチャックに対する前記ウエハの半径方向における位置を調整するように、前記第2のチャックと前記ウエハを変位可能に構成されている。
好ましくは、前記第1のチャック及び前記第2のチャックは、それぞれ、複数の吸引孔を有している。
好ましくは、前記画像センサは、一次元の直線配列された複数のCCDを有し、前記一次元の直線配列の延長線は、前記第1のチャックの前記中心を通る。
好ましくは、前記位置検出器は、反射型光学システム及び/又はカタディオプトリック型光学システムを有する。
好ましくは、前記反射型光学システムは、前記光源、第1レンズアッセンブリ、前記画像センサ、及び、前記レンズを含み、前記光源は第1波長を有する光線を生成する第1光源として機能し、前記レンズは前記第1波長を有する前記光線を反射する反射型レンズであり、前記第1レンズアッセンブリは、前記第1のチャックの上方及び前記画像センサの下方に配置されており前記第1波長を有する前記光線を前記ウエハ及び前記反射型レンズへ向かわせるように構成され、前記光線は反射して前記画像センサに向かう。
好ましくは、前記カタディオプトリック型光学システムは、前記光源、第2レンズアッセンブリ、前記画像センサ、及び、前記レンズを含み、前記光源は第2波長を有する光線を生成する第2光源として機能し、前記レンズは前記第2波長を有する前記光線の透過を許容する透過型レンズであり、前記第2レンズアッセンブリは、前記第1のチャックの下方に配置されており前記第2波長を有する前記光線を前記ウエハ及び前記透過型レンズを通って前記画像センサに至るように構成されている。
好ましくは、前記レンズは第1波長を有する光線は反射し、第2波長を有する光線の透過は許容するフィルタリングレンズである。
好ましくは、前記ウエハはノッチ及びエッヂを有するTSVウエハ、反りのあるウエハ、極薄ウエハ、又は、TAIKOウエハであり、前記カタディオプトリック型光学システムは、前記第1のチャックに対する前記極薄ウエハ又は前記TAIKOウエハの位置を示す前記情報を取得可能に構成され、前記反射型光学システムは、前記第1のチャックに対する前記TSVウエハの位置を示す前記情報を取得可能に構成されている。
好ましくは、前記情報は、更に、前記TSVウエハに対する前記ノッチの位置、及び、前記第1のチャックに関する前記ノッチの位置、を含み、前記第1ユニットは、更に、前記情報に基づいて前記第1のチャックに対する前記TSVウエハの周方向の位置を調整可能に構成されている。
本発明は、また、ウエハプリアライメント装置を用いたTSVウエハのプリアライメント方法を提供する。ウエハプリアライメント装置を用いたTSVウエハのプリアライメント方法は、吸着により前記TSVウエハを前記第1のチャックに保持し、前記TSVウエハの前記エッヂを前記第1光源によって生成された光線によって明るくするステップ100と、前記第1のチャックを360度回転し、同時に前記画像センサを用いて前記第1のチャックに保持されている前記TSVウエハのエッヂ画像をキャプチャし、前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの中心の偏りを計算するステップ200と、前記TSVウエハを前記第1ユニットから前記第2ユニットに移載し、前記計算した偏りに基づいて前記TSVウエハを前記第2ユニットを動かし、前記TSVウエハの前記中心を前記第1のチャックの前記中心に揃えるステップ300と、前記TSVウエハを前記第2ユニットから前記第1ユニットに移載し、前記第1のチャックを360度回転し、前記画像センサを用いて前記第1のチャック上の前記TSVウエハのエッヂ画像をキャプチャし、前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの前記中心の偏りが所定値を下回っているかを決定し、もし真であればステップ500に進み、もし偽であればステップ300に戻るステップ400と、前記画像センサを用いて前記TSVウエハの前記ノッチの詳細なスキャンを実施して前記ノッチのエッヂ画像を取得し、前記ノッチの前記エッヂ画像から前記ノッチのエッヂ座標を抽出し、前記ノッチの位置属性を特定し、これによりオリエンテーションプロセスを終えるステップ500と、を含む。
好ましくは、前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの中心の偏りを計算することは、前記画像センサで前記TSVウエハの二次元エッヂ画像を取得し、前記TSVウエハの取得した前記二次元エッヂ画像から前記TSVウエハのエッヂ座標を抽出するステップ210と、前記TSVウエハの前記エッヂ座標を前記第1のチャックの座標系における座標へと変換するステップ220と、前記第1のチャックの前記座標系における前記TSVウエハの前記中心の座標を最小二乗法を用いて決定するステップ230と、前記TSVウエハの前記中心の前記座標と、前記第1のチャックの前記中心の座標との差分を計算するステップ240と、を含む。
好ましくは、ステップ210において、前記画像センサは、前記TSVウエハの一次元エッヂ画像をキャプチャする直線配列されたCCD画像センサであり、前記キャプチャした一次元エッヂ画像はソフトウェアによって結合されて前記TSVウエハの前記二次元エッヂ画像となる。
好ましくは、ステップ200は、更に、前記TSVウエハの前記エッヂ画像に基づいて前記TSVウエハの種類を決定することと、前記TSVウエハの前記決定した種類に基づいて前記第1光源の光強度を決定すること、を含む。
好ましくは、ステップ500における前記詳細なスキャンは、前記第1のチャックを原点に戻し、前記TSVウエハの前記ノッチの位置を前記画像センサの下方且つ反時計回りとするステップ511と、前記TSVウエハの前記ノッチが前記画像センサを完全に通過するような角度分、前記第1のチャックを時計回りに回転し、前記画像センサで前記ノッチの一次元画像をキャプチャするステップ512と、前記ノッチの前記一次元画像を貼り合わせて二次元画像にするステップ513と、前記二次元画像から前記ノッチのエッヂ座標を抽出し、前記ノッチの前記エッヂ座標を前記ノッチの属性と比較し、もし前記ノッチを特定できたら、前記オリエンテーションプロセスを終え、もし前記ノッチを特定できなかったら、カウンタを作動させると共に前記カウンタが示す繰り返し回数に応じて、続けてステップ515、ステップ516、ステップ517、ステップ518の何れかに進むステップ514と、前記第1のチャックを前記原点に戻し、前記第1のチャックを前記ノッチの円弧角の半分だけ反時計回りに回転し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ515と、前記第1のチャックを前記原点に戻し、前記第1のチャックを前記ノッチの前記円弧角の半分だけ時計回りに回転し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ516と、光強度を増やし、前記第1のチャックを前記原点に戻し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ517と、光強度を減らし、前記第1のチャックを前記原点に戻し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ518と、を含む。
好ましくは、ステップ500において、詳細なスキャンは、更に、ステップ514の後に、前記カウンタによって示された繰り返し回数を確認し、もしその数字が設定値を超えていなければ、続けてステップ515、ステップ516、ステップ517、及び、ステップ518の何れかに進み、もしその数字が前記設定値を超えていたら、前記オリエンテーションプロセス、ひいては前記プリアライメントを終えるステップ519と、を含む。
(1)画像センサによってキャプチャされた光信号により、TSVウエハの偏心及び偏りが補償される。
(2)TSVウエハの取り扱いを自動化できない問題が解決される。
(3)TSVウエハの芯出し及びオリエンテーションがソフトウェアによって達成され、結果的に芯出しとオリエンテーションの精度が向上する。
(4)ウエハの情報を過度に取得し過ぎて画像処理を遅らせたり、面配列されたCCD画像センサを用いることでウエハエッヂやノッチを特定するのが非効率となるといった問題が、直線配列されたCCD画像センサによってキャプチャした一次元画像を貼り合わせて二次元画像とする手法を用いることで解決される。
(5)多様なプロセスを経たウエハのプリアライメントに適する。
図1及び図2に示すように、本発明のウエハプリアライメント装置は、反射型光学システム70と、画像センサ20(好ましくはCCD(Charge Coupled Device)画像センサ)と、第1ユニット40と第2ユニット50を含む。第1ユニット40はウエハを回転及び上下動可能に構成され、第2ユニット50はウエハを変位可能に構成されている。反射型光学システム70は、光源71と、レンズアッセンブリ72と、を含む。任意で、光源71は、赤色光を生成する。レンズアッセンブリ72は、光源71で生成された光をウエハ60に向かわせるように構成されている。
好ましくは、反射型光学システム70は、通常のウエハやTSVプロセス以外の多様なプロセスを経たウエハを取り扱う際に用いられるが、実際にはこのシステムは膨大な量のデータを悪い効率で処理しなければならなかった。従って、この実施形態では、TSVウエハの取り扱いに特化した反射型光学システム70に加えて、本発明によれば、TSVウエハ以外のウエハを取り扱うためのカタディオプトリック型光学システム80を更に備えたウエハプリアライメント装置が提供される。従って、このウエハプリアライメント装置は、多様なプロセスを経たウエハのプリアライメントに適用される。具体的には、図8に示すように、この実施形態に係るウエハプリアライメント装置は、実施形態1のそれとは異なり、更にカタディオプトリック型光学システム80を備えている。カタディオプトリック型光学システム80は、光源81と、レンズアッセンブリ82を含む。光源81は緑色光を生成する。光源81はウエハを挟んでCCD画像センサ20と反対側に配置されている。光源81から放射された光線はレンズアッセンブリ82を通過し、ウエハの表面に投射する。その後、光線はレンズ73を透過して直線配列のCCD画像センサ20に投射する。
図1から図11と共に図12で強調して示すように、本発明は、前述したウエハプリアライメント装置に伴うウエハプリアライメント方法(この実施形態では一例としてTSVウエハを取り扱う)を提供する。この方法は、以下のステップを含む。
(1)同一の光強度において異なる種類のウエハの画像をキャプチャし、
(2)二値化関数を用いて同一の二値化閾値により画像を二値化し、各画像は黒点と白点により表現され、
(3)ウエハごとに白点の個数をカウントし、
(4)異なるプロセスを経たウエハの白点の個数は、相互の大きな違いにより異なるレンジ内に収まることを考慮し、
(5)白点の個数がどのレンジに属するかに応じて各ウエハの種類を決定する。
Claims (16)
- ウエハを保持する第1のチャックを有し、前記ウエハを回転させ又は上下動可能に構成された第1ユニットと、
前記第1のチャックに対して前記ウエハを変位可能な第2ユニットと、
光源と、前記第1のチャックの上方に配置された画像センサと、前記第1のチャックの下方に配置されたレンズと、を有し、前記光源からの光線が前記ウエハ、前記第1のチャック、前記レンズを通過することで、前記第1のチャックに対する前記ウエハの位置を示す情報を前記画像センサに与える、位置検出器と、
を備え、
前記位置検出器は、反射型光学システムを有し、
前記ウエハはエッヂにノッチを有するTSVウエハであり、
前記反射型光学システムは、前記第1のチャックに対する前記TSVウエハの位置を示す前記情報を取得可能に構成されており、
前記反射型光学システムは、前記光源、第1レンズアッセンブリ、前記画像センサ、及び、前記レンズを含み、前記光源は第1波長を有する光線を生成する第1光源として機能し、前記レンズは前記第1波長を有する前記光線を反射する反射型レンズであり、前記第1レンズアッセンブリは、前記第1のチャックの上方及び前記画像センサの下方に配置されており前記第1波長を有する前記光線を前記ウエハ及び前記反射型レンズへ向かわせ、そして、前記光線は前記画像センサへと反射し、
前記反射型光学システムの前記画像センサにより得られる前記情報は、前記ノッチのエッヂ座標と、前記第1のチャックの中心からの前記ウエハの中心の偏りと、を含み、
前記第1ユニットは、前記ノッチの前記エッヂ座標に基づいて前記ウエハを回転させ又は上下動させることにより、前記ウエハのオリエンテーションプロセスを達成するように構成され、
前記第2ユニットは、前記第1のチャックの前記中心からの前記ウエハの前記中心の前記偏りに基づいて、前記ウエハを前記第1のチャックに対して変位させることにより、前記第1のチャックに対する前記ウエハの半径方向の位置を調整するように構成されている、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項1に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記第1ユニットは、更に、
前記第1のチャックを回転可能な回転モータと、
前記第1のチャックを上下動可能な昇降モータと、
を有する、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項2に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記第2ユニットは、第2のチャックと変位モータを有し、
前記第2のチャックは、前記第1のチャックの側方に配置され、前記昇降モータは、前記第1のチャックと前記第2のチャックの間で前記ウエハを移載可能に構成されており、
前記変位モータは、前記第1のチャックに対する前記ウエハの半径方向における位置を調整するように、前記第2のチャックと前記ウエハを変位可能に構成されている、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項3に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記第1のチャック及び前記第2のチャックは、それぞれ、複数の吸引孔を有している、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項1に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記画像センサは、一次元の直線配列された複数のCCDを有し、前記一次元の直線配列の延長線は、前記第1のチャックの前記中心を通る、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項1に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記位置検出器は、更に、カタディオプトリック型光学システムを有する、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項6に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記カタディオプトリック型光学システムは、前記光源、第2レンズアッセンブリ、前記画像センサ、及び、前記レンズを含み、前記光源は第2波長を有する光線を生成する第2光源として機能し、前記レンズは前記第2波長を有する前記光線の透過を許容する透過型レンズであり、前記第2レンズアッセンブリは、前記第1のチャックの下方に配置されており前記第2波長を有する前記光線を前記ウエハ及び前記透過型レンズを通って前記画像センサに至るように構成されている、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項6に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記レンズは第1波長を有する光線は反射し、第2波長を有する光線の透過は許容するフィルタリングレンズである、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項6に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記ウエハは極薄ウエハ、又は、TAIKOウエハであり、
前記カタディオプトリック型光学システムは、前記第1のチャックに対する前記極薄ウエハ又は前記TAIKOウエハの位置を示す前記情報を取得可能に構成される、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項1に記載のウエハプリアライメント装置であって、
前記情報は、更に、前記TSVウエハに対する前記ノッチの位置、及び、前記第1のチャックに関する前記ノッチの位置、を含み、前記第1ユニットは、更に、前記情報に基づいて前記第1のチャックに対する前記TSVウエハの周方向の位置を調整可能に構成されている、
ウエハプリアライメント装置。 - 請求項1に記載のウエハプリアライメント装置を用いたTSVウエハのプリアライメント方法であって、
吸着により前記TSVウエハを前記第1のチャックに保持し、前記TSVウエハの前記エッヂを前記第1光源によって生成された光線によって明るくするステップ100と、
前記第1のチャックを360度回転し、同時に前記画像センサを用いて前記第1のチャックに保持されている前記TSVウエハのエッヂ画像をキャプチャし、前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの中心の偏りを計算するステップ200と、
前記TSVウエハを前記第1ユニットから前記第2ユニットに移載し、前記計算した偏りに基づいて前記TSVウエハを前記第2ユニットで動かし、前記TSVウエハの前記中心を前記第1のチャックの前記中心に揃えるステップ300と、
前記TSVウエハを前記第2ユニットから前記第1ユニットに移載し、前記第1のチャックを360度回転し、前記画像センサを用いて前記第1のチャック上の前記TSVウエハのエッヂ画像をキャプチャし、前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの前記中心の偏りが所定値を下回っているかを決定し、もし真であればステップ500に進み、もし偽であればステップ300に戻るステップ400と、
前記画像センサを用いて前記TSVウエハの前記ノッチの詳細なスキャンを実施して前記ノッチのエッヂ画像を取得し、前記ノッチの前記エッヂ画像から前記ノッチの前記エッヂ座標を抽出し、前記ノッチの位置属性を特定し、これにより前記オリエンテーションプロセスを達成するステップ500と、
を含む、
方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記第1のチャックの前記中心からの前記TSVウエハの中心の偏りを計算することは、
前記画像センサで前記TSVウエハの二次元エッヂ画像を取得し、前記TSVウエハの取得した前記二次元エッヂ画像から前記TSVウエハのエッヂ座標を抽出するステップ210と、
前記TSVウエハの前記エッヂ座標を前記第1のチャックの座標系における座標へと変換するステップ220と、
前記第1のチャックの前記座標系における前記TSVウエハの前記中心の座標を最小二乗法を用いて決定するステップ230と、
前記TSVウエハの前記中心の前記座標と、前記第1のチャックの前記中心の座標との差分を計算するステップ240と、
を含む、
方法。 - 請求項12に記載の方法であって、
ステップ210において、前記画像センサは、前記TSVウエハの一次元エッヂ画像をキャプチャする直線配列されたCCD画像センサであり、前記キャプチャした一次元エッヂ画像はソフトウェアによって結合されて前記TSVウエハの前記二次元エッヂ画像となる、
方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
ステップ200は、更に、前記TSVウエハの前記エッヂ画像に基づいて前記TSVウエハの種類を決定することと、前記TSVウエハの前記決定した種類に基づいて前記第1光源の光強度を決定すること、を含む、
方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
ステップ500における前記詳細なスキャンは、
前記第1のチャックを原点に戻し、前記TSVウエハの前記ノッチの位置を前記画像センサの下方且つ反時計回りとするステップ511と、
前記TSVウエハの前記ノッチが前記画像センサを完全に通過するような角度分、前記第1のチャックを時計回りに回転し、前記画像センサで前記ノッチの一次元画像をキャプチャするステップ512と、
前記ノッチの前記一次元画像を貼り合わせて二次元画像にするステップ513と、
前記二次元画像から前記ノッチのエッヂ座標を抽出し、前記ノッチの前記エッヂ座標を前記ノッチの属性と比較し、もし前記ノッチを特定できたら、前記オリエンテーションプロセスを終え、もし前記ノッチを特定できなかったら、カウンタを作動させると共に前記カウンタが示す繰り返し回数に応じて、続けてステップ515、ステップ516、ステップ517、ステップ518の何れかに進むステップ514と、
前記第1のチャックを前記原点に戻し、前記第1のチャックを前記ノッチの円弧角の半分だけ反時計回りに回転し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ515と、
前記第1のチャックを前記原点に戻し、前記第1のチャックを前記ノッチの前記円弧角の半分だけ時計回りに回転し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ516と、
光強度を増やし、前記第1のチャックを前記原点に戻し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ517と、
前記光強度を減らし、前記第1のチャックを前記原点に戻し、ステップ512からステップ514を繰り返し、もし前記ノッチを特定できたら前記オリエンテーションプロセスを終えるステップ518と、
を含む、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、更に、
ステップ514の後に、前記カウンタによって示された前記繰り返し回数を確認し、もしその数字が設定値を超えていなければ、続けてステップ515、ステップ516、ステップ517、及び、ステップ518の何れかに進み、もしその数字が前記設定値を超えていたら、前記オリエンテーションプロセス、ひいてはプリアライメントを終えるステップ519を含む、
方法。
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