JP6259753B2 - 光反射計測装置及び光反射計測方法 - Google Patents
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Description
レーザ光源から出射される光を用いて被測定デバイスの反射率分布を測定する光反射計測装置であって、前記レーザ光源から出射した光を2分岐する光分岐手段と、前記光分岐手段により分岐された一方の光の位相を、与えられる第1の任意信号で変調する第1の光位相変調手段と、前記第1の光位相変調手段に対し、前記第1の任意信号を出力する第1の任意信号発生手段と、前記光分岐手段により分岐された他方の光の位相を、第1の任意信号と同一波形の第2の任意信号で変調する第2の光位相変調手段と、前記第2の光位相変調手段に対し、前記第2の任意信号を出力する第2の任意信号発生手段と、前記第2の任意信号を前記第1の任意信号に対し遅延するべく前記第1の任意信号発生手段及び前記第2の任意信号発生手段を制御する制御手段と、前記第1の光位相変調手段により位相変調された光を、被測定デバイスに入射し、前記被測定デバイスからの後方散乱光を導波させるサーキュレータと、前記第2の光位相変調手段により位相変調された光を参照光とし、前記参照光と前記後方散乱光を合波する光合波手段と、前記光合波手段で合波された光から前記参照光と前記後方散乱光との干渉を検出し、干渉信号を出力する干渉検出手段と、前記干渉信号を取得するデータ取得手段とを具備し、前記第2の任意信号発生手段から出力される前記第2の任意信号が、位相変調された光の前記被測定デバイスの任意の位置での往復に要する時間相当の遅延時間で遅延するように前記制御手段にて遅延の調整を行うことで前記データ取得手段で取得される前記干渉信号から前記被測定デバイスの反射率分布を測定するようにしたものである。
第1の態様は、前記制御手段において、前記第2の任意信号発生手段が前記第2の任意信号を出力する時刻を、前記第1の任意信号発生手段が前記第1の任意信号を出力する時刻に対し遅延することで、前記被測定デバイスにおける反射率分布の測定可能範囲よりさらに広げることを特徴とする。
第1の態様によれば、制御手段を用いて、第2の任意信号発生手段が第2の任意信号を出力する時刻を、第1の任意信号発生手段が第1の任意信号を出力する時刻に対し遅延するだけで、被測定デバイスにおける反射率分布の測定可能範囲よりさらに広げることができる。
本発明では、測定可能範囲をプローブ光と参照光を変調する時刻間の遅延量によって決定することができる。信号発生器等のトリガ源制御手段を用いれば、プローブ光と参照光を変調する時刻間に数秒(長さ換算では、数108m)をこえるような遅延量を容易に与えることができ、長尺なデバイスの反射率分布測定を行うことができる。
本発明では、位置分解をプローブ光と参照光を変調する時刻間の遅延で行えることから、プローブ光と参照光の強度波形を集録し、相互相関をとる必要がないため、A/Dボードのメモリ長を必要としない。
ここで、1はレーザ光源、2は光分岐手段、3−1と3−2は光位相変調手段、4−1と4−2は任意信号発生手段、5は光サーキュレータ、6は被測定デバイス、7−1と7−2はトリガ源、8はトリガ源制御手段、9は光合波手段、10はバランス型受光器、11はデータ取得手段を表す。
光位相変調手段3−2に入射された光は、任意信号発生手段4−2から出力される変調信号で変調され、ローカル光(参照光)となる。ここで、光を位相変調する時刻は、トリガ源7−2からのトリガ信号を任意信号発生手段4−2が受け付けた時刻である。
なお、この発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、干渉検出手段としてバランス型受光器10を用いる例について説明したが、バランス型受光器10以外のものであってもよい。また、制御手段を構成するものとして、トリガ源7−1、7−2及びトリガ源制御手段8を用いる例について説明したが、それ以外のものであってもよい。
Claims (8)
- レーザ光源から出射される光を用いて被測定デバイスの反射率分布を測定する光反射計測装置であって、
前記レーザ光源から出射した光を2分岐する光分岐手段と、
前記光分岐手段により分岐された一方の光の位相を、与えられる第1の任意信号で変調する第1の光位相変調手段と、
前記第1の光位相変調手段に対し、前記第1の任意信号を出力する第1の任意信号発生手段と、
前記光分岐手段により分岐された他方の光の位相を、第1の任意信号と同一波形の第2の任意信号で変調する第2の光位相変調手段と、
前記第2の光位相変調手段に対し、前記第2の任意信号を出力する第2の任意信号発生手段と、
前記第2の任意信号を前記第1の任意信号に対し遅延するべく前記第1の任意信号発生手段及び前記第2の任意信号発生手段を制御する制御手段と、
前記第1の光位相変調手段により位相変調された光を、被測定デバイスに入射し、前記被測定デバイスからの後方散乱光を導波させるサーキュレータと、
前記第2の光位相変調手段により位相変調された光を参照光とし、前記参照光と前記後方散乱光を合波する光合波手段と、
前記光合波手段で合波された光から前記参照光と前記後方散乱光との干渉を検出し、干渉信号を出力する干渉検出手段と、
前記干渉信号を取得するデータ取得手段と
を具備し、
前記第2の任意信号発生手段から出力される前記第2の任意信号が、位相変調された光の前記被測定デバイスの任意の位置での往復に要する時間相当の遅延時間で遅延するように前記制御手段にて遅延の調整を行うことで、前記データ取得手段で取得される前記干渉信号から前記被測定デバイスの反射率分布を測定することを特徴とする光反射計測装置。 - 前記制御手段は、前記第2の任意信号発生手段が前記第2の任意信号を出力する時刻を、前記第1の任意信号発生手段が前記第1の任意信号を出力する時刻に対し遅延することで、前記被測定デバイスにおける反射率分布の測定可能範囲よりさらに広げることを特徴とする請求項1記載の光反射計測装置。
- 前記干渉検出手段は、前記合波された光から検出された前記参照光と前記後方散乱光との干渉を用いて、前記被測定デバイスの任意の位置における反射率を求める機能を備えることを特徴とする請求項1記載の光反射計測装置。
- 前記干渉検出手段は、前記光合波手段で合波された光の光電流を検出し、前記光電流と前記レーザ光源から出射した光の振幅とに基づいて、前記被測定デバイスの任意の位置における反射率を求めることを特徴とする請求項3記載の光反射計測装置。
- レーザ光源から出射される光を用いて被測定デバイスの反射率分布を測定する光反射計測方法であって、
前記レーザ光源から出射した光を2分岐し、
前記分岐された一方の光の位相を、第1の光位相変調手段により第1の任意信号発生手段から出力される第1の任意信号で変調し、
前記分岐された他方の光の位相を、第2の光位相変調手段により第2の任意信号発生手段から出力され第1の任意信号と同一波形の第2の任意信号で変調し、
前記第2の任意信号を前記第1の任意信号に対し制御手段により遅延させ、
前記第1の光位相変調手段により位相変調された光を、サーキュレータにより被測定デバイスに入射し、前記被測定デバイスからの後方散乱光を前記サーキュレータにより導波させ、
前記第2の光位相変調手段により位相変調された光を参照光とし、前記参照光と前記後方散乱光を合波し、
前記合波された光から前記参照光と前記後方散乱光との干渉を検出し、干渉信号を出力し、
前記干渉信号をデータ取得手段により取得し、
前記第2の任意信号発生手段から出力される前記第2の任意信号が、位相変調された光の前記被測定デバイスの任意の位置での往復に要する時間相当の遅延時間で遅延するように前記制御手段にて遅延の調整を行うことで、前記データ取得手段で取得される前記干渉信号から前記被測定デバイスの反射率分布を測定することを特徴とする光反射計測方法。 - 前記制御手段によって、前記第2の任意信号発生手段が前記第2の任意信号を出力する時刻を、前記第1の任意信号発生手段が前記第1の任意信号を出力する時刻に対し遅延することで、前記被測定デバイスにおける反射率分布の測定可能範囲よりさらに広げることを特徴とする請求項5記載の光反射計測方法。
- 前記合波された光から検出された前記参照光と前記後方散乱光との干渉を用いて、前記被測定デバイスの任意の位置における反射率を求めることを特徴とする請求項5記載の光反射計測方法。
- 前記合波された光の光電流を検出し、前記光電流と前記レーザ光源から出射した光の振幅とに基づいて、前記被測定デバイスの任意の位置における反射率を求めることを特徴とする請求項7記載の光反射計測方法。
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