JP2014048162A - 距離測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の距離測定装置1は、コヒーレントでありかつ一定の周期で繰り返す繰り返し周波数を掃引可能なパルス光を出射するパルス光源2と、パルス光源2から出射するパルス光を分岐するビームスプリッタ3と、分岐された一方のパルス光に遅延を付与する遅延光路4と、このパルス光を対象物12に入射して対象物12にて反射する反射パルス光とビームスプリッタ3にて分岐され反射パルス光と異なるパルス光とを合波するビームスプリッタ6と、得られた合波光を受光し、この合波光の干渉によるビート成分を検出する光検出器7と、光検出器7から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報に基づき対象物1までの距離を算出する演算装置8とを備えた。
【選択図】図1
Description
また、光に限らず、電磁波を周波数変調して、出射波と対象物からの反射波のビートを検出し、このビート周波数により対象物までの距離を測定する装置も提案されている(特許文献2参照)。
また、周波数変調によって発生するビートを検出する装置では、距離分解能を高めるためには、ビート周波数の検出分解能を高めると共に、周波数変調における高速な周波数変化が求められることから、これらの点が高い距離分解能の実現を妨げる要因となっていた。
前記周波数シフト手段によりシフトする前記周波数の範囲を、10MHz以上かつ300MHz以下に設定したことが好ましい。
前記情報は、前記ビート成分が最大となったときの繰り返し周波数を含むことが好ましい。
前記情報は、前記検出手段から出力される前記ビート成分の内、前記周波数をシフトしたシフト周波数に、前記反射パルス光と前記反射パルス光となるパルス光以外のパルス光との繰り返し周波数差、または、前記繰り返し周波数差とその整数倍の繰り返し周波数差を加えた周波数成分を含むことが好ましい。
前記光源が出射するパルス光のパルス幅は、100フェムト秒以上かつ3ピコ秒以下であることが好ましい。
前記分岐手段及び前記遅延手段のパルス光の出射側に、これらから出射する2つのパルス光を合波する第2の合波手段と、得られた第2の合波光を受光する第2の検出手段とを設け、前記演算手段は、前記第2の検出手段から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報と、前記検出手段から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報とに基づき、前記対象物までの距離を算出することが好ましい。
これにより、構成が簡単で、しかも高分解能かつ高速度な距離測定装置を実現することができる。
なお、この形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の第1の実施形態の距離測定装置を示す概略構成図であり、この距離測定装置1は、パルス光源2と、ビームスプリッタ(分岐手段)3と、遅延光路(遅延手段)4と、周波数シフタ(周波数シフト手段)5と、ビームスプリッタ(合波手段)6と、光検出器(検出手段)7と、演算装置(演算手段)8と、制御装置9と、可動ミラー(光路切替手段)10と、基準ミラー11とを備えている。なお、12は距離を測定する対象となる対象物である。
このような超短パルス光源としては、キャビティの光学長が可変のモードロックレーザ、マッハツェンダ型光変調器の変調歪を用いた超短パルス光源(以下、単に「変調歪方式の超短パルス光源」と称する)が挙げられる。ここで、変調歪方式の超短パルス光源は、高い繰り返し周波数が得られ、繰り返し周波数が容易且つ安定に制御できる点で好ましい。
例えば、パルス圧縮を行わない場合には、2〜3ピコ秒(ps)程度のパルス幅の超短パルスを発生させることができる。さらに、超短パルスにパルス圧縮を行った場合には、100〜300フェムト秒(fs)程度のパルス幅の超短パルスを発生させることができる。
例えば、ベースとなる変調周波数(繰り返し周波数)が10GHzのとき、0.1GHzの範囲で10kHzの周波数分解能で掃引を行えば、測定距離範囲が15mmの場合に3μmの分解能で距離検出が可能である。この場合、変調周波数を大きく変化させることが難しいので、遅延光路4を設けることにより、小さい変調周波数変化で十分な掃引ができる。
なお、空間光学系では、通常、パルス光源2は、コリメータレンズやビームエキスパンダ等を用いて適宜適切なビーム径の平行光束として用いられる。
遅延光路4は、ビームスプリッタ3にて分岐された一方のパルス光L1に、他方のパルス光L2と比較して時間的な遅延を付与するもので、光路4a上に反射用のミラー4bが複数設けられた構成である。
例えば、このシフト周波数の中心周波数は、パルス光源2の繰り返し周波数0.5〜100GHzや周波数を掃引する周波数1〜1000kHzと分離することができ、かつ周波数シフタ5が入手し易いやすい10MHz以上かつ300MHz以下の範囲となるように設定されている。
なお、ビームスプリッタ3、6として偏光ビームスプリッタを用いた場合、ビームスプリッタ3で反射した繰り返しパルス光L1がビームスプリッタ6で透過するように遅延光路4中に1/2波長板を配置した構成を取ることができる。
上記の情報としては、次の(1)、(2)のいずれか一方、あるいは双方を含むのが好ましい。
(1)ビート成分が最大となったときの繰り返し周波数(すなわち、変調周波数)。
(2)光検出器7から出力されるビート成分の内、反射パルス光L1’と、ビームスプリッタ3にて分岐された反射パルス光L1’と異なる繰り返しパルス光(ここでは、周波数シフトパルス光L2’)との繰り返し周波数差の周波数成分を含む情報、または、この繰り返し周波数差とその整数倍の周波数成分を含む情報。
制御装置9は、パルス光源2及び演算装置8各々の動作を制御する。
基準ミラー11は、コーナーリフレクタ等により構成されており、距離計測の基準面となる。
また、ビームスプリッタ6と対象物12との間の光路上にパルス光L1を2次元状にて走査する走査光学系を配置することにより、対象物12の三次元における形状測定を行うことができる。
まず、パルス光源2により、繰り返し周波数が10GHz±0.1GHzの範囲内の所望の値に設定された繰り返しパルス光L0を出射する。
ビームスプリッタ3では、この繰り返しパルス光L0を反射/透過により2つの繰り返しパルス光L1、L2に分岐し、反射した一方のパルス光L1(物体光)を遅延光路4に入射し、透過した他方のパルス光L2(参照光)を周波数シフタ5に入射する。
一方、パルス光L2(参照光)は、周波数シフタ5にて周波数が所定の周波数、例えば50MHzシフトされた周波数シフトパルス光L2’となり、この周波数シフトパルス光L2’はビームスプリッタ6を透過し、光検出器7に入射する。
θa≒0の場合、光検出器7には、パルス光L1(物体光)とパルス光L2(参照光)とがほぼ同時に入射し、これらのビート周波数(周波数シフタでシフトした周波数)の出力が観測され、θa=0の時にビート成分が最大となる。
したがって、繰り返し周波数fを掃引し、ビートが観察される繰り返し周波数を求めることにより、基準点から対象物12までの距離を求めることができる。
なお、測定の基準となる位置と測定光学系の相対位置や、遅延光路の光路長が温度変動等により求められる精度に比較して無視できない変動を持つ場合には、上述のように基準位置に設定された基準ミラー11を用いて、対象物の測定距離と基準位置の測定距離を差し引くことにより、精度の高い測定を行うことができる。
この場合、繰り返し周波数の掃引を、パルス光L1とパルス光L2のタイミングのズレが3×10−4m程度のステップで変化するように、ステップ上に行い、ビートが観察される繰り返し周波数が見つかったら、その近傍で繰り返し周波数を変化させるステップを細かくして、最大のビート成分が得られる繰り返し周波数を求めるのが好適である。
例えば、f1=10GHzとすると、空気中のパルス間隔(距離)は30mmであり、この時、遅延光路4の光学距離を3mと設定することにより、測定対象が極至近の距離にあったとしても、光路長差に含まれるパルス数(Na)は100となる。この時、繰り返し周波数を+100MHz変化させ、f2=10.1GHzとすると、光路長差に含まれるパルス数は101となり、パルス光L1とパルス光L2の間でパルス1周期分(30mm)のずれを発生させる掃引を行うことができ、この30mmの範囲の距離測定を行うことができる。
上記パルス1周期分のずれを発生させる繰り返し周波数掃引によって測定を行う場合の測定対象の距離をDmとすると、この測定対象距離Dmと、全光路長差Daと、遅延光路4による光路長差Ddとの間には、
Da=2×Dm+Dd
の関係が成り立つ。そこで、測定可能範囲の全光路長差Daの最大値をDamax、最少値をDaminとし、これを、一定パルス数Naで繰り返し周波数Fの最少値Fminから最大値Fmaxまで掃引するものとすると、パルス数Naとは、次の式(4)の関係が成り立つ。
Da=3.03×9.901/9.95=3.00×10.0/9.95=3.01508m
となる。したがって、測定対象の距離Dmmは、
Dmm=(3.01508−3.000)/2=0.007539m
となる。
例えば、繰り返し周波数FがF1及びF2の2種類の繰り返し周波数を用いて、F1a、F2aでそれぞれビート成分最大を得た場合、Da=Na1(c/F1a)、Da=Na2(c/F2a)の連立方程式から、Na=Na1=Na2の場合にDa、Naを確定することができる。このようにNa1、Na2が等しくなる条件は、F1a<F2aであれば、Da≦c/(F2a−F1a)であり、この範囲の測定レンジを得ることができる。
パルス光源2としては、繰り返し周波数がF1及びF2の2種類の繰り返し周波数を複数のパルス光源を用いて逐次出射させることのできるアレイ型パルス光源、または、繰り返し周波数がF1及びF2の2種類の繰り返し周波数を1つのパルス光源から逐次出射させることのできる周波数可変型のパルス光源が好適に用いられる。
ここで、繰り返し周波数F1の単体での測定最大距離(掃引範囲)L1はL1=c/F1で表され、繰り返し周波数F2の単体での測定最大距離(掃引範囲)L2はL2=c/F2で表される。このとき、測定可能範囲は、パルス数の差が1以下の範囲であり、F1<F2とすると、L1×L2/(L1−L2)で表される。
L=P1+L1×(P2−P1)/(L1−L2)
=P2+L2×(P2−P1)/(L1−L2)
となる。
したがって、ビート信号から得られる上記の繰り返し周波数差と掃引速度から、パルス光L1(物体光)とパルス光L2(参照光)との伝搬時間の差を求めることができ、この伝搬時間の差を基に実際の距離を求めることができる。例えば、繰り返し周波数差がΔfr(Hz)、掃引速度がΔfs(Hz/秒)とすれば、物体光と参照光の時間差は、Δfr/Δfsで表され、これと光速により、対象物の距離が求められる。
これらの成分は、それぞれ、対応するパルス光の周波数成分の位相情報を含んでおり、その位相情報は周波数解析により求めることができる。この位相情報は、パルス光L1(物体光)とパルス光L2(参照光)の伝搬距離の差によるものであるから、パルス光の周波数差に比例する。したがって、ビート信号の周波数成分とその位相情報とに基づき、対象物12までの距離を求めることができる。
以上により、構成が簡単で、しかも高分解能かつ高速度な距離測定装置を実現することができる。
図3は、本発明の第2の実施形態の距離測定装置を示す概略構成図であり、この距離測定装置21が第1の実施形態の距離測定装置1と異なる点は、第1の実施形態の距離測定装置1が、分岐された一方のパルス光L1(物体光)に遅延を付与する遅延光路4を設ける一方、他方のパルス光L2(参照光)の周波数をシフトさせる周波数シフタ5を設けたのに対し、本実施形態の距離測定装置21が、分岐された他方のパルス光L2(参照光)に遅延を付与する遅延光路4を設け、さらに、このパルス光L2(参照光)の周波数をシフトさせる周波数シフタ5を設けた点である。
ビームスプリッタ3では、この繰り返しパルス光L0を反射/透過により2つの繰り返しパルス光L1、L2に分岐する。
一方、分岐した他方のパルス光L2(参照光)は、遅延光路4を通過する間に遅延が付与され、次いで、周波数シフタ5にて周波数が所定の周波数、例えば50MHzシフトされたパルス光L2’となり、このパルス光L2’はビームスプリッタ6を透過し、光検出器7に入射する。
しかも、パルス光L2(参照光)に、遅延光路4により遅延を付与することにより、対象物12までの最大距離が、遅延光路4と比べて短く、光路長差Daの正負が対象物12の距離によって逆転する可能性が無い場合においては、参照光と物体光の距離差を比較的小さく抑えることができ、物体光と参照光との可干渉性が向上する。その結果、干渉による検出光の変調度が高くなることにより、ビート振幅のピークを高精度に検出できるようになり、対象物までの距離をサブミリメートルの距離分解能でより精度よくかつ安定して測定することができる。したがって、超短パルス光を用いて測定対象までの距離を、高分解能かつ高速度で測定することができる。
図4は、本発明の第3の実施形態の距離測定装置を示す概略構成図であり、この距離測定装置31は、光導波路を光ファイバに替えた点が第1の実施形態の距離測定装置1と異なる点である。
光導波路型周波数シフタ34は、分岐カプラ32と合波カプラ36との間の偏波面保存光ファイバ(PMF)に設けられ、分岐カプラ32にて分岐された他方のパルス光L2の周波数をシフトさせて周波数シフトされたパルス光L2’とするもので、バルク型のAO変調器、ニオブ酸リチウム(LN)基板上に光導波路が形成された導波路型光素子等が好適に用いられる。
分岐カプラ32では、この繰り返しパルス光L0を2つの繰り返しパルス光L1、L2に分岐する。ここで、分岐された一方のパルス光L1(物体光)は、偏波面保存光ファイバ(PMF)を用いた遅延光路33に入射し、他方のパルス光L2(参照光)は、偏波面保存光ファイバ(PMF)を経て光導波路型周波数シフタ34に入射する。
一方、パルス光L2(参照光)は、光導波路型周波数シフタ34にて周波数が所定の周波数、例えば50MHzシフトされた周波数シフトパルス光L2’となり、この周波数シフトパルス光L2’は、合波カプラ36にて反射パルス光L1’と合波され、光検出器7に入射する。
しかも、遅延光路33に光ファイバを用いたので、狭い空間内においても遅延距離を長く取ることができ、したがって、狭い繰り返し周波数掃引範囲においても、十分な検出範囲を高い距離分解能で精度よくかつ安定して測定することができる。
図5は、本発明の第4の実施形態の距離測定装置を示す概略構成図であり、この距離測定装置41は、光検出器(検出手段)を、基準面までの距離を測定する基準用の光検出器と、対象物までの距離を測定する対象物用の光検出器とにより構成した点が第3の実施形態の距離測定装置31と異なる点である。
分岐カプラ32では、この繰り返しパルス光L0を2つのパルス光L1、L2に分岐する。ここで、分岐された一方のパルス光L1(物体光)は、偏波面保存光ファイバ(PMF)を用いた遅延光路33に入射し、他方のパルス光L2(参照光)は、偏波面保存光ファイバ(PMF)を経て光導波路型周波数シフタ34に入射する。
一方、パルス光L2(参照光)は、光導波路型周波数シフタ34にて周波数が所定の周波数、例えば50MHzシフトされた周波数シフトパルス光L2’となり、この周波数シフトパルス光L2’は、分岐カプラ43にてパルス光L21とパルス光L22とに分岐される。
また、分岐されたパルス光L12は、サーキュレータ35、コリメータレンズ39を順次透過し、対象物12に入射する。対象物12に入射したパルス光L12は、この対象物12にて反射されることで反射パルス光L12’となり、この反射パルス光L12’は、コリメータレンズ39を透過し、合波カプラ36にてパルス光L22と合波され、この合波されたパルス光は、対象物用の光検出器46に入射する。
一方、光検出器46では、反射パルス光L12’とパルス光L22とから合波光の干渉による対象物までの距離を測定するための測定用のビート成分を検出し、対象物の測定データとして出力する。
演算装置8では、光検出器45から出力される基準面までの測定データと、光検出器46から出力される対象物の測定データとの差を対象物12までの距離として算出する。
しかも、光検出器を、基準用の光検出器45と、対象物用の光検出器46とにより構成したので、超短パルス光を用いて基準面から測定対象までの距離を、高分解能かつ高速度で測定することができる。
2 パルス光源
3 ビームスプリッタ(分岐手段)
4 遅延光路(遅延手段)
5 周波数シフタ(周波数シフト手段)
6 ビームスプリッタ(合波手段)
7 光検出器(検出手段)
8 演算装置(演算手段)
9 制御装置
10 可動ミラー(光路切替手段)
11 基準ミラー
12 対象物
21 距離測定装置
31 距離測定装置
32 分岐カプラ(分岐手段)
33 遅延光路(遅延手段)
34 光導波路型周波数シフタ(周波数シフト手段)
35 サーキュレータ
36 合波カプラ(合波手段)
37 光スイッチ(光路切替手段)
38 光ファイバ
39 コリメータレンズ
41 距離測定装置
42、43 分岐カプラ(分岐手段)
44 合波カプラ(合波手段)
45 基準用の光検出器(検出手段)
46 対象物用の光検出器(検出手段)
L0、L1、L2 繰り返しパルス光
L1’ 反射パルス光
L2’ 周波数シフトパルス光
L11、L12、L21、L22 パルス光
L11’、L12’ 合波されたパルス光
Claims (8)
- コヒーレントでありかつ一定の周期で繰り返す繰り返し周波数を掃引可能なパルス光を出射する光源と、当該光源から出射するパルス光を分岐する分岐手段と、分岐された2つのパルス光のうちいずれか一方のパルス光に遅延を付与する遅延手段と、前記2つのパルス光のうちいずれか一方のパルス光を対象物に入射して該対象物にて反射する反射パルス光と前記分岐手段にて分岐され前記反射パルス光と異なるパルス光とを合波する合波手段と、得られた合波光を受光し、この合波光の干渉によるビート成分を検出する検出手段と、該検出手段から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報に基づき前記対象物までの距離を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする距離測定装置。
- 分岐された前記2つのパルス光のうちいずれか一方のパルス光の周波数をシフトする周波数シフト手段を設け、
前記検出手段の周波数帯域を、前記周波数シフト手段により前記周波数をシフトすることが可能な周波数の範囲を含むように設定したことを特徴とする請求項1記載の距離測定装置。 - 前記周波数シフト手段によりシフトする前記周波数の範囲を、10MHz以上かつ300MHz以下に設定したことを特徴とする請求項2記載の距離測定装置。
- 前記情報は、前記ビート成分が最大となったときの繰り返し周波数を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載の距離測定装置。
- 前記情報は、前記検出手段から出力される前記ビート成分の内、前記周波数をシフトしたシフト周波数に、前記反射パルス光と前記反射パルス光となるパルス光以外のパルス光との繰り返し周波数差、または、前記繰り返し周波数差とその整数倍の繰り返し周波数差を加えた周波数成分を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載の距離測定装置。
- 前記光源は、干渉型の光変調器の互いに干渉する各々の光の変調条件を調節することにより光周波数コムを発生する光周波数コム光源を含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項記載の距離測定装置。
- 前記光源が出射するパルス光のパルス幅は、100フェムト秒以上かつ3ピコ秒以下であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項記載の距離測定装置。
- 前記分岐手段及び前記遅延手段のパルス光の出射側に、これらから出射する2つのパルス光を合波する第2の合波手段と、得られた第2の合波光を受光する第2の検出手段とを設け、
前記演算手段は、前記第2の検出手段から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報と、前記検出手段から出力されるビート成分が最大となったときに得られる情報とに基づき、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項記載の距離測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012191443A JP5949341B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 距離測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014048162A true JP2014048162A (ja) | 2014-03-17 |
JP5949341B2 JP5949341B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=50607988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012191443A Active JP5949341B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 距離測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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A977 | Report on retrieval |
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