CN111913186A - 光学试验用装置及半导体试验装置 - Google Patents

光学试验用装置及半导体试验装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种光学试验用装置，防止在取得反射光的器具的试验时，该器具与测量对象的距离变长。在试验光学测量器具(2)时使用光学试验用装置(1)，光学测量器具(2)将来自光源(2a)的入射光提供到入射对象(4)，并取得入射光被入射对象(4)反射后的反射光。光学试验用装置(1)具备：光检测器(1a)，其接收入射光；以及激光二极管(1c)，其在自光检测器(1a)接收入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象(4)。光信号被入射对象(4)反射后的反射光信号提供到光学测量器具(2)。延迟时间大致等于实际使用光学测量器具(2)的情况下的从由光源(2a)照射入射光到通过光学测量器具(2)取得反射光的时间。

Description

光学试验用装置及半导体试验装置
技术领域
本发明涉及一种取得反射光的器具的试验。
背景技术
一直以来，已知一种对距离测量的对象提供入射光并取得反射光的距离测量器具。测量该距离测量器具与距离测量的对象的距离(例如，参照专利文献1、2以及3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-15729号公报
专利文献2：日本特开2006-126168号公报
专利文献3：日本特开2000-275340号公报
发明内容
发明所要解决的课题
为了对如上述的现有技术那样的距离测量器具进行试验，将距离测量器具和距离测量的对象分离假定测量的距离进行试验。例如，在将搭载于汽车的LiDAR模块假定为距离测量器具的情况下，假定测量的距离(以下有时称为“假定距离”)为大致200m。
然而，根据如上所述的试验，存在必须使距离测量器具和距离测量的对象实际地分离假定距离的问题。例如，导致为了试验而需要广阔的用地(例如，200m×200m的正方形的用地)。
因此，本发明的课题在于，防止在取得反射光的器具的试验时，该器具与测量对象(或取代测量对象的对象体)的距离变长。
用于解决课题的方案
本发明的第一光学试验用装置在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，该第一光学试验用装置构成为，具备：入射光受理部，其接收入射光；以及光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象，上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号被提供到上述光学测量器具，上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
根据如上述地构成的第一光学试验用装置，能够提供一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光。入射光受理部接收入射光。光信号赋予部在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象。上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号提供到上述光学测量器具。上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
本发明的第二光学试验用装置为一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，该第二光学试验用装置构成为，具备：入射光受理部，其接收上述入射光；光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，输出光信号；以及光行进方向变化部，其将上述光信号朝向上述光学测量器具照射，上述光信号通过上述光行进方向变化部对行进方向进行变化后的方向变化光信号提供给上述光学测量器具，上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
根据如上述地构成的第二光学试验用装置，能够提供一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光。入射光受理部接收上述入射光。光信号赋予部在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，输出光信号。光行进方向变化部将上述光信号朝向上述光学测量器具照射。上述光信号通过上述光行进方向变化部对行进方向进行变化后的方向变化光信号提供给上述光学测量器具。上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
此外，本发明的第二光学试验用装置也可以设置成，上述光行进方向变化部使上述光信号分支成两个以上的照射光。
本发明的第三光学试验用装置为一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，该第三光学试验用装置构成为，具备：入射光受理部，其接收上述入射光；以及光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到上述光学测量器具，上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
根据如上述地构成的第三光学试验用装置，能够提供一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光。入射光受理部接收上述入射光。光信号赋予部在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到上述光学测量器具。上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，上述光信号赋予部将使上述电信号延迟上述延迟时间后的信号转换成上述光信号。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，具备使上述电信号延迟上述延迟时间的电信号延迟部。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述电信号延迟部的上述延迟时间是可变的。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，各个上述电信号延迟部中的上述延迟时间分别不同，选择使用上述电信号延迟部中的任一个。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，具备输出控制部，该输出控制部基于上述电信号，在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过上述延迟时间后，将上述光信号输出到上述光信号赋予部。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述光信号赋予部将使上述入射光延迟上述延迟时间后的光作为上述光信号。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，具备使上述入射光延迟上述延迟时间的入射光延迟部。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射光延迟部是光纤。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射光延迟部是多重反射池。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射光延迟部是多重反射光纤。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，具备使上述光信号的功率衰减的衰减器，上述衰减器的衰减的程度是可变的。
此外，本发明的第一、第二以及第三光学试验用装置也可以设为，上述入射对象的反射率是可变的。
此外，本发明的半导体试验装置构成为具备第一、第二以及第三光学试验用装置的任一个和进行关于使用了上述光学测量器具的测量的试验的试验部。
附图说明
图1中的(a)是表示光学测量器具2的实际的使用方式的图，(b)是表示光学测量器具2的试验时的使用方式的图。
图2是表示本发明的第一实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图3是表示本发明的第一实施方式的第一变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图4中的(a)是表示本发明的第一实施方式的第二变形例的光学测量器具2的实际的使用方式的图，(b)是表示光学测量器具2的试验时的使用方式的图。
图5是表示本发明的第二实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图6是表示本发明的第二实施方式的变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图7是表示本发明的第三实施方式的光学试验用装置l的结构的功能块图。
图8是表示本发明的第三实施方式的变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图9是表示本发明的第四实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图10是表示本发明的第五实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图11是表示本发明的第六实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图12是表示本发明的第七实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图13是表示本发明的第八实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图14是表示本发明的第九实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
图15是表示本发明的第十实施方式的半导体试验装置10的结构的功能块图。
图中：
2—光学测量器具，2a—光源，2b—受光部，4—入射对象，5—耦合器(光行进方向变化部)，5a—输入端，5b—分支部，5p、5q—输出端，1—光学试验用装置，1a—光检测器(入射光受理部)，1b—可变延迟元件(电信号延迟部)，1b-1、lb-2—延迟元件，1c—激光二极管(光信号赋予部)，1d—透镜，1e—衰减器，1f、1g—检流计反射镜，1h—耦合器，1i—IC，1i-1—功率检测部，1i-2—输出控制部，1j—驱动电路，1k—光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)，6—测量模块，8—试验部，10—半导体试验装置。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
第一实施方式
图1中的(a)是表示光学测量器具2的实际的使用方式的图，(b)是表示光学测量器具2的试验时的使用方式的图。图2是表示本发明的第一实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。
参照图1的(a)，在实际的使用方式中，光学测量器具2将来自光源2a(参照图2)的入射光提供到入射对象4。入射光被入射对象4反射而成为反射光，并被光学测量器具2的受光部2b(参照图2)取得。光学测量器具2例如是LiDAR模块，用于测量光学测量器具2与入射对象4之间的距离Dl。此外，在将光学测量器具2设为LiDAR模块的情况下，距离Dl例如是200m。
作为用于距离Dl的测量的工序，考虑：(1)测量从由光源2a照射入射光到由光学测量器具2取得反射光的时间；(2)用在(1)中测量出的时间乘以光速，再取1/2倍，求出距离Dl。其中，在本发明的实施方式中，上述(1)及(2)的工序通过与光学测量器具2不同的模块(参照图15)进行。
此外，作为一例，入射对象4是反射板。
参照图1的(b)，光学试验用装置1在对光学测量器具2进行试验时使用。试验例如为进行光学测量器具2是否能够准确测量距离D1的验证。
在试验时的使用方式中，光学试验用装置1配置于光学测量器具2与入射对象4之间。光学测量器具2与入射对象4之间的距离D2远小于距离Dl，例如是lm。
对光学试验用装置1提供来自光学测量器具2的光源2a(参照图2)的入射光，对入射对象4提供光信号。光信号被入射对象4反射，成为反射光信号，穿过光学试验用装置1，被光学测量器具2的受光部2b(参照图2)取得。
此外，也可以将光学试验用装置l及光学测量器具2放入恒温槽(其它实施方式也同样)。
参照图2，第一实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、可变延迟元件(电信号延迟部)1b、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f、1g。
光检测器(入射光受理部)1a接收入射光，将其转换成电信号。光检测器1a例如是光探测器。
可变延迟元件(电信号延迟部)1b使光检测器1a输出的电信号延迟预定的延迟时间。其中，延迟时间与实际使用光学测量器具2的情况下(参照图1的(a))的从由光源2a照射入射光到由光学测量器具2l取得反射光的时间(即，2×D1/c)大致相等。其中，c是光速。此外，在Dl是200m的情况下，2×D1/c大约为1332纳秒。
其中，延迟时间也可以是2×D1/c(包含于“大致”相等)。另外，延迟时间也可以是2×(Dl-D2)/c。如果延迟时间是2×(Dl-D2)/c，则虽然与2×D1/c不同，但D2远小于Dl，因此延迟时间与2×D1/c“大致”相等。
此外，可变延迟元件(电信号延迟部)1b的延迟时间是可变的。由此，能够对应实际使用光学测量器具2的情况的距离Dl的变更。
激光二极管(光信号赋予部)1c将可变延迟元件1b的输出(即，将光检测器1a输出的电信号延迟预定的延迟时间后的信号)转换成光信号(例如，激光光束)。但是也可以是，在激光二极管1c与可变延迟元件1b之间连接驱动电路(省略图示)，经由驱动电路将可变延迟元件1b的输出提供到激光二极管1c。此时，驱动电路放大可变延迟元件1b的输出电流，形成足够激光二极管1c的驱动的大小的电流提供到激光二极管1c。即使在该情况下，激光二极管1c仍将可变延迟元件1b的输出转换成光信号(第二及第三实施方式也同样)。由此，激光二极管1c能够在自光检测器1a接收入射光起经过了预定的延迟时间之后，将光信号提供到入射对象4。此外，应注意，从光检测器1a接收入射光到将电信号提供到可变延迟元件1b的时间大致是0。
透镜1d是接收激光二极管1c输出的光信号的凸透镜。
衰减器1e使透过透镜1d的光信号的功率衰减，并提供到检流计反射镜1f。该衰减的程度是可变的。通过使光信号的功率衰减，能够进行模拟从光学测量器具2的光源2a输出的入射光的功率低的情况的试验。
检流计反射镜1f接收衰减器1e的输出，将光信号提供到入射对象4的大致中央。光信号被入射对象4反射，成为反射光信号。
检流计反射镜1g将反射光信号的光路改变成朝向受光部2b的光路，并且使反射光信号穿过，提供到光学测量器具2的受光部2b。
此外，也考虑不使用检流计反射镜1f、1g，而将衰减器1e载置于能够沿正交的双轴向(XY方向)移动的载物台或可改变相对于入射对象4的角度的载物台。
接下来，对第一实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2与入射对象4之间(参照图1的(b))。
将来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光被光检测器1a转换成电信号，提供到可变延迟元件1b。电信号被延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(D1-D2)/c)，提供到激光二极管1c。可变延迟元件1b的输出被激光二极管1c转换成光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到入射对象4的大致中央。光信号被入射对象4反射，成为反射光信号。
反射光信号的光路通过检流计反射镜1g变成朝向受光部2b。反射光信号穿过检流计反射镜1g，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第一实施方式，通过激光二极管(光信号赋予部)1c，在从光检测器(入射光受理部)1a接收入射光后经过预定的延迟时间(与实际使用光学测量器具2的情况下(参照图1的(a))的从由光源2a照射入射光到由光学测量器具2取得反射光的时间大致相等)(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)后，光信号提供到入射对象4。由此，在光学测量器具2的试验时，能够使光学测量器具2与测量对象4的距离D2(参照图1的(b))比光学测量器具2的假定使用的状况下(距离D1：参照图1的(a))短，因此能够实现距离D2变长的防止。
假设，如果不配置光学试验用装置1，将光学测量器具2与入射对象4之间分离距离D2而配置，则从由光源2a照射入射光到由光学测量器具2取得反射光的时间为2×D2/c(大致0)。由此，光学测量器具2与入射对象4之间的距离的测量结果为D2。这样，无法进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验。
但是，如果将光学试验用装置1配置于光学测量器具2与入射对象4之间(参照图1的(b))，则在光学试验用装置1内产生以与2与，则在光大致相等的延迟时间的延迟。由此，从由光源2a照射入射光到由光学测量器具2取得反射光的时间△t与2×D1/c大致相等。例如，在延迟时间是2×D1/c的情况下，△t＝2×D1/c+2×D2/c，但D2远小于Dl，因此能够忽视2×D2/c，因此△t＝2c×D1/c。另外，在延迟时间是2×(Dl-D2)/c的情况下，△t＝2×(Dl-D2)/c+2×D2/c＝2×D1/c。无论如何，根据△t＝2×D1/c，光学测量器具2与入射对象4之间的距离的测量结果为Dl，因此能够进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验。
此外，对于第一实施方式的光学试验用装置1，考虑如下的变形例。
第一变形例
图3是表示本发明的第一实施方式的第一变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
本发明的第一实施方式的第一变形例的光学试验用装置1取代第一实施方式的可变延迟元件1b而具备延迟元件1b-1、1b-2。
延迟元件1b-1、1b-2的延迟时间分别不同(其中，延迟时间不是可变的，而是恒定的)，选择使用它们中的任一个。在图3的例子中，选择使用延迟元件1b-1。在图3的例子中，能够对应实际使用光学测量器具2时的距离Dl为两种的情况。
此外，在第一变形例的光学试验用装置1中，延迟元件的个数不限于两个，也可以是三个以上。但是，也可以设为，在激光二极管1c的输入侧连接驱动电路(省略图示)，经由驱动电路将延迟元件1b-1或延迟元件1b-2的输出提供到激光二极管1c。此时，驱动电路放大延迟元件1b-1或延迟元件lb-2的输出电流，形成对于激光二极管1c的驱动足够的大小的电流，并提供到激光二极管1c。即使在该情况下，激光二极管1c仍将延迟元件1b-1或延迟元件lb-2的输出转换成光信号(第二及第三实施方式的变形例也同样)。
第二变形例
图4中的(a)是表示本发明的第一实施方式的第二变形例的光学测量器具2的实际的使用方式的图，(b)是表示光学测量器具2的试验时的使用方式的图。
在本发明的第一实施方式的第二变形例的光学试验用装置l中，与第一实施方式不同，入射对象4是平板。此外，第二变形例的入射对象4也可以设为反射率是可变的。例如，通过对入射对象4使用液晶，改变颜色，能够使反射率可变。
此外，在第四及第七实施方式中也可以考虑与该第二变形例相同的变形例。
第二实施方式
第二实施方式的光学试验用装置1与第一实施方式的不同点在于，取代入射对象4而使用耦合器(光行进方向变化部)5。
第二实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式及试验时的使用方式与第一实施方式相同，省略说明(参照图1，但是取代入射对象4而使用耦合器5)。其中，耦合器5包含于光学试验用装置1(参照图5)。
图5是表示本发明的第二实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第二实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、可变延迟元件(电信号延迟部)1b、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g、以及耦合器(光行进方向变化部)5。耦合器5具有输入端5a、分支部5b以及输出端5p、5q。以下，与第一实施方式相同的部分标注相同的符号并省略说明。
光检测器(入射光受理部)1a、可变延迟元件(电信号延迟部)1b、透镜1d以及衰减器1e与第一实施方式相同，省略说明。
激光二极管(光信号赋予部)1c与第一实施方式大致相同，但在将光信号输出提供到耦合器5这一点与第一实施方式不同。
检流计反射镜1f与第一实施方式大致相同，但在将光信号提供到耦合器5的输入端5a这一点与第一实施方式不同。光信号通过分支部5b分支成两个以上的照射光，且分别从输出端5p、5q输出。将从输出端5p、5q输出的光称为方向变化光信号。就方向变化光信号而言，光信号通过耦合器5行进方向变化的生成，且通过耦合器5朝向光学测量器具2照射。
检流计反射镜1g将方向变化光信号的光路改变成朝向受光部2b，并且使方向变化光信号穿过，提供到光学测量器具2的受光部2b。
此外，检流计反射镜1g与输出端5p、5q的距离长到连结检流计反射镜1g与输出端5p的线段和连结检流计反射镜1g与输出端5q的线段能够视为大致相同的程度。由此，从输出端5p输出的方向变化光信号的光路和从输出端5q输出的方向变化光信号的光路在检流计反射镜1g的附近能够视为相同。
接下来，对第二实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将具有耦合器5的光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光由光检测器1a转换成电信号，提供到可变延迟元件1b。电信号延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)，提供到激光二极管1c。可变延迟元件1b的输出通过激光二极管1c转换成光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到耦合器5的输入端5a。光信号通过耦合器5改变行进方向成为方向变化光信号，从输出端5p、5q朝向光学测量器具2照射。
方向变化光信号的光路通过检流计反射镜1g改变成朝向受光部2b。方向变化光信号穿过检流计反射镜1g提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第二实施方式，起到与第一实施方式相同的效果。即，能够在光学测量器具2的试验时，使光学测量器具2与(取代测量对象4的)耦合器5的距离D2(参照图5：其中，距离D2的长度与第一实施方式相同)比光学测量器具2的假定使用的状况下(距离D1：参照图1(a))短，因此，能够实现距离D2变长的防止。
此外，对于第二实施方式的光学试验用装置1，可以考虑如下的变形例。
图6是表示本发明的第二实施方式的变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
本发明的第二实施方式的变形例的光学试验用装置1取代第二实施方式的可变延迟元件1b而具备延迟元件1b-1、1b-2。
延迟元件1b-1、1b-2的延迟时间分别不同(其中，延迟时间不是可变的，而是恒定的)，选择使用它们中的任一个。在图6的例子中，选择使用延迟元件1b-1。在图6的例子中，能够对应实际使用光学测量器具2的情况的距离Dl为两种的情况。
此外，在该变形例的光学试验用装置1中，延迟元件的个数不限于两个，也可以是三个以上。
第三实施方式
第三实施方式的光学试验用装置1与第一实施方式不同的点在于，不使用入射对象4。
第三实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式与第一实施方式相同，省略说明(参照图1的(a))。第三实施方式的光学测量器具2的试验时的使用方式使用光学测量器具2和光学试验用装置1，但不使用反射对象4和耦合器5(参照图7)。
图7是表示本发明的第三实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。参照图7，第三实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、可变延迟元件(电信号延迟部)1b、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d以及衰减器1e。
光检测器(入射光受理部)1a、可变延迟元件(电信号延迟部)1b以及透镜1d与第一实施方式相同，省略说明。
激光二极管(光信号赋予部)1c与第一实施方式大致相同，但将光信号输出并提供到光学测量器具2这一点与第一实施方式不同。
衰减器1e与第一实施方式大致相同，但将光信号提供到光学测量器具2的受光部2b这一点与第一实施方式不同。
接下来，对第三实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光通过光检测器1a转换成电信号，提供到可变延迟元件1b。电信号延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间，提供到激光二极管1c。可变延迟元件1b的输出通过激光二极管1c转换成光信号。光信号穿过透镜1d及衰减器1e，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第三实施方式，实现与第一实施方式相同的效果。即，在光学测量器具2的试验时，不使用测量对象4和(取代测量对象4的)耦合器5，因此不存在光学测量器具2与测量对象4(或取而代之的物体)的距离D2，能够实现距离D2变长的防止。
此外，对于第三实施方式的光学试验用装置1，考虑如下的变形例。
图8是表示本发明的第三实施方式的变形例的光学试验用装置1的结构的功能块图。
本发明的第三实施方式的变形例的光学试验用装置1取代第三实施方式中的可变延迟元件1b而具备延迟元件1b-1、1b-2。
延迟元件1b-1、1b-2的延迟时间分别不同(其中，延迟时间不是可变的，而使恒定的)，选择使用它们中的任一个。在图8的例子中，选择使用延迟元件1b-1。在图8的例子中，能够对应实际使用光学测量器具2的情况下的距离Dl为两种的情况。
此外，在该变形例的光学试验用装置1中，延迟元件的个数不限于两个，也可以是三个以上。
第四实施方式
第四实施方式的光学试验用装置1与第一实施方式的不同点在于，使用IC1i。
第四实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式及试验时的使用方式与第一实施方式相同，省略说明(参照图1)。
图9是表示本发明的第四实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第四实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g、耦合器1h、IC1i以及驱动电路1j。以下，与第一实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
光检测器(入射光受理部)1a、透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f、1g与第一实施方式相同，省略说明。
耦合器1h将光检测器1a输出的电信号分支成两个信号，提供到IC1i的功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
IC1i是集成电路(Integrated Circuit)，具有功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
功率检测部1i-1接收电信号，判断入射光的功率是否在预定的范围内。就功率检测部1i-1而言，如果入射光的功率在预定的范围内，则使输出控制部1i-2工作。输出控制部1i-2接收电信号，经过预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后，使驱动电路1j工作。
驱动电路1j使激光二极管1c工作。
激光二极管(光信号赋予部)1c输出光信号(例如激光光束)。
此外，从光检测器(入射光受理部)1a接收入射光到输出控制部1i-2工作的时间大致是0，从驱动电路1j工作到激光二极管1c输出光信号的时间也大致是0。由此，输出控制部1i-2基于电信号，在自光检测器(入射光受理部)1a接收入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号输出到激光二极管(光信号赋予部)1c。
接下来，对第四实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2与入射对象4之间(参照图1的(b))。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光通过光检测器1a转换成电信号，经由耦合器1h提供到IC1i的功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
如果功率检测部1i-1接收电信号，使输出控制部1i-2工作，则输出控制部1i-2将电信号延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)，提供到驱动电路1j。如果驱动电路1j使激光二极管1c工作，则从激光二极管1c输出光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到入射对象4的大致中央。光信号被入射对象4反射，成为反射光信号。
反射光信号的光路通过检流计反射镜1g改变成朝向受光部2b。反射光信号穿过检流计反射镜1g，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第四实施方式，实现与第一实施方式相同的效果。
第五实施方式
第五实施方式的光学试验用装置1与第二实施方式的不同点在于，使用IC1i。
第五实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式及试验时的使用方式与第二实施方式相同，省略说明(参照图1，其中，使用耦合器5取代入射对象4)。其中，耦合器5包括于光学试验用装置1(参照图10)。
图10是表示本发明的第五实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第五实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g、耦合器1h、IC1i、驱动电路1j以及耦合器(光行进方向变化部)5。耦合器5具有输入端5a、分支部5b以及输出端5p、5q。以下，与第二实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
光检测器(入射光受理部)1a、透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g以及耦合器5与第二实施方式相同，省略说明。
耦合器1h将光检测器1a输出的电信号分支成两个信号，提供到IC1i的功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
IC1i是集成电路(Integrated Circuit)，具有功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
功率检测部1i-1接收电信号，判断入射光的功率是否在预定的范围内。就功率检测部1i-1而言，如果入射光的功率在预定的范围内，则使输出控制部1i-2工作。输出控制部1i-2接收电信号，在经过预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后，使驱动电路1j工作。
驱动电路1j使激光二极管1c工作。
激光二极管(光信号赋予部)1c输出光信号(例如激光光束)。
此外，从光检测器(入射光受理部)1a接收入射光到输出控制部1i-2工作的时间大致是0，从驱动电路1j工作到激光二极管1c输出光信号的时间也大致是0。由此，输出控制部1i-2基于电信号，自光检测器(入射光受理部)1a接收入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号输出到激光二极管(光信号赋予部)1c。
接下来，对第五实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确检测距离Dl的试验，将具有耦合器5的光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光通过光检测器1a转换成电信号，经由耦合器1h提供到IC1i的功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
如果功率检测部1i-1接收电信号，使输出控制部1i-2工作，则输出控制部1i-2将电信号延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)，提供到驱动电路1j。如果驱动电路1j使激光二极管1c工作，则从激光二极管1c输出光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到耦合器5的输入端5a。光信号通过耦合器5改变行进方向，成为方向变化光信号，从输出端5p、5q朝向光学测量器具2照射。
方向变化光信号的光路通过检流计反射镜1g改变成朝向受光部2b。方向变化光信号穿过检流计反射镜1g，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第五实施方式，实现与第二实施方式相同的效果。
第六实施方式
第六实施方式的光学试验用装置1与第三实施方式的不同点在于，使用IC1i。
第六实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式与第一实施方式相同，省略说明(参照图1的(a))。就第六实施方式的进行光学测量器具2的试验时的使用方式而言，使用光学测量器具2和光学试验用装置1，但不使用反射对象4，也不使用耦合器5(参照图11)。
图11是表示本发明的第六实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第六实施方式的光学试验用装置1具备光检测器(入射光受理部)1a、激光二极管(光信号赋予部)1c、透镜1d、衰减器1e、耦合器1h、IC1i以及驱动电路1j。以下，与第三实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
光检测器(入射光受理部)1a、透镜1d以及衰减器1e与第三实施方式相同，省略说明。
耦合器1h将光检测器1a输出的电信号分支成两个信号，并提供到IC1i的功率检测部1i-1以及输出控制部1i-2。
IC1i是集成电路(Integrated Circuit)，具有功率检测部1i-1以及输出控制部1i-2。
功率检测部1i-1接收电信号，判断入射光的功率是否在预定的范围内。就功率检测部1i-1而言，如果入射光的功率在预定的范围内，则使输出控制部1i-2工作。输出控制部1i-2接收电信号，并在经过预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后，使驱动电路1j工作。
驱动电路1j使激光二极管1c工作。
激光二极管(光信号赋予部)1c输出光信号(例如激光光束)。
此外，从光检测器(入射光受理部)1a接收入射光到输出控制部1i-2工作的时间大致是0，从驱动电路1j工作到激光二极管1c输出光信号的时间也大致是0。由此，输出控制部1i-2基于电信号，在自光检测器(入射光受理部)1a接收入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号输出到激光二极管(光信号赋予部)1c。
接下来，对第六实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光检测器1a。入射光通过光检测器1a转换成电信号，经由耦合器1h提供到IC1i的功率检测部1i-1及输出控制部1i-2。
如果功率检测部1i-1接收电信号，使输出控制部1i-2工作，则输出控制部1i-2将电信号延迟与2电信号延迟大致相等的延迟时间，提供到驱动电路1j。如果驱动电路1j使激光二极管1c工作，则从激光二极管1c输出光信号。光信号穿过透镜1d及衰减器1e，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第六实施方式，实现与第三实施方式相同的效果。
第七实施方式
第七实施方式的光学试验用装置1与第一实施方式的不同点在于，取代光检测器1a、可变延迟元件1b以及激光二极管1c，而使用光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k。
第七实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式及试验时的使用方式与第一实施方式相同，省略说明(参照图1)。
图12是表示本发明的第七实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第七实施方式的光学试验用装置1具备光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k、透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f、1g。以下，与第一实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f、1g与第一实施方式相同，省略说明。
光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k将使入射光延迟预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后的光作为光信号。此外，通过光纤1k能够实现的延迟时间为(光纤1k的折射率)×(光纤1k的长度)/c。在距离D1为200m的情况下，光纤1k的长度为大约270m，能够由直径为10cm左右的绕线架的光纤实现。
接下来，对第七实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离D1的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2与入射对象4之间(参照图1的(b))。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光纤1k。入射光通过光纤1k延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)延迟，成为光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到入射对象4的大致中央。光信号被入射对象4反射，成为反射光信号。
反射光信号的光路通过检流计反射镜1g改变成朝向受光部2b。反射光信号穿过检流计反射镜1g提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第七实施方式，实现与第一实施方式相同的效果。
此外，在第七实施方式中，对使用光纤1k的主旨进行了说明，但也可以取代光纤1k而使用多重反射池或多重反射光纤。
多重反射池也称为赫里奥特池，是在对置的凹面镜进行多重反射而输出的池。通过多重反射池能够实现的延迟时间为(多重反射池中的多重反射的次数)×(多重反射池中的对置的凹面镜的间隔)/c。
多重反射光纤在光纤的两端涂覆反射材料。但是，反射材料不是进行全反射的材料。通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T1为2×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。如果将光脉冲提供到多重反射光纤的输入端，则从多重反射光纤的输出端输出该延迟时间T1间隔的光脉冲。
此外，也可以设置光开关，该光开关将多重反射光纤的输出端与向全反射材料或透镜1d输出光信号的部分中的某个连接。就光开关而言，直至光在多重反射光纤的输入端与全反射材料之间往复预定次数(m次)为止，将输出端与全反射材料连接，之后，将输出端与向透镜1d输出光信号的部分连接。在该情况下，通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T2为2×m×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。
第八实施方式
第八实施方式的光学试验用装置1与第二实施方式的不同点在于，取代光检测器1a、可变延迟元件1b以及激光二极管1c，而使用光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k。
第八实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式及试验时的使用方式与第二实施方式相同，省略说明(参照图1，但使用耦合器5取代入射对象4)。其中，耦合器5包括于光学试验用装置1(参照图13)。
图13是表示本发明的第八实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第八实施方式的光学试验用装置1具备光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k、透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g以及耦合器(光行进方向变化部)5。耦合器5具有输入端5a、分支部5b以及输出端5p、5q。以下，与第二实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
透镜1d、衰减器1e、检流计反射镜1f、1g以及耦合器5与第二实施方式相同，省略说明。
光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k将使入射光延迟预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后的光作为光信号。此外，通过光纤1k能够实现的延迟时间为(光纤1k的折射率)×(光纤1k的长度)/c。在距离D1是200m的情况下，光纤1k的长度为大约270m，能够由直径10cm左右的绕线架的光纤实现。
接下来，对第八实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离D1的试验，将具有耦合器5的光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光纤1k。入射光通过光纤1k延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)，成为光信号。光信号穿过透镜1d、衰减器1e以及检流计反射镜1f，提供到耦合器5的输入端5a。光信号通过耦合器5改变行进方向，成为方向变化光信号，从输出端5p、5q朝向光学测量器具2照射。
方向变化光信号的光路通过检流计反射镜1g改变成朝向受光部2b。方向变化光信号穿过检流计反射镜1g，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第八实施方式，实现与第二实施方式相同的效果。
此外，在第八实施方式中，对使用光纤1k的主旨进行了说明，但也可以取代光纤1k而使用多重反射池或多重反射光纤。
多重反射池也叫做赫里奥特池，是在对置的凹面镜进行多重反射而输出的池。通过多重反射池能够实现的延迟时间为(多重反射池中的多重反射的次数)×(多重反射池中的对置的凹面镜的间隔)/c。
多重反射光纤在光纤的两端涂覆反射材料。但是，反射材料不是进行全反射的材料。通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T1为2×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。如果将光脉冲提供到多重反射光纤的输入端，则从多重反射光纤的输出端输出该延迟时间T1间隔的光脉冲。
此外，也可以设置光开关，该光开关将多重反射光纤的输出端与向全反射材料或透镜1d输出光信号的部分的某个连接。就光开关而言，直至光在多重反射光纤的输入端与全反射材料之间往复预定次数(m次)为止，将输出端与全反射材料连接，之后，将输出端与向透镜1d输出光信号的部分连接。在该情况下，通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T2为2×m×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。
第九实施方式
第九实施方式的光学试验用装置1与第三实施方式的不同点在于，取代光检测器1a、可变延迟元件1b以及激光二极管1c，而使用光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k。
第九实施方式的光学测量器具2的实际的使用方式与第三实施方式相同，省略说明。
图14是表示本发明的第九实施方式的光学试验用装置1的结构的功能块图。第九实施方式的光学试验用装置1具备光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k、透镜1d以及衰减器1e。以下，与第三实施方式相同的部分标注相同的符号，省略说明。
透镜1d、衰减器1e与第三实施方式相同，省略说明。
光纤(光信号赋予部且入射光延迟部)1k将使入射光延迟预定的延迟时间(与第一实施方式相同)后的光作为光信号。此外，通过光纤1k能够实现的延迟时间为(光纤1k的折射率)×(光纤1k的长度)/c。在距离D1是200m的情况下，光纤1k的长度为大约270m，能够由直径10cm左右的绕线架的光纤实现。
接下来，对第九实施方式的动作进行说明。
首先，为了进行光学测量器具2是否能够准确测量距离Dl的试验，将光学试验用装置1配置于光学测量器具2之前。
来自光学测量器具2的光源2a的入射光提供到光学试验用装置1的光纤1k。入射光通过光纤1k延迟与2×D1/c大致相等的延迟时间(例如，2×D1/c或2×(Dl-D2)/c)，成为光信号。光信号穿过透镜1d及衰减器1e，提供到光学测量器具2的受光部2b。
根据第九实施方式，实现与第三实施方式相同的效果。
此外，在第九实施方式中，对使用光纤1k的主旨进行了说明，但也可以取代光纤1k而使用多重反射池或多重反射光纤。
多重反射池也叫做赫里奥特池，是在对置的凹面镜进行多重反射而输出的池。通过多重反射池能够实现的延迟时间为(多重反射池中的多重反射的次数)×(多重反射池中的对置的凹面镜的间隔)/c。
多重反射光纤在光纤的两端涂覆反射材料。但是，反射材料不是进行全反射的材料。通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T1为2×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。如果将光脉冲提供到多重反射光纤的输入端，则从多重反射光纤的输出端输出该延迟时间T1间隔的光脉冲。
此外，也可以设置光开关，该光开关将多重反射光纤的输出端与向全反射材料或透镜1d输出光信号的部分的某个连接。就光开关而言，直至光在多重反射光纤的输入端与全反射材料之间往复预定次数(m次)为止，将输出端与全反射材料连接，之后，将输出端与向透镜1d输出光信号的部分连接。在该情况下，通过多重反射光纤能够实现的延迟时间T2为2×m×(多重反射光纤的折射率)×(多重反射光纤的长度)/c。
第十实施方式
图15是表示本发明的第十实施方式的半导体试验装置10的结构的功能块图。
第十实施方式的半导体试验装置(光学试验装置)10具备光学试验用装置1及试验部8。
光学试验用装置1与上述的实施方式(第一实施方式～第九实施方式)中的任一个相同，因此省略说明。此外，在图15中，虽然图示了入射对象4(参照第一、第四以及第七实施方式)，但也可以取代入射对象4而使用耦合器5(参照第二、第五以及第八实施方式)，也可以从一开始就不使用入射对象4(参照第三、第六以及第九实施方式)。
测量模块6使用光学测量器具2进行测量。测量模块6进行向光学测量器具2照射入射光的指示，并接收反射光信号。测量模块6如在第一实施方式中说明的那样，在实际的使用方式(参照图1的(a))下，进行光学测量器具2与入射对象4之间的距离D1的测量。此外，测量模块6测量入射光和反射光信号的响应速度。
试验部8进行关于使用了光学测量器具2的测量模块6的测量的试验。例如，试验部8进行关于入射光和反射光的响应速度的测量的试验及关于光学测量器具2与入射对象4之间的距离D1的测量的精度的试验。除此之外，试验部8进行确认控制母线、电源等功能的功能确认试验、判断指定波长的检测效率是否在规定范围内的检测效率试验。另外，试验部8进行光学测量器具2的入射光ON/OFF、入射光的功率以及射出角度等的控制、光学试验用装置1的延迟时间的设定、包括用于光功率的衰减的衰减器1e的光学系统的控制以及入射对象4的反射率的控制。

Claims (17)

1.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：
入射光受理部，其接收入射光；以及
光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象，
上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号提供到上述光学测量器具，
上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
2.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：
入射光受理部，其接收上述入射光；
光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，输出光信号；以及
光行进方向变化部，其将上述光信号朝向上述光学测量器具照射，
上述光信号通过上述光行进方向变化部对行进方向进行变化后的方向变化光信号提供给上述光学测量器具，
上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
3.根据权利要求2所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述光行进方向变化部使上述光信号分支成两个以上的照射光。
4.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：
入射光受理部，其接收上述入射光；以及
光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到上述光学测量器具，
上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，
上述光信号赋予部将使上述电信号延迟上述延迟时间后的信号转换成上述光信号。
6.根据权利要求5所述的光学试验用装置，其特征在于，
具备使上述电信号延迟上述延迟时间的电信号延迟部。
7.根据权利要求6所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述电信号延迟部的上述延迟时间是可变的。
8.根据权利要求6所述的光学试验用装置，其特征在于，
各个上述电信号延迟部中的上述延迟时间分别不同，
选择使用上述电信号延迟部中的任一个。
9.根据权利要求1～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，
具备输出控制部，该输出控制部基于上述电信号，在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过上述延迟时间后，将上述光信号输出到上述光信号赋予部。
10.根据权利要求l～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述光信号赋予部将使上述入射光延迟上述延迟时间后的光作为上述光信号。
11.根据权利要求10所述的光学试验用装置，其特征在于，
具备使上述入射光延迟上述延迟时间的入射光延迟部。
12.根据权利要求11所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射光延迟部是光纤。
13.根据权利要求11所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射光延迟部是多重反射池。
14.根据权利要求11所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射光延迟部是多重反射光纤。
15.根据权利要求1～14中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，
具备使上述光信号的功率衰减的衰减器，
上述衰减器的衰减的程度是可变的。
16.根据权利要求1～14中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，
上述入射对象的反射率是可变的。
17.一种半导体试验装置，其特征在于，具备：
权利要求1～16中任一项所述的光学试验用装置；以及
试验部，其进行关于使用了上述光学测量器具的测量的试验。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7252876B2 (ja) * 2019-10-16 2023-04-05 株式会社アドバンテスト 光学試験用装置
TWI735384B (zh) * 2020-11-23 2021-08-01 國立陽明交通大學 光達與用於光達之光子數快速累積方法
DE102021106220A1 (de) * 2021-03-15 2022-09-15 Dspace Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Isolation eines Triggersignals eines LiDAR-Sensors sowie Testsystem

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06289136A (ja) * 1993-03-30 1994-10-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 距離測定装置
CN1110398A (zh) * 1993-12-27 1995-10-18 现代电子产业株式会社 光学测距装置及其方法
KR19980077355A (ko) * 1997-04-18 1998-11-16 이대원 거리측정 방법
JP2001126598A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Atsumi Electric Co Ltd 反射型物体検知システム
JP2001124855A (ja) * 1999-10-26 2001-05-11 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測方法およびその装置
JP2004069675A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測装置及び距離計測方法
CN1590956A (zh) * 2003-08-27 2005-03-09 石川岛播磨重工业株式会社 激光距离测定装置
US20060103850A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Alphonse Gerard A Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
CN102265178A (zh) * 2008-12-25 2011-11-30 株式会社拓普康 距离测定装置及距离测定方法
JP2012173107A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Toyota Central R&D Labs Inc 光調整装置、光検出装置、及び距離測定装置
US8368876B1 (en) * 2008-10-17 2013-02-05 Odyssey Space Research, L.L.C. Calibration system and method for imaging flash LIDAR systems
US20130257461A1 (en) * 2012-03-28 2013-10-03 Infinitum Solutions, Inc. Metrology for contactless measurement of electrical resistance change in magnetoresistive samples
JP2014048162A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 距離測定装置
CN107688172A (zh) * 2017-08-25 2018-02-13 北醒（北京）光子科技有限公司 一种多光程腔、检测装置及检测方法
US20190072672A1 (en) * 2017-09-01 2019-03-07 Xiaotian Steve Yao Applications of optoelectronic oscillator (oeo) including light detection and ranging (lidar) and optical frequency domain reflectometer (ofdr) systems
CN109521435A (zh) * 2017-09-19 2019-03-26 株式会社东芝 距离计测装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4121890A (en) * 1977-08-17 1978-10-24 Hughes Aircraft Company Laser rangefinder tester
US5606409A (en) * 1994-12-27 1997-02-25 General Electric Company Laser ranging system calibration device
JP3521796B2 (ja) 1999-03-25 2004-04-19 三菱電機株式会社 レーザレーダ装置
US6760512B2 (en) * 2001-06-08 2004-07-06 Hrl Laboratories, Llc Electro-optical programmable true-time delay generator
US7236235B2 (en) 2004-07-06 2007-06-26 Dimsdale Engineering, Llc System and method for determining range in 3D imaging systems
JP4830096B2 (ja) * 2004-09-30 2011-12-07 国立大学法人名古屋大学 距離測定装置および距離測定方法
TWI324247B (en) * 2007-03-21 2010-05-01 Univ Chung Yuan Christian System and method for measuring interferences
JP5671345B2 (ja) 2007-12-21 2015-02-18 レッダーテック インコーポレイテッド 検出及び測距方法
USRE46930E1 (en) 2007-12-21 2018-07-03 Leddartech Inc. Distance detection method and system
EP2232462B1 (en) 2007-12-21 2015-12-16 Leddartech Inc. Parking management system and method using lighting system
EP2265909B8 (en) 2008-04-04 2017-07-26 Leddartech Inc. Optical level measurement device and method
JP5194980B2 (ja) * 2008-04-14 2013-05-08 日産自動車株式会社 距離計測装置の検査装置
ES2563169T3 (es) * 2008-11-20 2016-03-11 Mbda Uk Limited Generador de escenarios de blancos
US8891067B2 (en) * 2010-02-01 2014-11-18 Microsoft Corporation Multiple synchronized optical sources for time-of-flight range finding systems
CN102590802B (zh) * 2012-01-20 2013-08-14 中国科学院上海技术物理研究所 一种可调谐激光距离模拟器及距离模拟方法
TWI465687B (zh) * 2013-04-25 2014-12-21 Univ Nat Yunlin Sci & Tech 可切換量測鏡之多重干涉位移量測裝置
WO2014208018A1 (ja) * 2013-06-26 2014-12-31 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 測距システム
US9110154B1 (en) * 2014-02-19 2015-08-18 Raytheon Company Portable programmable ladar test target
CN103885065B (zh) * 2014-03-21 2016-04-13 中国科学院上海光学精密机械研究所 双波长双脉冲的无模糊激光测距装置
CN104820215A (zh) * 2015-05-25 2015-08-05 扬州宇安电子科技有限公司 基于光纤延迟线的高精度雷达目标模拟器
TWI682876B (zh) * 2016-05-27 2020-01-21 日商日本電氣股份有限公司 檢查系統、管制裝置以及管制方法
JP6325619B2 (ja) 2016-09-20 2018-05-16 株式会社トプコン 光波距離計
GB2558922A (en) * 2017-01-20 2018-07-25 Focus Sensors Ltd Distributed acoustic sensing
CN109655813A (zh) * 2019-01-31 2019-04-19 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七七研究所） 基于光纤延时的激光测距仪室内校准装置及方法

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06289136A (ja) * 1993-03-30 1994-10-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 距離測定装置
CN1110398A (zh) * 1993-12-27 1995-10-18 现代电子产业株式会社 光学测距装置及其方法
KR19980077355A (ko) * 1997-04-18 1998-11-16 이대원 거리측정 방법
JP2001124855A (ja) * 1999-10-26 2001-05-11 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測方法およびその装置
JP2001126598A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Atsumi Electric Co Ltd 反射型物体検知システム
JP2004069675A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測装置及び距離計測方法
CN1590956A (zh) * 2003-08-27 2005-03-09 石川岛播磨重工业株式会社 激光距离测定装置
US20060103850A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Alphonse Gerard A Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
US8368876B1 (en) * 2008-10-17 2013-02-05 Odyssey Space Research, L.L.C. Calibration system and method for imaging flash LIDAR systems
CN102265178A (zh) * 2008-12-25 2011-11-30 株式会社拓普康 距离测定装置及距离测定方法
JP2012173107A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Toyota Central R&D Labs Inc 光調整装置、光検出装置、及び距離測定装置
US20130257461A1 (en) * 2012-03-28 2013-10-03 Infinitum Solutions, Inc. Metrology for contactless measurement of electrical resistance change in magnetoresistive samples
JP2014048162A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 距離測定装置
CN107688172A (zh) * 2017-08-25 2018-02-13 北醒（北京）光子科技有限公司 一种多光程腔、检测装置及检测方法
US20190072672A1 (en) * 2017-09-01 2019-03-07 Xiaotian Steve Yao Applications of optoelectronic oscillator (oeo) including light detection and ranging (lidar) and optical frequency domain reflectometer (ofdr) systems
CN109521435A (zh) * 2017-09-19 2019-03-26 株式会社东芝 距离计测装置

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