KR20200130084A - 광학 시험용 장치 - Google Patents

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Abstract

[과제] 반사광을 취득하는 기구의 시험시에 이 기구와 측정 대상의 거리가 길어지는 것을 방지한다.
[해결 방법] 광원(2a)으로부터의 입사광을 입사 대상(4)에 부여하고, 입사광이 입사 대상(4)에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구(2)를 시험할 때에 광학 시험용 장치(1)를 사용한다. 광학 시험용 장치(1)는 입사광을 받는 광검출기(1a)와, 광검출기(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 입사 대상(4)에 부여하는 레이저 다이오드(1c)를 구비한다. 광신호가 입사 대상(4)에 의해 반사된 반사광신호가 광학 측정 기구(2)에 부여된다. 지연 시간이 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우의 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하다.

Description

광학 시험용 장치{DEVICE FOR OPTICAL TEST}
본 발명은 반사광을 취득하는 기구의 시험에 관한 것이다.
종래부터, 입사광을 거리 측정의 대상에 부여하고, 반사광을 취득하는 거리 측정 기구가 알려져 있다. 이 거리 측정 기구와 거리 측정의 대상의 거리가 측정된다(예를 들면, 특허문헌 1, 2 및 3을 참조).
일본 특허 공개 2017-15729호 공보 일본 특허 공개 2006-126168호 공보 일본 특허 공개 2000-275340호 공보
상기 종래 기술과 같은 거리 측정 기구를 시험하기 위해서는 거리 측정 기구와 거리 측정의 대상을 측정하는 것이 상정되는 거리만큼 떨어져 시험을 행한다. 예를 들면, 거리 측정 기구로서, 자동차에 탑재한 LiDAR 모듈을 상정한 경우, 측정하는 것이 상정되는 거리(이하, 「상정 거리」라고 하는 경우가 있다)는 대개 200m로 된다.
그러나, 상기와 같은 시험에 의하면, 거리 측정 기구와 거리 측정의 대상을 상정 거리만큼 실제로 떨어지게 하지 않으면 안된다고 하는 문제가 발생된다. 예를 들면, 시험을 위해 광대한 부지(예를 들면, 200m×200m의 정사각형의 부지)가 필요하게 되어 버린다.
그래서, 본 발명은 반사광을 취득하는 기구의 시험시에 이 기구와 측정 대상(또는, 측정 대상을 대신하는 것)의 거리가 길어지는 것의 방지를 과제로 한다.
본 발명에 따른 제 1 광학 시험용 장치는 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서, 입사광을 받는 입사광 수리부와, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 입사 대상에 부여하는 광신호 부여부를 구비하고, 상기 광신호가 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광신호가, 상기 광학 측정 기구에 부여되고, 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하도록 구성된다.
상기와 같이 구성된 제 1 광학 시험용 장치에 의하면, 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치가 제공된다. 입사광 수리부가 입사광을 받는다. 광신호 부여부가, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 입사 대상에 부여한다. 상기 광신호가 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광신호가, 상기 광학 측정 기구에 부여된다. 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득되기까지의 시간과 거의 동등하다.
본 발명에 따른 제 2 광학 시험용 장치는 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서, 상기 입사광을 받는 입사광 수리부와, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 출력하는 광신호 부여부와, 상기 광신호를 상기 광학 측정 기구를 향해 조사하는 광 진행 방향 변화부를 구비하고, 상기 광신호가 상기 광 진행 방향 변화부에 의해 진행 방향이 변화된 방향 변화 광신호가, 상기 광학 측정 기구에 부여되고, 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하도록 구성된다.
상기와 같이 구성된 제 2 광학 시험용 장치에 의하면, 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치가 제공된다. 입사광 수리부가 상기 입사광을 받는다. 광신호 부여부가, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 출력한다. 광 진행 방향 변화부가 상기 광신호를 상기 광학 측정 기구를 향해 조사한다. 상기 광신호가 상기 광 진행 방향 변화부에 의해 진행 방향이 변화한 방향 변화 광신호가 상기 광학 측정 기구에 부여된다. 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하다.
또한, 본 발명에 따른 제 2 광학 시험용 장치는 상기 광 진행 방향 변화부가 상기 광신호를 2개 이상의 조사광으로 분기시키도록 해도 좋다.
본 발명에 따른 제 3 광학 시험용 장치는 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서, 상기 입사광을 받는 입사광 수리부와, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 상기 광학 측정 기구에 부여하는 광신호 부여부를 구비하고, 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하도록 구성된다.
상기와 같이 구성된 제 3 광학 시험용 장치에 의하면, 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치가 제공된다. 입사광 수리부가 상기 입사광을 받는다. 광신호 부여부가, 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 상기 광학 측정 기구에 부여한다. 상기 지연 시간이 상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 전기 신호로 변환하는 것이며, 상기 광신호 부여부가 상기 전기 신호를 상기 지연 시간만큼 지연시킨 것을 상기 광신호로 변환하는 것이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 전기 신호를 상기 지연 시간만큼 지연시키는 전기 신호 지연부를 구비하도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 전기 신호 지연부에 있어서의 상기 지연 시간이 가변이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 각각의 상기 전기 신호 지연부에 있어서의 상기 지연 시간이 각각 다른 것이며, 상기 전기 신호 지연부 중 어느 하나를 선택하여 사용하도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 전기 신호로 변환하는 것이며, 상기 전기 신호에 의거해 상기 입사광 접수부가 상기 입사광을 받고나서 상기 지연 시간만큼 경과한 후, 상기 광신호 부여부에 상기 광신호를 출력시키는 출력 제어부를 구비하도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 광신호 부여부가 상기 입사광을 상기 지연 시간만큼 지연시킨 것을 상기 광신호로 하는 것이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광을 상기 지연 시간만큼 지연시키는 입사광 지연부를 구비하도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광 지연부가 광파이버이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광 지연부가 다중 반사 셀이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사광 지연부가 다중 반사 파이버이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 광신호의 파워를 감쇠시키는 감쇠기를 구비하고, 상기 감쇠기에 있어서의 감쇠의 정도가 가변이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치는 상기 입사 대상의 반사율이 가변이도록 해도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 시험 장치는 제 1, 제 2, 및 제 3 광학 시험용 장치 중 어느 하나와, 상기 광학 측정 기구를 이용한 측정에 관한 시험을 행하는 시험부를 구비하도록 구성된다.
도 1은 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(b))이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태의 제 1 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태의 제 2 변형예에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 4(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 4(b))이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 9는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 10은 본 발명의 제 5 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 11은 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 12는 본 발명의 제 7 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 13은 본 발명의 제 8 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 14는 본 발명의 제 9 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 15는 본 발명의 제 10 실시형태에 따른 반도체 시험 장치(10)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.
제 1 실시형태
도 1은 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(b))이다. 도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 1(a)를 참조하여, 실제의 사용 양태에 있어서, 광학 측정 기구(2)는 광원(2a)(도 2 참조)으로부터의 입사광을 입사 대상(4)에 부여한다. 입사광은 입사 대상(4) 에 의해 반사되어 반사광으로 되고, 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)(도 2 참조)에 의해 취득된다. 광학 측정 기구(2)는, 예를 들면 LiDAR 모듈이고, 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리(D1)를 측정하기 위해 사용된다. 또한, 광학 측정 기구(2)를 LiDAR 모듈로 한 경우, 거리(D1)는 예를 들면, 200m이다.
거리(D1)의 측정을 위한 공정으로서는 (1) 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간을 측정하는 것, (2) (1)에 있어서 측정된 시간에 광속을 곱하여 1/2배하여 거리(D1)를 구하는 것이 고려된다. 단, 본 발명의 실시형태에 있어서는 상기 (1) 및 (2)의 공정은 광학 측정 기구(2)와는 다른 모듈(도 15 참조)에서 행해지는 것으로 한다.
또한, 입사 대상(4)은 일례로서 반사판이다.
도 1(b)을 참조하여, 광학 시험용 장치(1)가 광학 측정 기구(2)를 시험할 때에 사용된다. 시험은, 예를 들면 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 검증을 행하는 것이다.
시험시의 사용 양태에 있어서, 광학 시험용 장치(1)는 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이에 배치되어 있다. 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리(D2)는 거리(D1)보다 매우 작고, 예를 들면 1m이다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)(도 2 참조)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)에 부여되고, 광신호가 입사 대상(4)에 부여된다. 광신호는 입사 대상(4)에 의해 반사되어 반사광신호로 되고, 광학 시험용 장치(1)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)(도 2 참조)에 의해 취득된다.
또한, 광학 시험용 장치(1) 및 광학 측정 기구(2)는 항온조에 넣도록 해도 좋다(다른 실시형태도 마찬가지임).
도 2를 참조하여, 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g)를 구비한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a)는 입사광을 받고, 전기 신호로 변환한다. 광검출기(1a)는, 예를 들면 포토디텍터이다.
가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b)는 광검출기(1a)의 출력한 전기 신호를 소정의 지연 시간만큼 지연시키는 것이다. 단, 지연 시간은 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우(도 1(a) 참조)의 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간(즉, 2×D1/c)와 거의 동등하다. 단, c는 광속이다. 또한, D1이 200m인 경우, 2×D1/c는 약 1332나노초로 된다.
단, 지연 시간은 2×D1/c이어도 좋다(「거의」 동등하게 포함된다). 또한, 지연 시간은 2×(D1-D2)/c이어도 좋다. 지연 시간이 2×(D1-D2)/c이면, 2×D1/c와는 다르지만, D2는 D1보다 매우 작으므로, 지연 시간은 2×D1/c와 「거의」 동등하다.
또한, 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b)에 있어서의 지연 시간은 가변이다. 이것에 의해, 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우의 거리(D1)의 변경에 대응할 수 있다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 가변 지연 소자(1b)의 출력(즉, 광검출기(1a)의 출력한 전기 신호를 소정의 지연 시간만큼 지연시킨 것)을 광신호(예를 들면, 레이저광)로 변환하는 것이다. 단, 레이저 다이오드(1c)와 가변 지연 소자(1b) 사이에 드라이버 회로(도시생략)를 접속하고, 드라이버 회로를 통해 가변 지연 소자(1b)의 출력을 레이저 다이오드(1c)에 부여하도록 해도 좋다. 이 때, 드라이버 회로는 가변 지연 소자(1b)의 출력 전류를 증폭시켜 레이저 다이오드(1c)의 구동에 충분한 크기의 전류로 해서 레이저 다이오드(1c)에 부여한다. 이 경우에도, 레이저 다이오드(1c)가 가변 지연 소자(1b)의 출력을 광신호로 변환하고 있는 것에 변함은 없다(제 2 및 제 3 실시형태도 마찬가지임). 이것에 의해, 레이저 다이오드(1c)는 광검출기(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 입사 대상(4)에 부여할 수 있다. 또한, 광검출기(1a)가 입사광을 받고나서 전기 신호가 가변 지연 소자(1b)에 부여될 때까지의 시간은 거의 O인 것에 유의해야 한다.
렌즈(1d)는 레이저 다이오드(1c)의 출력하는 광신호를 받는 볼록 렌즈이다.
감쇠기(1e)는 렌즈(1d)를 투과한 광신호의 파워를 감쇠시키고, 갈바노 미러(1f)에 부여한다. 이 감쇠의 정도는 가변이다. 광신호의 파워를 감쇠시킴으로써 광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터 출력되는 입사광의 파워가 낮은 경우를 모방한 시험을 행하는 것이 가능해진다.
갈바노 미러(1f)는 감쇠기(1e)의 출력을 받고, 입사 대상(4)의 거의 중앙에 광신호를 부여한다. 광신호는 입사 대상(4)에 의해 반사되어 반사광신호로 된다.
갈바노 미러(1g)는 반사광신호의 광로를 수광부(2b)를 향하는 것으로 바꾸면서 반사광신호를 통과시켜 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여한다.
또한, 갈바노 미러(1f, 1g)를 사용하지 않으므로, 감쇠기(1e)를 직교하는 2축 방향(XY 방향)으로 이동 가능한 스테이지 또는 입사 대상(4)에 대한 각도가 바뀌는 스테이지에 적재시키는 것도 고려된다.
이어서, 제 1 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이에 배치한다(도 1(b) 참조).
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은, 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 가변 지연 소자(1b)에 부여된다. 전기 신호는 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(D1-D2)/c)만큼 지연되어 레이저 다이오드(1c)에 부여된다. 가변 지연 소자(1b)의 출력이 레이저 다이오드(1c)에 의해 광신호로 변환된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 입사 대상(4)의 거의 중앙에 부여된다. 광신호는 입사 대상(4)에 의해 반사되어 반사광신호로 된다.
반사광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 반사광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 1 실시형태에 의하면, 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)에 의해 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간(광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우(도 1(a) 참조)의 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등하다)(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(D1-D2)/c)만큼 경과한 후, 광신호가 입사 대상(4)에 부여된다. 이것에 의해, 광학 측정 기구(2)의 시험시에 광학 측정 기구(2)와 측정 대상(4)의 거리(D2)(도 1(b) 참조)를 광학 측정 기구(2)의 사용이 상정되는 상황 하(거리(D1): 도 1(a) 참조)보다 짧게 할 수 있으므로, 거리(D2)가 길어지는 것의 방지를 도모할 수 있다.
만약, 광학 시험용 장치(1)를 배치하지 않고, 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이를 거리(D2)만큼 떨어져 배치하면, 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간은 2×D2/c(거의 0)로 된다. 따라서, 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리의 측정 결과는 D2로 되어 버린다. 여기에서는, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험이 될 수 없다.
그러나, 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이에 배치하면(도 1(b) 참조), 광학 시험용 장치(1) 내에서 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간만큼 지연이 발생한다. 이것에 의해, 광원(2a)으로부터 입사광이 조사되고나서 광학 측정 기구(2)에 의해 반사광이 취득될 때까지의 시간(Δt)은 2×D1/c와 거의 동등하게 된다. 예를 들면, 지연 시간이 2×D1/c인 경우, Δt=2×D1/c+2×D2/c로 되지만, D2는 D1보다 매우 작으므로, 2×D2/c는 무시할 수 있기 때문에 Δt=2×D1/c로 된다. 또한, 지연 시간이 2×(D1-D2)/c인 경우에는 Δt=2×(DL-D2)/c+2×D2/c=2×D1/c로 된다. 어느 쪽이든, Δt=2×D1/c로부터, 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리의 측정 결과는 D1로 되므로, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행할 수 있다.
또한, 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)에는 이하와 같은 변형예가 고려된다.
제 1 변형예
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태의 제 1 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
본 발명의 제 1 실시형태의 제 1 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)는 제 1 실시형태에 있어서의 가변 지연 소자(1b) 대신에 지연 소자(1b-1, 1b-2)를 구비한다.
지연 소자(1b-1, 1b-2)는 지연 시간이 각각 다른 것이며(단, 지연 시간은 가변이 아닌 일정하다), 이들 중 어느 하나를 선택하여 사용한다. 도 3의 예에서는 지연 소자(1b-1)를 선택하여 사용하고 있다. 도 3의 예에서는 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우의 거리(D1)가 2종류 있는 경우에 대응 가능하다.
또한, 제 1 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)에 있어서, 지연 소자의 개수는 2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 상관없다. 단, 레이저 다이오드(1c)의 입력측에 드라이버 회로(도시생략)를 접속하고, 드라이버 회로를 통해 지연 소자(1b-1) 또는 지연 소자(1b-2)의 출력을 레이저 다이오드(1c)에 부여하도록 해도 좋다. 이 때, 드라이버 회로는 지연 소자(1b-1) 또는 지연 소자(1b-2)의 출력 전류를 증폭시키고, 레이저 다이오드(1c)의 구동에 충분한 크기의 전류로 해서 레이저 다이오드(1c)에 부여한다. 이 장소에서도, 레이저 다이오드(1c)가 지연 소자(1b-1) 또는 지연 소자(Lb-2)의 출력을 광신호로 변환하고 있는 것에 변함은 없다(제 2 및 제 3 실시형태의 변형예도 마찬가지임).
제 2 변형예
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태의 제 2 변형예에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 4(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 4(b))이다.
본 발명의 제 1 실시형태의 제 2 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)는 입사 대상(4)이 평판인 것이 제 1 실시형태와 다르다. 또한, 제 2 변형예에 있어서의 입사 대상(4)은 반사율이 가변이도록 해도 좋다. 예를 들면, 입사 대상(4)에 액정을 이용하여 색을 변경함으로써 반사율이 가변으로 된다.
또한, 이 제 2 변형예와 마찬가지의 변형예가 제 4 및 제 7 실시형태에 있어서도 고려된다.
제 2 실시형태
제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 입사 대상(4) 대신에 커플러(광 진행 방향 변화부)(5)를 사용하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
제 2 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태 및 시험시의 사용 양태는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1 참조, 단, 입사 대상(4) 대신에 커플러(5)를 사용한다). 단, 커플러(5)는 광학 시험용 장치(1)에 포함되는 것으로 한다(도 5참조).
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(광 진행 방향 변화부)(5)를 구비한다. 커플러(5)는 입력단(5a), 분기부(5b), 출력단(5p, 5q)을 갖는다. 이하, 제 1 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a), 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b), 렌즈(1d) 및 감쇠기(1e)는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 제 1 실시형태와 거의 마찬가지이지만, 광 신호를 출력하여 커플러(5)에 부여하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
갈바노 미러(1f)는 제 1 실시형태와 거의 마찬가지이지만, 광신호를 커플러(5)의 입력단(5a)에 부여하는 점이 제 1 실시형태와 다르다. 광신호는 분기부(5b)에 의해 2개 이상의 조사광으로 분기되어 각각 출력단(5p, 5q)으로부터 출력된다. 출력단(5p, 5q)으로부터 출력된 광을 방향 변화 광신호라고 한다. 방향 변화 광신호는 광신호가 커플러(5)에 의해 진행 방향이 변화된 것이며, 커플러(5)에 의해 광학 측정 기구(2)를 향해 조사되는 것이다.
갈바노 미러(1g)는 방향 변화 광신호의 광로를 수광부(2)를 향하는 것으로 변경하면서 방향 변화 광신호를 통과시켜 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여한다.
또한, 갈바노 미러(1g)와 출력단(5p)을 연결하는 선분과, 갈바노 미러(1g)와 출력단(5q)을 연결하는 선분이 거의 동일시할 수 있을 정도로, 갈바노 미러(1g)와 출력단(5p, 5q)의 거리는 길다. 따라서, 출력단(5p)으로부터 출력된 방향 변화 광신호의 광로와, 출력단(5q)으로부터 출력된 방향 변화 광신호의 광로가 갈바노 미러(1g)의 근방에 있어서는 동일시할 수 있다.
이어서, 제 2 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 커플러(5)를 갖는 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 가변 지연 소자(1b)에 부여된다. 전기 신호는 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(DL-D2)/c)만큼 지연되어 레이저 다이오드(1c)에 부여된다. 가변 지연 소자(1b)의 출력이 레이저 다이오드(1c)에 의해 광신호로 변환된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e) 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 커플러(5)의 입력단(5a)에 부여된다. 광신호는 커플러(5)에 의해 진행 방향이 변화하여 방향 변화 광신호로 되고, 출력단(5p, 5q)으로부터 광학 측정 기구(2)를 향해 조사된다.
방향 변화 광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 방향 변화 광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 2 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다. 즉, 광학 측정 기구(2)의 시험시에 광학 측정 기구(2)와 (측정 대상(4)을 대신하는) 커플러(5)의 거리(D2)(도 5 참조: 단, 거리(D2)의 길이는 제 1 실시형태와 마찬가지임)를 광학 측정 기구(2)의 사용이 상정되는 상황 하(거리(D1): 도 1(a) 참조)보다 짧게 할 수 있으므로 거리(D2)가 길어지는 것의 방지를 도모할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)에는 이하와 같은 변형예가 고려된다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
본 발명의 제 2 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)는 제 2 실시형태에 있어서의 가변 지연 소자(1b) 대신에 지연 소자(1b-1, 1b-2)를 구비한다.
지연 소자(1b-1, 1b-2)는 지연 시간이 각각 다른 것이며(단, 지연 시간은 가변이 아닌 일정하다), 이들 중 어느 하나를 선택하여 사용한다. 도 6의 예에서는 지연 소자(1b-1)를 선택하여 사용하고 있다. 도 6의 예에서는 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우의 거리(D1)가 2종류 있는 경우에 대응 가능하다.
또한, 이 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)에 있어서, 지연 소자의 개수는2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 상관없다.
제 3 실시형태
제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 입사 대상(4)을 사용하지 않는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
제 3 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1(a) 참조). 제 3 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태는 광학 측정 기구(2)와 광학 시험용 장치(1)를 사용하지만, 반사 대상(4)도 커플러(5)도 사용하지 않는다(도 7 참조).
도 7은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 7을 참조하여, 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e)를 구비한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a), 가변 지연 소자(전기 신호 지연부)(1b) 및 렌즈(1d)는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 제 1 실시형태와 거의 마찬가지이지만, 광신호를 출력하여 광학 측정 기구(2)에 부여하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
감쇠기(1e)는 제 1 실시형태와 거의 마찬가지이지만, 광신호를 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
이어서, 제 3 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 가변 지연 소자(1b)에 부여된다. 전기 신호는 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간만큼 지연되어 레이저 다이오드(1c)에 부여된다. 가변 지연 소자(1b)의 출력이 레이저 다이오드(1c)에 의해 광신호로 변환된다. 광신호는 렌즈(1d) 및 감쇠기(1e)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 3 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다. 즉, 광학 측정 기구(2)의 시험시에 측정 대상(4)도 (측정 대상(4)를 대신하는) 커플러(5)도 사용하지 않으므로, 광학 측정 기구(2)와 측정 대상(4)(또는 그것을 대신하는 것)의 거리(D2)는 존재하지 않고, 거리(D2)가 길어지는 것의 방지를 도모할 수 있다.
또한, 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)에는 이하와 같은 변형예가 고려된다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
본 발명의 제 3 실시형태의 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)는 제 3 실시형태에 있어서의 가변 지연 소자(1b) 대신에 지연 소자(1b-1, 1b-2)를 구비한다.
지연 소자(1b-1, 1b-2)는 지연 시간이 각각 다른 것이며(단, 지연 시간은 가변이 아닌 일정하다), 이들 중 어느 하나를 선택하여 사용한다. 도 8의 예에서는 지연 소자(1b-1)를 선택하여 사용하고 있다. 도 8의 예에서는 광학 측정 기구(2)를 실제로 사용하는 경우의 거리(D1)가 2종류 있는 경우에 대응 가능하다.
또한, 이 변형예에 따른 광학 시험용 장치(1)에 있어서, 지연 소자의 개수는2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 상관없다.
제 4 실시형태
제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 IC(1i)를 사용하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
제 4 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태 및 시험시의 사용 양태는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1 참조).
도 9는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(1h), IC(1i), 드라이버 회로(1j)를 구비한다. 이하, 제 1 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g)는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
커플러(1h)는 광검출기(1a)의 출력한 전기 신호를 2개의 신호로 분기시키고, IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여한다.
IC(1i)는 집적 회로(Integrated Circuit)이며, 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)를 갖는다.
파워 검출부(1i-1)는 전기 신호를 받고, 입사광의 파워가 소정의 범위 내인지의 여부를 판정한다. 파워 검출부(1i-1)는 입사광의 파워가 소정의 범위 내이면 출력 제어부(1i-2)를 작동시킨다. 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호를 받고, 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 경과한 후, 드라이버 회로(1j)를 작동시킨다.
드라이버 회로(1j)는 레이저 다이오드(1c)를 작동시킨다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 광신호(예를 들면, 레이저광)를 출력한다.
또한, 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 출력 제어부(1i-2)가 작동할 때까지의 시간도, 드라이버 회로(1j)가 작동하고나서 레이저 다이오드(1c)가 광신호를 출력할 때까지의 시간도 거의 0이다. 따라서, 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호에 의거해 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)에 광신호를 출력시키게 된다.
이어서, 제 4 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이에 배치한다(도 1(b) 참조).
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 커플러(1h)를 통해 IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여된다.
파워 검출부(1i-1)가 전기 신호를 받아 출력 제어부(1i-2)를 작동시키면, 출력 제어부(1i-2)가 전기 신호를 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(DL-D2)/c)만큼 지연시키고, 드라이버 회로(1j)에 부여한다. 드라이버 회로(1j)가 레이저 다이오드(1c)를 작동시키면, 레이저 다이오드(1c)로부터 광신호가 출력된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 입사 대상(4)의 거의 중앙에 부여된다. 광신호는 입사 대상(4)에 의해 반사되어 반사광신호로 된다.
반사광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 반사광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 4 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
제 5 실시형태
제 5 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 IC(1i)를 사용하는 점이 제 2 실시형태와 다르다.
제 5 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태 및 시험시의 사용 양태는 제 2 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1 참조, 단 입사 대상(4) 대신에 커플러(5)를 사용한다). 단, 커플러(5)는 광학 시험용 장치(1) 에 포함되는 것으로 한다(도 10 참조).
도 10은 본 발명의 제 5 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 5 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(1h), IC(1i), 드라이버 회로(1j), 커플러(광 진행 방향 변화부)(5)를 구비한다. 커플러(5)는 입력단(5a), 분기부(5b), 출력단(5p, 5q)을 갖는다. 이하, 제 2 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(5)는 제 2 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
커플러(1h)는 광검출기(1a)의 출력한 전기 신호를 2개의 신호로 분기시키고, IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여한다.
IC(1i)는 집적 회로(Integrated Circuit)이며, 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)를 갖는다.
파워 검출부(1i-1)는 전기 신호를 받아 입사광의 파워가 소정의 범위 내인지의 여부를 판정한다. 파워 검출부(1i-1)는 입사광의 파워가 소정의 범위 내이면, 출력 제어부(1i-2)를 작동시킨다. 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호를 받고, 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 경과한 후, 드라이버 회로(1j)를 작동시킨다.
드라이버 회로(1j)는 레이저 다이오드(1c)를 작동시킨다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 광신호(예를 들면, 레이저광)를 출력한다.
또한, 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 출력 제어부(1 i-2)가 작동할 때까지의 시간도, 드라이버 회로(1j)가 작동하고나서 레이저 다이오드(1c)가 광신호를 출력할 때까지의 시간도 거의 0이다. 따라서, 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호에 의거해 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)에 광신호를 출력시키게 된다.
이어서, 제 5 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 커플러(5)를 갖는 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 커플러(1h)를 통해 IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여된다.
파워 검출부(1i-1)가 전기 신호를 받아 출력 제어부(1i-2)를 작동시키면, 출력 제어부(1i-2)가 전기 신호를 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(DL-D2)/c)만큼 지연시키고, 드라이버 회로(1j)에 부여한다. 드라이버 회로(1j)가 레이저 다이오드(1c)를 작동시키면, 레이저 다이오드(1c)로부터 광신호가 출력된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 커플러(5)의 입력단(5a)에 부여된다. 광신호는 커플러(5)에 의해 진행 방향이 변화하여 방향 변화 광신호로 되어 출력단(5p, 5q)으로부터 광학 측정 기구(2)를 향해 조사된다.
방향 변화 광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 방향 변화 광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 5 실시형태에 의하면, 제 2 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
제 6 실시형태
제 6 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 IC(1i)를 사용하는 점이 제 3 실시형태와 다르다.
제 6 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1(a) 참조). 제 6 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태는 광학 측정 기구(2)와 광학 시험용 장치(1)를 사용하지만, 반사 대상(4)도 커플러(5)도 사용하지 않는다(도 11 참조).
도 11은 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 6 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(입사광 수리부)(1a), 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 커플러(1h), IC(1i), 드라이버 회로(1j)를 구비한다. 이하, 제 3 실시형태와 마찬가지의 부분은 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
광검출기(입사광 수리부)(1a), 렌즈(1d), 감쇠기(1e)는 제 3 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
커플러(1h)는 광검출기(1a)의 출력한 전기 신호를 2개의 신호로 분기시키고, IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여한다.
IC(1i)는 집적 회로(Integrated Circuit)이며, 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)를 갖는다.
파워 검출부(1i-1)는 전기 신호를 받아 입사광의 파워가 소정의 범위 내인지의 여부를 판정한다. 파워 검출부(1i-1)는 입사광의 파워가 소정의 범위 내이면, 출력 제어부(1i-2)를 작동시킨다. 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호를 받아 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 경과한 후, 드라이버 회로(1j)를 작동시킨다.
드라이버 회로(1j)는 레이저 다이오드(1c)를 작동시킨다.
레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)는 광신호(예를 들면, 레이저광)를 출력한다.
또한, 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 출력 제어부(1i-2)가 작동할 때까지의 시간도, 드라이버 회로(1j)가 작동하고나서 레이저 다이오드(1c)가 광신호를 출력할 때까지의 시간도 거의 0이다. 따라서, 출력 제어부(1i-2)는 전기 신호에 의거해 광검출기(입사광 수리부)(1a)가 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 레이저 다이오드(광신호 부여부)(1c)에 광신호를 출력시키게 된다.
이어서, 제 6 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광검출기(1a)에 부여된다. 입사광은 광검출기(1a)에 의해 전기 신호로 변환되고, 커플러(1h)를 통해 IC(1i)의 파워 검출부(1i-1) 및 출력 제어부(1i-2)에 부여된다.
파워 검출부(1i-1)가 전기 신호를 받아 출력 제어부(1i-2)를 작동시키면, 출력 제어부(1i-2)가 전기 신호를 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간만큼 지연시키고, 드라이버 회로(1j)에 부여한다. 드라이버 회로(1j)가 레이저 다이오드(1c)를 작동시키면, 레이저 다이오드(1c)로부터 광신호가 출력된다. 광신호는 렌즈(1d) 및 감쇠기(1e)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 6 실시형태에 의하면, 제 3 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
제 7 실시형태
제 7 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(1a), 가변 지연 소자(1b) 및 레이저 다이오드(1c) 대신에 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)를 사용하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
제 7 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태 및 시험시의 사용 양태는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1 참조).
도 12는 본 발명의 제 7 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 7 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g)를 구비한다. 이하, 제 1 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g)는 제 1 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)는 입사광을 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 지연시킨 것을 광신호로 한다. 또한, 광파이버(1k)에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (광파이버(1k)의 굴절률)×(광파이버(1k)의 길이)/c이다. 거리(D1)가 200m인 경우, 광파이버(1k)의 길이는 약 270m로 되고, 직경 10cm 정도의 보빈의 광파이버에 의해 실현 가능해진다.
이어서, 제 7 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이에 배치한다(도 1(b) 참조).
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광파이버(1k)에 부여된다. 입사광은 광파이버(1k)에 의해, 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(D1-D2)/c)만큼 지연되어 광신호로 된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e) 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 입사 대상(4)의 거의 중앙에 부여된다. 광신호는 입사 대상(4)에 의해 반사되어 반사광신호로 된다.
반사광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 반사광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 7 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
또한, 제 7 실시형태에 있어서는 광파이버(1k)를 이용하는 취지를 설명했지만, 광파이버(1k) 대신에 다중 반사 셀 또는 다중 반사 파이버를 사용해도 좋다.
다중 반사 셀은 헤리옷 셀이라고도 하며, 대향한 요면경을 다중 반사하여 출력하는 셀이다. 다중 반사 셀에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (다중 반사 셀에 있어서의 다중 반사의 횟수)×(다중 반사 셀에 있어서의 대향한 요면경의 간격)/c이다.
다중 반사 파이버는 광파이버의 양단에 반사재를 코팅한 것이다. 단, 반사재는 전반사하는 것은 아니다. 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T1)은 2×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다. 다중 반사 파이버의 입력단에 광펄스를 부여하면, 이 지연 시간(T1) 간격의 광펄스가 다중 반사 파이버의 출력단으로부터 출력된다.
또한, 다중 반사 파이버의 출력단을 전반사재 또는 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분 중 어느 하나에 접속하는 광스위치를 설치해도 좋다. 광스위치는 다중 반사 파이버의 입력단과 전반사재 사이를 광이 소정 횟수(m회) 왕복할 때까지는 출력단을 전반사재에 접속하고, 그 후 출력단을 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분에 접속한다. 이 경우, 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T2)은 2×m×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다.
제 8 실시형태
제 8 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(1a), 가변 지연 소자(1b) 및 레이저 다이오드(1c) 대신에 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)를 사용하는 점이 제 2 실시형태와 다르다.
제 8 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태 및 시험시의 사용 양태는 제 2 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다(도 1 참조, 단, 입사 대상(4) 대신에 커플러(5)를 사용한다). 단, 커플러(5)는 광학 시험용 장치(1) 에 포함되는 것으로 한다(도 13 참조).
도 13은 본 발명의 제 8 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 8 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k), 렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(광 진행 방향 변화부)(5)를 구비한다. 커플러(5)는 입력단(5a), 분기부(5b), 출력단(5p, 5q)을 갖는다. 이하, 제 2 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
렌즈(1d), 감쇠기(1e), 갈바노 미러(1f, 1g), 커플러(5)는 제 2 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)는 입사광을 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 지연시킨 것을 광신호로 한다. 또한, 광파이버(1k)에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (광파이버(1k)의 굴절률)×(광파이버(1k)의 길이)/c이다. 거리(D1)가 200m인 경우, 광파이버(1k)의 길이는 약 270m로 되고, 직경 10cm 정도의 보빈의 광파이버에 의해 실현 가능해진다.
이어서, 제 8 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 커플러(5)를 갖는 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광파이버(1k)에 부여된다. 입사광은 광파이버(1k)에 의해 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×DL/c 또는 2×(D1-D2)/c)만큼 지연되어 광신호로 된다. 광신호는 렌즈(1d), 감쇠기(1e) 및 갈바노 미러(1f)를 통과하여 커플러(5)의 입력단(5a)에 부여된다. 광신호는 커플러(5)에 의해 진행 방향이 변화하여 방향 변화 광신호로 되고, 출력단(5p, 5q)으로부터 광학 측정 기구(2)를 향해 조사된다.
방향 변화 광신호의 광로는 갈바노 미러(1g)에 의해 수광부(2b)를 향하는 것으로 바뀐다. 방향 변화 광신호는 갈바노 미러(1g)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 8 실시형태에 의하면, 제 2 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
또한, 제 8 실시형태에 있어서는 광파이버(1k)를 이용하는 취지를 설명했지만, 광파이버(1k) 대신에 다중 반사 셀 또는 다중 반사 파이버를 사용해도 좋다.
다중 반사 셀은 헤리옷 셀이라고도 하며, 대향한 요면경을 다중 반사 하여 출력하는 셀이다. 다중 반사 셀에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (다중 반사 셀에 있어서의 다중 반사의 횟수)×(다중 반사 셀에 있어서의 대향한 요면경의 간격)/c이다.
다중 반사 파이버는 광파이버의 양단에 반사재를 코팅한 것이다. 단, 반사재는 전반사하는 것은 아니다. 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T1)은 2×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다. 다중 반사 파이버의 입력단에 광펄스를 부여하면, 이 지연 시간(T1) 간격의 광펄스가 다중 반사 파이버의 출력단으로부터 출력된다.
또한, 다중 반사 파이버의 출력단을 전반사재 또는 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분 중 어느 하나에 접속하는 광 스위치를 설치해도 좋다. 광 스위치는 다중 반사 파이버의 입력단과 전반사재 사이를 광이 소정 횟수(m회) 왕복할 때까지는출력단을 전반사재에 접속하고, 그 후 출력단을 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분에 접속한다. 이 경우, 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T2)은 2×m×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다.
제 9 실시형태
제 9 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광검출기(1a), 가변 지연 소자(1b) 및 레이저 다이오드(1c) 대신에 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)를 사용하는 점이 제 3 실시형태와 다르다.
제 9 실시형태에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태는 제 3 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
도 14는 본 발명의 제 9 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 제 9 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k), 렌즈(1d), 감쇠기(1e)를 구비한다. 이하, 제 3 실시형태와 마찬가지인 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
렌즈(1d), 감쇠기(1e)는 제 3 실시형태와 마찬가지이며, 설명을 생략한다.
광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)(1k)는 입사광을 소정의 지연 시간(제 1 실시형태와 마찬가지임)만큼 지연시킨 것을 광신호로 한다. 또한, 광파이버(1k)에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (광파이버(1k)의 굴절률)×(광파이버(1k)의 길이)/c이다. 거리(D1)가 200m인 경우, 광파이버(1k)의 길이는 약 270m 로 되고, 직경 10cm 정도의 보빈의 광파이버에 의해 실현 가능해진다.
이어서, 제 9 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 측정 기구(2)가 거리(D1)를 정확하게 측정할 수 있는지의 여부의 시험을 행하기 위해 광학 시험용 장치(1)를 광학 측정 기구(2) 앞에 배치한다.
광학 측정 기구(2)의 광원(2a)으로부터의 입사광은 광학 시험용 장치(1)의 광파이버(1k)에 부여된다. 입사광은 광파이버(1k)에 의해, 2×D1/c와 거의 동등한 지연 시간(예를 들면, 2×D1/c 또는 2×(D1-D2)/c)만큼 지연되어 광신호로 된다. 광신호는 렌즈(1d) 및 감쇠기(1e)를 통과하여 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다.
제 9 실시형태에 의하면, 제 3 실시형태와 마찬가지의 효과를 나타낸다.
또한, 제 9 실시형태에 있어서는 광파이버(1k)를 이용하는 취지를 설명했지만, 광파이버(1k) 대신에 다중 반사 셀 또는 다중 반사 파이버를 사용해도 좋다.
다중 반사 셀은 헤리옷 셀이라고도 하며, 대향한 요면경을 다중 반사하여 출력하는 셀이다. 다중 반사 셀에 의해 실현할 수 있는 지연 시간은 (다중 반사 셀에 있어서의 다중 반사의 횟수)×(다중 반사 셀에 있어서의 대향한 요면경의 간격)/c이다.
다중 반사 파이버는 광파이버의 양단에 반사재를 코팅한 것이다. 단, 반사재는 전반사하는 것은 아니다. 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T1)은 2×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다. 다중 반사 파이버의 입력단에 광펄스를 부여하면, 이 지연 시간(T1) 간격의 광펄스가 다중 반사 파이버의 출력단으로부터 출력된다.
또한, 다중 반사 파이버의 출력단을 전반사재 또는 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분 중 어느 하나에 접속하는 광스위치를 설치해도 좋다. 광스위치는 다중 반사 파이버의 입력단과 전반사재 사이를 광이 소정 횟수(m회) 왕복할 때까지는 출력단을 전반사재에 접속하고, 그 후 출력단을 렌즈(1d)로 광신호를 출력하는 부분에 접속한다. 이 경우, 다중 반사 파이버에 의해 실현할 수 있는 지연 시간(T2)은 2×m×(다중 반사 파이버의 굴절률)×(다중 반사 파이버의 길이)/c이다.
제 10 실시형태
도 15는 본 발명의 제 10 실시형태에 따른 반도체 시험 장치(10)의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
제 10 실시형태에 따른 반도체 시험 장치(광학 시험용 장치)(10)는 광학 시험용 장치(1) 및 시험부(8)를 구비한다.
광학 시험용 장치(1)는 상기 실시형태(제 1 실시형태로부터 제 9 실시형태까지) 중 어느 하나와 마찬가지이므로, 설명을 생략한다. 또한, 도 15에 있어서는 입사 대상(4)이 도시되어 있지만(제 1, 제 4, 제 7 실시형태를 참조), 입사 대상(4) 대신에 커플러(5)를 이용해도 좋고(제 2, 제 5, 제 8 실시형태를 참조), 처음에 입사 대상(4)을 사용하지 않아도 상관없다(제 3, 제 6, 제 9 실시형태를 참조).
측정 모듈(6)은 광학 측정 기구(2)를 이용하여 측정을 행한다. 측정 모듈(6)은 광학 측정 기구(2)에 입사광을 조사하는 지시를 행하고, 반사광신호를 수신한다. 측정 모듈(6)은 제 1 실시형태에 있어서 설명한 바와 같이, 실제의 사용 양태(도 1(a) 참조)에 있어서는 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리(D1)의 측정을 행한다. 이외에도, 측정 모듈(6)은 입사광과 반사광신호의 응답 속도를 측정한다.
시험부(8)는 광학 측정 기구(2)를 이용한 측정 모듈(6)에 의한 측정에 관한 시험을 행한다. 예를 들면, 시험부(8)는 입사광과 반사광의 응답 속도의 측정에 관한 시험 및 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리(D1)의 측정의 정밀도에 관한 시험을 행한다. 또한, 이 외에도, 시험부(8)는 제어 패스, 전원 등의 기능을 확인하는 기능 확인 시험, 특정 파장의 검출 효율이 규정 범위 내인지의 여부를 판단하는 검출 효율 시험을 행한다. 또한, 시험부(8)는 광학 측정 기구(2)의 입사광 ON/OFF, 입사광의 파워 및 사출 각도 등의 제어와, 광학 시험용 장치(1)의 지연 시간의 설정이나 광파워의 감쇠를 위한 감쇠기(1e)를 포함하는 광학계의 제어 및 입사 대상(4)의 반사율의 제어를 행한다.
2 : 광학 측정 기구 2a : 광원
2b : 수광부 4 : 입사 대상
5 : 커플러(광 진행 방향 변화부) 5a : 입력단
5b : 분기부 5p, 5q : 출력단
1 : 광학 시험용 장치 1a : 광검출기(입사광 수리부)
1b : 가변 지연 소자(전기 신호 지연부) 1b-1, 1b-2 : 지연 소자
1c : 레이저 다이오드(광신호 부여부) 1d : 렌즈
1e : 감쇠기 1f, 1g : 갈바노 미러
1h : 커플러 1i : IC
1i-1 : 파워 검출부 1i-2 : 출력 제어부
1j : 드라이버 회로
1k : 광파이버(광신호 부여부 또한 입사광 지연부)
6 : 측정 모듈 8 : 시험부
10 : 반도체 시험 장치

Claims (17)

  1. 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서,
    입사광을 받는 입사광 수리부와,
    상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 입사 대상에 부여하는 광신호 부여부를 구비하고,
    상기 광신호가 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광신호가, 상기 광학 측정 기구에 부여되고,
    상기 지연 시간이,
    상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입 사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등한 광학 시험용 장치.
  2. 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서,
    상기 입사광을 받는 입사광 수리부와,
    상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 출력하는 광신호 부여부와,
    상기 광신호를 상기 광학 측정 기구를 향해 조사하는 광 진행 방향 변화부를 구비하고,
    상기 광신호가 상기 광 진행 방향 변화부에 의해 진행 방향이 변화된 방향 변화 광신호가, 상기 광학 측정 기구에 부여되고,
    상기 지연 시간이,
    상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등한 광학 시험용 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광 진행 방향 변화부가 상기 광신호를 2개 이상의 조사광으로 분기시키는 광학 시험용 장치.
  4. 광원으로부터의 입사광을 입사 대상에 부여하고, 상기 입사광이 상기 입사 대상에 의해 반사된 반사광을 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서,
    상기 입사광을 받는 입사광 수리부와,
    상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 소정의 지연 시간만큼 경과한 후, 광신호를 상기 광학 측정 기구에 부여하는 광신호 부여부를 구비하고,
    상기 지연 시간이,
    상기 광학 측정 기구를 실제로 사용하는 경우의 상기 광원으로부터 상기 입사광이 조사되고나서 상기 광학 측정 기구에 의해 상기 반사광이 취득될 때까지의 시간과 거의 동등한 광학 시험용 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 전기 신호로 변환하는 것이며,
    상기 광신호 부여부가 상기 전기 신호를 상기 지연 시간만큼 지연시킨 것을 상기 광신호로 변환하는 것인 광학 시험용 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 전기 신호를 상기 지연 시간만큼 지연시키는 전기 신호 지연부를 구비한 광학 시험용 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 전기 신호 지연부에 있어서의 상기 지연 시간이 가변인 광학 시험용 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    각각의 상기 전기 신호 지연부에 있어서의 상기 지연 시간이 각각 다른 것이며,
    상기 전기 신호 지연부 중 어느 하나를 선택하여 사용하는 광학 시험용 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 전기 신호로 변환하는 것이며,
    상기 전기 신호에 의거해 상기 입사광 수리부가 상기 입사광을 받고나서 상기 지연 시간만큼 경과한 후, 상기 광신호 부여부에 상기 광신호를 출력시키는 출력 제어부를 구비한 광학 시험용 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광신호 부여부가 상기 입사광을 상기 지연 시간만큼 지연시킨 것을 상기 광신호로 하는 것인 광학 시험용 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 입사광을 상기 지연 시간만큼 지연시키는 입사광 지연부를 구비한 광학 시험용 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 입사광 지연부가 광파이버인 광학 시험용 장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 입사광 지연부가 다중 반사 셀인 광학 시험용 장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 입사광 지연부가 다중 반사 파이버인 광학 시험용 장치.
  15. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광신호의 파워를 감쇠시키는 감쇠기를 구비하고,
    상기 감쇠기에 있어서의 감쇠의 정도가 가변인 광학 시험용 장치.
  16. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입사 대상의 반사율이 가변인 광학 시험용 장치.
  17. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 시험용 장치와,
    상기 광학 측정 기구를 이용한 측정에 관한 시험을 행하는 시험부를 구비한 반도체 시험 장치.
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