JP7348099B2 - 光学試験用装置 - Google Patents

Description

本発明は、反射光を取得する器具の試験に関する。

従来より、入射光を距離測定の対象に与えて、反射光を取得する距離測定器具が知られている。この距離測定器具と、距離測定の対象との距離が測定される（例えば、特許文献１、２および３を参照）。

特開２０１７－１５７２９号公報 特開２００６－１２６１６８号公報 特開２０００－２７５３４０号公報

上記の従来技術のような距離測定器具を試験するためには、距離測定器具と、距離測定の対象とを、測定することが想定される距離だけ離して試験を行う。例えば、距離測定器具として、自動車に搭載したＬｉＤＡＲモジュールを想定した場合、測定することが想定される距離（以下、「想定距離」ということがある）は、おおむね２００ｍとなる。

しかしながら、上記のような試験によれば、距離測定器具と距離測定の対象とを、想定距離だけ実際に離さなければならないという不都合が生じる。例えば、試験のために広大な敷地（例えば、２００ｍ×２００ｍの正方形の敷地）が必要になってしまう。

そこで、本発明は、反射光を取得する器具の試験の際に、この器具と測定対象（または、測定対象に代わるもの）との距離が長くなることの防止を課題とする。

本発明にかかる第一の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える光信号付与部と、前記入射光を撮像する撮像部と、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部とを備え、前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられ、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。

上記のように構成された第一の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える。撮像部が、前記入射光を撮像する。光軸ずれ導出部が、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する。前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられる。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。

本発明にかかる第二の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、前記入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を出力する光信号付与部と、前記光信号を前記光学測定器具に向けて照射する光進行方向変化部と、前記入射光を撮像する撮像部と、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部とを備え、前記光信号が前記光進行方向変化部により進行方向が変化した方向変化光信号が、前記光学測定器具に与えられ、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。

上記のように構成された第二の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、前記入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を出力する。光進行方向変化部が、前記光信号を前記光学測定器具に向けて照射する。撮像部が、前記入射光を撮像する。光軸ずれ導出部が、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する。前記光信号が前記光進行方向変化部により進行方向が変化した方向変化光信号が、前記光学測定器具に与えられる。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。

なお、本発明にかかる第二の光学試験用装置は、前記光進行方向変化部が、前記光信号を、二つ以上の照射光に分岐させるようにしてもよい。

本発明にかかる第三の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、前記入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える光信号付与部と、前記入射光を撮像する撮像部と、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部とを備え、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。

上記のように構成された第三の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、前記入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える。撮像部が、前記入射光を撮像する。光軸ずれ導出部が、前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、前記光信号付与部が、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号に変換するものであるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させる電気信号遅延部を備えるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記電気信号遅延部における前記遅延時間が可変であるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、各々の前記電気信号遅延部における前記遅延時間が、それぞれ異なるものであり、前記電気信号遅延部のうち、いずれか一つを選択して使用するようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、前記電気信号に基づき、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから前記遅延時間だけ経過した後、前記光信号付与部に前記光信号を出力させる出力制御部を備えるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記光信号付与部が、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号とするものであるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記光信号のパワーを減衰させる減衰器を備え、前記減衰器における減衰の程度が可変であるようにしてもよい。

本発明にかかる第四の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、前記入射光を撮像する撮像部と、前記入射対象と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射対象に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部とを備えるように構成される。

上記のように構成された第四の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。撮像部が、前記入射光を撮像する。光軸ずれ導出部が、前記入射対象と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射対象に対する前記入射光の光軸のずれを導出する。

なお、本発明にかかる第一、第二、第三および第四の光学試験用装置は、前記光学測定器具を移動させる器具移動部に、前記光軸のずれが与えられ、前記器具移動部が、前記入射光の光軸のずれを解消するように、前記光学測定器具を移動させるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二、第三および第四の光学試験用装置は、前記器具移動部が、前記入射光の光軸と直交する平面内で、前記光学測定器具を移動させるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二、第三および第四の光学試験用装置は、前記器具移動部が、前記入射光の光軸と直交する回転軸を中心として、前記光学測定器具を回転移動させるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二、第三および第四の光学試験用装置は、前記器具移動部による前記光学測定器具の移動の前に、前記光学測定器具が手動により移動されるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる第一、第二、第三および第四の光学試験用装置は、前記入射対象の反射率が可変であるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる半導体試験装置は、第一、第二、第三および第四の光学試験用装置のいずれかと、前記光学測定器具を用いた測定に関する試験を行う試験部とを備えるように構成される。

光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図１（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図１（ｂ））である。 本発明の第一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第一の実施形態の第二変形例にかかる光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図４（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図４（ｂ））である。 本発明の第二の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第三の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第四の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第五の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第六の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第七の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第八の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第九の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第十の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。 撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとの配置の一例を示す図である。 入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っている場合の撮像部１０２の撮像結果Ｉｍ（図１７（ａ））、入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っていない場合の撮像部１０２の撮像結果Ｉｍ（図１７（ｂ））を示す図である。 撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとの配置のさらなる一例を示す図である。 撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとがθ方向にずれている場合の配置の例および光軸の合わせ方を示す図である。 光軸の合わせ方の手順を示すフローチャートである。 光検出器１ａと入射光の光軸とのずれを解消するための手順を示すフローチャートである。 本発明の第十一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第十二の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。

第一の実施形態
図１は、光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図１（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図１（ｂ））である。図２は、本発明の第一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。

図１（ａ）を参照して、実際の使用態様において、光学測定器具２は、光源２ａ（図２参照）からの入射光を入射対象４に与える。入射光は入射対象４により反射されて反射光となり、光学測定器具２の受光部２ｂ（図２参照）により取得される。光学測定器具２は、例えば、ＬｉＤＡＲモジュールであり、光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１を測定するために使用される。なお、光学測定器具２をＬｉＤＡＲモジュールとした場合、距離Ｄ１は例えば２００ｍである。

距離Ｄ１の測定のための工程としては、（１）光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間を測定すること、（２）（１）において測定された時間に光速を乗じて１／２倍して距離Ｄ１を求めること、が考えられる。ただし、本発明の実施形態においては、上記（１）および（２）の工程は、光学測定器具２とは別のモジュール（図１５参照）で行われるものとする。

なお、入射対象４は、一例として、反射板である。

図１（ｂ）を参照して、光学試験用装置１が、光学測定器具２を試験する際に使用される。試験は、例えば、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できるか否かの検証を行うものである。

試験の際の使用態様において、光学試験用装置１は、光学測定器具２と入射対象４との間に配置されている。光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ２は、距離Ｄ１よりも極めて小さく、例えば１ｍである。

光学測定器具２の光源２ａ（図２参照）からの入射光は光学試験用装置１に与えられ、光信号が入射対象４に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となり、光学試験用装置１を通過して、光学測定器具２の受光部２ｂ（図２参照）により取得される。

なお、光学試験用装置１および光学測定器具２は恒温槽に入れるようにしてもよい（他の実施形態も同様）。

また、器具移動部３（図２参照）は、光学測定器具２を移動させるものであり（例えば、モータ）、光学試験用装置１とも光学測定器具２とも別体であり、図１においては、図示省略する。ただし、器具移動部３は光学試験用装置１の一部であってもよいし、器具移動部３は光学測定器具２の一部であってもよい。また、器具移動部３は、他の実施形態においても同様である。

図２を参照して、第一の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。

光検出器（入射光受理部）１ａは、入射光を受け、電気信号に変換する。光検出器１ａは、例えば、フォトディテクタである。

可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂは、光検出器１ａの出力した電気信号を、所定の遅延時間だけ遅延させるものである。ただし、遅延時間は、光学測定器具２を実際に使用する場合（図１（ａ）参照）の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間（すなわち、２×Ｄ１／ｃ）にほぼ等しい。ただし、ｃは光速である。なお、Ｄ１が２００ｍの場合、２×Ｄ１／ｃはおよそ１３３２ナノ秒となる。

ただし、遅延時間は、２×Ｄ１／ｃであってもよい（「ほぼ」等しいに含まれる）。また、遅延時間は、２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃであってもよい。遅延時間が、２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃであれば、２×Ｄ１／ｃとは異なるが、Ｄ２はＤ１よりも極めて小さいので、遅延時間は２×Ｄ１／ｃと「ほぼ」等しい。

なお、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂにおける遅延時間は可変である。これにより、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１の変更に対応できる。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、可変遅延素子１ｂの出力（すなわち、光検出器１ａの出力した電気信号を、所定の遅延時間だけ遅延させたもの）を光信号（例えば、レーザ光）に変換するものである。ただし、レーザーダイオード１ｃと可変遅延素子１ｂとの間にドライバ回路（図示省略）を接続し、ドライバ回路を介して、可変遅延素子１ｂの出力をレーザーダイオード１ｃに与えるようにしてもよい。この際、ドライバ回路は、可変遅延素子１ｂの出力電流を増幅させて、レーザーダイオード１ｃの駆動に充分な大きさの電流として、レーザーダイオード１ｃに与える。この場合でも、レーザーダイオード１ｃが、可変遅延素子１ｂの出力を光信号に変換していることに変わりはない（第二および第三の実施形態も同様）。これにより、レーザーダイオード１ｃは、光検出器１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象４に与えることができる。なお、光検出器１ａが入射光を受けてから、電気信号が可変遅延素子１ｂに与えられるまでの時間は、ほぼ０であることに留意されたい。

レンズ１ｄは、レーザーダイオード１ｃの出力する光信号を受ける凸レンズである。

減衰器１ｅは、レンズ１ｄを透過した光信号のパワーを減衰させて、ガルバノミラー１ｆに与える。この減衰の程度は可変である。光信号のパワーを減衰させることで、光学測定器具２の光源２ａから出力される入射光のパワーが低い場合を模した試験を行うことが可能となる。

ガルバノミラー１ｆは、減衰器１ｅの出力を受け、入射対象４のほぼ中央に、光信号を与える。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。

ガルバノミラー１ｇは、反射光信号の光路を受光部２ｂに向かうものに変えながら、反射光信号を通過させ、光学測定器具２の受光部２ｂに与える。

なお、ガルバノミラー１ｆ、１ｇを使用しないで、減衰器１ｅを、直交する２軸方向（ＸＹ方向）に移動可能なステージまたは入射対象４に対する角度が変えられるステージに載せることも考えられる。

撮像部１０２は、入射光を撮像する。光軸ずれ導出部１０４は、光検出器（入射光受理部）１ａと撮像部１０２とのずれ及び撮像部１０２による撮像結果に基づき、光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを導出する。

図１６は、撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとの配置の一例を示す図である。受光面１０２Ａの図心である中心１０２ｃと、受光面１ａＡの図心である中心１ａｃとの距離Ｙ０が、光検出器１ａと撮像部１０２とのずれである。なお、受光面１０２Ａおよび受光面１ａＡは、光学試験用装置１の面１Ａに配置されている。受光面１０２Ａおよび受光面１ａＡは長方形である。

なお、図１６において、紙面に垂直な方向が、入射光の光軸の方向であり、入射光の光軸の方向と直交するようにＸ軸（横方向）およびＹ軸（縦方向）をとる。光検出器１ａと撮像部１０２とは、Ｙ軸方向にＹ０ずれている。

図１７は、入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っている場合の撮像部１０２の撮像結果Ｉｍ（図１７（ａ））、入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っていない場合の撮像部１０２の撮像結果Ｉｍ（図１７（ｂ））を示す図である。

図１７（ａ）を参照して、入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っている場合、撮像部１０２の撮像結果Ｉｍは、中心１０２ｃからＹ軸方向にＹ０ずれている。この場合、光検出器１ａと撮像部１０２とのずれは、Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向にも０（＝Ｙ０－Ｙ０）となる。

図１７（ｂ）を参照して、入射光の光軸が光検出器１ａの中心１ａｃに合っていない場合、撮像部１０２の撮像結果Ｉｍは、例えば、中心１０２ｃからＸ軸方向にＸ１、Ｙ軸方向にＹ１ずれている。この場合、光検出器１ａと撮像部１０２とのずれは、Ｘ軸方向にＸ１およびＹ軸方向にＹ１－Ｙ０となる。

このように、光軸ずれ導出部１０４は、光検出器１ａと撮像部１０２とのずれＹ０及び撮像部１０２による撮像結果Ｉｍに基づき、光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを導出する。

光軸ずれ導出部１０４から、光学測定器具２を移動させる器具移動部３に、光軸のずれが与えられる。

器具移動部３は、入射光の光軸のずれを解消するように、光学測定器具２を移動させる。例えば、図１６に示すように、受光面１０２Ａと受光面１ａＡとがずれている場合は、器具移動部３が、入射光の光軸と直交するＸＹ平面（図１６参照）内で、光学測定器具２を移動させる。

なお、図１６においては、受光面１０２Ａと受光面１ａＡとがＹ軸方向（縦方向）にずれているが、Ｘ軸方向（横方向）にずれていてもよい。図１８は、撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとの配置のさらなる一例を示す図である。図１８においては、光検出器１ａと撮像部１０２とは、Ｘ軸方向にＸ０ずれている。

また、受光面１０２Ａと受光面１ａＡとがθ方向（入射光の光軸と直交する回転軸Ｒ回りに回転する方向）ずれていてもよい。

図１９は、撮像部１０２の受光面１０２Ａと、光検出器１ａの受光面１ａＡとがθ方向にずれている場合の配置の例および光軸の合わせ方を示す図である。図２０は、光軸の合わせ方の手順を示すフローチャートである。

図１９（ａ）を参照して、光学試験用装置１の面１Ａ１に撮像部１０２の受光面１０２Ａが配置され、光学試験用装置１の面１Ａ２に光検出器１ａの受光面１ａＡが配置されている。面１Ａ１と面１Ａ２とは直交している。回転軸Ｒは、面１Ａ１および面１Ａ２に直交する光学試験用装置１の底面に直交し、底面の図心を通る。なお、回転軸Ｒは、入射光の光軸と直交する。受光面１０２Ａと受光面１ａＡとは、回転軸Ｒ回りに９０°ずれている。

まず、入射光の光軸を受光面１０２Ａの中心１０２ｃに合わせる（Ｓ１０：図２０）。この時、入射光の光軸は、受光面１０２Ａに直交し、中心１０２ｃを通る。その後、器具移動部３が、光学試験用装置１を回転軸Ｒを中心に時計回りに９０°回転移動させる（Ｓ１２：図２０）。すると、図１９（ｂ）を参照して、中心１０２ｃの存在していた位置（図１９（ａ）参照）に、中心１ａｃが位置する。よって、入射光の光軸が、光検出器１ａの受光面１ａＡの中心１ａｃに合うことになる。この時、入射光の光軸は、受光面１ａＡに直交し、中心１ａｃを通る。

次に、第一の実施形態の動作を説明する。

図２１は、光検出器１ａと入射光の光軸とのずれを解消するための手順を示すフローチャートである。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。

反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第一の実施形態によれば、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃによって、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間（光学測定器具２を実際に使用する場合（図１（ａ）参照）の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい）（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ経過した後、光信号が入射対象４に与えられる。これにより、光学測定器具２の試験の際に、光学測定器具２と測定対象４との距離Ｄ２（図１（ｂ）参照）を、光学測定器具２の使用が想定される状況下（距離Ｄ１：図１（ａ）参照）よりも短くすることができるので、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。

もし、光学試験用装置１を配置しないで、光学測定器具２と入射対象４との間を距離Ｄ２だけ離して配置すれば、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間は、２×Ｄ２／ｃ（ほぼ０）となる。よって、光学測定器具２と入射対象４との間の距離の測定結果はＤ２となってしまう。これでは、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験にならない。

しかし、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置すれば（図１（ｂ）参照）、光学試験用装置１内で２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延が生じる。これにより、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間Δｔは、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しくなる。例えば、遅延時間が２×Ｄ１／ｃの場合は、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃ＋２×Ｄ２／ｃとなるが、Ｄ２はＤ１よりも極めて小さいので、２×Ｄ２／ｃは無視できるため、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃとなる。また、遅延時間が２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃの場合は、Δｔ＝２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ＋２×Ｄ２／ｃ＝２×Ｄ１／ｃとなる。いずれにせよ、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃから、光学測定器具２と入射対象４との間の距離の測定結果はＤ１となるので、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うことができる。

しかも、第一の実施形態によれば、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消できる。

なお、第一の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。

第一変形例
図３は、本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。

本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１は、第一の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。

遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図３の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図３の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。

なお、第一変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。ただし、レーザーダイオード１ｃの入力側にドライバ回路（図示省略）を接続し、ドライバ回路を介して、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力をレーザーダイオード１ｃに与えるようにしてもよい。この際、ドライバ回路は、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力電流を増幅させて、レーザーダイオード１ｃの駆動に充分な大きさの電流として、レーザーダイオード１ｃに与える。この場合でも、レーザーダイオード１ｃが、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力を光信号に変換していることに変わりはない（第二および第三の実施形態の変形例も同様）。

第二変形例
図４は、本発明の第一の実施形態の第二変形例にかかる光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図４（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図４（ｂ））である。なお、器具移動部３（図２参照）は、図１と同様に図示省略する。

本発明の第一の実施形態の第二変形例にかかる光学試験用装置１は、入射対象４が平板であることが、第一の実施形態と異なる。なお、第二変形例における入射対象４は、反射率が可変であるようにしてもよい。例えば、入射対象４に液晶を用い、色を変えることで、反射率が可変となる。

なお、この第二変形例と同様な変形例が、第四および第七の実施形態においても考えられる。

第二の実施形態
第二の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４に代えてカプラ（光進行方向変化部）５を使用する点が、第一の実施形態と異なる。

第二の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図５参照）。

図５は、本発明の第二の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第二の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を出力してカプラ５に与える点が第一の実施形態と異なる。

ガルバノミラー１ｆは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を、カプラ５の入力端５ａに与える点が第一の実施形態と異なる。光信号は、分岐部５ｂにより、二つ以上の照射光に分岐され、それぞれ、出力端５ｐ、５ｑから出力される。出力端５ｐ、５ｑから出力された光を、方向変化光信号という。方向変化光信号は、光信号がカプラ５により進行方向が変化したものであり、カプラ５により光学測定器具２に向かって照射されるものである。

ガルバノミラー１ｇは、方向変化光信号の光路を受光部２ｂに向かうものに変えながら、方向変化光信号を通過させ、光学測定器具２の受光部２ｂに与える。

なお、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｐとを結ぶ線分と、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｑとを結ぶ線分とがほぼ同一視できる程度に、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｐ、５ｑとの距離は長い。よって、出力端５ｐから出力された方向変化光信号の光路と、出力端５ｑから出力された方向変化光信号の光路とが、ガルバノミラー１ｇの近傍においては、同一視できる。

次に、第二の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。

方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第二の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。すなわち、光学測定器具２の試験の際に、光学測定器具２と（測定対象４に代わる）カプラ５との距離Ｄ２（図５参照：ただし、距離Ｄ２の長さは第一の実施形態と同様）を、光学測定器具２の使用が想定される状況下（距離Ｄ１：図１（ａ）参照）よりも短くすることができるので、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。しかも、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消できる。

なお、第二の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。

図６は、本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。

本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１は、第二の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。

遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図６の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図６の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。

なお、この変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。

第三の実施形態
第三の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４を使用しない点が、第一の実施形態と異なる。

第三の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１（ａ）参照）。第三の実施形態にかかる光学測定器具２の試験の際の使用態様は、光学測定器具２と光学試験用装置１とを用いるが、反射対象４もカプラ５も用いない（図７参照）。

図７は、本発明の第三の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。図７を参照して、第三の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。

光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レンズ１ｄ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を出力して光学測定器具２に与える点が第一の実施形態と異なる。

減衰器１ｅは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を光学測定器具２の受光部２ｂに与える点が第一の実施形態と異なる。

次に、第三の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。すなわち、光学測定器具２の試験の際に、測定対象４も（測定対象４に代わる）カプラ５も使用しないので、光学測定器具２と測定対象４（またはそれに代わるもの）との距離Ｄ２は存在せず、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。しかも、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消できる。

なお、第三の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。

図８は、本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。

本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１は、第三の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。

遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図８の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図８の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。

なお、この変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。

第四の実施形態
第四の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第一の実施形態と異なる。

第四の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照）。

図９は、本発明の第四の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第四の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。

ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。

パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。

ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。

なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。

次に、第四の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。

パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。

反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第四の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。

第五の実施形態
第五の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第二の実施形態と異なる。

第五の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図１０参照）。

図１０は、本発明の第五の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第五の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第二の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４およびカプラ５は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。

カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。

ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。

パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。

ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。

なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。

次に、第五の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。

パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。

方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第五の実施形態によれば、第二の実施形態と同様な効果を奏する。

第六の実施形態
第六の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第三の実施形態と異なる。

第六の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１（ａ）参照）。第六の実施形態にかかる光学測定器具２の試験の際の使用態様は、光学測定器具２と光学試験用装置１とを用いるが、反射対象４もカプラ５も用いない（図１１参照）。

図１１は、本発明の第六の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第六の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。以下、第三の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。

カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。

ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。

パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。

ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。

レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。

なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。

次に、第六の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。

パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第六の実施形態によれば、第三の実施形態と同様な効果を奏する。

第七の実施形態
第七の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第一の実施形態と異なる。

第七の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照）。

図１２は、本発明の第七の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第七の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、第一の実施形態における光検出器１ａおよび中心１ａｃを、それぞれ、光ファイバ１ｋおよびそのコアと読み替える。

光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。

次に、第七の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。

反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第七の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。

なお、第七の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。

多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。

多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。

なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。

第八の実施形態
第八の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第二の実施形態と異なる。

第八の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図１３参照）。

図１３は、本発明の第八の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第八の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第二の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４およびカプラ５は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、第二の実施形態における光検出器１ａおよび中心１ａｃを、それぞれ、光ファイバ１ｋおよびそのコアと読み替える。

光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。

次に、第八の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。

方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第八の実施形態によれば、第二の実施形態と同様な効果を奏する。

なお、第八の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。

多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。

多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。

なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。

第九の実施形態
第九の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第三の実施形態と異なる。

第九の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。

図１４は、本発明の第九の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第九の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。以下、第三の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。

レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、撮像部１０２および光軸ずれ導出部１０４は、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、第三の実施形態における光検出器１ａおよび中心１ａｃを、それぞれ、光ファイバ１ｋおよびそのコアと読み替える。

光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。

次に、第九の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、光検出器１ａと入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入光検出器１ａに対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。

第九の実施形態によれば、第三の実施形態と同様な効果を奏する。

なお、第九の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。

多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。

多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。

なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。

第十の実施形態
図１５は、本発明の第十の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。なお、器具移動部３（図２参照）は、図示省略する。

第十の実施形態にかかる半導体試験装置（光学試験装置）１０は、光学試験用装置１および試験部８を備える。

光学試験用装置１は、上記の実施形態（第一の実施形態から第九の実施形態まで）のいずれか一つと同様であるので、説明を省略する。なお、図１５においては、入射対象４が図示されているが（第一、第四、第七の実施形態を参照）、入射対象４にかえてカプラ５を用いてもよいし（第二、第五、第八の実施形態を参照）、そもそも入射対象４を用いなくてもかまわない（第三、第六、第九の実施形態を参照）。

測定モジュール６は、光学測定器具２を用いて測定を行う。測定モジュール６は、光学測定器具２に入射光を照射する指示を行い、反射光信号を受け取る。測定モジュール６は、第一の実施形態において説明したように、実際の使用態様（図１（ａ）参照）においては、光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１の測定を行う。ほかにも、測定モジュール６は、入射光と反射光信号の応答速度を測定する。

試験部８は、光学測定器具２を用いた測定モジュール６による測定に関する試験を行う。例えば、試験部８は、入射光と反射光の応答速度の測定に関する試験および光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１の測定の精度に関する試験を行う。なお、ほかにも、試験部８は、制御バス、電源などの機能を確認する機能確認試験、特定波長の検出効率が規定範囲内か否かを判断する検出効率試験を行う。また、試験部８は、光学測定器具２の入射光ON/OFF、入射光のパワーおよび射出角度などの制御と、光学試験用装置１の遅延時間の設定や光パワーの減衰のための減衰器１ｅを含む光学系の制御および入射対象４の反射率の制御を行う。

第十一の実施形態
図２２は、本発明の第十一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。ただし、図２２においては、光信号が入射対象４により反射されたもの（すなわち、反射光信号）を図示省略する。また、図２２においては、入射対象４をブロックで図示する。

光学測定器具２および入射対象４は、図１（ａ）と同様である。例えば、光学測定器具２をＬｉＤＡＲモジュールとした場合、光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１は例えば２００ｍである。

また、器具移動部３は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

第十一の実施形態にかかる光学試験用装置１００は、撮像部１０２、光軸ずれ導出部１０４を備える。

撮像部１０２は、入射光を撮像する。光軸ずれ導出部１０４は、入射対象４と撮像部１０２とのずれ及び撮像部１０２による撮像結果に基づき、入射対象４に対する入射光の光軸のずれを導出する。入射光の光軸のずれの導出法は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（ただし、第一の実施形態の光検出器１ａは入射対象４に読み替える）。光軸ずれ導出部１０４から、光学測定器具２を移動させる器具移動部３に、光軸のずれが与えられる。

次に、第十一の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学測定器具２の前方に、入射対象４および光学試験用装置１を配置する（図１（ａ）および図２２参照）。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、入射対象４と入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入射対象４に対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

その後は、図１（ａ）に示すような状態で、光学測定器具２による測定および試験を行う。

第十一の実施形態によれば、入射対象４に対する入射光の光軸のずれを解消できる。

第十二の実施形態
図２３は、本発明の第十二の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。

第十二の実施形態にかかる半導体試験装置（光学試験装置）１０は、光学試験用装置１００、器具移動部３および試験部８を備える。

光学試験用装置１００および器具移動部３は、第十一の実施形態と同様であるので、説明を省略する。

測定モジュール６および試験部８は、第十の実施形態と同様であるので、説明を省略する。

次に、第十二の実施形態の動作を説明する。

まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学測定器具２の前方に、入射対象４および光学試験用装置１を配置する。

その後、光学測定器具２を手動で移動させ、入射対象４と入射光の光軸とを大まかに位置合わせする（Ｓ２０：図２１）。さらに、器具移動部３により光学測定器具２を移動させ（Ｓ２２：図２１）、入射対象４に対する入射光の光軸のずれを解消する。すなわち、器具移動部３による光学測定器具２の移動の前に、光学測定器具２が手動により移動される。ただし、手動による光学測定器具２の移動（Ｓ２０）を省略し、器具移動部３による光学測定器具２の移動（Ｓ２２）のみ行ってもよい。

その後は、図１（ａ）に示すような状態で、光学測定器具２による測定および試験を行う。

第十二の実施形態によれば、入射対象４に対する入射光の光軸のずれを解消できる。

２ 光学測定器具
２ａ 光源
２ｂ 受光部
４ 入射対象
５ カプラ（光進行方向変化部）
５ａ 入力端
５ｂ 分岐部
５ｐ、５ｑ 出力端
１ 光学試験用装置
１ａ 光検出器（入射光受理部）
１ｂ 可変遅延素子（電気信号遅延部）
１ｂ－１、１ｂ－２ 遅延素子
１ｃ レーザーダイオード（光信号付与部）
１ｄ レンズ
１ｅ 減衰器
１ｆ、１ｇ ガルバノミラー
１ｈ カプラ
１ｉ ＩＣ
１ｉ―１ パワー検出部
１ｉ－２ 出力制御部
１ｊ ドライバ回路
１ｋ 光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）
６ 測定モジュール
８ 試験部
１０ 半導体試験装置
１００ 光学試験用装置
１０２ 撮像部
１０４ 光軸ずれ導出部

Claims (18)

1. 光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
   入射光を受ける入射光受理部と、
   前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える光信号付与部と、
   前記入射光を撮像する撮像部と、
   前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部と、
   を備え、
   前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられ、
   前記遅延時間が、
   前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい、
   光学試験用装置。
2. 光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
   前記入射光を受ける入射光受理部と、
   前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を出力する光信号付与部と、
   前記光信号を前記光学測定器具に向けて照射する光進行方向変化部と、
   前記入射光を撮像する撮像部と、
   前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部と、
   を備え、
   前記光信号が前記光進行方向変化部により進行方向が変化した方向変化光信号が、前記光学測定器具に与えられ、
   前記遅延時間が、
   前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しく、
   前記光学測定器具を移動させる器具移動部に、前記光軸のずれが与えられ、
   前記器具移動部が、前記入射光の光軸のずれを解消するように、前記光学測定器具を移動させる光学試験用装置。
3. 請求項２に記載の光学試験用装置であって、
   前記光進行方向変化部が、前記光信号を、二つ以上の照射光に分岐させる、
   光学試験用装置。
4. 光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
   前記入射光を受ける入射光受理部と、
   前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える光信号付与部と、
   前記入射光を撮像する撮像部と、
   前記入射光受理部と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射光受理部に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部と、
   を備え、
   前記遅延時間が、
   前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しく、
   前記光学測定器具を移動させる器具移動部に、前記光軸のずれが与えられ、
   前記器具移動部が、前記入射光の光軸のずれを解消するように、前記光学測定器具を移動させる光学試験用装置。
5. 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
   前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
   前記光信号付与部が、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号に変換するものである、
   光学試験用装置。
6. 請求項５に記載の光学試験用装置であって、
   前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させる電気信号遅延部を備えた光学試験用装置。
7. 請求項６に記載の光学試験用装置であって、
   前記電気信号遅延部における前記遅延時間が可変である、
   光学試験用装置。
8. 請求項６に記載の光学試験用装置であって、
   各々の前記電気信号遅延部における前記遅延時間が、それぞれ異なるものであり、
   前記電気信号遅延部のうち、いずれか一つを選択して使用する、
   光学試験用装置。
9. 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
   前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
   前記電気信号に基づき、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから前記遅延時間だけ経過した後、前記光信号付与部に前記光信号を出力させる出力制御部を備えた光学試験用装置。
10. 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記光信号付与部が、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号とするものである、
    光学試験用装置。
11. 請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記光信号のパワーを減衰させる減衰器を備え、
    前記減衰器における減衰の程度が可変である、
    光学試験用装置。
12. 光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
    前記入射光を撮像する撮像部と、
    前記入射対象と前記撮像部とのずれ及び前記撮像部による撮像結果に基づき、前記入射対象に対する前記入射光の光軸のずれを導出する光軸ずれ導出部と、
    を備えた光学試験用装置。
13. 請求項１または１２のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記光学測定器具を移動させる器具移動部に、前記光軸のずれが与えられ、
    前記器具移動部が、前記入射光の光軸のずれを解消するように、前記光学測定器具を移動させる光学試験用装置。
14. 請求項２、４および１３のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記器具移動部が、前記入射光の光軸と直交する平面内で、前記光学測定器具を移動させる光学試験用装置。
15. 請求項２、４および１３のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記器具移動部が、前記入射光の光軸と直交する回転軸を中心として、前記光学測定器具を回転移動させる光学試験用装置。
16. 請求項２、４および１３のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記器具移動部による前記光学測定器具の移動の前に、前記光学測定器具が手動により移動される光学試験用装置。
17. 請求項１ないし１６のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
    前記入射対象の反射率が可変である、
    光学試験用装置。
18. 請求項１ないし１７のいずれか一項に記載の光学試験用装置と、
    前記光学測定器具を用いた測定に関する試験を行う試験部と、
    を備えた半導体試験装置。

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