JP4830096B2 - 距離測定装置および距離測定方法 - Google Patents
距離測定装置および距離測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4830096B2 JP4830096B2 JP2005177482A JP2005177482A JP4830096B2 JP 4830096 B2 JP4830096 B2 JP 4830096B2 JP 2005177482 A JP2005177482 A JP 2005177482A JP 2005177482 A JP2005177482 A JP 2005177482A JP 4830096 B2 JP4830096 B2 JP 4830096B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- distance
- propagation time
- distance measuring
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/10—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of interrupted, pulse-modulated waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4818—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/484—Transmitters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4865—Time delay measurement, e.g. time-of-flight measurement, time of arrival measurement or determining the exact position of a peak
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/487—Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
Description
対象物までの距離を測定する距離測定装置であって、
短い間隔でパルス光を発生する短パルス光源と、
該短パルス光源からのパルス光を信号光と参照光とに分岐する光分岐手段と、
該光分岐手段により分岐された信号光を前記対象物に照射すると共に該対象物から該信号光の照射により反射される散乱光を受光する照射受光手段と、
前記光分岐手段により分岐された参照光を入力すると共に伝搬時間を調整して出力する伝搬時間調整手段と、
前記伝搬時間調整手段により伝搬時間が調整された参照光と前記照射受光手段により受光された散乱光との重ね合わせに基づいて干渉信号を生成する干渉信号生成手段と、
前記伝搬時間調整手段により調整された伝搬時間と前記干渉信号生成手段により生成された干渉信号とに基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する距離演算手段と、
を備えることを要旨とする。
所定範囲内の対象物までの距離を自動的に測定することができる。この結果、対象物の表面の凹凸を高い精度で迅速によく測定すること、即ち対象物の3次元計測を高い精度で迅速に行なうことができる。
対象物までの距離を測定する距離測定方法であって、
短い間隔のパルス光を信号光と参照光とに分岐し、
該分岐した信号光を前記対象物に照射すると共に該対象物から該信号光の照射により反射される散乱光を受光し、
前記分岐した参照光の伝搬時間を調整し、
該伝搬時間が調整した参照光と前記受光した散乱光との重ね合わせに基づいて干渉信号を生成し、
前記調整した伝搬時間と前記生成した干渉信号とに基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する
ことを要旨とする。
対象物までの距離を測定する距離測定方法であって、
短い間隔のパルス光の波長を変更し、
該波長を変更したパルス光を信号光と参照光とに分岐し、
該分岐した信号光を前記対象物に照射すると共に該対象物から該信号光の照射により反射される散乱光を受光し、
前記分岐した参照光の波長に応じて伝搬時間を調整し、
該伝搬時間が調整した参照光と前記受光した散乱光との重ね合わせに基づいて干渉信号を生成し、
前記調整した伝搬時間または前記参照光の波長と前記生成した干渉信号とに基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する
ことを要旨とする。
Claims (12)
- 対象物までの距離を測定する距離測定装置であって、
短い間隔でパルス光を発生する短パルス光源と、
前記短パルス光源からのパルス光の強度を調整する強度調整部と入力されたパルス光の強度に応じて波長を変更してパルス光を出力する波長変更部とを有する波長変更手段と、
前記波長変更手段により波長が変更されたパルス光を信号光と参照光とに分岐する光分岐手段と、
該光分岐手段により分岐された信号光を前記対象物に照射すると共に該対象物から該信号光の照射により反射される散乱光を受光する照射受光手段と、
前記光分岐手段により分岐された参照光を入力すると共に前記参照光の波長に応じて伝搬時間を調整して出力する伝搬時間調整手段と、
前記伝搬時間調整手段により伝搬時間が調整された参照光と前記照射受光手段により受光された散乱光との重ね合わせに基づいて干渉信号を生成する干渉信号生成手段と、
前記伝搬時間調整手段により調整された伝搬時間と前記干渉信号生成手段により生成された干渉信号とに基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する距離演算手段と、
を備える距離測定装置。 - 請求項1記載の距離測定装置であって、
前記強度調整部は、音響光学変調器であり、
前記波長変更部は、偏波保持型の光ファイバである
距離測定装置。 - 前記波長変更手段は、前記短パルス光源のパルス間隔に比して長い周期をもって順次波長を変更する手段である請求項1または2記載の距離測定装置。
- 前記伝搬時間調整手段は、偏波保持型の光ファイバを有する手段である請求項1ないし3いずれか記載の距離測定装置。
- 前記伝搬時間調整手段は、前記光ファイバに入力される参照光の光路長または前記光ファイバから出力された参照光の光路長を調整する光路長調整手段を有する手段である請求項4記載の距離測定装置。
- 前記干渉信号生成手段は、前記参照光と前記散乱光との和としての和光の電解振幅の2乗と前記参照光と前記散乱光との差としての差光の電解振幅の2乗との差を得る作動検出により干渉信号を生成する手段である請求項1ないし5いずれか記載の距離測定装置。
- 前記短パルス光源は、出力パルスの中心波長が1560nm近傍でパルス幅がピコ秒ないしフェムト秒単位のパルス光を出力することを特徴とする請求項1ないし6いずれか記載の距離測定装置。
- 前記照射受光手段は、前記信号光により所定範囲内が走査されるよう該信号光を照射する手段である請求項1ないし7いずれか記載の距離測定装置。
- 請求項1ないし8いずれか記載の距離測定装置であって、
前記伝搬時間調整手段により伝搬時間が調整された参照光を所定の周波数帯の変調光に変調する変調手段を備え、
前記干渉信号生成手段は、前記変調された変調光を前記参照光として用いて干渉信号を生成する手段である
距離測定装置。 - 前記変調手段は、音響光学変調器または電気光学変調器である請求項9記載の距離測定装置。
- 前記距離演算手段は、前記生成された干渉信号のうち前記所定の周波数帯の信号を通過するバンドパスフィルタと、該バンドパスフィルタを通過した信号を2乗検波する2乗検波部とを有し、該2乗検波された信号に基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する手段である請求項9または10記載の距離測定装置。
- 対象物までの距離を測定する距離測定方法であって、
短い間隔のパルス光の強度を調整すると共にパルス光の強度に応じて波長を変更し、
該波長を変更したパルス光を信号光と参照光とに分岐し、
該分岐した信号光を前記対象物に照射すると共に該対象物から該信号光の照射により反射される散乱光を受光し、
前記分岐した参照光の波長に応じて伝搬時間を調整し、
該伝搬時間を調整した参照光と前記受光した散乱光との重ね合わせに基づいて干渉信号を生成し、
前記調整した伝搬時間と前記生成した干渉信号とに基づいて前記信号光の照射地点から前記対象物までの距離を演算する
距離測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005177482A JP4830096B2 (ja) | 2004-09-30 | 2005-06-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
US11/384,296 US7535555B2 (en) | 2004-09-30 | 2006-03-21 | Distance measurement device and distance measurement method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004286458 | 2004-09-30 | ||
JP2004286458 | 2004-09-30 | ||
JP2005177482A JP4830096B2 (ja) | 2004-09-30 | 2005-06-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006126168A JP2006126168A (ja) | 2006-05-18 |
JP4830096B2 true JP4830096B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=36721034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005177482A Active JP4830096B2 (ja) | 2004-09-30 | 2005-06-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7535555B2 (ja) |
JP (1) | JP4830096B2 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014821A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Fujifilm Corp | 測距装置及び撮影装置 |
US7667598B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-02-23 | Lockheed Martin Corporation | Method and apparatus for detecting presence and range of a target object using a common detector |
DE102007000377A1 (de) * | 2007-07-16 | 2009-01-22 | Hilti Aktiengesellschaft | Laserdistanzhandmessgerät mit einem Impulsrückmischverfahren |
KR100905881B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2009-07-03 | 삼성전기주식회사 | 레이저 측량장치 |
JP2009128026A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Sony Corp | 物体検知装置および物体検知方法 |
US9482755B2 (en) | 2008-11-17 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker |
US8659749B2 (en) | 2009-08-07 | 2014-02-25 | Faro Technologies, Inc. | Absolute distance meter with optical switch |
US9400170B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-07-26 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker |
US8619265B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US9377885B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-06-28 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US8902408B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-12-02 | Faro Technologies Inc. | Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector |
GB2511236B (en) | 2011-03-03 | 2015-01-28 | Faro Tech Inc | Target apparatus and method |
US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
US8537376B2 (en) | 2011-04-15 | 2013-09-17 | Faro Technologies, Inc. | Enhanced position detector in laser tracker |
US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
USD688577S1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker |
US9638507B2 (en) | 2012-01-27 | 2017-05-02 | Faro Technologies, Inc. | Measurement machine utilizing a barcode to identify an inspection plan for an object |
JP5949341B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-07-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 距離測定装置 |
US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
US10261185B2 (en) | 2015-09-04 | 2019-04-16 | Bin Lu | System and method for remotely measuring distances between two points |
JP7240947B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-03-16 | 株式会社アドバンテスト | 光学試験用装置 |
US10802120B1 (en) * | 2019-08-20 | 2020-10-13 | Luminar Technologies, Inc. | Coherent pulsed lidar system |
JP7209610B2 (ja) * | 2019-10-15 | 2023-01-20 | 株式会社アドバンテスト | 光学試験用装置および光学測定器具の試験方法 |
CN112630748B (zh) * | 2020-12-11 | 2023-05-23 | 中国空空导弹研究院 | 一种激光脉冲时间间隔处理方法及激光雷达探测系统 |
US20220291349A1 (en) * | 2021-03-10 | 2022-09-15 | Luminar, Llc | Hybrid pulsed/coherent lidar system with spectral signatures |
TW202338397A (zh) * | 2022-03-30 | 2023-10-01 | 美商歐普微股份有限公司 | 高速干擾時間光檢測和測距系統及確定距離的方法與裝置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4533242A (en) * | 1982-09-28 | 1985-08-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Ranging system which compares an object-reflected component of a light beam to a reference component of the light beam |
US4861158A (en) * | 1987-09-30 | 1989-08-29 | Eaton Corporation | Chirp and Doppler optical gauge |
US5262836A (en) * | 1991-12-19 | 1993-11-16 | Hughes Aircraft Company | Coherent double homodyne optical backscatter filter |
JPH06241717A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Yusaku Fujii | 干渉計 |
JP3390755B2 (ja) * | 1998-09-29 | 2003-03-31 | 科学技術振興事業団 | 波長可変短パルス光発生装置及び方法 |
JP4464519B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2010-05-19 | オリンパス株式会社 | 光イメージング装置 |
FR2803145B1 (fr) * | 1999-12-23 | 2002-03-15 | Cit Alcatel | Dispositif d'application d'un retard en ligne |
AU2001280758A1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-02-05 | University Of Kansas Center For Research, Inc. | Laser radar system and method |
JP3515741B2 (ja) * | 2000-07-28 | 2004-04-05 | 日本電信電話株式会社 | 波長可変モード同期レーザ、波長変換装置、および、伝送システム |
US6618125B2 (en) * | 2000-09-05 | 2003-09-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Code-multiplexed read-out for ladar systems |
US6829042B1 (en) * | 2002-06-10 | 2004-12-07 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Distance measuring apparatus and method using a pulsed electromagnetic wave |
US20050265407A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-12-01 | Braun Alan M | Compact semiconductor-based chirped-pulse amplifier system and method |
-
2005
- 2005-06-17 JP JP2005177482A patent/JP4830096B2/ja active Active
-
2006
- 2006-03-21 US US11/384,296 patent/US7535555B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006126168A (ja) | 2006-05-18 |
US7535555B2 (en) | 2009-05-19 |
US20070024842A1 (en) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4830096B2 (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
JP2008096210A (ja) | 単発テラヘルツ波時間波形計測装置 | |
EP3104165B1 (en) | Terahertz wave phase difference measurement device | |
JP7435160B2 (ja) | 光ファイバ振動検知装置及び振動検知方法 | |
WO2009104751A1 (ja) | 光ファイバ特性測定装置及び方法 | |
JP2016148661A (ja) | 光ファイバ特性測定装置及び光ファイバ特性測定方法 | |
EP3877724B1 (en) | Method and device for in situ process monitoring | |
CN110132851A (zh) | 一种基于飞秒单脉冲干涉的瞬时二维光声波测量方法 | |
JP6791218B2 (ja) | 光ファイバ特性測定装置及び光ファイバ特性測定方法 | |
CN113451874B (zh) | 激光输出装置 | |
JP2013152220A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP5502564B2 (ja) | 電磁波検出装置 | |
Poiana et al. | All-Fiber Electro-Optic Dual Optical Frequency Comb for Fiber Sensors | |
Rousseau et al. | Hadamard multiplexing in laser ultrasonics | |
JP6747998B2 (ja) | 光ファイバ電界分布非破壊測定装置及び光ファイバ電界分布非破壊測定方法 | |
JP2009222665A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
JP7110686B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
Brinkmeyer et al. | Fiber optic CW doppler lidar using a synthetic broadband source | |
JP2923779B1 (ja) | 超音波検出用光干渉装置 | |
JP2019105616A (ja) | レーザ超音波装置 | |
JP2972885B1 (ja) | 光ファイバ分散測定方法 | |
JP2016029340A (ja) | 計測装置 | |
JP2005241284A (ja) | 波長分散測定装置及び測定方法 | |
KR100733539B1 (ko) | 레이저를 이용한 고온 측정 대상물의 초음파 측정장치 및방법 | |
US20230304926A1 (en) | Time response measurement apparatus and time response measurement method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4830096 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |