JP6246393B2 - 荷電粒子線装置、設置方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態1に係る荷電粒子線装置100の全体構成を示す側面図である。荷電粒子線装置100は、本体ユニット15と補助ユニット14を備える。本体ユニット15は、荷電粒子線源1、電子光学系鏡体2(集束レンズ、対物レンズ、検出器を含む)、試料室3、試料ステージ4、ターボ分子ポンプ5(主排気ポンプ)、ターボ分子ポンプ5と電子光学系鏡体2や試料室3との間をつなぐ排気管6、各部を制御する制御基板7を収容する。補助ユニット14は、電源ユニット9、コンピュータ16と通信する制御基板10を収容する。
図7は、本実施形態に係る荷電粒子線装置100の全体構成を示す側面図である。本実施形態においては、実施形態1で説明した防振マウント11に代えて防振マウント35を設けている。以下、実施形態1との相違点を中心に説明する。
実施形態1〜2では、本体ユニット15と補助ユニット14を備える構成例について説明した。ユーザの要望によっては、検出器などの構成要素を追加的に装着する必要が生じる場合があり、その検出器を動作させるための制御基板も追加する必要がある。本実施形態3では、そのような状況においても可搬性を維持しつつ設置面積も変えない構成例である。以下、実施形態1〜2との相違点を中心に説明する。
本発明は上記した実施形態の形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることもできる。また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることもできる。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成を追加・削除・置換することもできる。
Claims (19)
- 本体ユニットと補助ユニットを有する荷電粒子線装置であって、
前記本体ユニットは、
荷電粒子を生成する荷電粒子源、
前記荷電粒子を試料に対して照射する光学系、
前記試料を載置する試料ステージ、
前記試料ステージを収容する試料室、
を収容し、
前記補助ユニットは、
前記本体ユニットに対して電力を供給する電源部を収容し、
前記補助ユニットの上に前記本体ユニットを着脱できるように構成されている
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記本体ユニットの底面面積は、前記補助ユニットの上面面積以下に構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記補助ユニットの上に前記本体ユニットを載置したときに、前記試料ステージの試料設置位置が地面から505〜800mmの位置にある
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記補助ユニットは、前記補助ユニットを床面に載置した状態で運搬するための運搬部品を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記補助ユニットと設置面との間に前記補助ユニットに対して加えられる振動を抑制する制振機構を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子線装置は、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置したとき前記本体ユニットと前記補助ユニットを締結する締結部材を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子線装置は、前記光学系と前記試料室を排気する排気装置を備え、
前記補助ユニットは、前記排気装置を収容する空間を有する
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記本体ユニットは、前記本体ユニットの振動が前記試料室に対して伝搬することを抑制する防振部材を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記防振部材は、前記試料室の側面に配置されている
ことを特徴とする請求項8記載の荷電粒子線装置。 - 前記本体ユニットは、搬送機器が前記本体ユニットを搬送するとき使用するリフトアームをガイドするガイド機構を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記補助ユニットは、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置するとき前記本体ユニットを位置決めする位置決め部材を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子線装置は、前記光学系と前記試料室を排気する排気装置を備えるとともに、前記排気装置と前記光学系および前記排気装置と前記試料室を接続する排気管を備え、
前記本体ユニットは、前記排気装置と前記排気管を収容し、
前記荷電粒子線装置はさらに、一端が前記試料室に接続され、他端が前記排気管に接続された排気管支持部材を備える
ことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子線装置はさらに、
前記本体ユニットと前記補助ユニットとの間に配置されるオプションユニット、
前記本体ユニットと前記オプションユニットを締結する部材、
前記補助ユニットと前記オプションユニットを締結する部材、
を備えることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記オプションユニットは、前記荷電粒子線装置が提供する機能を実装した装置のうち前記本体ユニットと前記補助ユニットのいずれも収容していないものを収容する
ことを特徴とする請求項13記載の荷電粒子線装置。 - 補助ユニットの上に本体ユニットを着脱できるように構成されている荷電粒子線装置の設置方法であって、
荷電粒子を生成する荷電粒子源、前記荷電粒子を試料に対して照射する光学系、前記試料を載置する試料ステージ、および前記試料ステージを収容する試料室、を収容する前記本体ユニットと、前記本体ユニットに対して電力を供給する電源部を収容する前記補助ユニットを分離して個別に、または前記補助ユニットの上に前記本体ユニットを載置して、設置場所に対して搬送する搬送ステップ、
前記本体ユニットと前記補助ユニットを前記設置場所においてそれぞれ設置する設置ステップ、
を有することを特徴とする設置方法。 - 前記搬送ステップにおいては、前記本体ユニットと前記補助ユニットを分離して個別に搬送し、
前記設置ステップにおいては、前記本体ユニットと前記補助ユニットを分離したままそれぞれ設置する
ことを特徴とする請求項15記載の設置方法。 - 前記搬送ステップにおいては、前記本体ユニットと前記補助ユニットを分離して個別に搬送し、
前記設置ステップにおいては、前記補助ユニットを前記設置場所において設置した後、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置する
ことを特徴とする請求項15記載の設置方法。 - 前記搬送ステップにおいては、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置した状態で前記荷電粒子線装置を搬送し、
前記設置ステップにおいては、前記本体ユニットと前記補助ユニットを分離して個別に設置する
ことを特徴とする請求項15記載の設置方法。 - 前記搬送ステップにおいては、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置した状態で前記荷電粒子線装置を搬送し、
前記設置ステップにおいては、前記本体ユニットを前記補助ユニットの上に載置した状態で前記設置場所において前記荷電粒子線装置をそのまま設置する
ことを特徴とする請求項15記載の設置方法。
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