JP2008226683A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子12を放出するための荷電粒子源3と、荷電粒子源3から荷電粒子12を引出すための引出電極4と、引出された荷電粒子12を加速するための加速電極5とを有する荷電粒子線装置11であって、荷電粒子源3、引出電極4と加速電極5の少なくとも2つの間にサージアブソーバ素子21を電気的に接続する。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本発明の第1の実施形態に係る荷電粒子線装置(電子顕微鏡)11は、内部が減圧に保たれた筐体(電子銃室)1を有している。電子銃室1の内部には、荷電粒子(電子)12を放出するための荷電粒子源(陰極)3と、この陰極3を加熱するための加熱用フィラメント2とが設けられている。加熱用フィラメント2は、陰極3と接続し、陰極3を支持している。
図3(a)は本発明の第1の実施形態の変形例1に係る荷電粒子線装置のサージアブソーバ素子21である。第1の実施形態の変形例1のサージアブソーバ素子21では、アレスタ素子23と、バリスタ素子24とが直列接続されている。アレスタ素子23は端子間の電圧が低い場合には電気的に絶縁状態であるが、一定の過渡電圧が印加されると、端子間が放電し導通状態になる。アレスタ素子23単体では一旦導通すると端子間の電圧が低くなっても放電が継続するという続流現象がある。これを解決するためにアレスタ素子23にバリスタ素子24を直列に接続し、アレスタ素子23が導通状態でもバリスタ素子24が一定の電気抵抗を発生することにより電流を抑制し、続流を抑制する。このことによれば、外来ノイズによる電圧の上昇を抑制した後に、正常な通常運転に移行させることができる。
図3(b)は本発明の第1の実施形態の変形例2に係る荷電粒子線装置のサージアブソーバ素子21である。第1の実施形態の変形例2では、第1の実施形態の変形例1のバリスタ素子24を定抵抗Rに置き換えている。定抵抗Rは、サージアブソーバ素子21に印加される電圧を分圧する。たとえば、定抵抗Rの抵抗値を、アレスタ素子23の高抵抗の際の抵抗値と、低抵抗の際の抵抗値の間に設定する。アレスタ素子23が高抵抗の状態であれば、アレスタ素子23に、サージアブソーバ素子21に印加される電圧のほとんどを印加させることができる。したがって、電圧上昇の感度を低下させることはない。アレスタ素子23が低抵抗の状態であれば、アレスタ素子23に、サージアブソーバ素子21に印加される電圧をほとんど印加させないことができる。したがって、高抵抗の状態に復帰させることができ、続流を抑制することができる。
図3(c)は本発明の第1の実施形態の変形例3に係る荷電粒子線装置のサージアブソーバ素子21である。第1の実施形態の変形例3のサージアブソーバ素子21では、複数のアレスタ素子23aと23bとが直列接続されている。このことによれば、前記規定電圧を、既製のアレスタ素子23aと23bを用いて容易に設定することができる。
図3(d)は本発明の第1の実施形態の変形例4に係る荷電粒子線装置のサージアブソーバ素子21である。第1の実施形態の変形例4のサージアブソーバ素子21では、複数のバリスタ素子24aと24bとが直列接続されている。このことによれば、前記規定電圧を、既製のバリスタ素子24aと24bを用いて容易に設定することができる。
図4に、本発明の第2の実施形態に係る荷電粒子線装置(電子顕微鏡)11の構成図を示し、図5に、第2の実施形態の荷電粒子線装置(電子顕微鏡)11の電子銃室1付近の断面図を示す。第2の実施形態の電子顕微鏡11が、第1の実施形態の電子顕微鏡11と異なる点は、前記荷電粒子源(陰極)3と接地電位13との間に、第2a接続形態として、前記サージアブソーバ素子21を電気的に接続している点である。なお、接続形態は、これに限らず、図示は省くが、第2b接続形態として、サージアブソーバ素子21は、第2a接続形態のように配線L2に接続するのでなく、前記陰極3に接続する配線L1と接地電位13との間に電気的に接続されてもよい。また、第2c接続形態として、サージアブソーバ素子21は、前記引出電極4に接続する配線L3と接地電位13との間に電気的に接続されてもよい。また、第2d接続形態として、加速電極5が、接地電位13に接続されていない場合は、サージアブソーバ素子21は、前記加速電極5と接地電位13との間に電気的に接続されてもよい。そして、これらの第2a接続形態から第2d接続形態は、1形態のみ使用してもよいし、複数形態併用してもよい。
2 加熱用フィラメント
3 荷電粒子源(陰極)
4 引出電極
5 加速電極(接地電極)
6 ケーブル
7 加速用高電圧電源
8 引出用高電圧電源
9 フィラメント加熱用電源
10 高圧タンク
11 荷電粒子線装置
12 荷電粒子
13 接地電位
20 ケーブルヘッド
21 サージアブソーバ素子
22 シールド線
23、23a、23b アレスタ素子
24、24a、24b バリスタ素子
26 シール部
Claims (6)
- 荷電粒子を放出するための荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から前記荷電粒子を引出すための引出電極と、
引出された前記荷電粒子を加速するための加速電極とを有する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子源、前記引出電極と前記加速電極の少なくとも2つの間にサージアブソーバ素子を電気的に接続したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子を放出するための荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から前記荷電粒子を引出すための引出電極と、
引出された前記荷電粒子を加速するための加速電極とを有する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子源、前記引出電極と前記加速電極の少なくとも1つと、接地電位との間にサージアブソーバ素子を電気的に接続したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記サージアブソーバ素子は、アレスタ素子とバリスタ素子の少なくとも一方を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記サージアブソーバ素子は、
アレスタ素子と、
前記アレスタ素子と直列に接続するバリスタ素子および抵抗素子の少なくとも一方とを有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子源と前記引出電極との間に前記荷電粒子を引出すための高電圧を印加する引出用高電圧電源と、
前記荷電粒子源と前記加速電極との間に前記荷電粒子を加速するための高電圧を印加する加速用高電圧電源と、
前記荷電粒子源及び前記引出電極と前記引出用高電圧電源とを電気的に接続し、前記荷電粒子源及び前記加速電極と前記加速用高電圧電源とを電気的に接続するケーブルとを有し、
前記サージアブソーバ素子は、前記ケーブルより前記荷電粒子源の近くで、前記荷電粒子源、前記引出電極と前記加速電極の少なくとも1つと、電気的に接続したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。 - 前記荷電粒子源、前記引出電極と前記加速電極とを収納し、減圧に保たれた電子銃室と、
前記電子銃室をシールする絶縁性のシール部と、前記荷電粒子源、前記引出電極及び前記加速電極と前記ケーブルとを電気的に接続し前記シール部を貫通する配線とを有するケーブルヘッドとをさらに有し、
前記サージアブソーバ素子は、前記配線に電気的に接続し前記ケーブルヘッドに埋め込まれていることを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線装置。
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