JPS6179450U - - Google Patents

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JPS6179450U
JPS6179450U JP16372884U JP16372884U JPS6179450U JP S6179450 U JPS6179450 U JP S6179450U JP 16372884 U JP16372884 U JP 16372884U JP 16372884 U JP16372884 U JP 16372884U JP S6179450 U JPS6179450 U JP S6179450U
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JP
Japan
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tmp
main body
exhaust system
pump
floor
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Pending
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JP16372884U
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来実施例の磁気浮上形ＴＭＰを含む
排気系及び除振機能を有する装置の構成図、第２
図は本案の実施例の装置の構成図である。 １…装置本体、２…荷重板、３…防振ゴム、４
…防振ダンパ、５…磁気浮上形ＴＭＰ、６…架台
、７…おもり、８…ロータリーポンプ、９…防振
ベロー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 床上に設置された架台と除振機構を介して該架
    台上に搭載された電子顕微鏡等の粒子線装置の本
    体と該本体を真空にする排気系とを有する装置に
    おいて、排気系の主排気ポンプにターボ分子ポン
    プ（以下ＴＭＰと略す）を用い、前記装置本体と
    ＴＭＰ間は伸縮自在な真空部材（ＴＭＰの振動を
    伝えない部材）で連結し、かつＴＭＰを装置架台
    に取付けるか、床上に設置する構造としたことを
    特徴としたターボ分子ポンプ排気系を有する装置
    。
JP16372884U 1984-10-31 1984-10-31 Pending JPS6179450U (ja)

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JP16372884U JPS6179450U (ja) 1984-10-31 1984-10-31

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JP16372884U JPS6179450U (ja) 1984-10-31 1984-10-31

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JPS6179450U true JPS6179450U (ja) 1986-05-27

Family

ID=30721590

Family Applications (1)

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JP16372884U Pending JPS6179450U (ja) 1984-10-31 1984-10-31

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JP (1) JPS6179450U (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62291479A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Hitachi Ltd 真空排気装置
JPH0448254A (ja) * 1990-06-15 1992-02-18 Denshi Kagaku Kk 脱離ガスの検出装置および方法
WO2013168220A1 (ja) * 2012-05-08 2013-11-14 株式会社島津製作所 質量分析装置
JP2015018808A (ja) * 2013-07-08 2015-01-29 カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー 荷電粒子ビームシステム及びその作動方法
WO2016174921A1 (ja) * 2015-04-28 2016-11-03 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置、設置方法

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JPWO2016174921A1 (ja) * 2015-04-28 2017-05-18 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置、設置方法

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