CN106537552A - 带电粒子射线装置、设置方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供小型、高性能且容易搬送的带电粒子射线装置。本发明所涉及的带电粒子射线装置具备可装卸的主体单元和辅助单元，所述主体单元收容与带电粒子射线相关的功能部，所述辅助单元收容电源部(参照图1)。

Description

带电粒子射线装置、设置方法

技术领域

本发明涉及带电粒子射线装置。

背景技术

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope:SEM)用收敛的电子束扫描样品，检测由此从样品发出的电子，采用该检测出的信号在图像显示装置显示样品的扫描电子像。根据发出电子束所采用的电子枪的性质，扫描电子显微镜需要数万伏特的高电压。另外，为了获得稳定的电子束，电子显微镜内必须保持真空。因此，以往的扫描电子显微镜存在大型化的倾向。

下记专利文献1公开了电子显微镜的构成(图2)。该文献记载的电子显微镜中，在不同的架台保持具备电子源、电子光学系统、样品室、载物台、排气系统等的电子显微镜主体、和控制电子显微镜主体的控制装置或显示观察图像的监视器。

下记专利文献1还公开了可以设置在桌子、操作台的台式电子显微镜的构造(图1)。台式电子显微镜中，具备电子源、电子光学系统、样品室、载物台、排气系统等的电子显微镜主体、和控制装置等设置在同一壳体内。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】WO2011/013323号公报

发明内容

根据专利文献1的图2所述的构成，可以提供高性能装置，但是由于大型且设置面积大，因此必须确保较大的设置空间。另外，移动时需要升降机等搬送机，搬运时必须以大型卡车搬运，因此耗费时间。因此，在有必要观察在没有电子显微镜的场所制作的样品的情况下，必须将其搬到有电子显微镜的研究所等来观察，从时间的观点看也是不方便的。

专利文献1的图1所述的台式电子显微镜的设置面积小且搬运容易，但是，为了在桌上设置以及实现装置的小型轻量化，需要限制装置的性能。

本发明鉴于上述问题而提出，目的是提供小型、高性能且搬送容易的带电粒子射线装置。

本发明涉及带电粒子射线装置，其构成为可以将具有与带电粒子射线相关的功能部的主体单元可装卸地安装到具有向主体单元供电的电源部的辅助单元上。

发明效果

根据本发明，通过使主体单元轻量化，可以提供小型且高性能的带电粒子射线装置。另外，通过使主体单元和辅助单元分离，可以容易地搬送。

附图说明

图1是表示实施例1所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。

图2是表示在辅助单元14内收容旋转泵8时的情形的示图。

图3是表示用户40坐在椅子41上操作带电粒子射线装置100的情形的侧视图。

图4是表示能容易地进行样品更换的高度的示图。

图5是表示用户40从主体单元15抽出样品载物台4时的尺寸例的示图。

图6是表示将主体单元15和辅助单元14分离设置的例的示图。

图7是表示实施例2所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。

图8是表示主体单元15的主视图。

图9是表示实施例3所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。

具体实施方式

<实施例1>

图1是表示本实施例1所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。带电粒子射线装置100具备主体单元15和辅助单元14。主体单元15收容有：带电粒子射线源1；电子光学系统镜体2(包含聚焦透镜、物镜、检测器)；样品室3；样品载物台4；涡轮分子泵5(主排气泵)；连接涡轮分子泵5和电子光学系统镜体2、样品室3之间的排气管6；以及控制各部分的控制基板7。辅助单元14收容有电源单元9、与计算机16通信的控制基板10。

在辅助单元14的下部具备用于设置辅助单元14的脚部12和用于搬送辅助单元14的脚轮13。也可以采用脚轮13以外的搬送部件。转子泵8是辅助排气泵，在主体单元15及辅助单元14的外部设置，通过排气管等与涡轮分子泵5连接。

主体单元15可以载置在辅助单元14的上部。此时，主体单元15和辅助单元14之间可以通过紧固部件17进行紧固。通过重叠设置主体单元15和辅助单元14，能够仅仅在以辅助单元14的设置面积来设置整个带电粒子射线装置100，而无需确保主体单元15的设置面积。

优选为，主体单元15所占的面积和辅助单元14所占的面积为相同。具体地说，考虑使主体单元15的底面积与辅助单元14的上表面面积大致相同(或以下)。由此，用户即使在两个单元层叠的状态下，也可以获得带电粒子射线装置100整体的一体感。

通过用紧固部件17紧固主体单元15和辅助单元14，可以将主体单元15和辅助单元14整体视为一个刚体。带电粒子射线装置100受到外力F时，设带电粒子射线装置100的重量为m，带电粒子射线装置100所受到的加速度a可以由「a＝F/m」来表示。即，通过紧固两个单元，从而m变大，与不紧固来重叠的情况相比，可以减小受到外力时的振动等影响。

涡轮分子泵5等部分构成要素的工作温度存在限制(例如60℃以下)。若使带电粒子射线装置100小型化，则各构成要素密集，因此，从控制基板10、电子光学系统镜体2等发生的热在装置内部积蓄，装置内部温度容易上升。装置内部温度若超过工作温度，则该构成要素停止或者异常动作。通过将发生大量热的控制基板10、电源单元9配置在辅助单元14内，可以防止主体单元15内的温度上升。另外，可以减少在主体单元15内设置的排热扇的数量，使成为振动源的排热扇远离电子光学系统镜体2。而且，由于存在主体单元15的底板、辅助单元14的上板那样的区隔各单元的板，因此，可以使从辅助单元14发生的热或电磁噪音等不易传递到主体单元15。

若在样品室3、电子光学系统镜体2中产生振动，则对带电粒子射线装置100的性能造成不良影响。例如，在带电粒子射线装置100构成为扫描电子显微镜的情况下，观察像的精度降低，因此，特别是在高倍率观察时，需要不易受到外部振动的影响。因而，在主体单元15的底面和样品室3之间配置防振支架11。防振支架11可以由例如减震器等振动吸收部件构成。能够通过防振支架11抑制外部振动传递到样品室3、电子光学系统镜体2。

脚部12具备减振机构18。减振机构18可以采用例如橡胶等振动吸收部件构成。通过减振机构18，可以抑制地面发生的振动传递到辅助单元14、主体单元15。其结果是，可以减小传递到样品室3、电子光学系统镜体2的振动。

在辅助单元14的下部设置脚轮13。通过脚轮13，可以以将辅助单元14和主体单元15重叠的状态(或者进一步由紧固部件17进行紧固的状态)同时搬运两个单元。

图2是表示在辅助单元14内收容旋转泵8时的情形的示图。在辅助单元14内，除了设有收容电源单元9和控制基板10的空间，还设有收容旋转泵8等其他部件的空间。从而，使用时，即使旋转泵8设置在带电粒子射线装置100外，搬送时也可以同时搬运这些设备。辅助单元14内的上述空间在例如后述的图6那样使主体单元15和辅助单元14分离时，可以用于收容将两单元间连接的布线等。

现有的台式电子显微镜中，样品载物台的位置离地800～1000mm，用户40为了在坐在椅子41上的同时抽出样品载物台，需要稍微抬起手臂。另外，以往的大型电子显微镜中，也与台式显微镜同样，样品载物台的位置离地1000mm左右，需要以抬起手臂的状态抽出样品载物台。另外，以往的桌上电子显微镜中，预先在安装有样品载物台的样品室的下方设置载重板，载重板在四周方向比样品载物台、样品室要大(参照专利文献1的图2)。因此，用户40难以坐在椅子41上的同时接近装置，必须伸长手臂或从椅子41站立后抽出样品载物台4。因而，本实施例的带电粒子射线装置100设为用户可容易地进行操作的尺寸。

图3表示用户40坐在椅子41上操作带电粒子射线装置100的情形的侧视图。图3中，示出了各部分的尺寸例。辅助单元14的高度与椅子41的高度大致相同(图3中，椅子41为380～410mm，辅助单元14为400mm)。主体单元15的高度为800mm。用户40在样品更换时从主体单元15抽出的样品载物台4处于离地面500～750mm的位置。这与用户40的手置于膝上时的手的高度大致相同。因此，用户40即使是坐在椅子上的状态也可以轻松地抽出样品载物台4。

本实施例1中，从实用性观点看，最重要的高度是用户的手实际接触到的样品载物台4的部分的高度(样品的更换位置)，为640mm。该高度根据图4所示的考虑方法来确定。

作为大体型的人的身体尺寸，假定处于第95％的男性(美国男性身高189.5cm)，作为小体型的人的身体尺寸，假定处于第5％的女性(亚洲女性身高147.1cm)。另外，作为可以容易地更换样品的姿势下手的最大高度，假定肩的角度为离身体中心向前方45度，肘部的角度为90度，作为手的最低高度，假定肩的角度为离身体中心0度，肘部的角度为120度。其结果是，大体型的人可以容易地更换样品的样品载物台4的高度的范围为505.5mm～1169mm，小体型的人可以容易地更换样品的样品载物台4的高度的范围为436mm～800mm。该两个范围重叠的范围即505mm～800mm是从大体型的人到小体型的人均可以容易地更换样品的最佳样品载物台4的高度。本实施例的样品载物台4的高度640mm为该理想范围的大致中间位置，具有对于大多数用户40来说可以轻松操作的优点。

图5是表示用户40从主体单元15抽出样品载物台4时的尺寸例的示图。样品43处于离地面640mm的高度，因此，与抽出样品载物台4时同样，用户40不用抬起手臂就可以更换样品43。另外，抽出样品载物台4时可以从上向下俯视样品43，因此，不用从样品载物台4取出样品43或者用户40自身站立就可以观察样品43的情况。另一方面，以往的台式显微镜、大型电子显微镜中，样品43的高度离地面1000mm左右，用户40在坐着的状态下只能横向或者斜向观察样品43。根据图5所示尺寸例，可以提高样品更换时的操作性。

主体单元15所占的面积和辅助单元14所占的面积近似相同，因此，在从主体单元15抽出样品载物台4的状态下，在其下方出现空间。可以使用户40的脚等进入该空间，因此，用户40可以以更柔软的姿势对样品载物台4进行操作。

图6是表示主体单元15和辅助单元14分离设置的示例的图。通过取下紧固部件17，可以将主体单元15和辅助单元14分别设置在其他位置。主体单元15和辅助单元14之间，通过用于控制、供电的布线、用于连接返回泵(backpump)的配管来进行连接。辅助单元14和计算机16之间通过布线进行连接。

在净化室内等站立操作的环境的情况下，与图1所示将两个单元重叠的状态相比，在图6所示的主体单元15放置在桌子23的状态下使用的方式在样品更换时用户不必弯腰就可以抽出样品载物台4。这样，由于用户对带电粒子射线装置100的使用形态不同，因此，通过使各单元构成为可自由装卸，从而可以应对广泛的用户环境。而且，在外部振动较多的环境下实施高倍率观察的情况下，有时候在装置下部设置除振台。以往的大型电子显微镜中，必须在除振台载置整个装置，因此需要大型的除振台。通过将主体单元15分离载置在除振台上，可以减小除振台的大小、最大载重量。

通过分离各单元，搬送时也可以在车身高度较低的车辆搭载各单元。从而，可以不必采用卡车等大型车辆来搬运。从而，即使小型车也可以搬送，不仅可以方便地搬送带电粒子射线装置100，还可以向狭窄的场所搬运。

如图3～图5所说明的那样，构成为以在辅助单元14上方载置主体单元15的状态下适于用户40坐在椅子41上进行操作的高度，而通过将主体单元15分离并载置在桌子23上，也可以通过桌子23以其他方法来调节高度。

带电粒子射线装置100的一部分故障时，通过更换主体单元15或者辅助单元14的其中一个就可以快速恢复工作。以往的带电粒子射线装置不仅大型且搬运麻烦，而本实施例1所涉及的带电粒子射线装置100即使通过小型车也可以搬运，因此机动性高，可以按单元迅速应对。另外，在故障单元修理后，也可以再次更换单元。通过这些特性，可以提高带电粒子射线装置100的工作效率。

主体单元15和辅助单元14分离时，需要连接两单元间的布线。该布线成为噪音等的原因，因此期望尽可能短。通过将与布线的两端连接的部件尽可能配置在单元内的端部，从而可以缩短布线。例如，考虑将电源单元9配置在辅助单元14内的上表面附近，并将控制基板7配置在主体单元15内的底面附近。

如上所述，保留了本实施例1所涉及的带电粒子射线装置100中可以在桌上设置的特征的同时，在与主体单元15分开设置的辅助单元14内配置不影响带电粒子射线装置100的性能、功能的电源单元9、控制基板10。从而，可以实现主体单元15的轻量化。相应主体单元15的轻量化，可以实现带电粒子射线装置100的高功能化、可应对高真空和低真空等的多功能化。

本实施例1所涉及的带电粒子射线装置100可以在主体单元15和辅助单元14重叠的状态下使用，也可以在这些单元分离例如主体单元15设置在桌上的状态下使用。在各单元重叠的情况下，可以防止因辅助单元14而造成的设置面积的扩大。在各单元分离的情况下，可以将主体单元15设置在桌子、操作台上等用户所期望的场所。即，可以广泛地应对各种各样的设置环境。

本实施例所涉及的带电粒子射线装置100通过在搬送时分离各单元，从而不必采用大型搬运车就可以搬运。因此，可以具备高性能且与台式电子显微镜同等的搬送性。

<实施例2>

图7是表示本实施例所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。本实施例中，取代实施例1说明的防振支架11而设置防振支架35。以下，以与实施例1的不同点为中心进行说明。

防振支架35安装于固定在样品室3的侧面的防振支架安装部件36和固定在主体单元15的架台的防振支架基座34之间。另外，设置支撑排气管6的排气管支撑部件31，其一端与排气管6连接，另一端与样品室3的外壁连接。而且，在主体单元15的底面设置叉部插入用引导件32，在辅助单元14的上表面设置定位部件33。

专利文献1的图2所示的以往的电子显微镜中，防振支架配置于在样品室下方配置的载重板和架台之间。防振支架上载置的重量设为m，防振支架的弹簧常数设为k时，防振支架的固有频率f表示为「f＝(k/m)^1/2」。即，通过加重重量，可以减小固有频率f。振动振幅若一定，则频率越小加速度越小，因此，越减小固有频率f，防振效果越好。作为专利文献1中的载重板，采用铁等材料，其重量较重，达到数10kg，因此防振效果高。但是实施例1中说明的结构为了可以在桌上载置主体单元15，除去了载重板并且使样品室3、电子光学系统镜体2等轻量化，因此，防振支架11的防振效果减弱。另外，若在样品室3的下部设置防振支架11，则防振支架11的大小被限制，防振效果被抑制。

因而，本实施例2中，在样品室3的侧部设置防振支架35。随之，设置有固定在主体单元15的架台的防振支架基座34和固定在样品室3的侧面的防振支架安装部件36。由于在样品室3的侧面存在安装检测器等的空间，因此，即使在样品室3的侧部设置防振支架35的情况下，主体单元15的宽度也不会变大。即，不会增大带电粒子射线装置100的尺寸，与实施例1相比，可以增大防振支架35。从而可以提高防振支架的防振效果。

图8是主体单元15的主视图。防振支架35的上表面配置为与带电粒子射线装置100主体的重心45的高度大致一致。从而，不易产生俯仰(pitching)、滚动这类的振动模式。另外，样品43与防振支架35的上表面及重心45设为大致相同高度。因此，即使在上述振动模式发生的情况下，旋转中心也处于样品43附近，样品43附近处的振动振幅变小，因此可以减小振动的影响。

本实施例2中，不同于专利文献1的图2，涡轮分子泵5不安装在样品室3的下部，而是与电子光学系统镜体2、样品室3连接，安装到在装置后方延伸的排气管6，从而降低主体单元15的高度，实现小型化。

另外，涡轮分子泵5的重量约3kg，因此将其安装在排气管6时，形成类似悬臂梁的构造。因此，形成由防振支架35和排气管6形成的2自由度振动系统，有可能呈现多余的振动模式，防振性能降低。因而，本实施例2中，将在样品室3固定的排气管支撑部件31和排气管6紧固，支撑排气管6。从而，可以提高由排气管6和涡轮分子泵5引起的振动系统的固有频率。根据上述构成，该固有频率和防振支架35的固有频率之间的差变大，可以减小排气管6的振动模式对防振支架35的振动模式的影响。另外，涡轮分子泵5在正常运行时以1500Hz左右旋转，成为振动源。通过排气管支撑部件31，将排气管6的高阶模式的固有频率设为不同于涡轮分子泵5的转速的频率，从而可以减小由涡轮分子泵5的旋转引起的振动的影响。

主体单元15虽然比以往的电子显微镜要轻，但是例如具有约80kg左右的重量。因此，假定在装卸各单元时、在桌上设置主体单元15时及搬运各单元时，采用升降机等。因而，在主体单元15的下部固定两个矩形上的叉部插入用引导件32。考虑到主体单元15的重心，有选为，以主体单元15的重心接近两个叉部插入用引导件32的中央处的方式进行配置。若将升降机等的叉部(fork)插入叉部插入用引导件32，则可以以稳定状态提升主体单元15，利用叉部插入用引导件32使得将叉部插入的位置每次相同，因此，可以确保提升时的稳定性，而不依赖于操作者。

定位部件33是对在辅助单元14上载置主体单元15时的定位进行辅助的部件。例如，构成为在叉部插入用引导件32设置狭缝，使定位部件33嵌入该狭缝。从而，可以每次在相同位置载置主体单元15。另外，图7中，定位部件33配置为仅仅在带电粒子射线装置100的前后方向(面向图面的左右方向)进行定位，但是，也可以设置在带电粒子射线装置100的左右方向(面向图面的深度方向)进行定位的部件。

如上所述，本实施例2所涉及的带电粒子射线装置100通过在样品室3的侧部配置防振支架35，可以抑制主体单元15的尺寸并提高防振性能。另外，通过设置支撑排气管6的部件，可以抑制由涡轮分子泵5引起的振动的影响。

本实施例2所涉及的带电粒子射线装置100为了辅助在辅助单元14上载置主体单元15的操作，具备定位部件33和叉部插入用引导件32。通过这些部件，可以高效地实施各单元的设置、分离合体等操作。

搬运及设置带电粒子射线装置100时，鉴于设置环境、搬送设备、到设置环境的距离等条件，可以采用以下的任一形态:(a)在辅助单元14上载置主体单元15，利用搬送车、脚轮13搬运，(a1)在设置场所使两单元分离并分别设置，或(a2)在设置场所以在辅助单元14上载置主体单元15的状态原样设置，(b)使辅助单元14和主体单元15分离，分别利用搬运车、脚轮13搬送，(b1)在设置场所以两单元分离的状态原样设置，或(b2)在设置场所在辅助单元14上载置主体单元15而设置。

<实施例3>

实施例1～2中，说明了具备主体单元15和辅助单元14的构成例。根据用户的要求，有时候需要追加安装检测器等构成要素，也需要追加用于使该检测器动作的控制基板。本实施例3的构成例中，即使在上述状况下也可以维持便携性且设置面积不变。以下，以与实施例1～2的不同点为中心进行说明。

图9是表示本实施例3所涉及的带电粒子射线装置100的整体结构的侧视图。在样品室3内设置有选项检测器50。在主体单元15和辅助单元14间，设置将用于控制选项检测器50的控制基板51进行收容的选项单元52。各单元可以分别重叠。主体单元15和选项单元52之间及辅助单元14和选项单元52之间分别通过紧固部件17紧固。选项检测器50、控制基板51、电源单元9等分别通过布线连接。选项单元52所占的面积与主体单元15、辅助单元14大致相同。

通过追加选项单元52，从而可以追加无法设置在主体单元15内、辅助单元14内的构成要素，而不会增大带电粒子射线装置100整体的设置面积。选项单元52所收容的构成要素可以根据追加的构成要素而适宜变更。具体地说，可以收容在安装带电粒子射线装置100所提供的功能的装置或部件中主体单元15和辅助单元14都未收容的装置或部件。

选项单元52内收容的构成要素不仅限于一个，例如也可以收容其他控制基板、电源。另外，也可以增设多个选项单元52。由于各单元构成为可以重叠，因此，即使通过选项单元52追加带电粒子射线装置100的功能，设置面积也不变，维持装置的使用感、设计性。另外，可以通过脚轮13一次搬送全部单元。

选项单元52也可以用于调节主体单元15的高度。由于不同用户的体格、使用感不同，因此，通过将选项单元52用作高度调节用的垫板，可以使主体单元15离地面的高度可变。从而，可以向广泛的用户提供高操作性。另外，通过将选项单元52作为防振台，可以提高防振效果。

<本发明的变形例>

本发明不限于上述实施例的形态，包含各种各样的变形例。为了容易理解本发明，详细说明了上述实施例，但是不限于必须具备说明的全部结构。另外，某实施例的部分结构也可以置换为其他实施例的结构。另外，也可以对某实施例的结构增加其他实施例的结构。另外，对于各实施例的部分结构，也可以追加、删除、置换其他结构。

【标号说明】

1:带电粒子射线源，2:电子光学系统镜体，3:样品室，4:样品载物台，5:涡轮分子泵，6:排气管，7:控制基板，8:旋转泵，9:电源单元，10:控制基板，11:防振支架，12:脚部，13:脚轮，14:辅助单元，15:主体单元，16:计算机，17:紧固部件，18:减振机构，23:桌子，31:排气管支撑部件，32:叉部插入用引导件，33:定位部件，34:防振支架基座，35:防振支架，36:防振支架安装部件，40:用户，41:椅子，43:样品，45:重心，50:选项检测器，51:控制基板，52:选项单元。

Claims (19)

1.一种带电粒子射线装置，具备主体单元和辅助单元，其特征在于，

所述主体单元收容如下部件：

生成带电粒子的带电粒子源；

对样品照射所述带电粒子的光学系统；

载置所述样品的样品载物台；以及

收容所述样品载物台的样品室，

所述辅助单元收容对所述主体单元供电的电源部，

构成为能够在所述辅助单元上装卸所述主体单元。

2.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述主体单元的底面面积构成为在所述辅助单元的上表面面积以下。

3.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

在所述辅助单元上载置所述主体单元时，所述样品载物台的样品设置位置处于离地面505～800mm的位置。

4.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述辅助单元具备用于以在地板载置所述辅助单元的状态下进行搬运的搬运部件。

5.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

在所述辅助单元和设置面之间具备抑制对所述辅助单元施加的振动的减振机构。

6.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述带电粒子射线装置具备在所述辅助单元上载置所述主体单元时将所述主体单元和所述辅助单元紧固的紧固部件。

7.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述带电粒子射线装置具备将所述光学系统和所述样品室进行排气的排气装置，

所述辅助单元具有收容所述排气装置的空间。

8.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述主体单元具备抑制所述主体单元的振动传递到所述样品室的防振部件。

9.权利要求8所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述防振部件配置在所述样品室的侧面。

10.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述主体单元具备对搬运设备搬运所述主体单元时使用的提升臂进行引导的引导机构。

11.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述辅助单元具备在所述辅助单元上载置所述主体单元时对所述主体单元进行定位的定位部件。

12.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述带电粒子射线装置具备将所述光学系统和所述样品室进行排气的排气装置，并具备将所述排气装置和所述光学系统连接且将所述排气装置和所述样品室连接的排气管，

所述主体单元收容所述排气装置和所述排气管，

所述带电粒子射线装置还具备一端与所述样品室连接，另一端与所述排气管连接的排气管支撑部件。

13.权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述带电粒子射线装置还具备：

在所述主体单元和所述辅助单元之间配置的选项单元；

紧固所述主体单元和所述选项单元的部件；以及

紧固所述辅助单元和所述选项单元的部件。

14.权利要求13所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

所述选项单元将安装有所述带电粒子射线装置所提供的功能的装置中、并非由所述主体单元和所述辅助单元中的任意一方收容的装置进行收容。

15.一种构成为能够在辅助单元上装卸主体单元的带电粒子射线装置的设置方法，其特征在于，具备：

使所述主体单元和所述辅助单元分离并分别向设置场所搬运，或在所述辅助单元上载置所述主体单元后向设置场所搬运的搬运步骤，其中，所述主体单元收容生成带电粒子的带电粒子源、对样品照射所述带电粒子的光学系统、载置所述样品的样品载物台及收容所述样品载物台的样品室，所述辅助单元收容对所述主体单元供电的电源部；和

在所述设置场所中分别设置所述主体单元和所述辅助单元的设置步骤。

16.权利要求15所述的设置方法，其特征在于，

所述搬运步骤中，使所述主体单元和所述辅助单元分离并分别搬运，

所述设置步骤中，使所述主体单元和所述辅助单元在分离状态下分别设置。

17.权利要求15所述的设置方法，其特征在于，

所述搬运步骤中，使所述主体单元和所述辅助单元分离并分别搬运，

所述设置步骤中，在所述设置场所中设置所述辅助单元后，在所述辅助单元上载置所述主体单元。

18.权利要求15所述的设置方法，其特征在于，

所述搬运步骤中，以在所述辅助单元上载置所述主体单元的状态搬运所述带电粒子射线装置，

所述设置步骤中，使所述主体单元和所述辅助单元分离并分别设置。

19.权利要求15所述的设置方法，其特征在于，

所述搬运步骤中，以在所述辅助单元上载置所述主体单元的状态搬运所述带电粒子射线装置，

所述设置步骤中，以在所述辅助单元上载置所述主体单元的状态在所述设置场所中保持原样地设置所述带电粒子射线装置。