JP6239479B2 - 暗視野顕微鏡及び照明方法 - Google Patents

暗視野顕微鏡及び照明方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6239479B2
JP6239479B2 JP2014200623A JP2014200623A JP6239479B2 JP 6239479 B2 JP6239479 B2 JP 6239479B2 JP 2014200623 A JP2014200623 A JP 2014200623A JP 2014200623 A JP2014200623 A JP 2014200623A JP 6239479 B2 JP6239479 B2 JP 6239479B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sample
phosphor
guide member
light guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014200623A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016071162A (ja
Inventor
吉宏 油屋
吉宏 油屋
納谷 昌之
昌之 納谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2014200623A priority Critical patent/JP6239479B2/ja
Publication of JP2016071162A publication Critical patent/JP2016071162A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6239479B2 publication Critical patent/JP6239479B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

本発明は、暗視野顕微鏡及び照明方法に関し、更に詳しくは、エバネッセント光により試料を照明する暗視野顕微鏡及び照明方法に関する。
顕微鏡の一種として、対物レンズに直接に照明光が入射しないように試料を照明し、試料が散乱した光を観察する暗視野顕微鏡が知られている。暗視野顕微鏡は、生体細胞などの屈折率差が小さいものを非染色で観察することができるという利点がある。暗視野顕微鏡として、暗視野専用の暗視野コンデンサ対物レンズを用いた対物レンズ利用型暗視野顕微鏡が知られている。一般に、暗視野コンデンサ対物レンズは高価であり、装置の低コスト化が困難である。
暗視野顕微鏡の別の種類として、プリズム型暗視野顕微鏡も知られている。プリズム型暗視野顕微鏡では、光学系がプリズムを利用して構成されており、プリズムを介してレーザ光をカバーガラスに導入することで全反射をカバーガラス(導波路コア)界面に発生させ、その照明領域を対物レンズで観察する。プリズム型暗視野顕微鏡では、暗視野コンデンサ対物レンズなどの高価な光学素子は不要であり、装置の低コスト化が可能である。
しかしながら、プリズム型暗視野顕微鏡でも、プリズムを利用することが必要であるし、全反射角となるように光を入射して導波させることが必要であることから、光学系の構成が複雑になる。また、光学設計に、非常に高精度な設計が求められる。これら問題に対しては、プリズムを用いずに光導波路コアに光を導入する方法が提案されている(特許文献1)。特許文献1では、光導波路コアに接するように液滴が配置され、その液滴内に光ファイバの先端が挿入される。光源から発射された光は、光ファイバの先端から液滴を介して光導波路コア内に導入される。
特開2004−163257号公報
ここで、特許文献1では、光源から導波路コアに入射する光の波長と、導波路コアの界面で発生するエバネッセント光の波長とは同じである。つまり、光源の出射光の波長と、試料の照明光の波長とが同じである。光源の出射光が対物レンズなどを含む観察光学系に回り込むことがあり、観察する画像のSN比(Signal to Noise Ration)が低下するという問題がある。
本発明は、上記に鑑み、観察する画像のSN比を向上させることが可能な暗視野顕微鏡及び試料照明方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、板状に形成され、一の面に蛍光色素及びポリマーを含む蛍光体と試料とが載置される導光部材と、導光部材に載置された蛍光体に照射される励起光を出射する光源と、試料を観察するための観察光学系とを備え、励起光が前記蛍光体に照射されることで発生した蛍光は、導光部材内を全反射しつつ試料が載置された位置まで伝搬し、試料は、蛍光のエバネッセント光で照明され、観察光学系は、励起光の波長の光を遮断し、蛍光の波長の光を透過する波長フィルタを含む暗視野顕微鏡を提供する。
本発明の暗視野顕微鏡では、蛍光体と試料との間に、光源から出射した励起光、蛍光体から発せられた蛍光のうちで導光部材と反対側に放射したもの、及び、導光部材に入射した蛍光のうちで導光部材の界面で全反射せずに外部に出射したものの少なくとも1つ光が試料に入射するのを防ぐ遮光部を更に有することが好ましい。
遮光部は、導光部材の一の面に載置され、蛍光体を囲む筒状の遮光部と試料を囲む筒状の遮光部とのうちの少なくとも一方を含むこととすることができる。
導光部材において、蛍光体を載置する位置と試料を載置する位置との間の距離が5mm以上50mm以下であることが好ましい。
導光部材は、その端面のうちで、試料及び蛍光体が載置される面と、その載置面に対向する面とを除く面の少なくとも1つに反射部材を有していてもよい。
上記反射部材は、導光部材の端面のうちで、試料及び蛍光体の載置面と、その載置面に対向する面とを除く面を取り囲むことが好ましい。
上記反射部材は例えば銀又はアルミニウムで形成できる。
観察光学系は対物レンズを含み、対物レンズは、導光部材の試料が載置される一の面とは反対側の面に配置されることが好ましい。
観察光学系は共焦点光学系を含むことが好ましい。
また、本発明は、板状に形成され、一の面に蛍光色素及びポリマーを含む蛍光体と試料とを載置する導光部材の蛍光体が配置される個所に励起光を照射し、励起光が蛍光体に照射されることで発生した蛍光が導光部材内を全反射しつつ試料が載置された位置まで伝搬することにより生じるエバネッセント光により試料を照明する試料照明方法を提供する。
本願発明の暗視野顕微鏡及び試料照明方法では、導光部材に蛍光体と試料とを載置し、蛍光体に励起光を照射して蛍光を発生させ、蛍光が導光部材を全反射しながら導光されることで生じるエバネッセント光により試料を照明する。この場合、励起光の波長とエバネッセント光の波長とが異なるため、試料を励起光の波長とは異なる波長の光で照明できる。本発明の暗視野顕微鏡では、観察光学系に含まれる波長フィルタによって励起光と試料の照明光とを容易に分離することができ、観察する画像のSN比を向上させることができる。
本発明の一実施形態の暗視野顕微鏡を示すブロック図。 蛍光体に対する励起光の照射を示す断面図。 蛍光が導光部材を伝搬する様子を示す断面図。 導光部材の一面側に載置された試料と蛍光体とを示す断面図。 比較例のダークライト顕微鏡を示すブロック図。 端部に反射部材を有する導光部材を示す断面図。
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態の暗視野顕微鏡を示す。暗視野顕微鏡(エバネッセント散乱光顕微鏡)10は、光源11、ミラー12、導光部材13、対物レンズ14、ミラー15、レンズ16、ピンホール17、レンズ18、波長フィルタ19、レンズ20、及び受光部21を有する。導光部材13には、試料40と蛍光体41とが載置される。
光源11は、蛍光体41に照射される励起光を出射する。光源11は、例えばレーザ光(連続光)を出射するレーザ光源である。励起光の出力は、例えば20mW〜40mWである。光源11から出射した励起光は、ミラー12で反射して蛍光体41に照射される。励起光の照射の仕方は任意であり、例えばミラー12を用いるのに代えて、光源11から出射した光を光ファイバを用いて導光し、光ファイバから蛍光体41に照射してもよい。光源11から出射した励起光を、蛍光体41に直接に照射してもよい。
蛍光体41は、蛍光色素とポリマーとを含む。蛍光色素には、例えばローダミン6Gを用いることができる。ポリマーは、ポリマー種を溶媒で溶かしたものである。ポリマー種には、PMMA−EA(Poly(methyl methacrylate-co-ethyl acrylate))、PS(Polystyrene)、PS(Polycarbonate)、PVC(Polyvinyl chloride)、PMMA(Polymethyl methacrylate)、及びPS−PMMA(Polystyrene - Polymethyl methacrylate)などを用いることができる。溶媒には、トルエン、ジクロロエタン、及びクロロホルムなどを用いることができる。
導光部材13は、板状に形成された透明基板である。導光部材13の材料には、例えばガラスが用いられる。通常のスライドガラスを導光部材13として用いてもよい。導光部材13の表面は、できるだけ凹凸がないことが好ましい。導光部材13の屈折率は例えば1.48から1.49程度である。導光部材13の一の面に、試料40と蛍光体41とが載置される。
図2は、蛍光体41に対する励起光の照射を示している。蛍光体41に励起光が照射されると、蛍光体41は蛍光を発生する。蛍光体41から発生する蛍光の波長は、励起光の波長とは異なる。
図3は、蛍光が導光部材13を伝搬する様子を示す。蛍光体41から発生した蛍光のうち、全反射条件を満たす角度成分の光が導光部材13内を全反射しながら伝搬する。これにより、導光部材13の表面にエバネッセント光が生じる。蛍光は、導光部材13内を全反射しつつ試料40が載置された位置まで伝搬され、導光部材13表面のエバネッセント光により試料40が照明される。
蛍光体41から発生した蛍光のうち、全反射条件で導光部材13の界面に入射しない光の成分は、導光部材13から外部に出射し、試料40の位置まで伝搬するものはわずかである。また、光源11から出射した励起光は、そのほとんどが導光部材13をまっすぐ透過し、試料40の位置まで伝搬するものはごくわずかである。
図4は、導光部材13の一面側に載置された試料40と蛍光体41とを示す。試料40と蛍光体41との間の距離dがあまり近すぎると、蛍光体41で発生した蛍光のうちで導光部材13の界面で全反射しない光の成分が、導光部材13から出射して、試料40や対物レンズ14に入射することがある。一方で、試料40と蛍光体41とが離れすぎていると、試料40を照明するエバネッセント光が弱くなる。試料40と蛍光体41との間の距離dは、5mm以上50mm以下が好ましい。距離dは、8mm以上20mm以下がより好ましい。距離dは、例えば試料40の中心線と、蛍光体41の中心線との間の距離と定義できる。
ここで、蛍光体41に含まれるポリマーの量によっては、蛍光体41の形状が適切ではなくなり、蛍光体41で発生した蛍光が導光部材13の界面で全反射せず、従ってエバネッセント光が発生しないことがある。ポリマーの量は、蛍光体41で発生した蛍光に導光部材13を全反射する成分が含まれるように設定されることが好ましい。ポリマーの分子量は、用いるポリマー種によって適宜選定される。本発明者らが行った実験によれば、ポリマー種にPSを用いた場合は分子量280,000のとき、PMMAを用いた場合は分子量350,000のとき、PVCを用いた場合は分子量1,100,000のとき、PS−PMMAを用いた場合は分子量82,000のとき、エバネッセント光を発生させることができた。一方で、ポリマー種にPMMA−EAを用いた場合は分子量101,000のとき、PSを用いた場合は分子量35,000のとき、PMMAを用いた場合は分子量120,000のとき、PVCを用いた場合は分子量25,000のとき、PS−PMMAを用いた場合は分子量23,000のとき、エバネッセント光を発生させることができなかった。この実験から、ポリマー種の分子量は36,000〜1,100,000が適当である。
図1に戻り、対物レンズ14、ミラー15、レンズ16、ピンホール17、レンズ18、波長フィルタ19、レンズ20、及び受光部21は、試料40を観察するための観察光学系を構成する。以下に説明する観察光学系は一例であり、観察光学系の構成は特に限定されない。本実施形態の暗視野顕微鏡における観察光学系の構成は、通常の顕微鏡における観察光学系の構成と同様でよい。
試料40により散乱した散乱光は、対物レンズ14に入射する。一例として、対物レンズ14には倍率20倍のものが用いられる。対物レンズ14は、好ましくは導光部材13の試料40が載置された面の反対側に配置される。対物レンズ14の配置は特に限定されず、対物レンズ14が導光部材13の試料40が載置された面側に配置されていてもよい。対物レンズ14に入射した光は、ミラー15で反射してレンズ16に入射する。
ピンホール17は、レンズ16の焦点距離の位置、及びレンズ18の焦点距離に配置されており、レンズ16、ピンホール17、及びレンズ18は共焦点光学系22を構成する。一例として、レンズ16の焦点距離は50mmであり、レンズ18の焦点距離は45mmである。共焦点光学系22を透過した光は、波長フィルタ19に入射する。波長フィルタ19は、光源11から出射した励起光を透過させず、蛍光体41で発生した蛍光を透過させる。波長フィルタ19は、少なくとも励起光を減衰させればよく、励起光の波長の光を完全に遮断することまでは要しない。波長フィルタ19を通った光は、レンズ20を介して受光部21で受光される。一例として、レンズ20の焦点距離は75mmである。受光部21には、例えばCCD(Charge Coupled Device)撮像デバイスが用いられる。ミラー15を用いずに、対物レンズ14の光軸上に、共焦点光学系22、波長フィルタ19、レンズ20、及び受光部21を並べて配置してもよい。
なお、波長フィルタ19は、観察光学系において、受光部21に至る経路に挿入されていればよく、波長フィルタ19の位置は、上記した位置、すなわちレンズ18とレンズ20との間には限定されない。波長フィルタ19は、レンズ20と受光部21との間に配置されていてもよし、レンズ16とピンホール17との間、又はピンホール17とレンズ18との間に配置されていてもよい。波長フィルタ19は、受光部21から見て近い位置に設けられることが好ましい。
試料40と蛍光体41の載置面には、蛍光体41を取り囲む中空の筒状の遮光部45と、試料40を取り囲む中空の筒状の遮光部46とを載置してもよい。遮光部45及び遮光部46は、遮光性を有する材料で形成される。試料の観察に際してノイズ光となる成分には、以下の3つの成分が考えられる。1つ目は、光源11の出射光、つまり蛍光に変換されなかった光である。2つ目は、蛍光に変換されたが、導光部材13に入射せず、後方(導光部材13と反対側)に放射した光である。蛍光はランバーシアンに放射し、後方に放射した光はノイズ光となる。3つ目は、蛍光に変換され、導光部材13に入射したが、導光部材13の界面で全反射せず、導光部材13から外部に出射した光である。遮光部45及び遮光部46は、これらノイズ光を抑制するために設けられる。
なお、図1では、蛍光体41を取り囲む遮光部45と試料40を取り囲む遮光部46とを用いる例を示したが、遮光部45及び遮光部46のうちの一方は省略してもよい。また、遮光部は、光源11の出射光、蛍光体41から後方に放射した光、及び導光部材13から出射した蛍光の少なくとも1つが試料40に入射するのを防げばよく、必ずしも試料40及び蛍光体41を取り囲んでいる必要はない。遮光部は、少なくとも試料40と蛍光体41との間に設けられていればよい。
ここで、比較例として、光源の出射光を全反射させてエバネッセント光を発生させる暗視野顕微鏡(ダークライト顕微鏡)を説明する。図5は、比較例のダークライト顕微鏡を示す。光源51から出射した光は、スライドガラス52に全反射条件で入射し、スライドガラス52の表面にエバネッセント光が発生する。スライドガラス52上には散乱体である観察物55が載置されており、CCD54は、観察物55で散乱した光を検出する。CCD54には、光源51から出射した光の一部が、直接に又はどこかで反射して入射することがある。観察物55にて生じた散乱光の波長は、光源51の出射光の波長と同一であり、光源51から入射した光と観察物55の散乱光とを分けることができない。
本実施形態では、板状の導光部材13に試料40と蛍光体41とを載置し、蛍光体41に光源11が出射した励起光を入射させる。蛍光体41で発生した蛍光は、導光部材13を全反射しつつ試料40が載置された位置まで伝搬され、試料40は、蛍光が導光部材13を全反射することで発生したエバネッセント光で照明される。このような試料40の照明方法を採用することで、光源11の出射光の波長とは異なる波長のエバネッセント光で試料40を照明することができる。仮に光源11を出射した励起光が対物レンズ14以降の観察光学系に入射したとしても、波長フィルタ19を用いることで、試料40の散乱光から励起光を容易に分離可能である。これにより、光源11から出射した励起光によるノイズ成分を抑え、観察する画像のSN比を向上させることが可能となる。本実施形態では、プリズムを用いなくてもエバネッセント光を発生させることができ、光学系が複雑にならず、高精度な光学設計が要求されないという効果もある。本実施形態では、観察光学系は通常の顕微鏡と同様であり、簡易な構成で暗視野画像を得ることができる。また、遮光部により試料40に入射するノイズ光を抑制することで、観察画像のSN比を更に向上できる。
なお、導光部材13は、端面のうちで、試料40及び蛍光体41が載置される面と、その載置面に対向する面とを除く面の少なくとも1つに反射部材を有していてもよい。図6は、端面に反射部材を有する導光部材の上面図である。導光部材13は、その側面、つまり、試料40及び蛍光体41の載置面とそれに対向する面を除く4つの面に反射部材23を有する。反射部材23は、側面を取り囲むことが好ましい。反射部材23は、光反射率が高い材料、例えば銀やアルミニウムなどの金属で形成される。導光部材13内を全反射しつつ一方の端部側に伝搬した光は、反射部材23で反射して逆向きに伝搬する。反射部材23を設けることで、導光部材13内に光を閉じ込める効果を高めることができ、エバネッセント光を増強させることが可能となる。
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明の暗視野顕微鏡及び試料照明方法は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、上記実施形態の構成から種々の修正及び変更を施したものも、本発明の範囲に含まれる。
10:暗視野顕微鏡
11:光源
12:ミラー
13:導光部材
14:対物レンズ
15:ミラー
16:レンズ
17:ピンホール
18:レンズ
19:波長フィルタ
20:レンズ
21:受光部
22:共焦点光学系
23:反射部材
40:試料
41:蛍光体
45、46:遮光部

Claims (9)

  1. 板状に形成され、一の面に蛍光色素及びポリマーを含む蛍光体と試料とが載置される導光部材と、
    前記導光部材に載置された蛍光体に照射される励起光を出射する光源と、
    試料を観察するための観察光学系とを備え、
    前記励起光が前記蛍光体に照射されることで発生した蛍光は、導光部材内を全反射しつつ前記試料が載置された位置まで伝搬し、前記試料は、前記蛍光のエバネッセント光で照明され、
    前記観察光学系は、前記励起光の波長の光を遮断し、前記蛍光の波長の光を透過する波長フィルタを含み、
    前記導光部材は、端面のうちで、前記試料及び前記蛍光体が載置される面と、該試料及び蛍光体が載置される面に対向する面とを除く面の少なくとも1つに反射部材を有する、
    暗視野顕微鏡。
  2. 前記蛍光体と前記試料との間に、光源から出射した励起光、前記蛍光体から発せられた蛍光のうちで前記導光部材と反対側に放射したもの、及び、前記導光部材に入射した蛍光のうちで前記導光部材の界面で全反射せずに外部に出射したものの少なくとも1つが前記試料に入射するのを防ぐ遮光部を更に有する請求項1に記載の暗視野顕微鏡。
  3. 前記遮光部は、前記導光部材の一の面に載置され、前記蛍光体を囲む筒状の遮光部と前記試料を囲む筒状の遮光部とのうちの少なくとも一方を含む請求項2に記載の暗視野顕微鏡。
  4. 前記蛍光体を載置する位置と前記試料を載置する位置との間の距離が5mm以上50mm以下である請求項1から3何れか1項に記載の暗視野顕微鏡。
  5. 前記反射部材は、前記導光部材の端面のうちで、前記試料及び前記蛍光体が載置される面と、該試料及び蛍光体が載置される面に対向する面とを除く面を取り囲む請求項に記載の暗視野顕微鏡。
  6. 前記反射部材は銀又はアルミニウムで形成される請求項1から5何れか1項に記載の暗視野顕微鏡。
  7. 前記観察光学系は対物レンズを含み、該対物レンズは、前記導光部材の試料が載置される一の面とは反対側の面に配置される請求項1から何れか1項に記載の暗視野顕微鏡。
  8. 前記観察光学系は共焦点光学系を含む請求項1から何れか1項に記載の暗視野顕微鏡。
  9. 板状に形成され、一の面に蛍光色素及びポリマーを含む蛍光体と試料とを載置する導光部材の前記蛍光体が配置される個所に励起光を照射し、前記励起光が前記蛍光体に照射されることで発生した蛍光が導光部材内を全反射しつつ前記試料が載置された位置まで伝搬することにより生じるエバネッセント光により前記試料を照明し、
    前記導光部材は、端面のうちで、前記試料及び前記蛍光体が載置される面と、該試料及び蛍光体が載置される面に対向する面とを除く面の少なくとも1つが反射可能であるように構成されている、
    試料照明方法。
JP2014200623A 2014-09-30 2014-09-30 暗視野顕微鏡及び照明方法 Active JP6239479B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014200623A JP6239479B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 暗視野顕微鏡及び照明方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014200623A JP6239479B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 暗視野顕微鏡及び照明方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016071162A JP2016071162A (ja) 2016-05-09
JP6239479B2 true JP6239479B2 (ja) 2017-11-29

Family

ID=55866652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014200623A Active JP6239479B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 暗視野顕微鏡及び照明方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6239479B2 (ja)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3968425B2 (ja) * 2002-11-13 2007-08-29 独立行政法人産業技術総合研究所 光導波路への光導入方法及びそれを用いた光導波路分光測定装置
JP4379474B2 (ja) * 2004-10-01 2009-12-09 日亜化学工業株式会社 発光装置
US7433563B2 (en) * 2005-05-25 2008-10-07 University Of Vermont And State Agricultural College Optical fiber microscopy launch system and method
US7248361B2 (en) * 2005-12-22 2007-07-24 Palo Alto Research Center Incorporated Fluorescence reader based on anti-resonant waveguide excitation
WO2011005487A2 (en) * 2009-06-22 2011-01-13 California Institute Of Technology Optical devices and methods for measuring samples
US8865078B2 (en) * 2010-06-11 2014-10-21 Industrial Technology Research Institute Apparatus for single-molecule detection
US8865077B2 (en) * 2010-06-11 2014-10-21 Industrial Technology Research Institute Apparatus for single-molecule detection

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016071162A (ja) 2016-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6597499B2 (en) Total internal reflection fluorescence microscope having a conventional white-light source
JP4932162B2 (ja) 焦点検出装置とそれを用いた蛍光観察装置
JP7037277B2 (ja) 観察装置
JP7021190B2 (ja) ライトシート顕微鏡
US11982622B2 (en) Waveguide-based side-illumination technique for MUSE microscopy and associated histology cassettes
JP2006201465A5 (ja)
JP2001272606A (ja) 照明光学系及び照明光学系を備えた顕微鏡
JP2019002906A5 (ja)
JP2019516140A5 (ja)
JP2009505126A (ja) 全反射顕微鏡検査用の顕微鏡および方法
JP2003270524A (ja) 焦点検出装置およびこれを備えた顕微鏡、および、焦点検出方法
EP3084501B1 (en) Light source adaptor for a microscope
JP6153321B2 (ja) 顕微鏡
US9372330B2 (en) Inverted microscope system
JP6239479B2 (ja) 暗視野顕微鏡及び照明方法
Combs et al. Optimization of multiphoton excitation microscopy by total emission detection using a parabolic light reflector
JP6534662B2 (ja) エバネッセント照明及び点状ラスタスキャン照明のための顕微鏡
US6940641B2 (en) Fluorescence observation apparatus
JP2001013413A (ja) 顕微鏡
JP5289792B2 (ja) 焦点検出装置とそれを用いた蛍光観察装置
JP2005140956A (ja) 焦点検出装置および蛍光顕微鏡
US8108942B2 (en) Probe microscope
JP4724278B2 (ja) 照明装置
JPH11211990A (ja) 全反射照明型顕微鏡装置および試料ステージ
WO2012051383A2 (en) An adjustable total internal reflectance microscopy (tirfm) illuminator apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160825

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20170523

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170614

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170817

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20170908

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20170908

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171010

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171101

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6239479

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250